JP5577003B1 - フィルムの剥離装置及びフィルムの剥離方法 - Google Patents

Abstract

本発明のフィルムの剥離装置は、フィルムＷｃをベース部材Ｗｍから剥離する際に剥離を容易にするための予備剥離を行う予備剥離機構部７００を備え、予備剥離機構部７００は、予備剥離ロール７１０をフィルムＷｃの表面における一方側端部に接触させた状態で、予備剥離ロール７１０が回転するようにフィルムＷｃ又は予備剥離ロール７１０の少なくとも一方を走行させて、フィルムＷｃをベース部材Ｗｍから剥離しながら巻き取り終了位置まで巻き取って行く第１工程と、第１工程の後に予備剥離ロール７１０をフィルムＷｃの表面に接触させた状態で、フィルムＷｃ又は予備剥離ロール７１０の少なくとも一方を逆方向に進行させることにより、予備剥離ロール７１０に巻き取られたフィルムをベース部材Ｗｍに再貼着する第２工程とを行う。
本発明のフィルムの剥離装置によれば、従来のフィルムの剥離装置よりも小さな力で確実にフィルムを台紙から剥離できる。

Description

本発明は、フィルムをベース部材から剥離するフィルムの剥離装置及びフィルムの剥離方法に関する。

一般に、フレキシブル配線基板は、薄いポリイミドフィルムやポリエステルフィルムをベースフィルムとして作られ、その表面に電子回路を構成する銅箔が貼着されている。また、電子回路には電子部品が直接実装されており、さらに電子回路はフィルム（カバーレイフィルムという。）で被覆されている。

また、このようなフレキシブル配線基板は、薄くて柔らかく自由に曲げることができるのが特徴であるが、その上に部品を搭載したり、コネクタに接続したりする場合には、ある程度の厚さと堅さが必要な場合もある。そこで、ベースフィルムの一部の領域の剛性を確保するために、所定の形状と大きさを有する補強板をベースフィルムに対して貼着することが行われている。

上記したフレキシブル配線基板を製造する工程において、ベースフィルム上の被覆すべき電子回路の上にカバーレイフィルムを貼着する前段階の工程として、まずは、プリカットされたカバーレイフィルムを台紙から手作業で剥離する必要がある。また、補強フィルムについても同様であって、補強フィルムをベース部材（以下、台紙という。）から手作業で剥離する必要がある。なお、本発明の明細書において、「台紙」というのは、「紙」を原材料としたものだけを指すものではなく、プラスチックなどの部材を原材料としたものも含むものである。

このように手作業でカバーレイフィルムや補強フィルムを台紙から剥離することはフレキシブル配線基板の製造を自動化する上で大きな障害となっていた。そこで、カバーレイフィルムや補強フィルムなどのフィルムを台紙から機械的に剥離可能とするフィルムの剥離装置が種々提案されている。

しかしながら、この種のフィルムの剥離装置においても、台紙からフィルムを剥離する際に剥離できない場合もある。そこで、予備剥離機構を設けて、当該予備剥離機構によって、台紙からフィルムを予め一部を剥離させておいた状態（予備剥離した状態）として、その後、台紙からフィルムを剥離するようにしたフィルムの剥離装置がある（例えば、特許文献１参照。）。

図１４は、特許文献１に開示されているフィルムの剥離装置９０００の正面図である。
図１５は、特許文献１に開示されているフィルムの剥離装置９０００の平面図である。なお、図１４及び図１５においては、フィルムはカバーレイフィルムであるとして説明する。

特許文献１に開示されているフィルムの剥離装置９０００（以下、従来のフィルムの剥離装置９０００という。）は、図１４及び図１５に示すように、台紙Ｗｍに剥離可能に貼着されているカバーレイフィルムＷｃ（台紙付カバーレイフィルムＷｃともいう。）を、走行路Ａ（図１５参照。）にほぼ平行な案内面１１０を有する基台テーブル１００と、基台テーブル１００の案内面１１０に沿って走行路Ａにおける前方側（矢印ｘ方向であって「走行路前方側」ともいう。）及び走行路Ａにおける後方側（矢印ｘ’方向であって「走行路後方側」ともいう。）に所定範囲で往復動可能な可動剥離ユニット２００と、可動剥離ユニット２００よりも走行路後方側の基台テーブル１００に設置され、カバーレイフィルムＷｃを台紙Ｗｍから剥がし易くするための予備剥離を行う予備剥離機構部４００と、予備剥離した台紙付カバーレイフィルムＷｃを、走行路Ａに直交する方向に台紙Ｗｍを残した状態で切断して一片の切断済みカバーレイフィルム（カバーレイフィルム片という。）を生成する切断機構部６００と、切断機構部６００で切断された一片のカバーレイフィルム片を着脱自在に保持可能な保持装置８００とを備えている。

予備剥離機構部４００は、走行路Ａを挟んで設けられた第１剥がし板４１０と第２剥がし板４２０とを有している。第１剥がし板４１０及び第２剥がし板４２０は、それぞれの先端部４１１，４２１が台紙ＷｍとカバーレイフィルムＷｃとの間に所定長さだけ挿入された状態で用いられる。

従来のフィルムの剥離装置９０００においては、カバーレイフィルムＷｃが、予備剥離機構部４００を通過すると、中央部に所定の幅を残して両サイド部が走行路Ａに沿って台紙Ｗｍから予備剥離するように設定されている。

また、切断機構部６００には、予備剥離機構部６６０設けられている。予備剥離機構部６６０は、切断機構部６００がカバーレイフィルム片を生成する際に、当該カバーレイフィルム片に後続するカバーレイフィルム片の走行路前方側端部（先端部ともいう。）を、切断刃６４０による切断線に沿って吸着することによって、カバーレイフィルム片の先端部を、所定量だけ予備剥離するものである。このように、予備剥離機構部６６０は、カバーレイフィルム片の先端部を予備剥離するものであるため、先端予備剥離機構部６６０という。

このように構成されているフィルムの剥離装置９０００においては、まずは、予備剥離機構部４００が、カバーレイフィルムの長手方向の中央部を所定幅だけ残して両サイドを予備剥離して行き、その後、切断機構部６００が切断線に沿ってカバーレイフィルムを切断する際に、先端予備剥離機構部６６０が、後続するカバーレイフィルムの先端部を上記切断線に沿って吸着することにより当該先端部を予備剥離する。

このように、予備剥離機構部４００によって両サイドの予備剥離がなされているとともに、先端予備剥離機構部６６０によって先端部の予備剥離がなされている一片のカバーレイフィルム片は、可動剥離ユニット２００により台紙Ｗｍから剥離する。すなわち、保持装置８００を下降させて当該保持装置８００によって予備剥離した一片のカバーレイフィルム片を押さえた状態として、台紙Ｗｍに走行路前方側への引っ張り力を与えながら可動剥離ユニット２００を走行路後方側に走行させることにより、カバーレイフィルム片を台紙Ｗｍから剥離する。なお、可動剥離ユニット２００により、台紙Ｗｍからカバーレイフィルム片を剥離することを「本剥離」という場合もある。

従来のフィルムの剥離装置９０００は、可動剥離ユニット２００によって台紙Ｗｍからカバーレイフィルム片を本剥離する際には、カバーレイフィルム片は台紙Ｗｍに対して、既に予備剥離がなされている状態となっているため、小さい力で適切に剥離することができるといった優れた効果を有するものとなる。

国際公開第２０１１／１０８３３２号

しかしながら、従来のフィルムの剥離装置９０００は、上記したような予備剥離機構部（予備剥離機構部４００及び先端予備剥離機構部６６０）を備えていたとしても、カバーレイフィルムＷｃの材質及び台紙Ｗｍの材質、さらには、カバーレイフィルムＷｃを台紙Ｗｍに貼着している貼着剤の種類などによっては、カバーレイフィルムＷｃを台紙から本剥離する際に、カバーレイフィルムＷｃを台紙Ｗｍから適切に剥離できない場合もあり得る。

そこで本発明は、従来のフィルムの剥離装置よりもさらに小さな力で確実にフィルムを台紙から剥離することができるフィルムの剥離装置およびフィルムの剥離方法を提供することを目的とする。

［１］本発明のフィルムの剥離装置は、ベース部材にフィルムが剥離可能に貼着されているベース部材付フィルムにおける前記フィルムを前記ベース部材から剥離するフィルムの剥離装置であって、前記フィルムを前記ベース部材から剥離する際に前記フィルムの剥離を容易にするための予備剥離を行う予備剥離機構部を備え、前記予備剥離機構部は、前記フィルムを付着可能な予備剥離ロールを有しており、当該予備剥離機構部は、前記予備剥離ロールを前記フィルムの表面における一方側端部に接触させた状態として、当該予備剥離ロールが回転するように前記ベース部材付フィルム又は前記予備剥離ロールの少なくとも一方を走行させ、前記予備剥離ロールの回転によって前記フィルムの表面における一方側端部から当該フィルムの表面における他方側端部よりも手前に設定されている巻き取り終了位置までの間において当該フィルムを前記ベース部材から剥離しながら巻き取って行く第１工程と、前記第１工程の後に、前記巻き取り終了位置から前記予備剥離ロールを前記フィルムの表面に接触させた状態で、前記ベース部材付フィルム又は前記予備剥離ロールの少なくとも一方を前記第１工程における走行方向とは逆方向に走行させることにより、前記予備剥離ロールが巻き取ったフィルムを前記巻き取り終了位置から前記フィルムの表面における一方側端部の間において前記ベース部材に再貼着して行く第２工程と、を行うことにより前記フィルムを前記ベース部材から予備剥離することを特徴とする。

本発明によれば、予備剥離動作として、予備剥離ロールによりフィルムの表面における一方側端部から当該フィルムの表面における他方側端部よりも手前に設定されている巻き取り終了位置までの間において、フィルムをベース部材から剥離したのちに、剥離したフィルムをベース部材に再貼着するという動作を行う。

このような予備剥離動作を行うことにより、フィルムは、当該フィルムの一方側端部から巻き取り終了位置までの間が、ベース部材から一旦剥がされた状態となっているため、ベースフィルムとの間の粘着力はほぼ解放されたものとなっている。このため、フィルムをベース部材から本剥離する際においては、従来のフィルムの剥離装置よりもさらに小さな力で確実にフィルムを台紙から剥離することができる。これにより、フィルムの材質及びベース部材の材質、さらには貼着剤の種類などに影響されることなく、フィルムをベース部材から適切に剥離することができる。

［２］本発明のフィルムの剥離装置においては、前記巻き取り終了位置は、前記フィルムの表面における他方側端部の直前の位置であって、前記巻き取り終了位置と前記フィルムの表面における他方側端部との間には、予備剥離がなされない非予備剥離領域が存在することが好ましい。

これにより、予備剥離ロールはフィルムの大部分を予備剥離することとなるため、実際にフィルムをベース部材から本剥離する際においては、より小さな力で確実にフィルムを台紙から剥離することができる。また、フィルムには非予備剥離領域が存在するため、本剥離を行う前にフィルムがベース部材から剥がれ落ちてしまうといった不具合を防止することができる。
また、フィルムには非予備剥離領域が存在するため、上記第２工程を行ったときに、予備剥離がなされたフィルムが元の位置に正しく貼着されることとなる。すなわち、仮に、フィルムに非予備剥離領域が存在しないと、上記第２工程を行ったときに、予備剥離がなされたフィルムが元の位置に正しく貼着されないという不具合が生じ場合もあるが、フィルムに非予備剥離領域が存在することにより、このような不具合を防止することができる。

［３］本発明のフィルムの剥離装置においては、前記予備剥離ロールは、表面に粘着部を有する円筒形状のロールであって、前記粘着部の粘着力により前記フィルムを当該予備剥離ロールに付着させて巻き取りを行うことが好ましい。

予備剥離ロールがこのような構造となっているため、フィルムの一方側端部から巻き取り終了位置までの間をベース部材から剥離する動作を確実に行うことができる。

［４］本発明のフィルムの剥離装置においては、前記粘着部は、前記予備剥離ロールの表面全体に設けられていることが好ましい。

粘着部が予備剥離ロールの表面全体に設けられていることにより、フィルムを当該予備剥離ロールに付着させて巻き取る動作を確実に行うことができる。

［５］本発明のフィルムの剥離装置においては、前記予備剥離ロールは、前記フィルムを吸引するための吸引口を表面に有する円筒形状のロールであって、当該予備剥離ロールの内部を負圧とすることによる吸引力により前記フィルムを当該予備剥離ロールに付着させて当該フィルムの巻き取りを行うことが好ましい。

このような構造の予備剥離ロールにおいては、負圧による吸引力によりフィルムを当該予備剥離ロールに吸着させることができる。このため、このような構造の予備剥離ロールによっても、フィルムの一方側端部から巻き取り終了位置までの間をベース部材から剥離する動作を確実に行うことができる。なお、負圧による吸引力によりフィルムを付着させる予備剥離ロールを「吸引式予備剥離ロール」ともいう。

［６］本発明のフィルムの剥離装置においては、前記吸引口は、前記予備剥離ロールの幅方向に沿って設けられていることが好ましい。

吸引式予備剥離ロールをこのような構造とすることにより、フィルムを当該吸引式予備剥離ロールに付着させて巻き取る動作を確実に行うことができる。なお、吸引口は、予備剥離ロールの幅方向に沿って長孔を形成したものであってもよく、また、予備剥離ロールの幅方向に沿って複数個の小孔を形成したものであってもよい。

［７］本発明のフィルムの剥離装置においては、前記予備剥離ロールの径は、当該予備剥離ロールの円周が前記フィルムの表面における前記一方側端部から前記巻き取り終了位置までの長さ以上となるように設定されていることが好ましい。

予備剥離ロール（吸引式予備剥離ロールも含む）の径をこのように設定することにより、当該予備剥離ロールがフィルムを巻き取る動作を行う際、予備剥離ロールが１回転し終わる前にフィルムの巻き取りを行うことができる。これにより、フィルムの巻き取りを効率よく行うことができる。

また、予備剥離ロールが１回転し終わる前にフィルムの巻き取りを行うことができることにより、例えば、予備剥離ロールが、表面全体に粘着部が設けられている予備剥離ロールである場合においては、当該予備剥離ロールがフィルムを巻き取る動作を行う際に、当該予備剥離ロールの表面がフィルムの表面と常に接触するため、フィルムの表面に付着している塵埃を当該予備剥離ロールの側に付着させることができる。これにより、このような構造の予備剥離ロールによれば、フィルムの表面をクリーニングする効果も得られる。

［８］本発明のフィルムの剥離装置においては、前記ベース部材付フィルムは、長尺シート状のベース部材付きフィルムであって、前記長尺状のベース部材付フィルムが、走行路に沿って走行路後方側から走行路前方側に走行する際に、前記ベース部材の側を支持するための案内面を有する基台テーブルと、前記走行路を横切る方向に設けられた切断刃を有し、前記走行路を走行する長尺状のベース部材付きフィルムを、前記ベース部材を残した状態で切断して、前記走行路に沿った方向において所定の寸法を有するフィルム片を生成する切断機構部と、をさらに備え、前記予備剥離機構部は、前記フィルム片の表面における一方側端部を前記走行路前方側とし、前記フィルム片の表面における他方側端部を前記走行路後方側として、当該フィルム片に対して前記第１工程と前記第２工程とを行うことにより前記フィルム片を前記ベース部材から予備剥離することが好ましい。

これは、長尺シート状のベース部材付フィルムを切断機構部によってベース部材を残した状態で切断したのちに、当該切断機構部の切断によって生成されたフィルム片を剥離機構部によって本剥離するフィルムの剥離装置である。このようなフィルムの剥離装置において、切断機構部によって生成されたフィルム片に対して第１工程と第２工程とを行うことによってフィルム片を予備剥離することができる。これにより、個々のフィルム片をベース部材から本剥離する際においては、小さな力で確実にフィルムを台紙から剥離することができる。

［９］本発明のフィルムの剥離装置においては、前記ベース部材付きフィルムは、長尺シート状をなし、かつ、前記ベース部材を残した状態で長手方向に沿って所定の寸法ごとに切断されていることにより前記フィルムが複数のフィルム片として当該ベース部材上に存在している切断済みベース部材付きフィルムであって、前記切断済みベース部材付フィルムが、走行路に沿って走行路後方側から走行路前方側に走行する際に、前記ベース部材の側を支持するための案内面を有する基台テーブルをさらに備え、前記予備剥離機構部は、前記複数のフィルム片のうち、現時点において予備剥離を行うべきフィルム片の表面における一方側端部を前記走行路前方側とし、前記現時点において予備剥離を行うべきフィルム片の表面における他方側端部を前記走行路後方側として、当該フィルム片に対して前記第１工程と前記第２工程とを行うことにより前記フィルム片を前記ベース部材から予備剥離することが好ましい。

これは、ベース部材付フィルムとしては、ベース部材を残した状態で走行路に沿った方向において所定の寸法ごとに切断されている切断済みベース部材付フィルム（プリカット済みベース部材付フィルム）を用いるものである。このような切断済みベース部材付フィルムにおいても、各フィルム片に対して第１工程と第２工程とを行うことによって各フィルム片を予備剥離することができる。これにより、個々のフィルム片をベース部材から本剥離する際においては、小さな力で確実にフィルムを台紙から剥離することができる。

［１０］本発明のフィルムの剥離装置においては、前記予備剥離がなされたフィルム片を前記ベース部材から剥離するための剥離部を有し、前記基台テーブルの前記案内面に沿って前記走行路前方側及び前記走行路後方側に所定範囲で往復動可能な可動剥離ユニットと、前記予備剥離がなされたフィルム片を前記可動剥離ユニットが剥離する際に、前記予備剥離がなされたフィルム片を着脱自在に保持可能とする保持装置と、をさらに備え、前記可動剥離ユニットは、前記可動剥離ユニットが前記走行路後方側へ走行する際において、前記可動剥離ユニットの前記走行路後方側への走行に抗するような力を前記ベース部材に与え、かつ、前記予備剥離がなされたフィルム片を前記保持装置によって保持した状態で、前記可動剥離ユニットを前記走行路後方側に走行させることによって、前記ベース部材を前記フィルム片から引き剥がすことが好ましい。

これは、上記［８］又は［９］に記載したフィルムの剥離装置において、予備剥離がなされたフィルム片をベース部材から剥離する可動剥離ユニットと、予備剥離がなされたフィルム片を着脱自在に保持する保持プレートを有する保持装置とをさらに備えるものであり、このような構成のフィルムの剥離装置においても、フィルム片に対して第１工程と第２工程とを行うことにより予備剥離を行った後に、剥離ユニットによってフィルム片をベース部材から本剥離するため、小さな力でフィルム片をベースフィルムから剥離することができる。

なお、このような本剥離動作を行う際においては、仮に、予備剥離ロールによる予備剥離がなされていないと、ベースフィルムがフィルム片から剥がれようとするときの応力がフィルム片に加わることによって、フィルム片に皺が生じてしまう場合があり、フィルム片の品質を劣化させてしまうことにもなる。

これに対して、本発明のフィルムの剥離装置によれば、予備剥離ロールによって、フィルム片の表面における一方側端部から巻き取り終了位置までの間が、ベース部材から一旦剥がされた状態となっているため、ベースフィルムとの間の粘着力はほぼ解放されたものとなっている。このため、ベースフィルムをフィルム片から本剥離する際においては、フィルム片に加わる応力は殆ど無視できる程度となる。これにより、本剥離動作を行う際に、「フィルム片に皺が生じてしまう場合がある」といった不具合を確実に防止することができ、フィルム片の品質劣化を未然に防止できる。

［１１］本発明のフィルムの剥離装置においては、前記予備剥離機構部よりも前記走行路後方側に設けられ、前記フィルム片の前記走行路前方側端部から当該フィルムを前記走行路後方側に所定量だけ予備剥離するための先端予備剥離機構部をさらに備えることが好ましい。

このような構成とすることにより、予備剥離ロールによる予備剥離動作を、より確実に行うことができる。すなわち、先端予備剥離機構部は、フィルム片の走行路前方側端部（先端部）を所定量だけ予備剥離するものであり、このように、フィルム片の走行路前方側端部（先端部）を所定量だけ予備剥離しておくことにより、予備剥離ロールによる予備剥離をより確実に行うことができる。

［１２］本発明のフィルムの剥離方法は、ベース部材にフィルムが剥離可能に貼着されているベース部材付フィルムにおける前記フィルムを前記ベース部材から剥離するフィルムの剥離方法であって、前記フィルムを前記ベース部材から剥離する際に、前記フィルムの剥離を容易にするための予備剥離を行う予剥離工程を有し、前記予備剥離工程は、前記予備剥離ロールを前記フィルムの表面における一方側端部に接触させた状態として、当該予備剥離ロールが回転するように前記ベース部材付フィルム又は前記予備剥離ロールの少なくとも一方を走行させ、前記予備剥離ロールの回転によって前記フィルムの表面における一方側端部から当該フィルムの表面における他方側端部よりも手前に設定されている巻き取り終了位置までの間において当該フィルムを前記ベース部材から剥離しながら巻き取って行く第１工程と、前記第１工程の後に、前記巻き取り終了位置から前記予備剥離ロールを前記フィルムの表面に接触させた状態で、前記ベース部材付フィルム又は前記予備剥離ロールの少なくとも一方を前記第１工程における走行方向とは逆方向に走行させることにより、前記予備剥離ロールが巻き取ったフィルムを前記巻き取り終了位置から前記フィルムの表面における一方側端部の間において前記ベース部材に再貼着して行く第２工程と、を行うことにより前記フィルムを前記ベース部材から予備剥離することを特徴とする。

本発明のフィルムの剥離方法によれば、［１］に記載の本発明のフィルムの剥離装置と同様の効果が得られる。なお、本発明のフィルムの剥離方法においても、上記［２］〜［１１］に記載の本発明のフィルムの剥離装置が有する特徴と同様の特徴を有することが好ましい。

実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００の正面図である。 実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００の平面図である。 台紙付カバーレイフィルムＷｃの構成を示す図である。 剥離部２３０の構成を示す図である。 実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００の全体的な動作を模式的に示す図である。 実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００の全体的な動作を模式的に示す図である。 図５及び図６に示す実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００の全体的な動作のうち、予備剥離機構部７００の予備剥離ロール７１０による予備剥離動作を詳細に説明する図である。 予備剥離がなされたカバーレイフィルム片Ｗｃ１を示す図である。 実施形態２に係るフィルムの剥離装置２０００の正面図である。 実施形態２に係るフィルムの剥離装置２０００の平面図である。 切断機構部６００による切断動作と先端予備剥離機構部６６０によるカバーレイフィルム片の先端部の予備剥離動作を模式的に示す図である。 予備剥離ロールの変形例を説明するために示す図である。 吸引式予備剥離ロールを説明するために示す図である。 特許文献１に開示されているフィルムの剥離装置９０００の正面図である。 特許文献１に開示されているフィルムの剥離装置９０００の平面図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。

［実施形態１］
図１は、実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００の正面図である。また、図２は、実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００の平面図である。なお、図２においては、図１において図示されている送り出し機構部９１０及び巻き取り機構部９２０は図示が省略されている。また、以下に説明する各実施形態では、フィルムはカバーレイフィルムであるとする。

実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００は、図１及び図２に示すように、台紙Ｗｍに剥離可能に貼着されているカバーレイフィルムＷｃ（台紙付カバーレイフィルムＷｃともいう。）を、台紙Ｗｍを下側とした状態で支持するための案内面１１０を有する基台テーブル１００と、基台テーブル１００の案内面１１０に沿って走行路Ａにおける走行路前方側（矢印ｘ方向）及び走行路Ａにおける走行路後方側（矢印ｘ’方向）に所定範囲で往復動可能な可動剥離ユニット２００と、可動剥離ユニット２００を往復動させるための駆動装置３００と、基台テーブル１００に固定された第１クランプ装置５００と、可動剥離ユニット２００よりも走行路後方側の基台テーブル１００に設置され、台紙付カバーレイフィルムＷｃを、台紙Ｗｍを残した状態で走行路Ａを横切る方向（直交方向とする。）に切断して、走行路Ａに沿った方向において所定の寸法を有するカバーレイフィルム片を生成する切断機構部６００と、可動剥離ユニット２００と切断機構部６００との間に配置され、カバーレイフィルムＷｃ（この場合、切断機構部６００によって生成されたカバーレイフィルム片）を台紙Ｗｍから予備剥離する予備剥離機構部７００と、基台テーブル１００に設置され、予備剥離機構部７００によって予備剥離がなされたフィルム片を可動剥離ユニット２００が本剥離する際に、予備剥離がなされたフィルム片を着脱自在に保持可能とする保持装置８００と、台紙付カバーレイフィルムＷｃを送り出す送り出し機構部９１０と、カバーレイフィルムＷｃの剥離がなされた台紙Ｗｍを巻き取る巻き取り機構部９２０とを備えている。

なお、走行路Ａは構成要素として存在するものではなく、台紙付カバーレイフィルムＷｃが走行する領域を仮想的に示すものであり、図２においては走行路Ａを薄い灰色で示している。

基台テーブル１００の案内面１１０には、架台１２０が案内面１１０に沿って設置されている。そして、架台１２０の上には平行な二本の直線状のガイドレール１３１，１３２（図２参照）が所定の間隔を置いて架設されている。

可動剥離ユニット２００は、ガイドレール１３１，１３２に沿って走行路前方側及び走行路後方側に往復動可能な可動プレート２１０と、この可動プレート２１０の上面側に固定された切断用支持台座部２２０と、切断用支持台座部２２０の走行路前方側の端部に設けられた剥離部２３０（詳細は後述する。）とを有している。なお、切断用支持台座部２２０は、台紙付カバーレイフィルムＷｃを切断する際に台紙付カバーレイフィルムＷｃを下側から支持するものであり、可動プレート２１０とともに走行路前方側及び走行路後方側に往復動可能となっている。

また、可動剥離ユニット２００は、切断機構部６００よりも走行路後方側でかつ可動プレート２１０に固定された第２クランプ装置２４０と、剥離部２３０よりも走行路前方側でかつ可動プレート２１０に固定された第３クランプ装置２５０と、第３クランプ装置２５０と剥離部２３０との間の可動プレート２１０に固定された転向ロール２６０と、可動プレート２１０の走行路前方側の先端部に固定された支持台座部２７０とを有している。なお、支持台座部２７０は、保持装置８００が下降した状態でカバーレイフィルム片を保持する際にカバーレイフィルム片を下方向から支持するものである。

ところで、前述した第１クランプ装置５００は、送り出し機構部９１０から送りされてくる台紙付カバーレイフィルムＷｃをクランプ状態又は非クランプ状態のいずれかに設定可能なクランプである。例えば、可動剥離ユニット２００が台紙付カバーレイフィルムＷｃを走行路前方側に送るために走行路前方側に走行する際は、非クランプ状態（「開」）となるように動作し、可動剥離ユニット２００がカバーレイフィルムＷｃを台紙Ｗｍから本剥離するために走行路後方側に走行する際は、クランプ状態（「閉」）となるように動作する。

一方、第２クランプ装置２４０は、可動剥離ユニット２００とともに往復動し、台紙付カバーレイフィルムＷｃをクランプ状態又は非クランプ状態のいずれかに設定可能なクランプである。また、第３クランプ装置２５０は、可動剥離ユニット２００とともに往復動し、カバーレイフィルムＷｃを剥離した台紙Ｗｍをクランプ状態又は非クランプ状態のいずれかに設定可能なクランプである。

例えば、第２クランプ装置２４０及び第３クランプ装置２５０は、可動剥離ユニット２００が台紙付カバーレイフィルムＷｃを走行路前方側に送るために走行路前方側に走行する際は、クランプ状態（「閉」）となるように動作し、可動剥離ユニット２００がカバーレイフィルムＷｃを台紙Ｗｍから本剥離する動作を行うために走行路後方側に走行する際は、非クランプ状態（「開」）となるように動作する。また、予備剥離機構部７００による予備剥離を行う際は、第２クランプ装置２４０及び第３クランプ装置２５０は、ともにクランプ状態（「閉」）となるように動作する。

なお、第１クランプ装置５００、第２クランプ装置２４０及び第３クランプ装置２５０の具体的な動作、可動剥離ユニット２００による本剥離動作、予備剥離機構部７００による予備剥離動作については後述する。

駆動装置３００は、可動剥離ユニット２００の可動プレート２１０の下端側に固定されたナット(図示せず。)と、当該ナットに螺合しているボールスクリュー３１０と、ボールスクリュー３１０を時計方向または反時計方向に回転させるためのサーボモーター３２０とを有している。このように構成された駆動装置３００は、サーボモーター３２０を運転制御することにより、可動剥離ユニット２００を基台テーブル１００の案内面１１０上において走行路前方側及び走行路後方側に所定範囲で往復動させることができる。

切断機構部６００は、可動剥離ユニット２００を幅方向（矢印ｙ−ｙ’方向）において挟むように基台テーブル１００上に固定された支柱６１０，６２０と、支柱６１０，６２０に上下方向（矢印ｚ−ｚ’方向）の往復動が可能となるように支持された切断刃取り付けプレート６３０と、切断刃取り付けプレート６３０の下端面に走行路Ａと直交する方向に取り付けられた直線状の切断刃６４０と、切断刃取り付けプレート６３０を上下方向（矢印ｚ−ｚ’方向）に往復動させる切断駆動部６５０とを有している。

切断刃６４０は、台紙付カバーレイフィルムＷｃを走行路Ａに直交する方向に台紙Ｗｍを残した状態で切断するものであるが、カバーレイフィルムＷｃを切断する際は、カバーレイフィルムＷｃを確実に切断可能とするために、台紙Ｗｍを切断することなく、かつ、台紙Ｗｍにわずかに食い込む程度にまで下降可能となるように設定されている。

このように構成されている切断機構部６００は、台紙付カバーレイフィルムＷｃを、台紙Ｗｍを残した状態で走行路Ａに直交する方向に切断して、走行路Ａに沿った方向において所定の寸法を有するカバーレイフィルム片を生成する。

予備剥離機構部７００は、予備剥離ロール７１０と予備剥離ロール７１０を回転自在に支持する支持プレート７２０と、予備剥離ロール７１０を矢印ｚ−ｚ‘方向に昇降させる昇降駆動部（図示せず。）とを有している。

予備剥離ロール７１０は、実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００においては、表面全体に粘着力を有するものであり、例えば、粘着力を有するゴムなどをロール状に形成したものである。当該予備剥離ロール７１０は、図示しない駆動機構部により上下方向（矢印ｚ−ｚ’方向）の往復動が可能となっている。

予備剥離ロール７１０は、通常時においては、カバーレイフィルムＷｃ（この場合、切断機構部６００によって生成されたカバーレイフィルム片）に非接触状態となるように位置しており、予備剥離動作を行う際には、下降して、カバーレイフィルム片に接触する。そして、台紙付きカバーレイフィルムＷｃを走行路前方側及び走行路後方側に所定範囲内で走行させることにより、予備剥離ロール７１０がカバーレイフィルム片上で回転し、カバーレイフィルム片を台紙Ｗｍから剥離しながら巻き取って行く動作を行う。この動作については後述する。

なお、予備剥離ロール７１０は、モーターなどの動力によって回転するものではなく、台紙付きカバーレイフィルムＷｃに接触した状態で当該台紙付きカバーレイフィルムＷｃが走行路に沿って走行することにより回転するものである。

また、予備剥離ロール７１０は粘着力を有するものであるが、その粘着力は、予備剥離ロール７１０がカバーレイフィルム片に接触した状態でカバーレイフィルム片上を回転することにより、当該カバーレイフィルム片を台紙から剥がしながら巻き取って行くことができる程度の粘着力であるとする。

保持装置８００は、予備剥離がなされたカバーレイフィルム片を吸着して保持（吸着保持という。）する吸着保持装置である。このため、当該保持装置８００を、以下、吸着保持装置８００という。

吸着保持装置８００は、図１に示すように、矢印ｚ−ｚ’方向に沿って往復動可能で、かつ、図示を省略するトラバースライン（図２における矢印ｙ−ｙ’方向のライン）に沿って往復動可能に設けられている。この吸着保持装置８００の先端面（走行路Ａに対向する面）には吸着プレート８１０が設けられている。また、吸着プレート８１０の上端側には、吸着機構部８２０が設けられている。この吸着機構部８２０は、負圧生成装置（図示せず。）に接続される負圧吸引パイプ８２１が設けられている。

また、吸着プレート８１０の下端面（走行路Ａに対向する面）には、メッシュ状の多数の負圧吸着口（図示せず。）が設けられており、これらの負圧吸着口は、負圧吸引パイプ８２１に通じている。したがって、負圧生成装置が作動することにより、負圧吸着口は、負圧吸引状態となり、当該吸着保持装置８００の位置にまで走行してきたカバーレイフィルム片を吸着することできる。

また、送り出し機構部９１０は、送り出すべき台紙付カバーレイフィルムＷｃを装着する送り出しリール９１１と、転向ロール９１２と、送り出しリール９１１と転向ロール９１２との間に介在されているテンションロール９１３とを有している。一方、巻き取り機構部９２０は、カバーレイフィルムＷｃを剥離した台紙Ｗｍを巻き取る巻き取りリール９２１と、ニップロール９２２と、転向ロール９２３と、巻き取りリール９２１とニップロール９２２との間に介在されているテンションロール９２４とを有している。

送り出しリール９１１に装着されている台紙付カバーレイフィルムＷｃの一方側端部（走行路前方側端部）には所定の長さの先導フィルムＷａが接続されており、この先導フィルムＷａは、送り出し機構部９１０の送り出しリール９１１からテンションロール９１３を介して転向ロール９１２で水平方向に転換されて、基台テーブル１００の案内面１１０を通ったのち、巻き取り機構部９２０の転向ロール９２３で下方向に転向され、ニップロール９２２、テンションロール９２４を介して巻き取りリール９２１に巻き付けられている。この先導フィルムの後には台紙（カバーレイフィルムＷｃを本剥離した状態の台紙）Ｗｍが続いている。

図３は、台紙付カバーレイフィルムＷｃの構成を示す図である。台紙付カバーレイフィルムＷｃは、ポリエチレン樹脂、ポリエステル樹脂又はマイラーフィルムなどから作られた長尺状の台紙Ｗｍに、ポリイミド樹脂又はポリエステル樹脂で作られたカバーレイフィルムＷｃが剥離可能に貼着された構成となっている。

図４は、剥離部２３０の構成を示す図である。剥離部２３０は、図４に示すように、台紙Ｗｍの下面（走行路Ａ側の面）を台紙Ｗｍの幅方向（図２における矢印ｙ−ｙ’方向）全体を摺接可能に支持する水平面２３１と、当該水平面２３１に対して鋭角θ（θ＝４５度前後が好ましい。）をなす傾斜面２３２とを有している。そして、剥離部２３０の先端部（水平面２３１と傾斜面２３２との接続部）には、台紙折り返し部２３３が形成されている。

剥離部２３０がこのような構成を有することによって、台紙Ｗｍは、剥離部２３０の水平面２３１に接した状態で矢印ｘ方向に走行したのち、台紙折り返し部２３３で９０度以上折り返された後、転向ロール２６０で方向を替えて水平方向に走行する。なお、剥離部２３０は、台紙Ｗｍが円滑に摺接状態で走行可能とするため、摩擦係数が小さい材料（例えばテフロン（登録商標）などの材料）で構成することが望ましい。

なお、カバーレイフィルムＷｃ（この場合、予備剥離がなされたカバーレイフィルム片）を台紙Ｗｍから本剥離する際に、可動剥離ユニット２００が矢印ｘ’方向（走行路後方側）に走行する動作を行う際においては、吸着保持装置８００（図４では図示せず。）は、下降状態となっていて、予備剥離がなされたカバーレイフィルム片を吸着保持した状態となっている。

次に、実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００の動作について説明する。
図５及び図６は、実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００の全体的な動作を模式的に示す図である。なお、図５及び図６においては、説明に不要な構成要素の図示は省略されている。このため、図１及び図２よりも簡略化されたものとなっている。また、図１及び図２と同じ構成要素には同一符号が付されている。

図７は、図５及び図６に示す実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００の全体的な動作のうち、予備剥離機構部７００の予備剥離ロール７１０による予備剥離動作を詳細に説明する図である。なお、図７は予備剥離ロール７１０と台紙付カバーレイフィルムＷｃの部分を拡大して示しており、説明に不要な構成要素の図示は省略されている。

以下、図５〜図７を参照しながら実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００の動作について説明する。

まず、台紙付カバーレイフィルムＷｃに接続されている先導フィルムＷａは、その先端部が巻き取りリール９２１に巻き取られるようにセットされている。そして、当該先導フィルムＷａの後に続く台紙付カバーレイフィルムＷｃは、初期設定として、当該台紙付カバーレイフィルムＷｃの一方側端部（走行路前方側端部ともいう。）Ｅ１が可動剥離ユニット２００における剥離部２３０の先端部すなわち台紙折り返し部２３３（図４参照。）の位置となるようにセットされる（図５（ａ）参照。）。このとき、なお、図５（ａ）の状態においては、吸着保持装置８００は、図５（ａ）に示すように、上昇した位置（支持台座部２７０に非接触の位置）となっている。

図５（ａ）に示す状態において、切断機構部６００により切断動作を行うと、カバーレイフィルムＷｃが切断され、カバーレイフィルム片が生成される。このカバーレイフィルム片（切断刃６４０よりも走行路前方側のカバーレイフィルム片）を第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１とする。当該第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１は、現時点において予備剥離対象となるカバーレイフィルム片となる。

また、この場合、切断機構部６００による切断動作によって生成される個々のカバーレイフィルム片の走行路に沿ったサイズＬ１（カバーレイフィルムサイズＬ１という。）は、剥離部２３０の台紙折り返し部２３３の位置から切断刃６４０までの距離にほぼ相当するものとする。なお、カバーレイフィルムサイズＬ１は、可動剥離ユニット２００の走行量を設定することにより、所定範囲で任意に設定可能である。

そして、予備剥離機構部７００により、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１に対する予備剥離動作が行われる。これを図５及び図７により説明する。
予備剥離動作を開始するに先立って、可動剥離ユニット２００は、図５（ａ）の状態から走行路後方側（矢印ｘ’方向）に所定量だけ走行する。このとき、予備剥離ロール７１０は、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１に非接触となっている。また、切断機構部６００は上昇した位置にある。また、このときの各クランプ装置の状態は、第１クランプ装置５００は「開」となっており、第２クランプ装置２４０及び第３クランプ装置２５０はともに「閉」となっている。

予備剥離ロール７１０、切断機構部６００及び各クランプ装置（第１クランプ装置５００、第２クランプ装置２４０及び第３クランプ装置２５０）がこのような状態で、可動剥離ユニット２００が図５（ａ）の状態から走行路後方側（矢印ｘ’方向）に走行すると、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１も可動剥離ユニット２００とともに走行路後方側に走行する。

そして、可動剥離ユニット２００における剥離部２３０の台紙折り返し部２３３、すなわち、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における一方側端部としての走行路前方側端部Ｅ１が予備剥離ロール７１０の直下となった位置で、可動剥離ユニット２００が一旦停止する。この状態を図７（ａ）に示す。図７（ａ）の状態において、予備剥離ロール７１０が下降して、予備剥離ロール７１０が第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における前方側端部Ｅ１に接触した状態となる（図７（ｂ）参照。）。

なお、図７における符号Ｅ２は、図５（ａ）において切断機構部６００により切断動作を行った際のカバーレイフィルムＷｃの切断部を示すものであり、この切断部Ｅ２が現時点において予備剥離対象となっている第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における他方側端部すなわち走行路後方側端部Ｅ２となる。そして、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における走行路後方側端部Ｅ２は、次に予備剥離対象となるカバーレイフィルム片（第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２とする。）の一方側端部すなわち走行路前方側端部となる。以下では、走行路前方側端部を「前方側端部」と略記し、走行路後方側端部を「後方側端部」と略記する場合もある。

このように、予備剥離ロール７１０が第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における前方側端部Ｅ１の表面に接触した状態（図７（ｂ）の状態）となると、可動剥離ユニット２００は走行路前方側に走行して行く。これにより、図７（ｃ）に示すように、予備剥離ロール７１０は第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面上で回転し、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を台紙Ｗｍから剥がしながら巻き取って行く動作を行う。

そして、予備剥離ロール７１０が第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を所定量だけ巻き取った位置Ｐ１（図７（ｄ）参照。）で、可動剥離ユニット２００の走行が停止する。なお、「位置Ｐ１」を「巻き取り終了位置Ｐ１」という。

このように、予備剥離ロール７１０がカバーレイフィルム片Ｗｃ１を巻き取る際は、カバーレイフィルムサイズＬ１のうち、巻き取り終了位置Ｐ１から後方側端部Ｅ２までの所定の長さΔＬを残して、前方側端部Ｅ１から巻き取り終了位置Ｐ１までの長さＬ２を巻き取るように設定されている。なお、所定の長さΔＬを「非巻き取り長さΔＬ」と表記し、カバーレイフィルム片Ｗｃ１の前方側端部Ｅ１から巻き取り終了位置Ｐ１までの長さを「巻き取り長さＬ２」と表記する場合もある。また、非巻き取り長さΔＬに対応する第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の領域を「非予備剥離領域」とし、また、巻き取り長さＬに対応する第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の領域を「予備剥離領域」とする。

そして、図７（ｄ）の状態から、今度は、可動剥離ユニット２００が再び走行路後方側に走行して行く。これにより、予備剥離ロール７１０は、一旦、巻き取ったカバーレイフィルム片を台紙上に戻して行く動作を行うこととなる。そして、可動剥離ユニット２００が第２カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における前方側端部Ｅ１に達すると（図７（ｅ）参照。）、予備剥離ロール７１０は上昇して、図７（ａ）に示す状態に戻る。

予備剥離機構部７００における予備剥離ロール７１０が、図７（ａ）〜図７（ｄ）に示す工程（第１工程）を行った後に、図７（ｅ）に示す工程（第２工程）を行うことにより、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１は、前方側端部Ｅ１から巻き取り終了位置Ｐ１までの間が予備剥離されたものとなり、当該第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１には予備剥離領域と非予備剥離領域とが存在する。

図８は、予備剥離がなされた第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を示す図である。図８において、灰色で示す領域が予備剥離領域である。すなわち、図７（ａ）〜図７（ｅ）に示すような第１工程と第２工程とがなされることにより、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１は、図８に示すように、前方側端部Ｅ１から巻き取り終了位置Ｐ１までの巻き取り長さＬに対応する予備剥離領域と、巻き取り終了位置Ｐ１から後方側端部Ｅ２までの非巻き取り長さΔＬに対応する非予備剥離領域が存在する。

このように、予備剥離がなされた後の第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１には、非予備剥離領域が存在することで、台紙Ｗｍから第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１が剥がれ落ちてしまうといった不具合を未然に防止することができる。このため、後に行われる可動剥離ユニット２００によって第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を本剥離する工程などに支障をきたすことがなくなる。なお、巻き取り終了位置Ｐ１は、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の後方側端部Ｅ２の直前の位置に設定することが好ましい。

巻き取り終了位置Ｐ１をこのように設定することにより、予備剥離ロール７１０は第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の大部分を予備剥離することとなり、非予備剥離領域をより少なくすることができる。これにより、実際に第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を台紙Ｗｍから本剥離する工程においては、より小さな力で確実に第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を台紙Ｗｍから本剥離することができる。

なお、図８においては、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１について説明しているが、その後に続く、第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２、第３カバーレイフィルム片Ｗｃ３、・・・の各カバーレイフィルム片（図８においては図示せず。）についても同様である。

ところで、予備剥離ロール７１０の径は、特に限定されるものではないが、実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００においては、予備剥離ロール７１０の円周が、巻き取り長さＬ２と同等か巻き取り長さＬ２よりも多少大きくなるように設定することが好ましい。

予備剥離ロール７１０の径をこのように設定することにより、当該予備剥離ロール７１０が予備剥離対象となるカバーレイフィルム片（この場合、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１）を巻き取る動作を行う際、当該予備剥離ロール７１０が１回転し終わる前に第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の巻き取りを行うことができる。これにより、フィルムの巻き取りを効率よく行うことができる。

また、予備剥離ロール７１０が１回転し終わる前にフィルムの巻き取りを行うことができることにより、当該予備剥離ロール７１０がフィルムを巻き取る動作を行う際に、当該予備剥離ロール７１０の表面が第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面と常に接触するため、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面に付着している塵埃を当該予備剥離ロール７１０の側に付着させることができる。これにより、このような構造の予備剥離ロール７１０によれば、フィルムの表面をクリーニングする効果も得られる。

図７に示すような予備剥離動作が行われると、今度は、可動剥離ユニット２００によって第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を台紙から本剥離する動作を行う。この本剥離動作は、図５（ｂ）以降の動作である。すなわち、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１に対する予備剥離動作が終了した状態（図７（ｅ）に示す状態）から、図７（ａ）に示すように、予備剥離ロール７１０が上昇したのちに、可動剥離ユニット２００による本剥離動作がなされる。

本剥離動作を行う際においては、可動剥離ユニット２００は、走行路前方側に走行し、予備剥離済みの第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１が吸着保持装置８００の直下となる（図５（ｂ）参照。）。

この状態で、吸着保持装置８００が下降し、予備剥離済みの第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を吸着する（図５(ｃ)参照。）。このとき、吸着保持装置８００は下降したまま吸着状態を保持する。ここで、各クランプ装置の状態を切り替える。すなわち、第１クランプ装置５００を「開」から「閉」とし、第２クランプ装置２４０及び第３クランプ装置２５０をともに「閉」から「開」とする。

そして、図６（ａ）に示すように、可動剥離ユニット２００を走行路後方側（矢印ｘ’方向）に走行させる。なお、可動剥離ユニット２００を走行路後方側（矢印ｘ’方向）に走行させる際は、可動剥離ユニット２００の走行路後方側への走行に抗するような力を台紙Ｗｍに与え、かつ、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１が吸着保持装置８００によって保持された状態で、可動剥離ユニット２００を走行路後方側（矢印ｘ’方向）に走行させるようにしている。これにより、吸着保持装置８００に吸着されている第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を台紙Ｗｍから引き剥がすことができる。

なお、可動剥離ユニット２００の走行路後方側への走行に抗するような力を台紙Ｗｍに与える手段としては、可動剥離ユニット２００を走行路後方側に走行させながら台紙Ｗｍを巻き取りリール９２１で巻き取るようにすることを例示することができる。

このような本剥離動作は、可動剥離ユニット２００の先端部に設けられた剥離部２３０の存在によって確実に行うことができる。すなわち、剥離部２３０は、図４示したような構成となっているため、吸着保持装置８００によって第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を吸着保持した状態で、可動剥離ユニット２００を走行路後方側に走行させながら台紙Ｗｍを巻き取りリール９２１で巻き取ると、台紙Ｗｍは、剥離部２３０の台紙折り返し部２３３で折り返された状態で引っ張られることとなる。これにより、台紙Ｗｍは、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１から引き剥がされるように動作する。これによって、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を台紙Ｗｍから確実に剥離することができる。

ところで、上記したような本剥離動作を行う際においては、仮に、予備剥離ロール７１０による予備剥離がなされていないと、台紙Ｗｍが第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１から剥がれようとするときの応力が第１カバーレイフィルムに加わり、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１に皺が生じてしまう場合があり、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の品質を劣化させてしまうことにもなる。

これに対して、実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００によれば、予備剥離ロール７１０によって第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の殆どの領域（図８参照。）が、台紙Ｗｍから一旦剥がされた状態となっているため、台紙Ｗｍとの間の粘着力はほぼ解放されたものとなっている。このため、台紙Ｗｍを第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１から本剥離する際においては、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１に加わる応力は殆ど無視できる程度となる。これにより、本剥離する際に、「第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１に皺が生じてしまう場合がある」といったことを確実に防止することができ、第１カバーレイフィルム片の品質劣化を未然に防止できる。

なお、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を台紙Ｗｍから本剥離した状態においては、可動剥離ユニット２００の支持台座部２７０が吸着保持装置８００の直下にまで走行した状態となっている。このため、支持台座部２７０は、吸着保持装置８００に吸着保持されている第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を下側から支持するような状態となる（図６（ａ）参照。）。

そして、図６（ａ）の状態から吸着保持装置８００が上昇する（図６（ｂ）参照。）。このように、吸着保持装置８００は、台紙Ｗｍから本剥離した第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を吸着して上昇した状態（図６（ｂ）参照。）となったあとは、走行路Ａに直交するトラバースライン（図示せず。）に沿ってベースフィルム（図示せず。）の直上へ移送され、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１がベースフィルムの所定位置に仮圧着される。

このとき、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１は、下面側が貼着面となった状態で吸着保持装置８００に吸着保持されている。このため、ベースフィルムに仮圧着される際に、吸着保持装置８００は、吸着保持している第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１をそのまま重力方向に沿って下降させればよい。これにより、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を安定した状態で適切にベースフィルムに仮圧着することができる。そして、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１をベースフィルムに仮圧着したあと、吸着保持装置８００は、トラバースラインに沿って元の位置（図６（ｂ）の位置）に戻る。

ところで、吸着保持装置８００が上昇した状態（図６（ｂ）参照。）においては、各クランプ装置の状態が切り替わって、第１クランプ装置５００は「閉」から「開」となり、第２クランプ装置２４０及び第３クランプ装置２５０はともに「開」から「閉」となって、再び、切断機構部６００が下降して次の切断動作が行われる（図６（ｃ）参照。）。

図６（ｃ）の状態は、図５（ａ）の状態と同じであるが、図６（ｃ）においては、切断機構部６００により、次のカバーレイフィルム片Ｗｃ２（第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２とする。）を生成するための切断動作が行われる。当該第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２は、現時点における予備剥離対象のカバーレイフィルム片となる。このとき、第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２の前方側端部は、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１を生成したときの切断部Ｅ２（図７及び図８参照。）であり、当該第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２の前方側端部は、可動剥離ユニット２００における剥離部２３０の先端部に位置している。そして、当該第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２に対しても、図７（ａ）〜図７（ｅ）に示すような予備剥離動作が行われる。その後、図５（ｂ）、図５（ｃ）及び図６（ａ）〜図６（ｃ）に示す本剥離動作を行う。

このような動作が繰り返し行われることにより、切断機構部６００の切断動作により生成された各カバーレイフィルム片は、予備剥離ロール７１０による予備剥離動作がなされて、図８に示したように、各カバーレイフィルム片は、個々のカバーレイフィルム片において、非予備剥離領域をわずかに残した大部分が予備剥離領域となっている。このため、図５（ｂ）〜図６（ｂ）に示す本剥離動作を確実かつ容易に行うことができる。これにより、カバーレイフィルムを台紙から本剥離する際に、カバーレイフィルムの材質及び台紙の材質、さらには貼着剤の種類などによっては、カバーレイフィルムを台紙Ｗｍから適切に剥離できないといった不具合が発生することを未然に防止できる。

［実施形態２］
図９は、実施形態２に係るフィルムの剥離装置２０００の正面図である。
図１０は、実施形態２に係るフィルムの剥離装置２０００の平面図である。なお、図１０においては、図９において図示されている送り出し機構部９１０及び巻き取り機構部９２０は図示が省略されている。

実施形態２に係るフィルムの剥離装置２０００が実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００と異なるのは、各カバーレイフィルム片の前方側端部（先端部ともいう。）を、当該カバーレイフィルム片の前方側端部から後方側端部に向かって所定量だけ予備剥離するための予備剥離機構部６６０を設けた点である。なお、予備剥離機構部６６０は、各カバーレイフィルム片の前方側端部すなわち先端部を予備剥離するものであるため、先端予備剥離機構部６６０という。また、実施形態２に係るフィルムの剥離装置２０００においても、フィルムはカバーレイフィルムであるとする。

実施形態２に係るフィルムの剥離装置２０００においては、先端予備剥離機構部６６０は、切断機構部６００に設けられている。なお、図１０に示す実施形態２に係るフィルムの剥離装置２０００において、実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００と同一構成要素には同一符号が付されている。

先端予備剥離機構部６６０は、切断刃６４０よりも走行路後方側で切断刃６４０に沿って設けられている。当該先端予備剥離機構部６６０は、切断刃６４０に沿って設けられた複数個（４個とする。）の負圧吸引口６６１〜６６４と、当該負圧吸引口６６１〜６６４に接続された空気吸入用パイプ（図示せず。）と、負圧生成装置（図示せず。）とを有している。

先端予備剥離機構部６６０は、切断刃６４０よりも走行路前方側に存在する台紙付カバーレイフィルムＷｃが切断刃６４０によって切断される際、切断刃６４０よりも走行路後方側に存在するカバーレイフィルムＷｃの先端部を、切断刃６４０の切断線に沿って吸引することによって、当該カバーレイフィルムＷｃの先端部を台紙Ｗｍから予備剥離するものである。

図１１は、切断機構部６００による切断動作と先端予備剥離機構部６６０によるカバーレイフィルム片の先端部の予備剥離動作を模式的に示す図である。なお、図１１は図９における切断機構部６００の主要部を拡大して示すものである。図１１（ａ）は切断機構部６００による切断動作を行う前の状態を示し、図１１（ｂ）は切断機構部６００による切断動作を行っている状態を示し、図１１（ｃ）は切断動作が終了して切断機構部６００が上昇して元の位置に復帰しようとしている状態を示し、図１１（ｄ）は先端予備剥離機構部６６０により先端部の予備剥離が行われたカバーレイフィルムＷｃを示している。なお、図１１（ａ）、図１１（ｂ）及び図１１（ｃ）においては、破線で囲まれた円Ｒの拡大図がそれぞれ示されている。

なお、図１１おいて、既に切断されて切断機構部６００よりも走行路前方側に位置する一片のカバーレイフィルム片を第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１とし、当該第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１に後続するカバーレイフィルムを後続カバーレイフィルムＷｃという。

まず、図１１（ａ）から図１１（ｂ）に示すように、切断機構部６００が矢印ｚ’方向に下降して、切断刃６４０によってカバーレイフィルムＷｃが切断されることによって、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１が生成される。また、このとき、先端予備剥離機構部６６０の負圧吸引口６６１〜６６４は、後続カバーレイフィルムＷｃの先端部を吸引した状態となる。

そして、切断動作が終了して切断機構部６００が元の位置に上昇（矢印ｚ方向に上昇）しようとするとき、先端予備剥離機構部６６０は吸引動作を保持するため、後続カバーレイフィルムＷｃの先端部は台紙Ｗｍから剥離される（図１１（ｃ）参照。）。そして、切断機構部６００が元の位置にまで上昇した状態となると、先端予備剥離機構部６６０による吸引動作も解除される。吸引動作が解除されると、後続カバーレイフィルムＷｃの先端部は、台紙Ｗｍに再貼着した状態となる。

図１１（ｄ）は先端予備剥離機構部６６０により先端部の予備剥離がなされた後続カバーレイフィルムＷｃを示すもので、予備剥離された領域を灰色で示している。図１１（ｄ）に示すように、後続カバーレイフィルムＷｃは、先端部が予備剥離された状態となっている。

このように、後続カバーレイフィルムＷｃは先端部が予備剥離されたのち、台紙付カバーレイフィルムＷｃが所定量だけ走行路前方側に走行して、切断機構部６００が台紙付カバーレイフィルムを切断すると、先端部が予備剥離されている後続カバーレイフィルムＷｃは、第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２となる。第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２は、先端部が図１１（ｄ）に示すように予備剥離されているため、この後に行われる予備剥離ロール７１０による予備剥離動作は容易なものとなる。

すなわち、図７（ａ）〜図７（ｃ）において説明したように、予備剥離ロール７１０が現時点において予備剥離対象となるカバーレイフィルム片（この場合、第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２とする。）の表面における前方側端部Ｅ２に接触した状態から、当該第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２を巻き取る動作を開始する際に、第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２の前方側端部Ｅ２が予備剥離されているため、予備剥離ロール７１０が第２カバーレイフィルム片Ｗｃ２を巻き取りし易くなる。これにより、予備剥離ロール７１０による予備剥離がより確実なものとなる。

このように、実施形態２に係るフィルムの剥離装置２０００によれば、予備剥離ロール７１０による予備剥離動作を、より確実に行うことができる。それによって、可動剥離ユニット２００による本剥離動作もより確実に行うことができる。実施形態２に係るフィルムの剥離装置２０００においては、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１に対しては、先端部の予備剥離がなされないこととなるが、例えば、実際に使用するカバーレイフィルムの前方側にダミーのフィルムを設けておくことにより、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１に対しても先端部の予備剥離を行うことが可能となる。

なお、本発明は上述の各実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能となるものである。たとえば、下記に示すような変形実施も可能である。

（１）上記各実施形態においては、台紙付カバーレイフィルムＷｃを切断機構部６００によって台紙Ｗｍを残した状態で切断する場合を例示したが、予め、台紙Ｗｍを残した状態で切断されている台紙付カバーレイフィルム（プリカット済み台紙付カバーレイフィルムという。）を使用することもできる。

このように、プリカット済み台紙付カバーレイフィルムを実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００又は実施形態２に示すフィルムの剥離装置２０００において使用する場合には、切断機構部６００が切断動作を行わないように設定しておけばよい。

また、プリカット済み台紙付カバーレイフィルム専用のフィルムの剥離装置を用いてもよい。プリカット済み台紙付カバーレイフィルム専用のフィルムの剥離装置としては、例えば、実施形態１に係るフィルムの剥離装置１０００又は実施形態２に示すフィルムの剥離装置２０００において、切断機構部を有しないフィルムの剥離装置を例示することができる。なお、切断機構部６００を有しないフィルムの剥離装置であっても、個々のカバーレイフィルム片の前方側端部（先端部）を予備剥離する先端予備剥離機構部を設けるようにしてもよい。この先端予備剥離機構部としては、実施形態２に係るフィルムの剥離装置において説明した先端予備剥離機構部６６０とほぼ同様のものを用いることができる。

（２）上記各実施形態においては、予備剥離ロール７１０は、表面全体が粘着力を有するものを例示したが、必ずしも表面全体が粘着力を有するものでなくてもよい。

図１２は、予備剥離ロール７１０の変形例を説明するために示す図である。図１２（ａ）は予備剥離ロール７１０の第１変形例を示す図であり、図１２（ｂ）は予備剥離ロール７１０の第２変形例を示す図であり、図１２（ｃ）は予備剥離ロール７１０の第３変形例を示す図であり、図１２（ｄ）は予備剥離ロール７１０の第４変形例を示す図である。

予備剥離ロール７１０の第１変形例（以下、予備剥離ロール７１０Ａという。）は、図１２（ａ）に示すように、予備剥離ロール７１０Ａの表面７１１の幅方向（矢印ｙ−ｙ’方向）の一方側部から他法側までの間に帯状の一本の粘着部７１２を形成した場合である。このような予備剥離ロール７１０Ａを用いる場合は、当該予備剥離ロール７１０Ａが図７（ａ）に示した位置にあるときは、当該予備剥離ロール７１０Ａの粘着部７１２がカバーレイフィルム片の表面における前方側端部（図７においては第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の前方側端部Ｅ１）の表面における前方側端部に対向するように設定しておく。これにより、当該予備剥離ロール７１０Ａが下降したときには、帯状の粘着部７１２が第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における前方側端部Ｅ１に接触することとなり、その後は上記実施形態１において説明したと同様の動作を行うことができる。

予備剥離ロール７１０の第２変形例（以下、予備剥離ロール７１０Ｂという。）は、図１２（ｂ）に示すように、予備剥離ロール７１０Ｂの表面の幅方向に帯状の粘着部７１２を複数本形成した場合である。

このような予備剥離ロール７１０Ｂを用いる場合は、当該予備剥離ロール７１０Ｂが図７（ａ）に示す位置にあるときは、当該予備剥離ロール７１０Ｂの複数本の粘着部７１２のいずれの粘着部７１２が、カバーレイフィルム片（図７においては第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における前方側端部Ｅ１）に対向するように設定しておく。これにより、当該予備剥離ロール７１０Ｂが下降したときには、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における前方側端部Ｅ１に対向した位置にある粘着部７１２が第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における前方側端部Ｅ１に接触することとなり、その後は上記実施形態１において説明したと同様の動作を行うことができる。

なお、第１変形例及び第２変形例においては、幅方向において一方側から他方側までの粘着部７１２は、幅方向において連続するように形成されている場合を例示したが、断続的に形成されていてもよい。

予備剥離ロール７１０の第３変形例（以下、予備剥離ロール７１０Ｃという。）は、図１２（ｃ）に示すように、予備剥離ロール７１０Ｃの表面における幅方向両端部において周方向に一周するような帯状の粘着部７１３を形成した場合である。なお、周方向に一周するような帯状の粘着部７１３の幅は、当該予備剥離ロール７１０Ｃが下降したときに、カバーレイフィルム片の表面における幅方向両端部に必ず接触するように設定しておく。

このような予備剥離ロール７１０Ｃにおいては、当該予備剥離ロール７１０Ｃが下降したときには、幅方向両端部の粘着部７１３が第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における幅方向両端部に接触し、その後は上記実施形態１において説明したと同様の動作を行うことができる。

予備剥離ロール７１０の第４変形例（以下、予備剥離ロール７１０Ｄという。）は、図１２（ｄ）に示すように、予備剥離ロール７１０Ｄの表面における幅方両端側において周方向に一周するような帯状の粘着部７１３に加えて、幅方向中央部にも周方向に一周するような帯状の粘着部７１３を形成した場合である。

このような予備剥離ロール７１０Ｄにおいては、当該予備剥離ロール７１０Ｃが下降したときには、３箇所に設けられている各粘着部７１３が第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における幅方向両端部及び中央部にそれぞれ接触し、その後は上記実施形態１において説明したと同様の動作を行うことができる。なお、図１２（ｄ）においては、予備剥離ロール７１０Ｄの表面における幅方向両端部及び中央部の３箇所に、それぞれ周方向の粘着部７１３を形成した場合を例示したが、３箇所に限られるものではなく４箇所以上としてもよい。

なお、第３変形例及び第４変形例においては、各粘着部７１３が周方向において連続するように形成されている場合を例示したが、周方向において断続した状態で形成されていてもよい。

また、これらの各変形例に限られるものではなく、例えば、図１２（ａ）〜図１２（ｄ）を組み合わせたものであってもよく、また、予備剥離ロール７１０の表面にモザイク状に粘着部を形成するようにしてもよい。

（３）上記各実施形態においては、予備剥離ロール７１０は表面に粘着部を有し、当該粘着部による粘着力によって予備剥離を行う場合を説明したが、予備剥離ロール７１０は、負圧による吸引力によって予備剥離を行う予備剥離ロールであってもよい。なお、負圧による吸引力によって予備剥離を行う予備剥離ロールを「吸引式予備剥離ロール」という。

図１３は、吸引式予備剥離ロールを説明するために示す図である。図１３（ａ）は、吸引式予備剥離ロールの第１の例（以下、第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅという。）を示す図であり、図１３（ｂ）は、吸引式予備剥離ロールの第２の例（以下、第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆという。）を示す図を示す図である。

第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅ及び第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆは、内部に空間を有する円筒形状をなし、図１３（ａ）及び図１３（ｂ）に示すように、第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅの幅方向（矢印ｙ−ｙ’方向）に沿って吸引口７１５，７１６が設けられている。なお、第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅは、図１３（ａ）に示すように、吸引口７１５は複数の小孔であり、第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆは、図１３（ｂ）に示すように、吸引口７１６は帯状の長孔である。

このような第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅ又は第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆを用いる場合は、第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅ又は第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆが図７（ａ）に示す位置にあるときは、当該第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅの吸引口７１５又は第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆの吸引口７１６が、カバーレイフィルム片（図７においては第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における前方側端部Ｅ１）に対向するように設定しておく。

これにより、当該第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅ又は第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆが下降したときには、第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅの吸引口７１５又は第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆの吸引口７１６が、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１の表面における前方側端部Ｅ１に接触することとなり、その後は上記実施形態１において説明したと同様の動作を行うことができる。
なお、図１３（ｂ）においては、帯状の吸引口７１６は幅方向において連続するように形成されている場合を例示したが、断続した状態で形成されていてもよい。

また、第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅ又は第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆにおいても、当該第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅ又は第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆのそれぞれの径は、当該第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅ又は第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆの円周が、巻き取り長さＬ２（図８参照。）と同等か巻き取り長さＬ２よりも多少大きくなるように設定することが好ましい。

第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅ又は第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆのそれぞれの径をこのように設定することにより、当該第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅ又は第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆが、予備剥離対象となるカバーレイフィルム（例えば、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１）を巻き取る動作を行う際、当該第１吸引式予備剥離ロール７１０Ｅ又は第２吸引式予備剥離ロール７１０Ｆが１回転し終わる前にカバーレイフィルムの巻き取りを行うことができる。これにより、フィルムの巻き取りを効率よく行うことができる。

また、予備剥離ロールとしては、粘着力によって予備剥離する予備剥離ロール及び負圧による吸引力により予備する予備剥離する予備剥離ロールの他に、静電気の吸着力によりによって予備剥離する予備剥離ロールを用いることも可能である。

（４）上記各実施形態においては、予備剥離ロール７１０により予備剥離を行う際には、台紙付カバーレイフィルムＷｃの側を走行路上に沿って往復動させることにより、予備剥離ロール７１０をカバーレイフィルム（例えば、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１）上で回転させることにより、予備剥離を行う場合を例示したが、予備剥離ロール７１０の側を走行路に沿って往復動させるようにして予備剥離を行わせることもできる。

また、台紙付カバーレイフィルムＷｃ及び予備剥離ロール７１０の両方を往復動させるようにしてもよい。この場合、台紙付カバーレイフィルムＷｃの走行方向と、予備剥離ロール７１０の走行方向とは、互いに逆方向となるようにする。これにより、予備剥離動作をより高速化することができる。

（５）予備剥離ロール７１０による予備剥離が終了したのち、カバーレイフィルム（例えば、第１カバーレイフィルム片Ｗｃ１）を台紙Ｗｍから本剥離する機構としては、上記各実施形態において示した可動剥離ユニット２００を用いた場合を例示したが、これに限られるものではなく、種々の剥離機構を用いることができる。

（６）上記各実施形態においては、予備剥離ロール７１０による予備剥離動作は、ロール・トゥ・ロール（Roll to Roll）方式のフィルムの剥離装置において、長尺状の台紙付カバーレイフィルムを切断機構によって台紙を残した状態で切断されることによって生成されたカバーレイフィルム片を台紙から本剥離する場合を例示したが、これに限られるものではなく、１枚ごとに個別となっている短尺の台紙付カバーレイフィルムのカバーレイフィルムを台紙から本剥離する場合にも適用できる。

このように、１枚ごとに個別となっている短尺の台紙付カバーレイフィルムにおいても、実施形態１又は２において説明したように、予備剥離機構部７００により、図７に示す第１工程と第２工程とを行うことにより、当該短尺の台紙付カバーレイフィルムにおけるカバーレイフィルムを台紙から予備剥離することができる。

（７）上記各実施形態においては、フィルムは、カバーレイフィルムであるとして説明したが、カバーレイフィルムに限られるものではなく、例えば、補強フィルムであってもよい。また、電子機器の表示部（例えば、液晶表示パネル、有機ＥＬ表示パネルなど。）に貼り付けて、当該電気機器へ情報を入力するために用いるタッチパネル用フィルムであってもよい。さらにまた、電子機器の表示部（例えば、液晶表示パネル、有機ＥＬ表示パネルなど。）のパネル面を保護するための保護フィルムその他のフィルムであってもよい。

（８）上記実施形態２においては、予備剥離ロール７１０による予備剥離動作の前段階に、先端予備剥離機構部６６０によりカバーレイフィルムの先端部を予備剥離する場合を例示したが、これに加えて、他の予備剥離機構を併用してもよい。例えば、特許文献１に開示されているフィルムの剥離装置９０００（図１４参照。）に設けられている予備剥離機構部（図１４においては予備剥離機構部４００）を設け、当該予備剥離機構部４００の第１剥がし板４１０及び第２剥がし板４２０により、カバーレイフィルムＷｃの両サイドを予備剥離したのちに、先端予備剥離機構部６６０により先端部の予備剥離を行い、その後で、予備剥離ロール７１０による予備剥離動作を行うようにしてもよい。このようにすることにより、可動剥離ユニット２００による本剥離動作をより一層、確実なものとすることができる。

（９）上記各実施形態においては、予備剥離ロール７１０は、カバーレイフィルムＷｃの表面をクリーニングすることも可能であるとしたが、この場合、予備剥離ロール７１０に付着した塵埃を除去する補助ロール（図示せず。）を予備剥離ロール７１０に接触可能とするように設けることも可能である。当該補助ロールは、予備剥離ロール７１０に付着した塵埃を除去するためのものであるため、予備剥離ロール７１０よりも粘着力の大きい部材で形成されていることが好ましい。

このような補助ロールとしては、例えば、粘着テープをロール状に巻いたものを好ましく用いることができる。このような補助ロールを予備剥離ロール７１０に接触可能とするように設けることにより、予備剥離ロール７１０に付着した塵埃をある程度は補助ロール側に付着させることができる。これにより、予備剥離ロール７１０を長時間使用することができ、予備剥離ロール７１０のメンテナンスを容易なものとすることができる。
また、補助ロールは粘着テープを巻いたものでなく、補助ロールそのものが粘着力を有する部材でなるものであってもよい。

（１０）上記各実施形態においては、予備剥離ロール７１０は、全体が粘着力を有する部材でなるものとして説明したが、これに限られるものではなく、予備剥離ロール７１０の表面のみが粘着力を有するようなものであってもよい。例えば、合成樹脂などから円筒体の表面に粘着力を有する部材を巻き付けたものであってもよく、また、円筒体の表面に粘着層が形成されているものであってもよい。

１００・・・基台テーブル、１１０・・・案内面、１３１，１３２・・・ガイドレール、２００・・・可動剥離ユニット、２１０・・・可動プレート、２２０・・・切断用支持台座部、２３０・・・剥離部、２３１・・・平面、２３２・・・傾斜面、２３３・・台紙折り返し部、２４０・・・第２クランプ装置２５０・・・第３クランプ、３００・・・駆動装置、５００・・・第１クランプ、６００・・・切断機構部、６４０・・・切断刃、６６０・・・先端予備剥離機構部、７００・・・予備剥離機構部、７１０・・・予備剥離ロール、７１０Ａ，７１０Ｂ，７１０Ｃ，７１０Ｄ・・・予備剥離ロールの変形例、７１０Ｅ・・・第１吸引式予備剥離ロール、７１０Ｆ・・・第２吸引式予備剥離ロール、７２０・・・支持プレート、８００・・・吸着保持装置、８１０・・・吸着プレート、９１０・・・送り出し機構部、９２０・・・巻き取り機構部、Ａ・・・走行路、Ｅ１・・・走行路前方側端部（一方側端部）、Ｌ１・・・カバーレイフィルムサイズ、Ｌ２・・・巻き取り長さ、ΔＬ・・・非巻き取り長さ、Ｐ１・・・巻き取り終了位置、Ｗａ・・・先導フィルム、Ｗｃ・・・カバーレイフィルム、Ｗｃ１・・・第１カバーレイフィルム片、Ｗｃ２・・・第２カバーレイフィルム片、Ｗｍ・・・台紙（ベース部材）

Claims (12)

1. ベース部材にフィルムが剥離可能に貼着されているベース部材付フィルムにおける前記フィルムを前記ベース部材から剥離するフィルムの剥離装置であって、
   前記フィルムを前記ベース部材から剥離する際に前記フィルムの剥離を容易にするための予備剥離を行う予備剥離機構部を備え、
   前記予備剥離機構部は、前記フィルムを付着可能な予備剥離ロールを有しており、
   当該予備剥離機構部は、
   前記予備剥離ロールを前記フィルムの表面における一方側端部に接触させた状態として、当該予備剥離ロールが回転するように前記ベース部材付フィルム又は前記予備剥離ロールの少なくとも一方を走行させ、前記予備剥離ロールの回転によって前記フィルムの表面における一方側端部から当該フィルムの表面における他方側端部よりも手前に設定されている巻き取り終了位置までの間において当該フィルムを前記ベース部材から剥離しながら巻き取って行く第１工程と、
   前記第１工程の後に、前記巻き取り終了位置から前記予備剥離ロールを前記フィルムの表面に接触させた状態で、前記ベース部材付フィルム又は前記予備剥離ロールの少なくとも一方を前記第１工程における走行方向とは逆方向に走行させることにより、前記予備剥離ロールが巻き取ったフィルムを前記巻き取り終了位置から前記フィルムの表面における一方側端部の間において前記ベース部材に再貼着して行く第２工程と、
   を行うことにより前記フィルムを前記ベース部材から予備剥離することを特徴とするフィルムの剥離装置。
2. 請求項１に記載のフィルムの剥離装置において、
   前記巻き取り終了位置は、前記フィルムの表面における他方側端部の直前の位置であって、前記巻き取り終了位置と前記フィルムの表面における他方側端部との間には、予備剥離がなされない非予備剥離領域が存在することを特徴とするフィルムの剥離装置。
3. 請求項１又は２のいずれかに記載のフィルムの剥離装置において、
   前記予備剥離ロールは、表面に粘着部を有する円筒形状のロールであって、前記粘着部の粘着力により前記フィルムを当該予備剥離ロールに付着させて巻き取りを行うことを特徴とするフィルムの剥離装置。
4. 請求項３に記載のフィルムの剥離装置において、
   前記粘着部は、前記予備剥離ロールの表面全体に設けられていることを特徴とするフィルムの剥離装置。
5. 請求項１又は２に記載のフィルムの剥離装置において、
   前記予備剥離ロールは、前記フィルムを吸引するための吸引口を表面に有する円筒形状のロールであって、当該予備剥離ロールの内部を負圧とすることによる吸引力により前記フィルムを当該予備剥離ロールに付着させて当該フィルムの巻き取りを行うことを特徴とするフィルムの剥離装置。
6. 請求項５に記載のフィルムの剥離装置において、
   前記吸引口は、前記予備剥離ロールの幅方向に沿って設けられていることを特徴とするフィルムの剥離装置。
7. 請求項１〜６のいずれかに記載のフィルムの剥離装置において、
   前記予備剥離ロールの径は、当該予備剥離ロールの円周が前記フィルムの表面における前記一方側端部から前記巻き取り終了位置までの長さ以上となるように設定されていることを特徴とするフィルムの剥離装置。
8. 請求項１〜７のいずれかに記載のフィルムの剥離装置において、
   前記ベース部材付フィルムは、長尺シート状のベース部材付きフィルムであって、
   前記長尺状のベース部材付フィルムが、走行路に沿って走行路後方側から走行路前方側に走行する際に、前記ベース部材の側を支持するための案内面を有する基台テーブルと、
   前記走行路を横切る方向に設けられた切断刃を有し、前記走行路を走行する長尺状のベース部材付きフィルムを、前記ベース部材を残した状態で切断して、前記走行路に沿った方向において所定の寸法を有するフィルム片を生成する切断機構部と、
   をさらに備え、
   前記予備剥離機構部は、前記フィルム片の表面における一方側端部を前記走行路前方側とし、前記フィルム片の表面における他方側端部を前記走行路後方側として、当該フィルム片に対して前記第１工程と前記第２工程とを行うことにより前記フィルム片を前記ベース部材から予備剥離することを特徴とするフィルムの剥離装置。
9. 請求項１〜７のいずれかに記載のフィルムの剥離装置において、
   前記ベース部材付きフィルムは、長尺シート状をなし、かつ、前記ベース部材を残した状態で長手方向に沿って所定の寸法ごとに切断されていることにより前記フィルムが複数のフィルム片として当該ベース部材上に存在しているフィルム切断済みベース部材付きフィルムであって、
   前記フィルム切断済みベース部材付フィルムが、走行路に沿って走行路後方側から走行路前方側に走行する際に、前記ベース部材の側を支持するための案内面を有する基台テーブルをさらに備え、
   前記予備剥離機構部は、前記複数のフィルム片のうち、現時点において予備剥離を行うべきフィルム片の表面における一方側端部を前記走行路前方側とし、前記現時点において予備剥離を行うべきフィルム片の表面における他方側端部を前記走行路後方側として、当該フィルム片に対して前記第１工程と前記第２工程とを行うことにより前記フィルム片を前記ベース部材から予備剥離することを特徴とするフィルムの剥離装置。
10. 請求項８又は９に記載のフィルムの剥離装置において、
    前記予備剥離がなされたフィルム片を前記ベース部材から剥離するための剥離部を有し、前記基台テーブルの前記案内面に沿って前記走行路前方側及び前記走行路後方側に所定範囲で往復動可能な可動剥離ユニットと、
    前記予備剥離がなされたフィルム片を前記可動剥離ユニットが剥離する際に、前記予備剥離がなされたフィルム片を着脱自在に保持可能とする保持装置と、
    をさらに備え、
    前記可動剥離ユニットは、
    前記可動剥離ユニットが前記走行路後方側へ走行する際において、前記可動剥離ユニットの前記走行路後方側への走行に抗するような力を前記ベース部材に与え、かつ、前記予備剥離がなされたフィルム片を前記保持装置によって保持した状態で、前記可動剥離ユニットを前記走行路後方側に走行させることによって、前記ベース部材を前記フィルム片から引き剥がすことを特徴とするフィルムの剥離装置。
11. 請求項８〜１０のいずれかに記載のフィルムの剥離装置において、
    前記予備剥離機構部よりも前記走行路後方側に設けられ、前記フィルム片の前記走行路前方側端部から当該フィルムを前記走行路後方側に所定量だけ予備剥離するための先端予備剥離機構部をさらに備えることを特徴とするフィルムの剥離装置。
12. ベース部材にフィルムが剥離可能に貼着されているベース部材付フィルムにおける前記フィルムを前記ベース部材から剥離するフィルムの剥離方法であって、
    前記フィルムを前記ベース部材から剥離する際に、前記フィルムの剥離を容易にするための予備剥離を行う予剥離工程を有し、
    前記予備剥離工程は、
    前記予備剥離ロールを前記フィルムの表面における一方側端部に接触させた状態として、当該予備剥離ロールが回転するように前記ベース部材付フィルム又は前記予備剥離ロールの少なくとも一方を走行させ、前記予備剥離ロールの回転によって前記フィルムの表面における一方側端部から当該フィルムの表面における他方側端部よりも手前に設定されている巻き取り終了位置までの間において当該フィルムを前記ベース部材から剥離しながら巻き取って行く第１工程と、
    前記第１工程の後に、前記巻き取り終了位置から前記予備剥離ロールを前記フィルムの表面に接触させた状態で、前記ベース部材付フィルム又は前記予備剥離ロールの少なくとも一方を前記第１工程における走行方向とは逆方向に走行させることにより、前記予備剥離ロールが巻き取ったフィルムを前記巻き取り終了位置から前記フィルムの表面における一方側端部の間において前記ベース部材に再貼着して行く第２工程と、
    を行うことにより前記フィルムを前記ベース部材から予備剥離することを特徴とするフィルムの剥離方法。

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