JP4724596B2 - 減圧徐冷装置及び鋼部材の熱処理装置 - Google Patents
減圧徐冷装置及び鋼部材の熱処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4724596B2 JP4724596B2 JP2006125643A JP2006125643A JP4724596B2 JP 4724596 B2 JP4724596 B2 JP 4724596B2 JP 2006125643 A JP2006125643 A JP 2006125643A JP 2006125643 A JP2006125643 A JP 2006125643A JP 4724596 B2 JP4724596 B2 JP 4724596B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- chamber
- carburizing
- gas
- heat treatment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
- Heat Treatment Of Articles (AREA)
Description
また、冷却ムラによる冷却歪みの発生等を抑制するために、冷却ガスの循環速度を変更したり、循環経路が適正となるように整流板を設けたりする対策をとって、冷却条件がムラのないものとなることを目指したガス冷却式真空熱処理炉が提案されている(特許文献1参照)。
また、歯車その他のリング状部品の浸炭処理に限らず、加熱した被処理材を冷却する際の冷却歪みを抑制する効果を高めることができる徐冷装置の開発は、鋼部材等の熱処理を施す技術分野において強く望まれていた。
また、一方において、冷却歪みの発生可能性が低い場合に徐冷をすることは、冷却時間の増大による生産効率の低下につながってしまう。そのため、最適な徐冷と効率のよい急冷とを適宜切り替えて実施できる実用性の高い徐冷装置の開発が望まれている。
該冷却室内を減圧する減圧装置と、
上記冷却室内において冷却ガスを循環させると共に、その循環速度を変更可能な冷却ファンと、
上記冷却ガスを冷却するための熱交換器と、
上記冷却ガスの循環経路を切り替える送風ガイドとを有しており、
該送風ガイドの操作により、上記冷却ガスを上記熱交換器に接触させて循環させる急冷モードと、上記冷却ガスを上記熱交換器に接触させることなく循環させる徐冷モードとのいずれかに切替可能に構成されていることを特徴とする減圧徐冷装置にある(請求項1)。
まず、上記減圧徐冷装置における上記冷却室は、上記減圧装置によって減圧可能であると共に、上記冷却ファンによって冷却ガスの循環速度を変更することもできる。そのため、冷却歪みが非常に出やすい被処理材を処理する場合においても、その冷却歪みの発生を極力抑制することができる。
このような冷却ガスの減圧による効果を利用することにより、冷却歪みが生じやすい被処理材であっても歪み発生を抑制することができ、高精度の寸法精度を維持したまま冷却処理を行うことができる。
これにより、上記徐冷モードを選択した場合には、循環する冷却ガスが熱交換器によって冷やされることがないので、ある程度高温の状態に維持される。そのため、被処理材に対する冷却能自体を抑制し、上述した減圧と循環速度低減の両方または一方との組み合わせによって、徐冷効果をさらに向上させることができる。
該浸炭処理を終えた上記被処理材を冷却するための徐冷装置とを有してなり、
該徐冷装置は、第1の発明の減圧徐冷装置よりなることを特徴とする鋼部材の熱処理装置にある(請求項4)。
そして、例えば、その後に、歪みの生じにくい高周波焼入れと組み合わせることによって、浸炭焼入れ処理全体を、寸法精度を高く維持した状態で実施することができる。
上記冷却ファンを配設したファン設置ゾーンから送られた上記冷却ガスが、上記側方流路又は上記中央流路を通って、上記ファン設置ゾーンの位置と反対側に位置する折り返しゾーンに送られ、該折り返しゾーンから上記中央流路又は上記側方流路を通って上記ファン設置ゾーンに戻るように構成されており、
上記熱交換器及び上記送風ガイドは、上記折り返しゾーンに配置されていることが好ましい(請求項2)。
また、上記折り返しゾーンを用いることによって、上記熱交換器および送風ガイドの配設が容易となる。
この場合には、上記送風ガイドによる循環経路の切り替えを容易に行うことができ、かつ、熱交換器と冷却ガスとの接触状態の制御を容易に行うことができる。
この場合には、上記真空浸炭室を備えることによって効率のよい所謂真空浸炭処理を行うことができ、さらに、上記真空浸炭室とは別個に上記加熱室を有することによって、浸炭処理前の加熱工程と、加熱後の真空浸炭処理を同時に並行して行うことができ、より効率的な熱処理を行うことができる。
また、上記加熱室、上記真空浸炭室、及び上記冷却室を順次移動するように上記被処理材を移動させる搬送装置を設けることによって、効率よく被処理材を移動させることができる。
このような構成を具備することによって、連続真空浸炭徐冷装置として、非常に効率よく真空浸炭処理、およびその後の減圧徐冷処理を連続して進めることができる。
上記リング状部材は、リング状の本体部の真円度等が重要な場合が多いが、上述した減圧徐冷装置を備えた本発明の熱処理装置を用いることが非常に有効であり、冷却歪みを極力抑えて処理することができる。
また、リング状部材の熱処理治具による支持構造としては、上記のごとく、リング状部材の軸心を垂直方向にして上記熱処理治具上に載置する支持構造と、リング状部材の軸心を水平方向にして上記熱処理治具に設けた吊り枠に吊す支持構造をとることができる。
歯車部材の場合には、特に寸法精度が厳しく、本発明の熱処理装置を用いることが特に有効である。歯車部材としては、例えば、自動変速機等の部品となるリングギア等がある。
本発明の実施例に係る減圧徐冷装置につき、図1〜図3を用いて説明する。
本例の減圧徐冷装置1は、図1〜図3に示すごとく、被処理材8を収容した状態で密閉可能な冷却室10と、冷却室12内を減圧する減圧装置(図示略)と、冷却室10内において冷却ガスを循環させると共に、その循環速度を変更可能な冷却ファン11と、上記冷却ガスを冷却するための熱交換器12、13と、上記冷却ガスの循環経路を切り替える送風ガイド15、16とを有している。そして、送風ガイド15、16の操作により、上記冷却ガスを熱交換器12、13に接触させて循環させる急冷モードと、上記冷却ガスを熱交換器12、13に接触させることなく循環させる徐冷モードとのいずれかに切替可能に構成されている。
以下、これを詳説する。
同図中右側の送風ガイド15は、第1ガイド板151と第2ガイド板152とを備えており、それぞれ上記U字状流路内の揺動支点C1、C2を中心に揺動するよう構成されている。例えば、揺動支点C1、C2は冷却室10内側に固定されており、上記第2ガイド板152は、上記揺動支点C2を基点にしてV字状となるように支持片153を有している。支持片153には長穴154が設けられており、この長穴154には後述するリフタ105の支持ピン106が挿入されている。
また、上記リフタ105は、その上面に、被処理材を搬送するためのチェーンコンベアよりなる搬送装置76を備えている。
まず、減圧徐冷装置1における冷却室10は、減圧装置によって減圧可能であると共に、冷却ファン11によって冷却ガスの循環速度を変更することもできる。そのため、冷却歪みが非常に出やすい被処理材を処理する場合においても、その冷却歪みの発生を極力抑制することができる。
このような冷却ガスの減圧による効果を利用することにより、冷却歪みが生じやすい被処理材であっても歪み発生を抑制することができ、高精度の寸法精度を維持したまま冷却処理を行うことができる。
これにより、上記徐冷モードを選択した場合には、循環する冷却ガスが熱交換器12、13によって冷やされることがないので、ある程度高温の状態に維持される。そのため、被処理材に対する冷却能自体が低下し、上述した減圧と循環速度低減の両方または一方との組み合わせによって、徐冷効果をさらに向上させることができる。
本例は、図4に示すごとく、実施例1に示した減圧徐冷装置1を、連続真空浸炭処理装置としての熱処理装置2に組み込んだ例である。
すなわち、本例の熱処理装置2は、同図に示すごとく、鋼部材よりなる被処理材8の浸炭処理を行うための浸炭処理装置6と、浸炭処理を終えた上記被処理材8を冷却するための徐冷装置としての上記減圧徐冷装置1を有している。
また、加熱室4は、その前方の搬入口を上記準備室シール扉32により密閉可能であると共に、その後方の搬出口(真空浸炭室5の搬入口)を密閉する加熱室シール扉42を有している。さらに、加熱室4には、加熱時の熱が外部へ漏れることを防止する断熱扉411、412を前後に有している。
また、上記冷却室10は、その前方の搬入口を上記冷却室シール扉181により密閉可能であると共に、その後方の搬出口を出口扉182によって密閉可能に構成されている。
具体的には、準備室3は、真空弁309を介して外部に設けられた減圧装置によって内部を減圧可能に構成されている。
加熱室4は、真空弁409を介して外部に設けられた減圧装置によって内部を減圧可能に構成されている。また、加熱室4には、外部の窒素ガス供給源に接続される窒素ガス導入弁408が設けられている。
真空浸炭室5は、真空弁509を介して外部に設けられた減圧装置によって内部を減圧可能であると共に、浸炭ガス導入弁508を介して外部に設けられた浸炭ガス供給装置から所望の浸炭ガスを導入可能に構成されている。また、真空浸炭室5には、外部の窒素ガス供給源に接続される窒素ガス導入弁507が設けられている。
また、冷却室10は、上述したように、真空弁109を介して外部に設けられた減圧装置によって内部を減圧可能に構成されている。また、冷却室10には、外部の窒素ガス供給源に接続される窒素ガス導入弁108が設けられている。
また、真空浸炭室5は、浸炭室ヒータ54を備え、被処理材8を浸炭に適した温度に加熱できるように構成されている。
第1通路45、第2通路、及び冷却室10内の搬送装置73、75及び76は、いずれもチェーンコンベア方式のものであり、準備室3と加熱室4の搬送を兼任する搬送装置72は、プッシャー方式、真空浸炭室5の搬送装置74はリフト・アンド・キャリー方式を採用している。
(被処理材の搬入)
まず、準備室3の入口扉31と準備室シール扉32を閉じた状態で準備室3内に窒素ガスを導入し、大気圧状態とする。
次いで、入口扉31を開いて、図示しない搬入ラインの搬送装置と搬送装置71とを連動させて、被処理材8を準備室内に搬入する。
次いで、入口扉31と準備室シール扉32を閉じた状態で、真空弁309から真空引きを行い、準備室3内を減圧状態とする。
加熱室4は、その前後の準備室シール扉32と加熱室シール扉42とを閉じた状態で内部を真空弁409から真空引きを行い、減圧状態とする。そして、加熱室4と準備室3が略同じ減圧状態となった時点で、準備室シール扉32と断熱扉411を開くとともに、準備室3(加熱室4)の搬送装置72とを用いて被処理材8を加熱室4内に搬入する。そして、準備室シール扉32及び断熱扉411を閉じて、加熱室4の中央部を断熱、密閉状態とする。さらに上記の作動を繰り返し、2セットめの被処理材8を加熱室4へ搬入する。
加熱室4の窒素ガス導入弁408を開いて加熱室4内に窒素ガスを導入し、大気圧(600hPa)近くまで復圧し、ファン43で雰囲気ガスを撹拌しながら加熱ヒータ44の熱により被処理材8を対流加熱する。その後、被処理材8の温度が高温域に到達してからは、加熱室4内を真空弁409を介して減圧し、輻射伝熱を利用した真空加熱に切り替える。
加熱室4及び真空浸炭室5を減圧して同圧にした後に、加熱室4の断熱扉412、加熱室シール扉42、真空浸炭室5の断熱扉511を開けて、搬送装置72、73を用いて被処理材8を運搬し、加熱室4から真空浸炭室5へと移動させる。そして、加熱室シール扉42及び断熱扉511を閉じて、真空浸炭室5の中央部を断熱、密閉状態とする。
被処理材8を浸炭室ヒータ54で加熱し、浸炭処理に適した温度に到達した後、浸炭ガス導入弁508を開けて浸炭ガスを所定の時間導入する。このとき、真空弁509を開いておき、真空浸炭室5の真空状態を維持する。所定の浸炭処理時間が経過して浸炭処理が終了した後、浸炭ガス導入弁508を閉じて拡散処理を行う。
拡散処理終了後、真空浸炭室5と冷却室10内の圧力を同圧にした後、真空浸炭室5の断熱扉512と冷却室シール扉181を開ける。そして、搬送装置74〜76を用いて被処理材8を移動させ、冷却室10内に配置する。その後、冷却室シール扉181が閉じられ、冷却室10内は密閉状態となる。
被処理材8の冷却は、上述した減圧徐冷装置1の機能を活かして、様々な方法を実施できる。
一例を挙げると、まず、最初の30分間の処理は、冷却室10内を、上記の被処理材8の挿入時の0hPaの減圧状態から、200hPaまで復圧して、冷却ファン11の回転数を低速の100rpmまで落として運転する。さらに、上述した送風ガイド15、16を開状態(図1)として徐冷モードとする。これにより、非常に優れた徐冷効果を得る。
次いで、窒素ガスを窒素ガス導入弁108から導入して冷却室10内の圧力を600hPaに高めると共に、冷却ファン11の回転数を最大の1500rpmまで高める。さらに、上記送風ガイド15、16を閉状態(図2)として急冷モードとする。これにより、歪みの出にくい温度領域では効率のよい急速冷却を実現する。
被処理材8の冷却が完了した後、冷却室10に窒素ガスを導入して、大気圧状態に復圧する。その後、出口扉182を開け、冷却室10の搬送装置76及び図示しない搬出ラインの搬送装置を連動させて、の冷却室10から被処理材8を搬出する。
そして、ここで注目すべき点は、減圧徐冷装置1を組み入れているので、冷却初期に優れた徐冷効果が得られ、冷却後半には、効率のよい優れた急冷効果が得られることである。
このような相反する2つの効果が得られる減圧徐冷装置1を備えることによって、浸炭処理が必要な鋼部材の処理を非常に優れた寸法精度を維持したまま行うことができるのである。なお、その後焼入れ処理を行う場合には、歪みの出にくい高周波焼入れ方法を適用することが好ましく、これにより、上記の優れた寸法精度を維持することが可能である。
図5に示すごとく、本例のヒートパターンは、60分間の昇温パターンP1と60分間の均熱パターンP2と60分間の冷却パターンP3を組み合わせたものである。それぞれ、上述した加熱室4、真空浸炭室5および冷却室10において行う。
第1の例の熱処理治具91は、図7に示すごとく、リング状の本体部810を有するリング状部材81の軸心を垂直方向にして載置する熱処理治具である。同図に示すごとく、熱処理治具91は、多数の空隙910を設けた骨格構造を有しており、冷却ガスが流通可能となっている。また、熱処理治具91は、複数の位置決め突起部912を有しており、各リング状部材81の載置位置を容易に定めることができるように構成されている。
この熱処理治具91は、リング状の本体部810の肉厚が薄い場合、さらに位置決め突起部912と歯面が当接しない内歯歯車の場合に適しており、リング状部材81の自重による変形を回避することができる。
この例の熱処理治具92は、リング状部材82のリング状の本体部820の肉厚が比較的厚く、内径側から吊り下げても自重による変形がほとんどない場合、さらに吊り枠925に歯面が当接しない外歯歯車の場合には、積載量を増やすことができ、最適である。
本例は、実施例1における減圧徐冷装置1の内部構成を変更した例である。
すなわち、図9、図10に示すごとく、本例の減圧徐冷装置1bは、整流板141b、145bを下方に行くほど両者の間が広くなるように傾斜して設け、その内側面および外側面にそれぞれ縦整流板19bを設けた。
その他の構成は、実施例1と同様である。
その他は実施例1と同様の作用効果が得られる。
本例は、実施例1における減圧徐冷装置1の内部構成を変更した例である。
すなわち、図11、図12に示すごとく、本例の減圧徐冷装置1cは、整流板141c、145cを、上端の回転軸140cを中心に揺動可能とし、処理製品に応じて中央流路の間隔を変更できるよう構成した。また、同図に示すごとく、冷却ファン11にはハウジングを設けなかったが、冷却ガスを下方中央から吸引し、側方へ吐出するように構成してある。
本例の減圧徐冷装置1cによれば、上記のごとく、左右の整流板141c、145cの位置を変更できるので、処理品に応じて最適な冷却ガス循環路を形成することができる。さらに、冷却ファン11の回転数を変えなくても、左右の整流板141c、145cの位置を変更することによって中央流路104を通る冷却ガスの流速を変更できるので、さらにきめ細かい処理条件を実現することができる。
その他は実施例1と同様の作用効果が得られる。
本例は、実施例1における減圧徐冷装置1の内部構成を変更した例である。
すなわち、図13、図14に示すごとく、本例の減圧徐冷装置1dは、整流板141d、145dを断面略C字状に構成し、内側に空洞を設けた。また、整流板141d、145dの内側面および外側面には、いずれも縦整流板を設けなかった。
本例の減圧徐冷装置1dによれば、上記のごとく、左右の整流板141d、145dの形状を断面略C字状としたことによって、これらの整流板141d、145dと被処理材8との間にスペースを確保しやすくなり、冷却ガスの流れが整い、被処理材を均等に冷却できるという効果を得ることができる。その他は実施例1と同様の作用効果が得られる。
10 冷却室
11 冷却ファン
12、13 熱交換器
15、16 送風ガイド
2 熱処理装置
3 準備室
4 加熱室
5 真空浸炭室
6 浸炭処理装置
Claims (10)
- 被処理材を収容した状態で密閉可能な冷却室と、
該冷却室内を減圧する減圧装置と、
上記冷却室内において冷却ガスを循環させると共に、その循環速度を変更可能な冷却ファンと、
上記冷却ガスを冷却するための熱交換器と、
上記冷却ガスの循環経路を切り替える送風ガイドとを有しており、
該送風ガイドの操作により、上記冷却ガスを上記熱交換器に接触させて循環させる急冷モードと、上記冷却ガスを上記熱交換器に接触させることなく循環させる徐冷モードとのいずれかに切替可能に構成されていることを特徴とする減圧徐冷装置。 - 請求項1において、上記冷却室内には、上記被処理材に接触することなくその周囲に上記冷却ガスを通す側方流路と、上記被処理材に接触するよう上記冷却ガスを通す中央流路とを区分する整流板が配設されており、
上記冷却ファンを配設したファン設置ゾーンから送られた上記冷却ガスが、上記側方流路又は上記中央流路を通って、上記ファン設置ゾーンの位置と反対側に位置する折り返しゾーンに送られ、該折り返しゾーンから上記中央流路又は上記側方流路を通って上記ファン設置ゾーンに戻るように構成されており、
上記熱交換器及び上記送風ガイドは、上記折り返しゾーンに配置されていることを特徴とする減圧徐冷装置。 - 請求項2において、上記折り返しゾーンは、上記側方流路と上記中央流路との間を連通させるU字状流路を有しており、上記送風ガイドは、該U字状流路内に揺動支点を有する揺動可能なガイド板よりなり、揺動位置によって上記U字状流路内の循環経路を内周側経路と外周側経路に切り替え可能に構成されており、上記熱交換器は、上記内周側経路又は上記外周側経路のいずれか一方のみに配設されていることを特徴とする減圧徐冷装置。
- 鋼部材よりなる被処理材の浸炭処理を行うための浸炭処理装置と、
該浸炭処理を終えた上記被処理材を冷却するための徐冷装置とを有してなり、
該徐冷装置は、請求項1〜3のいずれか1項に記載の減圧徐冷装置よりなることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。 - 請求項4において、上記浸炭処理装置は、上記被処理材を収容して加熱する加熱室と、加熱された上記被処理材を収容して減圧下の浸炭ガス中において浸炭処理する真空浸炭室とを別個に有していることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。
- 請求項5において、上記加熱室、上記真空浸炭室、及び上記減圧徐冷装置の上記冷却室は、それぞれ個別に内部の減圧状態を調整可能であると共に雰囲気ガスの導入を個別に制御可能に構成されており、上記加熱室、上記真空浸炭室、及び上記冷却室を順次移動するように上記被処理材を移動させる搬送装置を設けてあることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。
- 請求項6において、上記加熱室の上記搬入口には準備室が連結されており、該準備室は、独自に減圧可能に構成されていることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。
- 請求項6又は7において、上記搬送装置は、上記被処理材を複数保持した熱処理治具を搬送可能に構成されていることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。
- 請求項8において、上記被処理材は、リング状の本体部を有するリング状部材であり、該リング状部材の軸心を垂直方向にして上記熱処理治具上に載置して、又は上記リング状部材の軸心を水平方向にして上記熱処理治具に設けた吊り枠に吊した状態で搬送するよう構成されていることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。
- 請求項9において、上記被処理材は、上記本体部の外周面又は内周面に歯部を有する歯車部材であることを特徴とする鋼部材の熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006125643A JP4724596B2 (ja) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 減圧徐冷装置及び鋼部材の熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006125643A JP4724596B2 (ja) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 減圧徐冷装置及び鋼部材の熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007297664A JP2007297664A (ja) | 2007-11-15 |
JP4724596B2 true JP4724596B2 (ja) | 2011-07-13 |
Family
ID=38767401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006125643A Active JP4724596B2 (ja) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 減圧徐冷装置及び鋼部材の熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4724596B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009287085A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Ihi Corp | 熱処理装置および熱処理方法 |
JP5828394B2 (ja) * | 2011-10-24 | 2015-12-02 | 三菱自動車工業株式会社 | 被処理物の焼入装置 |
JP6476535B2 (ja) * | 2015-05-01 | 2019-03-06 | 株式会社不二越 | 焼入装置および焼入方法 |
KR101866712B1 (ko) * | 2018-02-01 | 2018-06-11 | 이준연 | 특수강의 담금질 방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5783165U (ja) * | 1980-11-08 | 1982-05-22 | ||
JPS61518A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-06 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空熱処理炉 |
JPS6381853U (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-30 | ||
JPH1121631A (ja) * | 1997-07-07 | 1999-01-26 | Ntn Corp | 薄板部品の焼入れ方法 |
JP2004285386A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Fuji Heavy Ind Ltd | 熱処理用治具 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5947553B2 (ja) * | 1980-11-12 | 1984-11-20 | 富士電機株式会社 | サイクロコンバ−タにおける電流制御装置 |
JPS6381853A (ja) * | 1986-09-25 | 1988-04-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
2006
- 2006-04-28 JP JP2006125643A patent/JP4724596B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5783165U (ja) * | 1980-11-08 | 1982-05-22 | ||
JPS61518A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-06 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 真空熱処理炉 |
JPS6381853U (ja) * | 1986-11-14 | 1988-05-30 | ||
JPH1121631A (ja) * | 1997-07-07 | 1999-01-26 | Ntn Corp | 薄板部品の焼入れ方法 |
JP2004285386A (ja) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | Fuji Heavy Ind Ltd | 熱処理用治具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007297664A (ja) | 2007-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5577573B2 (ja) | 真空浸炭処理方法および真空浸炭処理装置 | |
JP4428268B2 (ja) | 熱処理炉 | |
JP4724596B2 (ja) | 減圧徐冷装置及び鋼部材の熱処理装置 | |
JPH08199331A (ja) | ガス浸炭方法及びその装置 | |
WO2013047762A1 (ja) | 冷却装置 | |
JP5167640B2 (ja) | 熱処理設備 | |
JP2014077629A (ja) | 内部に保護ガスが導入される気密工業炉、特に、チャンバ炉、プッシャ炉、ロータリーハース炉またはリング型ハース炉 | |
JP2013087359A (ja) | 被処理物の焼入装置 | |
JP3490791B2 (ja) | 多室熱処理炉 | |
JP4849785B2 (ja) | 真空熱処理設備 | |
JP2005009702A (ja) | 多室型真空熱処理装置 | |
US20170254592A1 (en) | Thermal treatment device | |
JP2000129341A (ja) | 低歪み焼入れ方法 | |
JP2009185349A (ja) | 多室型熱処理炉 | |
JP5686918B1 (ja) | 熱処理設備 | |
WO2013047761A1 (ja) | 内燃機関用カムシャフトの製造方法 | |
JPH0452214A (ja) | 真空熱処理炉 | |
JP5092170B2 (ja) | 浸炭焼入れ方法及び浸炭焼入れ装置 | |
JP3537049B2 (ja) | 連続真空浸炭方法およびその装置 | |
JP2009046700A (ja) | 熱処理方法及び熱処理設備 | |
JP2001220659A (ja) | 間欠駆動式真空浸炭炉 | |
JP4544537B2 (ja) | 浸炭装置および浸炭方法 | |
JP6827685B2 (ja) | 熱処理設備 | |
KR20180077729A (ko) | 담금질 장치 | |
JP2004079794A (ja) | 半導体製造装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080922 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20091208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101102 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110315 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110411 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140415 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4724596 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R370 | Written measure of declining of transfer procedure |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R370 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |