JP2008189955A - プラズマ窒化処理システム - Google Patents
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- 238000005121 nitriding Methods 0.000 title claims abstract description 223
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 124
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 93
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 43
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 66
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 49
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 230000006837 decompression Effects 0.000 claims description 21
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 17
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 25
- 230000008569 process Effects 0.000 description 23
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 description 21
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 14
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 11
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 9
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 7
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 7
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 4
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 4
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000112 cooling gas Substances 0.000 description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 229910001337 iron nitride Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 nitrogen ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 2
- 229910000851 Alloy steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229910000975 Carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001018 Cast iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 239000010962 carbon steel Substances 0.000 description 1
- 238000005256 carbonitriding Methods 0.000 description 1
- 238000005255 carburizing Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Solid-Phase Diffusion Into Metallic Material Surfaces (AREA)
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
- Heat Treatment Of Articles (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Furnace Housings, Linings, Walls, And Ceilings (AREA)
Abstract
【解決手段】被処理体2を加熱処理する加熱室S1と、加熱室S1において加熱処理された被処理体2をプラズマを発生させることにより窒化処理する窒化室S2と、窒化室S2において窒化処理された被処理体2を冷却処理する冷却室S3とを、横方向において一列に並べて設けた。また、被処理体2を加熱室S1、窒化室S2、冷却室S3の順に搬送する被処理体搬送機構6を備えた。
【選択図】図2
Description
S1 加熱室
S2 窒化室
S3 冷却室
1 プラズマ窒化処理システム
2 被処理体
3 加熱炉
4 窒化炉
5 冷却部
6 被処理体搬送機構
32 ヒータ(加熱室ヒータ)
62 ヒータ(窒化室ヒータ)
63 熱遮蔽体
67 電極体
81 開口
83 蓋体
112 昇降機
113 絶縁体
132 減圧機構(窒化室減圧機構)
133 窒化室ガス供給路
Claims (9)
- 被処理体を窒化処理するプラズマ窒化処理システムであって、
被処理体を加熱処理する加熱室と、
前記加熱室において加熱処理された被処理体をプラズマを発生させることにより窒化処理する窒化室と、
前記窒化室において窒化処理された被処理体を冷却処理する冷却室と、
前記被処理体を前記加熱室、前記窒化室、前記冷却室の順に搬送する被処理体搬送機構とを備えることを特徴とする、プラズマ窒化処理システム。 - 前記加熱室内の被処理体を加熱する加熱室ヒータを備えることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ窒化処理システム。
- 前記窒化室内を減圧する窒化室減圧機構と、
前記窒化室内に窒素ガスを供給する窒化室ガス供給路と、
前記窒化室内の被処理体に対して電圧を印加する電極体とを備えることを特徴とする、請求項1又は2に記載のプラズマ窒化処理システム。 - 前記電極体を前記窒化室内において昇降させる昇降機と、前記電極体を前記昇降機から絶縁させる絶縁体とを設け、
前記電極体によって被処理体を支持することにより、被処理体を前記電極体以外の部分から絶縁させることが可能な構成としたことを特徴とする、請求項3に記載のプラズマ窒化処理システム。 - 前記窒化室内の被処理体の周囲に熱遮蔽体を備え、
前記熱遮蔽体に開口を設け、
前記開口を開閉させる蓋体を設けたことを特徴とする、請求項3又は4に記載のプラズマ窒化処理システム。 - 前記熱遮蔽体は、前記窒化室内の被処理体の側方及び上方を囲む位置に設けられ、
前記開口は、前記窒化室内の被処理体の上方に設けられていることを特徴とする、請求項5に記載のプラズマ窒化処理システム。 - 前記熱遮蔽体の内側に、被処理体を加熱する窒化室ヒータを備えることを特徴とする、請求項5又は6に記載のプラズマ窒化処理システム。
- 前記熱遮蔽体の入口側を開閉する入口側熱遮蔽扉と、前記熱遮蔽体の出口側を開閉する出口側熱遮蔽扉とを備えることを特徴とする、請求項5〜7のいずれかに記載のプラズマ窒化処理システム。
- 前記加熱室、前記窒化室、前記冷却室は、横方向において一列に並べて設けられていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載のプラズマ窒化処理システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007023470A JP4956209B2 (ja) | 2007-02-01 | 2007-02-01 | プラズマ窒化処理システムおよびプラズマ窒化処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007023470A JP4956209B2 (ja) | 2007-02-01 | 2007-02-01 | プラズマ窒化処理システムおよびプラズマ窒化処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008189955A true JP2008189955A (ja) | 2008-08-21 |
JP4956209B2 JP4956209B2 (ja) | 2012-06-20 |
Family
ID=39750324
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007023470A Active JP4956209B2 (ja) | 2007-02-01 | 2007-02-01 | プラズマ窒化処理システムおよびプラズマ窒化処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4956209B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103602944A (zh) * | 2013-11-18 | 2014-02-26 | 祁标 | 特大型多功能天然气节能零件热处理炉及其热处理工艺 |
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KR102598184B1 (ko) * | 2023-05-31 | 2023-11-06 | 금성열처리 주식회사 | 다이캐스트 금형을 위한 질화처리장치 및 이를 이용한 재질화방법 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5276796B2 (ja) * | 2007-04-03 | 2013-08-28 | Dowaサーモテック株式会社 | プラズマ処理炉 |
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-
2007
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091201 |
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