JP4956209B2 - プラズマ窒化処理システムおよびプラズマ窒化処理方法 - Google Patents
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Description
前記被処理体を前記加熱室、前記窒化室、前記冷却室の順に搬送する被処理体搬送機構と、前記窒化室内を減圧する窒化室減圧機構と、前記窒化室内に窒素ガスを供給する窒化室ガス供給路と、前記窒化室内の被処理体に対して電圧を印加する電極体とを備え、前記電極体を前記窒化室内において昇降させる昇降機と、前記電極体を前記昇降機から絶縁させる絶縁体とを設け、前記電極体によって被処理体を支持し、前記電極体を上昇させることにより、被処理体を持ち上げて前記電極体以外の部分から絶縁させることを特徴とする、プラズマ窒化処理システムが提供される。
また、本発明によれば、上記のプラズマ窒化処理システムを用いたプラズマ窒化処理方法であって、前記加熱室の搬入口を開けて、被処理体を搬入し、前記加熱室内を減圧し、前記加熱室内に窒素ガスをパージした後、前記被処理体を加熱処理するとともに、前記窒化室の搬入口と搬出口を閉じ、前記窒化室内を減圧し、前記窒化室内に窒素ガスをパージした後、昇温させ、前記加熱室における前記被処理体の加熱処理が終了すると、加熱室を減圧し、その後、前記被処理体を前記窒化室に移動するために、前記窒化室の搬入扉および熱遮蔽体の扉を開けて、前記電極体が前記被処理体搬送機構よりも低い位置に下降させられた状態で前記被処理体を前記窒化室へ移動させ、次に、前記窒化室の搬入口を閉じ、前記窒化室に処理ガスを供給し、次に、前記電極体を前記昇降機により上昇させて前記被処理体を押し上げ、前記被処理体が前記電極体のみに接触してそれ以外の部分からは電気的に絶縁された状態になった後、直流電源を印加して窒化処理を行うことを特徴とする、プラズマ窒化処理方法が提供される。このプラズマ窒化処理方法にあっては、前記熱遮蔽体の開口の開度を変えて、前記熱遮蔽体の内側の温度分布を調節しても良い。
S1 加熱室
S2 窒化室
S3 冷却室
1 プラズマ窒化処理システム
2 被処理体
3 加熱炉
4 窒化炉
5 冷却部
6 被処理体搬送機構
32 ヒータ(加熱室ヒータ)
62 ヒータ(窒化室ヒータ)
63 熱遮蔽体
67 電極体
81 開口
83 蓋体
112 昇降機
113 絶縁体
132 減圧機構(窒化室減圧機構)
133 窒化室ガス供給路
Claims (13)
- 被処理体を窒化処理するプラズマ窒化処理システムであって、
被処理体を加熱処理する加熱室と、
前記加熱室において加熱処理された被処理体をプラズマを発生させることにより窒化処理する窒化室と、
前記窒化室において窒化処理された被処理体を冷却処理する冷却室と、
前記被処理体を前記加熱室、前記窒化室、前記冷却室の順に搬送する被処理体搬送機構と、
前記窒化室内を減圧する窒化室減圧機構と、前記窒化室内に窒素ガスを供給する窒化室ガス供給路と、前記窒化室内の被処理体に対して電圧を印加する電極体とを備え、
前記電極体を前記窒化室内において昇降させる昇降機と、前記電極体を前記昇降機から絶縁させる絶縁体とを設け、前記電極体によって被処理体を支持し、前記電極体を上昇させることにより、被処理体を持ち上げて前記電極体以外の部分から絶縁させることを特徴とする、プラズマ窒化処理システム。 - 前記加熱室内の被処理体を加熱する加熱室ヒータを備えることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ窒化処理システム。
- 前記窒化室内の被処理体の周囲に熱遮蔽体を備え、
前記熱遮蔽体に開口を設け、
前記開口を開閉させる蓋体を設けたことを特徴とする、請求項1又は2に記載のプラズマ窒化処理システム。 - 前記熱遮蔽体は、前記窒化室内の被処理体の側方及び上方を囲む位置に設けられ、
前記開口は、前記窒化室内の被処理体の上部中央に設けられていることを特徴とする、請求項3に記載のプラズマ窒化処理システム。 - 前記熱遮蔽体の内側に、被処理体を加熱する窒化室ヒータを備えることを特徴とする、請求項3又は4に記載のプラズマ窒化処理システム。
- 前記熱遮蔽体の入口側を開閉する入口側熱遮蔽扉と、前記熱遮蔽体の出口側を開閉する出口側熱遮蔽扉とを備えることを特徴とする、請求項3〜5のいずれかに記載のプラズマ窒化処理システム。
- 前記蓋体は、前記開口の開度を調節できるように構成されていることを特徴とする、請求項3〜6のいずれかに記載のプラズマ窒化処理システム。
- 前記冷却室に、熱交換部材が設けられていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載のプラズマ窒化処理システム。
- 前記加熱室、前記窒化室、前記冷却室は、横方向において一列に並べて設けられていることを特徴とする、請求項1〜8のいずれかに記載のプラズマ窒化処理システム。
- 前記被処理体搬送機構が、窒化室のチェーンコンベアを備えていることを特徴とする、請求項1〜9のいずれかに記載のプラズマ窒化処理システム。
- 前記昇降機は、前記被処理体の中央部を下方から支えることを特徴とする、請求項1〜10のいずれかに記載のプラズマ窒化処理システム。
- 請求項3〜11に記載のプラズマ窒化処理システムを用いたプラズマ窒化処理方法であって、
前記加熱室の搬入口を開けて、被処理体を搬入し、前記加熱室内を減圧し、前記加熱室内に窒素ガスをパージした後、前記被処理体を加熱処理するとともに、
前記窒化室の搬入口と搬出口を閉じ、前記窒化室内を減圧し、前記窒化室内に窒素ガスをパージした後、昇温させ、
前記加熱室における前記被処理体の加熱処理が終了すると、加熱室を減圧し、その後、前記被処理体を前記窒化室に移動するために、前記窒化室の搬入扉および熱遮蔽体の扉を開けて、前記電極体が前記被処理体搬送機構よりも低い位置に下降させられた状態で前記被処理体を前記窒化室へ移動させ、
次に、前記窒化室の搬入口を閉じ、前記窒化室に処理ガスを供給し、
次に、前記電極体を前記昇降機により上昇させて前記被処理体を押し上げ、前記被処理体が前記電極体のみに接触してそれ以外の部分からは電気的に絶縁された状態になった後、直流電源を印加して窒化処理を行うことを特徴とする、プラズマ窒化処理方法。 - 前記熱遮蔽体の開口の開度を変えて、前記熱遮蔽体の内側の温度分布を調節することを特徴とする、請求項12に記載のプラズマ窒化処理方法。
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