JP6461279B2 - フィルム部材貼り付け装置、フィルム部材貼り付け方法及び静電気除去部材 - Google Patents

Description

本発明は、フィルム部材貼り付け装置、フィルム部材貼り付け方法及び静電気除去部材
に関する。

リリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材からリリースフィルムを剥離した後に、リリースフィルムが剥離されたフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けるフィルム部材貼り付け装置が種々提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

図９は、特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置の要部を取り出して示す図である。なお、特許文献１においては「プラスチックフィルム貼り合わせ装置」としているが、この明細書においては、「フィルム部材貼り付け装置」として説明する。

特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置は、図９に示すように、リリースフィルム８１０が剥離可能に貼付されているフィルム部材８２０からリリースフィルム８１０を剥離する剥離装置（剥がしユニットともいう）８３０を備える。当該剥離装置８３０には、剥離部（剥がし部ともいう）８４０が設けられており、当該剥離部８４０の先端には鋭角をなす折り返し部８４１が形成されている。そして、リリースフィルム８１０は、剥離部８４０で折り返されたのちにロール８５０によって進行方向を変えて矢印ｘ’方向に進行するように構成されている。

このような剥離装置８３０において、リリースフィルム８１０をフィルム部材８２０から剥離する際には、剥離装置８３０の上面において、フィルム部材８２０を吸着装置（図示せず。）によって吸着した状態として、剥離装置８３０を矢印ｘ方向にスライドさせる。これにより、フィルム部材８２０からリリースフィルム８１０を剥離することができる。

一方、吸着装置によって吸着されたフィルム部材８２０は、被貼り付け部材（図示せず。）の所定の貼り付け位置に移送されて当該貼り付け位置に貼り付けられる。

特開２０１１−２５１８０５号公報

しかしながら、本発明の発明者らの実験により、特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置においては、以下のような改善すべき課題があることが分かった。

すなわち、特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置においては、剥離装置によりフィルム部材からリリースフィルムを剥離する際に、フィルム部材の接着面に静電気が帯電することがあり、いったんフィルム部材の接着面に静電気が帯電すると、フィルム部材に埃やゴミなどが付着し易くなるとともに、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが困難となる。また、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けた後も、フィルム部材と被貼り付け部材とを貼り付けて得られる製品（例えば、液晶パネル）に静電気が残存する。その結果、これらに起因して製品の品質を劣化させるおそれがあるという課題である。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、剥離装置によりフィルム部材からリリースフィルムを剥離する際にフィルム部材の接着面に静電気が帯電したとしても、フィルム部材と被貼り付け部材とを貼り付けて得られる製品の品質を劣化させるおそれのないフィルム部材貼り付け装置及びフィルム部材貼り付け方法を提供することを目的とする。また、そのようなフィルム部材貼り付け方法に用いる静電気除去部材を提供することを目的とする。

［１］本発明のフィルム部材貼り付け装置は、一方の面が接着面となっており、当該接着面にリリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材から前記リリースフィルムを剥離しながら前記フィルム部材を進行させて行き、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点に前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付けて行くフィルム部材貼り付け装置であって、前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥離する剥離装置と、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の前記進行方向先端部を前記被貼り付け部材の前記貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点に前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付ける貼り付け装置と、前記剥離装置と前記貼り付け装置との間に配設され、前記フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材とを備え、当該静電気除去部材により、前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥離する際に前記フィルム部材の前記接着面に帯電することがある静電気を除去することを特徴とする。

本発明のフィルム部材貼り付け装置によれば、上記のように構成された静電気除去部材により、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する際にフィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去することが可能となることから、フィルム部材に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けた後も、フィルム部材と被貼り付け部材とを貼り付けて得られる製品（例えば、液晶パネル）に静電気が残存しなくなる。その結果、これらに起因して製品の品質を劣化させるおそれがなくなり、本発明の目的が達成できる。

この場合、静電気除去部材は、フィルム部材との接触面が非粘着性を有する接触面（非粘着性の表面加工が施されている接触面）であることから、静電気除去部材とフィルム部材との接触時に生じる摩擦を低減することができる。また、静電気除去部材が金属からなり電気的に接地されているうえ、フィルム部材との接触面が導電性を有する接触面（導電性の表面加工が施されている接触面、言い換えると、粘着性の表面加工を施された後でも導電性が維持されている接触面）であることから、高い静電気除去効果が得られる。

［２］本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記静電気除去部材として、「前記フィルム部材の進行をガイドするガイド面であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有するガイド部材」を備えることが好ましい。

本態様のフィルム部材貼り付け装置によれば、リリースフィルムが剥離されたフィルム部材を貼り付け部材の貼り付け始端に向けてガイドすることが可能となるため、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、その過程で、静電気を除去することも可能となることから、さらに高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。

［３］本発明のフィルム部材貼り付け装置においては、前記フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルム若しくは保護フィルム又は電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムであり、前記被貼り付け部材は、前記液晶パネルに用いられるガラス基板若しくは合成樹脂基板又は電子機器に用いられる電子回路基板であることが好ましい。

本態様のフィルム部材貼り付け装置によれば、液晶パネルに用いられる偏光フィルム又は保護フィルムを液晶パネルに用いられるガラス基板又は合成樹脂基板に精度よく貼り付けたり、電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムを電子機器に用いられる電子回路基板に貼り付けたりすることができるため、高品質な液晶パネルや電子機器を製造することに寄与できる。

［４］本発明のフィルム部材貼り付け方法は、一方の面が接着面となっており、当該接着面にリリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材から前記リリースフィルムを剥離しながら前記フィルム部材を進行させて行き、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点に前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付けて行くフィルム部材貼り付け方法であって、前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥離する剥離工程と、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の前記進行方向先端部を前記被貼り付け部材の前記貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点に前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付ける貼り付け工程とをこの順序で含み、前記剥離工程と、前記貼り付け工程との間に、「前記フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材」を用いて、前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥離する際に前記フィルム部材の前記接着面に帯電することがある静電気を除去する静電気除去工程とをさらに含むことを特徴とする。

本発明のフィルム部材貼り付け方法によれば、上記のように構成された静電気除去部材により、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する際にフィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去することが可能となることから、上記した本発明のフィルム部材貼り付け装置の場合と同様に、フィルム部材に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けた後も、フィルム部材と被貼り付け部材とを貼り付けて得られる製品（例えば、液晶パネル）に静電気が残存しなくなる。その結果、これらに起因して製品の品質を劣化させるおそれがなくなり、本発明の目的が達成できる。

この場合、静電気除去部材は、フィルム部材との接触面が非粘着性を有する接触面（非粘着性の表面加工が施されている接触面）であることから、静電気除去部材とフィルム部材との接触時に生じる摩擦を低減することができる。また、静電気除去部材が金属からなり電気的に接地されているうえ、フィルム部材との接触面に導電性を有する接触面（導電性の表面加工が施されている接触面、言い換えると、粘着性の表面加工を施された後でも導電性が維持されている接触面）であることから、高い静電気除去効果が得られる。

［５］本発明のフィルム部材貼り付け方法においては、前記静電気除去工程においては、前記静電気除去部材としての、「前記フィルム部材の進行をガイドするガイド面であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有するガイド部材」を用いて、前記フィルム部材の前記接着面に帯電することがある静電気を除去することが好ましい。

本態様のフィルム部材貼り付け方法によれば、リリースフィルムが剥離されたフィルム部材を貼り付け部材の貼り付け始端に向けてガイドすることが可能となるため、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、その過程で、静電気を除去することも可能となることから、さらに高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。

［６］本発明のフィルム部材貼り付け方法においては、前記フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルム若しくは保護フィルム又は電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムであり、前記被貼り付け部材は、前記液晶パネルに用いられるガラス基板若しくは合成樹脂基板又は電子機器に用いられる電子回路基板であることが好ましい。

本態様のフィルム部材貼り付け方法によれば、液晶パネルに用いられる偏光フィルム又は保護フィルムを液晶パネルに用いられるガラス基板又は合成樹脂基板に精度よく貼り付けたり、電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムを電子機器に用いられる電子回路基板に貼り付けたりすることができるため、高品質な液晶パネルや電子機器を製造することに寄与できる。

［７］本発明の静電気除去部材は、本発明のフィルム部材貼り付け方法に用いる静電気除去部材であって、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなることを特徴とする。

本発明の静電気除去部材によれば、本発明のフィルム部材貼り付け装置及び方法に好適に用いることができる。

［８］本発明の静電気除去部材は、本発明のフィルム部材貼り付け方法に用いる静電気除去部材であって、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなりかつ電気的に接地されていることを特徴とする。

本発明の静電気除去部材によれば、本発明のフィルム部材貼り付け装置及び方法に好適に用いることができる。

［９］本発明の静電気除去部材においては、前記静電気除去部材は、前記フィルム部材の進行をガイドするガイド面であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有するガイド部材であることが好ましい。

本態様の静電気除去部材によれば、リリースフィルムが剥離されたフィルム部材を貼り付け部材の貼り付け始端に向けてガイドすることが可能となるため、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、その過程で、静電気を除去することも可能となることから、さらに高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。

［１０］本発明の静電気除去部材においては、前記フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルム若しくは保護フィルム又は電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムであり、前記被貼り付け部材は、前記液晶パネルに用いられるガラス基板若しくは合成樹脂基板又は電子機器に用いられる電子回路基板であることが好ましい。

本態様の静電気除去部材によれば、液晶パネルに用いられる偏光フィルム又は保護フィルムを液晶パネルに用いられるガラス基板又は合成樹脂基板に貼り付けたり、電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムを電子機器に用いられる電子回路基板に貼り付けたりする際に用いることができるため、高品質な液晶パネルや電子機器を製造することに寄与できる。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１を説明するために示す図。 偏光フィルム３０を説明するために示す図。 ガイド部材１３０及び押さえロール１４０を説明するために示す図。 実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１における偏光フィルム３０の貼り付け動作を説明するために示す図。 実施形態２に係るフィルム部材貼り付け装置２を説明するために示す図。 実施形態３に係るフィルム部材貼り付け装置３を説明するために示す図。 実施形態４に係るフィルム部材貼り付け装置４を説明するために示す図。 実施形態５に係るフィルム部材貼り付け装置５を説明するために示す図。 特許文献１に記載されているフィルム部材貼り付け装置の要部を取り出して示す図

以下、本発明の実施形態について説明する。各実施形態において、フィルム部材貼り付け装置は、リリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材からリリースフィルムを剥離しながらフィルム部材を進行させて行き、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けて行くフィルム部材貼り付け装置である。なお、フィルム部材は被貼り付け部材のフィルム部材貼り付け面における貼り付け始端を起点に当該フィルム部材貼り付け面に貼り付けられて行くものであるが、この明細書においては、「フィルム部材貼り付け面」を省略して、例えば、「被貼り付け部材の貼り付け始端を起点に貼り付けられて行く」と表記したり、単に「被貼り付け部材に貼り付けられて行く」と表記したりする。

なお、後述する実施形態１〜５に係るフィルム部材貼り付け装置１〜５においては、フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルムであるとし、また、被貼り付け部材は、液晶パネルに用いられるガラス基板であるとする。ここで、フィルム部材（偏光フィルム）のサイズは特に限定されるものではないが、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、被貼り付け部材（ガラス基板）が、例えば、長辺（縦）１５００ｍｍ×短辺（横）９００ｍｍ程度の比較的大きいサイズであるとし、このようなサイズを有する被貼り付け部材の横方向の辺及び縦方向の辺からそれぞれ５ｍｍ程度の余白を有して貼り付けることができるサイズ（例えば、長辺（縦）１４９０ｍｍ×短辺（横）８９０ｍｍ程度）を有するものであるとする。

なお、液晶パネルは、一般的には、液晶層の表側及び裏側に設けられる２枚のガラス基板（表側のガラス基板及び裏側のガラス基板）に、偏光方向が直交する偏光フィルムを貼付した構成となっているが、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、表側のガラス基板及び裏側のガラス基板のうちの一方の面に用いるガラス基板に偏光フィルムを貼付する場合について説明する。以下、実施形態１〜５に係るフィルム部材貼り付け装置１〜５について詳細に説明する。

［実施形態１」
１．実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１、フィルム部材貼り付け方法及び静電気除去部材１９０
図１は、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１を説明するために示す図である。なお、図１は実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１を模式的に示す図である。実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１は、図１に示すように、被貼り付け部材としてのガラス基板１０を載置するテーブル２０と、フィルム部材としての偏光フィルム３０（図２参照。）からリリースフィルム４０を剥離しながら偏光フィルム３０を進行させて行き、当該偏光フィルム３０の進行方向先端部３０ａが、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達するように偏光フィルム３０を供給するフィルム部材供給機構部１００と、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１の各構成要素を制御する制御機能を有する制御装置２００と、備えている。なお、制御装置２００が有する制御機能については後述する。

また、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、フィルム部材供給機構部１００を固定として、テーブル２０を移動（ｘ軸に沿って移動）させることにより、偏光フィルム３０をガラス基板１０に貼り付ける動作を行うものとして説明する。図１においては、テーブル２０は、ガラス基板１０に偏光フィルム３０を貼り付ける動作を行う位置に移動した状態となった場合を示している。

フィルム部材供給機構部１００は、偏光フィルム３０が進行する方向とはほぼ反対方向にリリースフィルム４０を折り返すことによって偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がす剥がしロール１１０と、剥がしロール１１０で折り返されたリリースフィルム４０を進行させるリリースフィルム進行機構部１２０と、剥がしロール１１０によってリリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の進行をガイドするガイド面１３１を有するガイド部材１３０と、偏光フィルム３０の進行方向先端部３０ａ（以下、先端部３０ａと略記する。）が、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達すると、当該貼り付け始端１０ａにおいて当該偏光フィルム３０の先端部３０ａを貼り付け始端１０ａに押さえ付ける押さえロール１４０と、偏光フィルム３０の所定部分（後述する。）を撮像可能に設置されたカメラ１５０と、を有している。

なお、剥がしロール１１０は、ベアリングを有するロールが用いられている。これにより、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がす際に、リリースフィルム４０を小さい力でスムーズに剥がすことができる。

また、フィルム部材供給機構部１００は、上記した構成要素の他に、偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）を屈曲させて進行させるロール１６１，１６２が設けられている。また、偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）を送り出す送り出し機構部及び進行路の中途部に設けられているダンサーロールなども存在するが、これらの図示は省略する。

なお、図１においては、偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）は、ロール１６１によって、大きな角度で下方向に屈曲されたのちに、ロール１６２によってｘｙ平面に対して所定角度（実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては３０度とする。）となるように屈曲されて剥がしロール１１０に到達する。このように、偏光フィルム３０（リリースフィルム４０が貼付されている状態の偏光フィルム３０）は、当該偏光フィルム３０の進行路上において、ロール１６１，１６２などにより、進行方向が下方向に屈曲したり斜め方向となったりするが、当該偏光フィルム３０の進行方向は、全体的には、ｘ軸に沿って図示の右から左に向かう方向（矢印ｘ’方向）であるとする。このため、この明細書においては、偏光フィルム３０の進行方向について述べる場合には、「ｘ軸に沿った矢印ｘ’方向」又は「図示の右から左方向」というように表記する。

図２は、偏光フィルム３０を説明するために示す図である。図２（ａ）は偏光フィルム３０の平面図であり、図２（ｂ）は偏光フィルム３０の断面図である。偏光フィルム３０は、図２に示すように、長尺状となっており、長尺のリリースフィルム４０が偏光フィルム本体３２に対して接着層３４を介して剥離可能に貼付されている。当該偏光フィルム３０は、貼り付け対象となる個々のガラス基板１０（図１参照。）に対応したサイズに個片化できるように、リリースフィルム４０を残して所定の長さごとに切れ目が設けられている。例えば、ガラス基板１０の長辺（１５００ｍｍとする。）がｘ軸に沿うようにテーブル２０上に載置される場合においては、偏光フィルム３０の長辺（１４９０ｍｍとする。）ごとに、リリースフィルム４０を残して切れ目Ｃ１，Ｃ２，・・・が設けられている。

なお、図２に示す長尺状の偏光フィルム３０において、個々のガラス基板に対応した偏光フィルムを個々に説明する場合には、個々の偏光フィルムを、図２における左側から順に、第１偏光フィルム３０、第２偏光フィルム３０、・・・というように説明する。なお、切れ目Ｃ１，Ｃ２，・・・は、個々の偏光フィルム３０においては進行方向後端部（以下、後端部と略記する。）となる場合もあり、また、先端部となる場合もある。例えば、第１偏光フィルム３０に注目した場合には、切れ目Ｃ１は、当該第１偏光フィルム３０の後端部３０ｂとなり、また、第２偏光フィルム３０に注目した場合には、切れ目Ｃ１は、当該第２偏光フィルム３０の先端部３０ａとなる。

図１に戻って、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１の個々の構成要素についてさらに詳細に説明する。

テーブル２０は、ステージ５０に敷設されているガイドレール６０上をｘ軸に沿って矢印ｘ−ｘ’方向に往復動可能となっている。また、テーブル２０は、ｘ軸に沿った往復動だけでなく、ｙ軸に沿った位置調整とｘｙ平面上での角度調整が可能となっている。なお、テーブル２０のｘ軸に沿った往復動、ｙ軸に沿った位置調整及びｘｙ平面上での角度調整を行うための制御は、制御装置２００が有する制御機能の１つとして行うことができる。また、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、テーブル２０、ステージ５０及びガイドレール６０は、例えば鉄などの金属からなるものとする。

リリースフィルム進行機構部１２０は、剥がしロール１１０で折り返されたリリースフィルム４０を矢印ｘ方向に進行させる機能を有している。なお、剥がしロール１１０で折り返されたリリースフィルム４０の進行方向（矢印ｘ方向）を「リリースフィルム進行方向」とする。

リリースフィルム進行機構部１２０は、剥がしロール１１０で折り返されたリリースフィルム４０の進行方向下流側に設置されているダンサーロール１２５と、複数のロール（例えば、ロール１２１〜１２４）と、剥がしロール１１０と当該ダンサーロール１２５との間（具体的には、ロール１２２とロール１２３との間）に設けられているフィーダー機構部１２６と、ダンサーロール１２５のさらに下流側に設けられ、リリースフィルム４０を巻き取るための巻き取りロール（図示せず。）などが設けられている。

フィーダー機構部１２６は、リリースフィルム４０をクランプするための複数のクランパー１２７を有し、ｘ軸に沿って矢印ｘ−ｘ’方向に往復動可能となっている。このフィーダー機構部１２６は、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達させるための機能を有している。

フィーダー機構部１２６のこのような動作は、制御装置２００が有する制御機能の１つとして行われる。この場合、制御装置２００は、カメラ１５０からの撮影データに基づいて偏光フィルム３０の所定部分（例えば後端部３０ｂ）の位置（ｘ軸に沿った位置）を監視して、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達するようにフィーダー機構部１２６を制御する。

制御装置２００によるフィーダー機構部１２６に対する制御の一例としては、例えば、制御装置２００は、カメラ１５０からの撮影データに基づいて、現時点において貼り付け対象となっている偏光フィルム（第１偏光フィルム３０とする。）の後端部３０ｂ（当該第１偏光フィルム３０と第２偏光フィルム３０との間の切れ目Ｃ１）の位置を監視し、当該後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置が目標位置に到達するまで、フィーダー機構部１２６を動作させる。

具体的には、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに正しく到達しているときの当該偏光フィルム３０の後端部３０ｂの位置を「目標位置」として予め求めておき、制御装置２００は、現時点において貼り付け対象となっている第１偏光フィルム３０の後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置が目標位置に達するまで、リリースフィルム４０をリリースフィルム進行方向に進行させる。これにより、当該第１偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに精度よく到達させることができる。

そして、偏光フィルム３０の後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置が目標位置に到達すると、リリースフィルム４０のクランプ動作を解除して、フィーダー機構部１２６を元の位置に復帰させるように制御する。

なお、カメラ１５０は、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、現時点において貼り付け対象となっている第１偏光フィルム３０の後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置を監視するようにしているが、これは、カメラ１５０を、仮に、現時点において貼り付け対象となっている第１偏光フィルム３０の先端部３０ａの位置を監視しようとすると、押さえロール１４０の存在（図１参照。）などにより、カメラ１５０を設置するためのスペースに余裕がないためである。但し、カメラ１５０を設置するためのスペースに余裕があれば、現時点において貼り付け対象となっている第１偏光フィルム３０の先端部３０ａの位置を監視するようにしてもよい。

続いて、ガイド部材１３０及び押さえロール１４０について図３を参照して説明する。
図３は、ガイド部材１３０及び押さえロール１４０を説明するために示す図である。図３（ａ）は図１の押さえロール１４０及び図１において破線枠Ａで囲った範囲をそれぞれ拡大して示す図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）をｚ軸に沿って上から見た図（平面図）である。なお、図３（ｂ）においては、図３（ａ）で示されている押さえロール１４０は図示が省略されている。

まずは、ガイド部材１３０について説明する。ガイド部材１３０は、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の進行をガイドする役目をなすものである。なお、図３も図１と同様に模式図であるため、当該ガイド部材１３０の取り付け構造は図示が省略されているが、当該ガイド部材１３０は、ステージ５０から立設されている支持部材（図示せず。）に取り付けられている。当該支持部材も例えば鉄などの金属からなる。また、ガイド部材１３０は、例えば、ステンレス鋼などの金属によって形成されており、当該ガイド部材１３０のガイド面１３１（偏光フィルム３０と接する側の面）には、接着剤の付着を防ぐ非粘着性の表面加工が施されている。これは、偏光フィルム３０は、一方の面が接着性を有する接着面となっているためである。

すなわち、偏光フィルム３０の接着面にはリリースフィルム４０が剥離可能に貼付されていて、リリースフィルム４０が剥がされた状態の偏光フィルム３０の一方の面（リリースフィルム４０が貼付されている側の面）は、接着性を有しているため、ガイド部材１３０のガイド面１３１に接着剤の付着を防ぐ非粘着性の表面加工が施されていないと、偏光フィルム３０の接着面がガイド部材１３０のガイド面１３１に付着してしまい、偏光フィルム３０がガイド部材１３０のガイド面１３１に沿ってスムーズに進行できないこととなるからである。

接着剤の付着を防ぐ非粘着性の表面加工は、公知の技術であり、例えば、「トシカルＳ（登録商標）コーティング加工」と呼ばれる表面加工の技術を採用することができる。このような表面加工（トシカル（登録商標）Ｓのコーティング被膜形成加工／株式会社トシコ）をガイド部材１３０のガイド面１３１に施すことによって、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の接着面がガイド部材１３０のガイド面１３１に付着することなく、偏光フィルム３０をスムーズに進行させてガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに進行させることができる。トシカル（登録商標）Ｓとしては、例えば、ＵＮＡ−３００シリーズ（ＵＮＡ−３１０−Ｘ１０）、ＵＮＡ−８００シリーズ、ＴＳ−１０００シリーズ、ＴＳ−１０８０シリーズ、ＴＳ−１３１０シリーズのものを好適に用いることができる。

トシカル（登録商標）Ｓのコーティング被膜の膜厚は、例えば、１μｍ〜２００μｍ、好ましくは３μｍ〜１５０μｍのものを好適に用いることができる。トシカル（登録商標）Ｓのコーティング被膜を形成する前に、ガイド部材１３０のガイド面１３１に凹凸構造を形成しておいてもよい。この場合の凹凸構造の平均表面粗さＲａとしては、２μｍ〜１５μｍのものを好適に用いることができる。

また、ガイド部材１３０は、当該ガイド部材１３０の先端部１３２がエッジとなっているとともに、ガイド面１３１がガラス基板１０に対して鋭角の傾斜を有している。具体的には、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、ガイド部材１３０は、３角形のブロック状とし、先端部１３２が鋭角をなしている。

このように構成されているガイド部材１３０は、図３（ａ）に示すように、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが、押さえロール１４０の押圧点Ｐを通る垂線Ｌ上の位置（貼り付け動作開始位置という。）に到達したときにおいて、ガイド面１３１の延長上にガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが位置するように設置されている。また、当該ガイド部材１３０は、テーブル２０に載置されているガラス基板１０に接触しないような高さ（ｚ軸に沿った位置）で、かつ、先端部１３２とガラス基板１０との段差が小さくなるような高さに設置されている。なお、押さえロール１４０の「押圧点Ｐ」というのは、押さえロール１４０が偏光フィルム３０を押さえ付ける動作を行う際に、偏光フィルム３０に対して押圧力を与える点を指すものとする。

ここで、ガイド面１３１の傾斜角度、すなわち、ガイド面３１とｘｙ平面とのなす角度θ（ガイド面１３１とテーブル２０に載置されているガラス基板１０とのなす角度θ）は、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、３０度に設定されているものとする。なお、ガイド面１３１とガラス基板１０とのなす角度θは、厳密に３０度とする必要はなく、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａにスムーズに到達できればよい。

また、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが貼り付け動作開始位置に到達したときにおけるガイド部材１３０の先端部１３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔（ｘ軸に沿った間隔）ｄは、可能な限り狭くするようにガイド部材１３０が設置されることが好ましい。なお、間隔ｄは、ガイド面１３１の傾斜角度などによって異なるが、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、間隔ｄを１５ｍｍとしている。

また、ガイド部材１３０は、電気的に接地（アース）されている。具体的には、ガイド部材１３０は、前述したように、ステージ５０（図１参照。）に立設されている支持部材（図示せず。）に取り付けられており、これら支持部材及びステージ５０はともに金属からなるため、ガイド部材１３０は、当該支持部材及びステージ５０を介して電気的に接地（アース）されたものとなっている。ところで、ガイド部材１３０のガイド面１３１には、前述したような非粘着性の表面加工（例えば、「トシカルＳ（登録商標）コーティング加工」と呼ばれる表面加工）が施されているが、このような表面加工が施されていてもガイド面１３１の導電性は損なわれることがない。

なお、図１は実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１を模式的に示す図であるため、ステージ５０の具体的な設置状態などについては示されていないが、ステージ５０は工場などの床に電気的に接地（アース）された状態で設置されているものとする。これにより、ガイド部材１３０はそのガイド面１３１を含めて、支持部材及びステージ５０を介して電気的に接地（アース）されたものとなる。

以上説明したように、ガイド部材１３０は、当該ガイド部材１３０の先端部１３２がエッジとなっているため、当該ガイド部材１３０の先端部１３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔を可能な限り狭くすることができるとともに、ガイド部材１３０の先端部１３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間の段差を可能な限り小さくできる。これにより、折返し部を、例えば丸みを有する折返し部とする場合（図７における破線円Ｂ参照。）に比べて、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達するまでの距離を短くすることができ、偏光フィルム３０が貼り付け始端１０ａに到達するまでの間において、自重によって撓んでしまうといったことを防止できる。それによって、ガイド面１３１を進行する偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに精度よく到達させることができる。また、ガイド部材１３０は、当該ガイド面１３１の延長上にガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが位置するように設置されているため、これによっても、ガイド面１３１を進行する偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに精度よく到達させることができる。

また、ガイド部材１３０が電気的に接地（アース）されていることにより、フィルム部材としての偏光フィルム３０に静電気が帯電した場合であっても、偏光フィルム３０に帯電した静電気を除去できる。偏光フィルム３０に帯電した静電気を除去できることにより、偏光フィルム３０に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、偏光フィルム３０を被貼り付け部材としてのガラス基板１０に貼り付ける動作を行う際に、高精度にフィルム部材をガラス基板１０に貼り付けることができる。また、偏光フィルム３０が貼り付けられたガラス基板１０を次の工程に送る際に、静電気が帯電したままの状態で次の工程に送られてしまうことを防ぐことができる。

続いて、押さえロール１４０について説明する。押さえロール１４０は、図３（ａ）に示すように、径の異なる２個のロール１４１，１４２が垂線Ｌに沿った２段重ねの構成となっており、それぞれの回転軸１４１ａ，１４２ａが、偏光フィルム３０の先端部３０ａに沿う方向（ｙ軸に沿う方向）となるように設置されている。第１押さえロール１４１，１４２は、それぞれの回転軸１４１ａ，１４２ａが押さえロール取り付け部材１４３に回転自在に取り付けられている。なお、押さえロール取り付け部材１４３は、フィルム部材供給機構部１００に取り付けられている。

ここで、２個の押さえロール１４１，１４２のうち、偏光フィルム３０に接触する側に位置する押さえロール１４１を第１押さえロール１４１とし、他の押さえロール１４２を第２押さえロール１４２としたとき、当該第１押さえロール１４１の径Φ１（図３（ａ）参照。）は、第２押さえロール１４２の径Φ２よりも小さく設定されている。実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、第１押さえロール１４１の径Φ１は１０ｍｍ程度としている。このように、第１押さえロール１４１と第２押さえロール１４２とを２段重ねの構成とする理由及び第１押さえロール１４１の径Φ１を第２押さえロール１４２の径Φ２よりも小さく設定した理由については後述する。

このように構成されている押さえロール１４０（第１押さえロール１４１及び第２押さえロール１４２）は、押さえロール取り付け部材１４３とともにｚ軸に沿った方向（矢印ｚ−ｚ’方向）に上下動可能となっており、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１が貼り付け動作を行っていないとき（非貼り付け動作時という。）においては、テーブル２０上に載置されたガラス基板１０を含む平面（ｘｙ平面）に対して離脱（上方に位置）しており、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１が貼り付け動作を行うとき（貼り付け動作時という。）においては、下降して、偏光フィルム３０を押さえ付ける動作を行うようになっている。押さえロール１４０の上昇及び下降動作は、制御装置２００が有する制御機能の１つとして行われる。

ところで、第１押さえロール１４１の径Φ１を第２押さえロール１４２の径Φ２よリも小さくし、かつ、小さい径の第１押さえロール１４１の上に大きな径の第２押さえロール１４２を重ねた構成としたのは、次に述べる理由によるものである。

すなわち、ガラス基板１０が貼り付け動作開始位置に到達したときにおいて、ガイド部材１３０の先端部１３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔ｄは、上記したように１５ｍｍとしているため、第１押さえロール１４１が偏光フィルム３０を押さえ付けた状態となったときに、第１押さえロール１４１がガイド部材１３０に接触しないようにするためには、第１押さえロール１４１の径Φ１をできるだけ小さくする必要がある。一方、第１押さえロール１４１の径を小さくすると、第１押さえロール１４１だけでは、偏光フィルム３０を押さえ付けるための押圧力が偏光フィルム３０の幅方向（この場合はｙ軸に沿った幅）全体に渡って均一に付与されない場合があるといった問題が生じる。

具体的に言えば、偏光フィルム３０の幅方向（図３におけるｙ軸に沿った方向）の長さは、この場合、８９０ｍｍ程度としている。偏光フィルム３０の幅方向（図３におけるｙ軸に沿った方向）の長さが８９０ｍｍ程度というように長い場合には、第１押さえロール１４１の回転軸１４１ａに沿った長さ（ｙ軸に沿った長さ）も長くなる。ここで、第１押さえロール１４１の回転軸１４１ａに沿った長さに対して径Φ１が小さいと、反りが生じてしまう場合もあり、反りが生じてしまうと、押圧力が幅方向全体に渡って均一に付与されないこととなる。そこで、第１押さえロール１４１の径Φ１はできるだけ小さくしながらも、押圧点Ｐによる押圧力が偏光フィルム３０の幅方向全体に渡って均一に付与されるように、小さい径の第１押さえロール１４１の上に大きな径の第２ロール１４２を重ねた構成とする。

押さえロール１４０をこのような構成とすることによって、ガイド部材１３０の先端部１３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔ｄが１５ｍｍと狭くても、第１押さえロール１４１がガイド部材１３０に接触することなく、偏光フィルム３０を確実に押さえ付けることができる。また、第２押さえロール１４２が第１押さえロール１４１の反りを防いで偏光フィルム３０を幅方向（ｙ軸方向）全体に渡って均一な押圧力で確実に押さえ付けることができる。このように、第２押さえロール１４２は、第１押さえロール１４１の押圧力をバックアップするためのバックアップロールとして機能する。

２．実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１の動作
次に、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置の動作（特に偏光フィルム３０の貼り付け動作）について説明する。

図４は、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１における偏光フィルム３０の貼り付け動作を説明するために示す図である。図４（ａ）は貼り付け動作開始前の状態であり、この状態をこの初期状態とする。この初期状態においては、テーブル２０は、押さえロール１４０（第１押さえロール１４１及び第２押さえロール１４２）よりも図示左側の位置（スタート位置）となっている。なお、初期状態においては、テーブル２０上には、現時点において被貼り付け対象となるガラス基板１０（第１ガラス基板１０とする。）がテーブル２０上の所定位置に載置されているものとする。また、テーブル２０のスタート位置からのｘ軸に沿った移動量、ｙ軸に沿った位置及びｚ軸周りの角度（平面上での角度）などは、適正に調整されているものとする。

また、リリースフィルム４０は巻き取り側の先端部（図示せず。）が、リリースフィルムを巻き取るための巻き取りロール（図示せず。）に接続されており、現時点において貼り付け対象となる偏光フィルム（第１偏光フィルム３０とする。）の先端部３０ａは、剥がしロール１１０に達しているものとする。また、この初期状態においては、押さえロール１４０（第１押さえロール１４１及び第２押さえロール１４２）は、テーブル２０上に載置されたガラス基板１０を含む平面（ｘｙ平面）に対して離脱（上方に位置）している。

図４（ａ）に示す初期状態において、まずは、テーブル２０を移動させる工程を行う。すなわち、制御装置２００は、テーブル２０をｘ軸に沿って右方向（矢印ｘ方向）に所定の移動量だけ進行させるように制御する。これにより、テーブル２０は図４（ｂ）に示す位置（貼り付け動作開始位置）に移動する。具体的には、制御装置２００は、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが、押さえロール１４０の押圧点Ｐに対向する位置に到達するように、テーブル２０をｘ軸に沿って右方向（矢印ｘ方向）に進行させるように制御する。

テーブル２０が図４（ｂ）に示す貼り付け動作開始位置に移動すると、剥がしロール１１０によってリリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達するようにフィルム部材を進行させる工程を行う。すなわち、制御装置２００は、フィーダー機構部１２６に対し、偏光フィルム３０を第１ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達させる制御（フィルム部材供給制御）を行う。これにより、フィーダー機構部１２６は、リリースフィルム４０をクランパー１２７によってクランプして、当該リリースフィルム４０を所定量だけリリースフィルム進行方向（図示矢印ｘ方向）に進行させる。

フィーダー機構部１２６によってリリースフィルム４０を所定量だけリリースフィルム進行方向に進行させると、剥がしロール１１０によって第１偏光フィルム３０からリリースフィルム４０が剥がされて行くとともに、リリースフィルム４０が剥がされた第１偏光フィルム３０が、ガイド部材１３０のガイド面１３１を進行して行き、当該第１偏光フィルム３０の先端部３０ａが第１ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達する（図４（ｂ）参照。）。

このときの制御装置２００によるフィーダー機構部１２６に対する制御は、カメラ１５０からの撮影画像データに基づいて行う。制御装置２００によるフィーダー機構部１２６に対する制御の一例としては、前述したように、制御装置２００は、カメラ１５０からの撮影データに基づいて、現時点において貼り付け対象となっている偏光フィルム（第１偏光フィルム３０）の後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置を監視し、当該後端部３０ｂ（切れ目Ｃ１）の位置が目標位置に到達するまで、フィーダー機構部１２６を動作させる。これにより、第１偏光フィルム３０の先端部３０ａが第１ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達する。このように、第１偏光フィルム３０の先端部３０ａが第１ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達すると、制御装置２００はフィーダー機構部１２６に対して、リリースフィルム４０のクランプを解除させるように制御する。これによって、フィーダー機構部１２６は初期状態の位置に復帰する。

ところで、フィーダー機構部１２６がリリースフィルム４０をリリースフィルム進行方向に進行させると、ダンサーロール１２５は、例えば、図４（ｂ）に示すように、破線で示す位置（図４（ａ）におけるダンサーロール１２５の位置）からフィーダー機構部が移動した分だけ下降する動作を行う。このようなダンサーロール１２５を設けることによって、フィーダー機構部１２６による偏光フィルム３０の供給動作と、巻き取りロール（図示せず。）によるリリースフィルム４０の巻き取り動作とは同期をとる必要はなく、それぞれの動作を独立して行うことができる。なお、巻き取りロール（図示せず。）によるリリースフィルム４０の巻き取り動作は、ダンサーロール１２５の下降量が所定量に達した場合に行うようにすればよい。巻き取りロール（図示せず。）によるリリースフィルム４０の巻き取り動作が行われると、ダンサーロール１２５は、元の位置（例えば、図４（ａ）に示す位置）に復帰する。

ここで、フィーダー機構部１２６の動作によってリリースフィルム４０がリリースフィルム進行方向に進行する際には、リリースフィルム４０は、剥がしロール１１０によって折り返されて進行するため、リリースフィルム４０の表面が擦れることがなくなり、リリースフィルム４０が破損しまうことを防止できるとともに、折り返し部（剥がしロール１１０）が擦り減ることを防止できる。

すなわち、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がすための折り返し部をロール（剥がしロール１１０）とし、当該剥がしロール１１０によってリリースフィルム４０を折り返して進行させることによって偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がすようにしている。このため、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がす動作を行う際に、リリースフィルム４０の表面が擦れることがなくなり、リリースフィルム４０が破損することを防止できるとともに、折り返し部（剥がしロール１１０）が擦り減ることを防止できる。

また、ガイド部材１３０のガイド面１３１は非粘着性の表面加工が施されているため、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０が、ガイド部材１３０のガイド面１３１を進行して行く際に、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の接着面がガイド部材１３０のガイド面１３１に付着することなく、偏光フィルム３０をスムーズに進行させることができる。

そして、第１偏光フィルム３０の先端部３０ａが、ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達すると、押さえロール１４０によって偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに押さえ付けるように押えロール１４０を移動（下降）させる工程を行う。これにより、押さえロール１４０（第１押さえロール１４１及び第２押さえロール１４２）が下降して、第１押さえロール１４１の押圧点Ｐが、偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに押さえ付けた状態となる（図４（ｃ）参照。）。これによって、第１偏光フィルム３０が第１ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに位置決めされた状態となる。なお、このとき、第２押さえロール１４２が第１押さえロール１４１を押圧した状態となっている。

この図４（ｃ）の状態（偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに押さえ付けた状態）から、当該ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａを起点に偏光フィルム３０がガラス基板１０に貼り付けられて行くようにテーブル２０を移動させる工程を行う。すなわち、図４（ｃ）の状態から、テーブル２０がｘ軸に沿って矢印ｘ’方向（図示左方向）に移動して行くことによって、第１偏光フィルム３０が第１ガラス基板１０の貼り付け始端１０ａを起点にして貼り付けられて行く。このとき、押さえロール１４０は第１偏光フィルム３０を押さえ付けた状態を保持しているため、テーブル２０が矢印ｘ’方向（図示左方向）に移動して行くと、第１押さえロール１４１は時計方向に回転するとともに第２押さえロール１４２は反時計方向に回転しながら第１偏光フィルム３０をガラス基板１０に押さえ付けて行く。

図４（ｄ）に示すような貼り付け動作を行っている際においては、リリースフィルム４０にはダンサーロール１２５によって常に一定の張力が加わっている。このため、第１偏光フィルム３０の貼り付け動作を行っている間においては、ダンサーロール１２５が例えば図４（ｄ）の破線で位置からさらに下降して行くことによって、リリースフィルム４０が第１偏光フィルム３０から剥がされて行く。この場合も、巻き取りロール（図示せず。）によるリリースフィルム４０の巻き取り動作は、ダンサーロール１２５の下降量が所定量に達した場合に行うようにすればよい。

このようなダンサーロール１２５を設けることによって、貼り付け動作時においては、テーブル２０の移動動作と、巻き取りロール（図示せず。）によるリリースフィルム４０の巻き取り動作とは同期をとる必要はなく、それぞれの動作を独立して行うことができる。

また、このような貼り付け動作を行う際においても、リリースフィルム４０は、剥がしロール１１０によって折り返されて進行するため、リリースフィルム４０の表面が擦れたりすることがなくなり、リリースフィルム４０が破損することを防止できるとともに、剥がし部（剥がしロール１１０）が擦り減ることを防止できるとともに、折り返し部（剥がしロール１１０）が擦り減ることを防止できる。

そして、図４（ｄ）に示す状態からテーブル２０が矢印ｘ’方向にさらに移動するとテーブル２０は、図４（ａ）の位置（初期状態と同じ位置）に戻る。これにより、第１ガラス基板１０に対する第１偏光フィルム３０の貼り付け工程が終了し、続いて、次のガラス基板（第２ガラス基板１０とする。）に対する偏光フィルム（第２偏光フィルム３０）の貼り付け工程を行う。第２ガラス基板１０への第２偏光フィルム３０の貼り付け工程を行うには、第１偏光フィルム３０の貼り付け工程が終了した第１ガラス基板１０をテーブル２０から取り外して、当該テーブル２０に第２ガラス基板１０を載置して、図４（ａ）から図４（ｄ）の工程を行う。このような工程を繰り返すことにより、個々のガラス基板に偏光フィルムを順次貼り付けて行くことができる。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１は、図１〜図４に示すように、一方の面が接着面となっており、当該接着面にリリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材からリリースフィルムを剥離しながらフィルム部材を進行させて行き、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点に前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付けて行くフィルム部材貼り付け装置であって、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する剥離装置１７０と、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材の進行方向先端部を被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付ける貼り付け装置１８０と、剥離装置１７０と貼り付け装置１８０との間に配設され、フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材１９０とを備え、当該静電気除去部材１９０により、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する際にフィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去するフィルム部材貼り付け装置である。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１は、静電気除去部材１９０として、「偏光フィルム３０の進行をガイドするガイド面１３１であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有するガイド部材１３０」を備える。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１においては、フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルム３０であり、被貼り付け部材は、液晶パネルに用いられるガラス基板１０である。

また、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け方法は、一方の面が接着面となっており、当該接着面にリリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材からリリースフィルムを剥離しながらフィルム部材を進行させて行き、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けて行くフィルム部材貼り付け方法であって、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する剥離工程と、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材の進行方向先端部を被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付ける貼り付け工程とをこの順序で含み、剥離工程と、貼り付け工程との間に、「フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材」を用いて、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する際にフィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去する静電気除去工程とをさらに含むフィルム部材貼り付け方法である。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け方法において、静電気除去工程においては、静電気除去部材１９０としての、「フィルム部材の進行をガイドするガイド面であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有するガイド部材１３０」を用いて、フィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去する。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け方法において、フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルム３０であり、被貼り付け部材は、液晶パネルに用いられるガラス基板１０である。

また、実施形態１に係る静電気除去部材１９０は、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置又はフィルム部材貼り付け方法に用いる静電気除去部材であって、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなるものである。実施形態１に係る静電気除去部材１９０は、使用時には、電気的に接地された状態で使用する。

実施形態１に係る静電気除去部材１９０は、フィルム部材の進行をガイドするガイド面であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有するガイド部材１３０である。

実施形態１に係る記載の静電気除去部材１９０において、フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルム３０であり、被貼り付け部材は、液晶パネルに用いられるガラス基板１０である。

３．実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置、フィルム部材貼り付け方法及び静電気除去部材の効果
以上説明したように、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１によれば、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がすための折り返し部をロール（剥がしロール１１０）とし、当該剥がしロール１１０によってリリースフィルム４０を折り返して進行させることにより、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がすようにしている。このため、リリースフィルム４０の表面に「擦れ」が生じることがなくなり、リリースフィルムの４０破損を防止するとともに、折り返し部（剥がしロール１１０）が擦り減ることを防止して、偏光フィルム３０材の進行動作及びリリースフィルム４０の剥がし動作を確実に行うことができる。また、剥がしロール１１０はベアリングを有するロールであるため、回転が滑らかであることから、偏光フィルム３０からリリースフィルム４０を剥がす際に、リリースフィルム４０を小さい力でスムーズに剥がすことができ、また、リリースフィルム４０を折り返した後の進行がより滑らかなものとなる。

また、剥がしロール１１０の前方側には、偏光フィルム３０の進行をガイドするガイド部材１３０が設けられている。当該ガイド部材１３０のガイド面１３１には、非粘着性の表面加工が施されているため、偏光フィルム３０の接着面がガイド部材１３０のガイド面１３１に付着してしまうことを防止でき、偏光フィルム３０をガイド部材１３０のガイド面１３１でスムーズに進行させることができる。

また、ガイド部材１３０は、当該ガイド部材１３０の先端部１３２がエッジとなっているため、当該ガイド部材１３０の先端部１３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔を可能な限り狭くすることができるとともに、ガイド部材１３０の先端部１３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間の段差を可能な限り小さくできる。これにより、折返し部を、例えば丸みを有する折返し部とする場合（図７における破線円Ｂ参照。）に比べて、偏光フィルム３０の先端部３０ａがガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達するまでの距離を短くすることができ、偏光フィルム３０が貼り付け始端１０ａに到達するまでの間において、自重によって撓んでしまうといったことを防止できる。それによって、ガイド面１３１を進行する偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに精度よく到達させることができる。また、ガイド部材１３０は、当該ガイド面１３１の延長上にガラス基板１０の貼り付け始端１０ａが位置するように設置されているため、これによっても、ガイド面１３１を進行する偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに精度よく到達させることができる。

また、押さえロール１４０は、偏光フィルム３０に接触する側に位置する小径の第１押さえロール１４１と当該第１押さえロール１４１の押圧力をバックアップするための大径の第２押さえロール１４２によって構成されている。押さえロール１４０がこのような構成となっていることにより、ガイド部材１３０の先端部１３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔が狭くても、第１押さえロール１４１が小径であることからガイド部材１３０に接触することなく、偏光フィルム３０を押さえ付けることができる。また、第２押さえロール１４２が第１押さえロール１４１の反りを防ぐ役目もなすことから、偏光フィルム３０を幅方向（押さえロール１４０の回転軸に沿った方向）全体に渡って均一な押圧力で確実に押さえ付けることができる。

また、リリースフィルム進行機構部１２０にダンサーロール１２５を設けることにより、偏光フィルム３０をガラス基板１０に貼り付ける貼り付け動作時（例えば、図４（ｄ）参照。）を行う際に、テーブル２０が矢印ｘ’方向に移動する動作と、巻き取りロール（図示せず。）によるリリースフィルム４０の巻き取り動作とは同期をとる必要はなく、それぞれの動作を独立して行うことができる。また、フィーダー機構部１２６による偏光フィルム３０の供給動作時（例えば、図４（ｂ）参照。）においても、偏光フィルム３０の供給動作と巻き取りロール（図示せず。）によるリリースフィルム４０の巻き取り動作とは同期をとる必要はなく、それぞれの動作を独立して行うことができる。

また、ガイド部材１３０が電気的に接地（アース）されていることにより、フィルム部材としての偏光フィルム３０に静電気が帯電した場合であっても、偏光フィルム３０に帯電した静電気を除去できる。偏光フィルム３０に帯電した静電気を除去できることにより、偏光フィルム３０に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、偏光フィルム３０を被貼り付け部材としてのガラス基板１０に貼り付ける動作を行う際に、高精度にフィルム部材をガラス基板１０に貼り付けることができる。また、偏光フィルム３０が貼り付けられたガラス基板１０を次の工程に送る際に、静電気が帯電したままの状態で次の工程に送られてしまうことを防ぐことができる。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１によれば、上記のように構成された静電気除去部材１９０により、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する際にフィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去することが可能となることから、フィルム部材に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けた後も、フィルム部材と被貼り付け部材とを貼り付けて得られる製品（例えば、液晶パネル）に静電気が残存しなくなる。その結果、これらに起因して製品の品質を劣化させるおそれがなくなり、本発明の目的が達成できる。

この場合、静電気除去部材１９０は、フィルム部材との接触面が非粘着性を有する接触面（非粘着性の表面加工が施されている接触面）であることから、静電気除去部材とフィルム部材との接触時に生じる摩擦を低減することができる。また、静電気除去部材１９０が金属からなり電気的に接地されているうえ、フィルム部材との接触面が導電性を有する接触面（導電性の表面加工が施されている接触面、言い換えると、粘着性の表面加工を施された後でも導電性が維持されている接触面）であることから、高い静電気除去効果が得られる。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１によれば、静電気除去部材１９０として、「フィルム部材の進行をガイドするガイド面であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有するガイド部材１３０」を備えることから、リリースフィルムが剥離されたフィルム部材を貼り付け部材の貼り付け始端に向けてガイドすることが可能となるため、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、その過程で、静電気を除去することも可能となることから、さらに高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１によれば、液晶パネルに用いられる偏光フィルムを液晶パネルに用いられるガラス基板又は合成樹脂基板に精度よく貼り付けることができるため、高品質な液晶パネルを製造することに寄与できる。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け方法によれば、上記のように構成された静電気除去部材１９０により、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する際にフィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去することが可能となることから、上記した実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１の場合と同様に、フィルム部材に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けた後も、フィルム部材と被貼り付け部材とを貼り付けて得られる製品（例えば、液晶パネル）に静電気が残存しなくなる。その結果、これらに起因して製品の品質を劣化させるおそれがなくなり、本発明の目的が達成できる。

この場合、静電気除去部材１９０は、フィルム部材との接触面が非粘着性を有する接触面（非粘着性の表面加工が施されている接触面）であることから、静電気除去部材とフィルム部材との接触時に生じる摩擦を低減することができる。また、静電気除去部材１９０が金属からなり電気的に接地されているうえ、フィルム部材との接触面に導電性を有する接触面（導電性の表面加工が施されている接触面、言い換えると、粘着性の表面加工を施された後でも導電性が維持されている接触面）であることから、高い静電気除去効果が得られる。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け方法によれば、静電気除去工程においては、静電気除去部材１９０としての「フィルム部材の進行をガイドするガイド面であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有するガイド部材１３０」を用いて、フィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去することから、リリースフィルムが剥離されたフィルム部材を貼り付け部材の貼り付け始端に向けてガイドすることが可能となるため、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、その過程で、静電気を除去することも可能となることから、さらに高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。

実施形態１に係るフィルム部材貼り付け方法によれば、液晶パネルに用いられる偏光フィルムを液晶パネルに用いられるガラス基板に精度よく貼り付けることができるため、高品質な液晶パネルを製造することに寄与できる。

実施形態１に係る静電気除去部材１９０によれば、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなることから、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１及び方法に好適に用いることができる。

実施形態１に係る静電気除去部材１９０によれば、リリースフィルムが剥がされたフィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなりかつ電気的に接地されていることから、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１及び方法に好適に用いることができる。

実施形態１に係る静電気除去部材１９０によれば、当該静電気除去部材が、フィルム部材の進行をガイドするガイド面であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有するガイド部材であることから、リリースフィルムが剥離されたフィルム部材を貼り付け部材の貼り付け始端に向けてガイドすることが可能となるため、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、その過程で、静電気を除去することも可能となることから、さらに高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。

実施形態１に係る静電気除去部材１９０によれば、液晶パネルに用いられる偏光フィルムを液晶パネルに用いられるガラス基板に貼り付ける際に用いることができるため、高品質な液晶パネルを製造することに寄与できる。

［実施形態２」
実施形態１においては、ガイド部材１３０は、３角形のブロック状のものを採用した場合を例示したが、ガイド部材１３０の形状は限定されるものではなく、リリースフィルム４０が剥がされた偏光フィルム３０の先端部３０ａが、テーブル２０に載置されたガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに向かって進行させることができればよく、例えば板状であってもよい。

図５は、実施形態２に係るフィルム部材貼り付け装置２を説明するために示す図である。なお、図５は図３（ａ）に対応するものであり、ガイド部材１３０材を板状とした点が異なるだけであり、その他の構成要素は図３と同じであるため、同一構成要素には同一符号が付されている。ガイド部材１３０を板状とした場合においても、先端部１３２は、図５に示すように先端部１３２が鋭角をなしていることが好ましい。このようにすることで、偏光フィルム３０の先端部３０ａをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに精度よく到達させることができる。なお、ガイド部材１３０を板状とした場合であっても、当該板状のガイド部材１３０のガイド面１３１は、導電性及び非粘着性を有するガイド面（導電性及び非粘着性の表面加工が施されているガイド面）である。また、ガイド部材１３０は、図５に示すような厚みを有する板状ではなく、板厚が例えば１ｍｍから数ｍｍ程度の薄板状部材を用いてもよく、このような薄板部材であれば、先端部１３２は、おのずからエッジとなる。

なお、ガイド部材１３０を図５に示すように板状とした場合であっても、当該板状のガイド部材１３０が上記実施形態と同様にステンレス鋼などの金属からなり、当該板状のガイド部材１３０が電気的に接地（アース）されているので、フィルム部材としての偏光フィルム３０に帯電した静電気を除去できる。偏光フィルム３０に帯電した静電気を除去できることにより、偏光フィルム３０に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、偏光フィルム３０を被貼付け部材としてのガラス基板１０に貼り付ける動作を行う際に、高精度に偏光フィルム３０をガラス基板１０に貼り付けることができる。また、偏光フィルム３０が貼り付けられたガラス基板１０を次の工程に送る際に、静電気が帯電したままの状態で次の工程に送られてしまうことを防ぐことができる。

［実施形態３」
図６は、実施形態３に係るフィルム部材貼り付け装置３を説明するために示す図である。図６（ａ）は実施形態３に係るフィルム部材貼り付け装置３の要部を示す図であり、図６（ｂ）は実施形態３に係るフィルム部材貼り付け装置３に用いる静電気除去部材１９０の斜視図である。

実施形態３に係るフィルム部材貼り付け装置３は、基本的には実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１と同様の構成を有するが、静電気除去部材の構成が実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１の場合とは異なる。すなわち、実施形態３に係るフィルム部材貼り付け装置３は、図６に示すように、静電気除去部材として、ガイド部材とは別の静電気除去部材１９０を備える。静電気除去部材１９０は、フィルム部材（偏光フィルム３０）に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面１９１を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材である。静電気除去部材１９０のフィルム部材に対する接触面は、フィルム部材との摩擦を低減するために、滑らかな曲面からなる。

このように、実施形態３に係るフィルム部材貼り付け装置３は、静電気除去部材の構成が実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１の場合とは異なるが、「剥離装置１７０と貼り付け装置１８０との間に配設され、フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材１９０」を備え、当該静電気除去部材１９０により、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する際にフィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去することから、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１の場合と同様に、フィルム部材に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けた後も、フィルム部材と被貼り付け部材とを貼り付けて得られる製品（例えば、液晶パネル）に静電気が残存しなくなる。その結果、これらに起因して製品の品質を劣化させるおそれがなくなり、本発明の目的が達成できる。

［実施形態４」
図７は、実施形態４に係るフィルム部材貼り付け装置４を説明するために示す図である。図７（ａ）は実施形態４に係るフィルム部材貼り付け装置４の要部を示す図であり、図７（ｂ）は実施形態４に係るフィルム部材貼り付け装置４に用いる静電気除去部材１９０の斜視図である。

実施形態４に係るフィルム部材貼り付け装置４は、基本的には実施形態３に係るフィルム部材貼り付け装置３と同様の構成を有するが、図７に示すように、ガイド部材１３０を有しない点で実施形態３に係るフィルム部材貼り付け装置３の場合とは異なる。静電気除去部材１９０は、フィルム部材（偏光フィルム３０）に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材である。静電気除去部材１９０のフィルム部材に対する接触面は、フィルム部材との摩擦を低減するために、滑らかな曲面からなる。

このように、実施形態４に係るフィルム部材貼り付け装置４は、ガイド部材１３０を有しない点で実施形態３に係るフィルム部材貼り付け装置３の場合とは異なるが、「剥離装置１７０と貼り付け装置１８０との間に配設され、フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材１９０」を備え、当該静電気除去部材１９０により、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する際にフィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去することから、実施形態３に係るフィルム部材貼り付け装置３の場合と同様に、フィルム部材に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けた後も、フィルム部材と被貼り付け部材とを貼り付けて得られる製品（例えば、液晶パネル）に静電気が残存しなくなる。その結果、これらに起因して製品の品質を劣化させるおそれがなくなり、本発明の目的が達成できる。

［実施形態５」
図８は、実施形態５に係るフィルム部材貼り付け装置５を説明するために示す図である。図８（ａ）は実施形態５に係るフィルム部材貼り付け装置５の要部を示す図であり、図８（ｂ）は実施形態５に係るフィルム部材貼り付け装置５に用いる静電気除去部材１９０の斜視図である。

実施形態５に係るフィルム部材貼り付け装置５は、基本的には実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１と同様の構成を有するが、フィルム部材貼り付け装置全体の構成が実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１の場合とは異なる。すなわち、実施形態５に係るフィルム部材貼り付け装置５は、図８に示すように、フィルム部材貼り付け装置全体の構成としては、特許文献１に記載のフィルム部材貼り付け装置（図９参照。）と同様の構成を有する。但し、図８に示すように、特許文献１に記載のフィルム部材貼り付け装置の場合とは違って、剥離装置１７０（剥がしユニット８３０）と、貼り付け装置（図示せず。）との間に、静電気除去部材１９０を備え、当該静電気除去部材１９０により、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する際にフィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去する。静電気除去部材１９０は、フィルム部材（偏光フィルム３０）に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面１９１を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材である。静電気除去部材１９０のフィルム部材に対する接触面は、フィルム部材との摩擦を低減するために、滑らかな曲面からなる。

このように、実施形態５に係るフィルム部材貼り付け装置５は、フィルム部材貼り付け装置全体の構成が実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１の場合とは異なるが、「剥離装置１７０と貼り付け装置１８０との間に配設され、フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材１９０」を備え、当該静電気除去部材１９０により、フィルム部材からリリースフィルムを剥離する際にフィルム部材の接着面に帯電することがある静電気を除去することから、実施形態１に係るフィルム部材貼り付け装置１の場合と同様に、フィルム部材に埃やゴミなどが付着しにくくなるとともに、高精度にフィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けることが可能となる。また、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付けた後も、フィルム部材と被貼り付け部材とを貼り付けて得られる製品（例えば、液晶パネル）に静電気が残存しなくなる。その結果、これらに起因して製品の品質を劣化させるおそれがなくなり、本発明の目的が達成できる。

なお、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、下記に示すような変形実施も可能である。

（１）上記実施形態１においては、ガラス基板１０が貼り付け動作開始位置に到達したときにおいて、ガイド部材１３０の先端部１３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔ｄが１５ｍｍとなるように設置されているが、当該間隔ｄは、１５ｍｍに限定されるものではなく、ガイド部材１３０のガイド面１３１のｘｙ平面に対する角度、偏光フィルム３０の材質及びサイズなどによって最適な値に設定することができる。

（２）上記実施形態１においては、第１押さえロールの径を１０ｍｍ程度とした場合を例示したが、第１押さえロールの径は必ずしも１０ｍｍ程度とする必要はなく、ガイド部材１３０の先端部１３２とガラス基板１０の貼り付け始端１０ａとの間隔ｄなどに応じて最適な径とすることができる。

（３）上記実施形態１においては、図４に示す貼り付け動作を行う際には、フィルム部材供給機構部１００を固定とし、テーブル２０をｘ軸に沿って往復移動させる場合を例示したが、テーブル２０を固定し、フィルム部材供給機構部１００を往復動させるようにしてもよい。

具体的には、図４（ａ）の初期状態と同様にテーブル２０にガラス基板１０を載置した状態で、当該テーブル２０の位置を固定しておく。そして、フィルム部材供給機構部１００を図４における矢印ｘ’方向（図示左方向に）に移動させ、第１押さえロール１４１の押圧点Ｐをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに一致させる。この状態で、フィーダー機構部１２６を動作させて偏光フィルム３０（第１偏光フィルム３０）をガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達するように進行させて、押さえロール１４０を下降させて、フィルム部材供給機構部１００を図４における矢印ｘ方向（図示右方向に）に移動させる。このような動作を行うことによっても、上記実施形態で得られる効果と同様の効果が得られる。

また、テーブル２０をｘ軸に沿って往復移動させる動作と、フィルム部材供給機構部１００をｘ軸に沿って往復移動させる動作とを併用してもよい。具体的には、図４（ａ）の初期状態において、テーブル２０を図４における矢印ｘ方向（図示右方向に）に移動させるとともに、フィルム部材供給機構部１００を図４における矢印ｘ’方向（図示左方向に）に移動させて、第１押さえロール１４１の押圧点Ｐをガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに一致させて、この状態で、フィーダー機構部１２６を動作させて偏光フィルム３０（第１偏光フィルム３０）をガラス基板１０の貼り付け始端１０ａに到達するように進行させて、押さえロール１４０を下降させて、テーブル２０を図４における矢印ｘ’方向（図示左方向に）に移動させるとともに、フィルム部材供給機構部１００を図４における矢印ｘ方向（図示右方向に）に移動させる。このような動作を行うことによって、フィルム部材供給機構部１００を固定とし、テーブル２０をｘ軸に沿って往復移動させる場合において得られる効果に加えて、貼り付け動作を高速化できるといった効果も得られる。

（４）制御装置２００によるフィーダー機構部１２６に対する制御の他の例としては、第１偏光フィルム３０の後端部３０ｂの位置を監視し、第１偏光フィルム３０の後端部３０ｂの位置が、偏光フィルム３０の後端部３０ｂが目標とする移動量（目標移動量という。）だけ移動するまで、リリースフィルムをリリースフィルム進行方向に進行させるというような制御としてもよい。これにより、偏光フィルム３０の先端部３０ａを第１押さえロール１４１の押圧点Ｐに高精度に到達させることができる。このような制御は、偏光フィルム３０の後端部３０ｂが所定位置からどれだけ移動させると当該偏光フィルム３０の先端部３０ａが第１押さえロール１４１の押圧点Ｐに達するかを目標移動量として予め求めておくことにより、実施可能である。

（５）上記実施形態１においては、液晶パネルに用いられる２枚のガラス基板（液晶層の表面側に設けられるガラス基板及び裏面側に設けられるガラス基板）のうちの一方の面に用いるガラス基板に偏光フィルムを貼付する場合について説明したが、他方の面に用いるガラス基板に偏光フィルムを貼付する場合もほぼ同様に実施できる。

（６）上記実施形態１においては、フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルムであるとし、被貼り付け部材は、液晶パネルに用いられるガラス基板であるとして、当該ガラス基板に偏光フィルムを貼り付けるためのフィルム部材貼り付け装置について説明したが、フィルム部材貼り付け装置としては、上記実施形態１において説明したフィルム部材貼り付け装置に限られるものではなく、フィルム部材を被貼り付け部材に貼り付ける装置に広く適用できる。

(７)上記実施形態１においては、フィルム部材は長方形状としたが、フィルム部材の形状は長方形に限られるものではなく、正方形であってもよく、また、長方形及び正方形（矩形）に限られるものではない。

（８）上記実施形態１においては、第１押さえロール１４１及び第２押さえロール１４２は、第１押さえロールを第２押さえロールに比べて小径としたが、第２押さえロールがバックアップロールとして機能できれば、第１押さえロール１４１及び第２押さえロール１４２を同じ径としてもよい。

（９）上記実施形態１においては、押さえロール１４０は、２個の押さえロールを２段重ねした構成とした場合を例示したが、２個に限られるものではなく、３個以上の押さえロールを重ねた構成としてもよい。

（１０）上記実施形態１においては、ガイド部材１３０は、支持部材（図示せず。）及びステージ５０を介して電気的に接地（アース）するようにしたが、当該ガイド部材１３０に接地（アース）用のリード線を接続して当該ガイド部材を直接的に接地（アース）するようにしてもよい。

（１１）上記各実施形態１においては、フィルム部材として、液晶パネルに用いられる偏光フィルムを用いたが、本発明はこれに限定されるものでない。例えば、液晶パネルに用いられる保護フィルムを用いることができる。また、液晶パネル以外の用途（例えば、有機ＥＬパネルその他のディスプレイ用途）に用いられる各種フィルム（例えば保護フィルムなど）に用いることもできる。また、ディスプレイ以外の用途（例えば、電子機器その他の用途）に用いられる各種フォルム（例えば、電磁波シールドフィルムなど。）に用いることもできる。

（１２）上記各実施形態１においては、被貼り付け部材として、液晶パネルに用いられるガラス基板を用いたが、本発明はこれに限定されるものでない。例えば、液晶パネルに用いられる合成樹脂基板（合成樹脂フィルムも含む。）を用いることもできる。また、液晶パネル以外の用途（例えば、有機ＥＬパネルその他のディスプレイ用途）に用いられるガラス基板や合成樹脂基板（合成樹脂フィルムも含む。）に用いることもできる。また、ディスプレイ以外の用途（例えば、電子機器その他の用途）に用いられる電子回路基板に用いることもできる。

すなわち、フィルム部材に関して言えば、フィルム部材が、リリースフィルムを剥離したときに接触面に静電気が帯電することのあるフィルム部材であれば本発明は有効であり、また、被貼り付け部材に関して言えば、被貼り付け部材が、静電気の帯電を嫌う部材、部品又は製品に用いられる被貼り付け部材であれば本発明は有効である。

（１３）上記各実施形態１においては、静電気除去部材に導電性及び非粘着性を付与するための処理として「トシカルＳ（登録商標）コーティング加工」と呼ばれる表面加工の技術を採用し、そのようなコーティング加工を、トシカル（登録商標）Ｓ、ＵＮＡ−３００シリーズ（ＵＮＡ−３１０−Ｘ１０）、ＵＮＡ−８００シリーズ、ＴＳ−１０００シリーズ、ＴＳ−１０８０シリーズ、ＴＳ−１３１０シリーズのものを用いることができるとしたが、本発明はこれに限定されるものではない。また、これらトシカル（登録商標）Ｓのコーティング被膜の膜厚は、例えば、１μｍ〜２００μｍ、好ましくは３μｍ〜１５０μｍのものを好適に用いることができるとしたが、本発明はこれに限定されるものではない。また、トシカル（登録商標）Ｓのコーティング被膜を形成する前に、ガイド部材１３０のガイド面１３１に凹凸構造を形成しておいてもよい、この場合の凹凸構造の平均表面粗さＲａとしては、２μｍ〜１５μｍのものを好適に用いることができるとしたが、本発明はこれに限定されるものでない。また、これらの技術的事項は、実施形態２〜５、あるいはそれ以外の静電気除去部材を製造する際に同様に適用することができる。

１，２，３，４，５・・・フィルム部材貼り付け装置、１０・・・ガラス基板（被貼り付け部材）、１０ａ・・・貼り付け始端、２０・・・テーブル、３０・・・偏光フィルム（フィルム部材）、３０ａ・・・先端部（進行方向先端部）、３０ｂ・・・後端部（進行方向後端部）、３２・・・偏光フィルム本体部、３４・・・接着層、４０・・・リリースフィルム、５０・・・ステージ、６０・・・ガイドレール、１００・・・フィルム部材供給機構部、１１０・・・剥がしロール、１２０・・・リリースフィルム進行機構部、１２５・・・ダンサーロール、１２６・・・フィーダー機構部、１３０・・・ガイド部材、１３１・・・ガイド面、１３２・・・ガイド部材の先端部、１４０・・・押さえロール、１４１・・・第１押さえロール、１４２・・・第２押さえロール、１５０・・・カメラ、１７０・・・剥離装置、１８０…貼り付け装置、１９０・・・静電気除去部材、１９１・・・接触面、Ｃ１，Ｃ２，・・・切れ目、Ｐ・・・押圧点

Claims (5)

1. 一方の面が接着面となっており、当該接着面にリリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材から前記リリースフィルムを剥離しながら前記フィルム部材を進行させて行き、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点に前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付けて行くフィルム部材貼り付け装置であって、
   前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥離する剥離装置と、
   前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の前記進行方向先端部を前記被貼り付け部材の前記貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点に前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付ける貼り付け装置と、
   前記剥離装置と前記貼り付け装置との間に配設され、前記フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材とを備え、
   当該静電気除去部材により、前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥離する際に前記フィルム部材の前記接着面に帯電することがある静電気を除去するフィルム部材貼り付け装置であり、
   前記静電気除去部材として、「前記フィルム部材の進行をガイドするガイド面であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有し先端部がエッジとなっているガイド部材」を備えることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
2. 請求項１に記載のフィルム部材貼り付け装置において、
   前記フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルム若しくは保護フィルム又は電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムであり、前記被貼り付け部材は、前記液晶パネルに用いられるガラス基板若しくは合成樹脂基板又は電子機器に用いられる電子回路基板であることを特徴とするフィルム部材貼り付け装置。
3. 一方の面が接着面となっており、当該接着面にリリースフィルムが剥離可能に貼付されているフィルム部材から前記リリースフィルムを剥離しながら前記フィルム部材を進行させて行き、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の進行方向先端部を、被貼り付け部材の貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点に前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付けて行くフィルム部材貼り付け方法であって、
   前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥離する剥離工程と、
   前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材の前記進行方向先端部を前記被貼り付け部材の前記貼り付け始端に到達させた後に、当該貼り付け始端を起点に前記フィルム部材を前記被貼り付け部材に貼り付ける貼り付け工程とをこの順序で含み、
   前記剥離工程と、前記貼り付け工程との間に、「前記フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなり電気的に接地されている静電気除去部材」を用いて、前記フィルム部材から前記リリースフィルムを剥離する際に前記フィルム部材の前記接着面に帯電することがある静電気を除去する静電気除去工程とをさらに含み、
   前記静電気除去工程においては、前記静電気除去部材としての、「前記フィルム部材の進行をガイドするガイド面であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有し先端部がエッジとなっているガイド部材」を用いて、前記フィルム部材の前記接着面に帯電することがある静電気を除去することを特徴とするフィルム部材貼り付け方法。
4. 請求項３に記載のフィルム部材貼り付け方法において、
   前記フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルム若しくは保護フィルム又は電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムであり、前記被貼り付け部材は、前記液晶パネルに用いられるガラス基板若しくは合成樹脂基板又は電子機器に用いられる電子回路基板であることを特徴とするフィルム部材貼り付け方法。
5. 請求項３又は４に記載のフィルム部材貼り付け方法に用いる静電気除去部材であって、
   前記フィルム部材は、液晶パネルに用いられる偏光フィルム若しくは保護フィルム又は電子機器に用いられる電磁波シールドフィルムであり、前記被貼り付け部材は、前記液晶パネルに用いられるガラス基板若しくは合成樹脂基板又は電子機器に用いられる電子回路基板であり、
   前記静電気除去部材は、前記リリースフィルムが剥がされた前記フィルム部材に対する接触面であって導電性及び非粘着性を有する接触面を有するとともに、金属からなる静電気除去部材であり、当該静電気除去部材は、前記フィルム部材の進行をガイドするガイド面であって導電性及び非粘着性を有するガイド面を有し先端部がエッジとなっているガイド部材であることを特徴とする静電気除去部材。

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