JP6455886B2 - 硬化性シリコーン組成物、その硬化物、および光半導体装置 - Google Patents
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims description 92
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 title claims description 82
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 36
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 34
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 36
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 claims description 32
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 21
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 20
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 20
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 claims description 15
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 13
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000006459 hydrosilylation reaction Methods 0.000 claims description 7
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 4
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000002683 reaction inhibitor Substances 0.000 claims description 2
- -1 heptenyl group Chemical group 0.000 description 71
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical group [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 37
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 33
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 23
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical class OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 229910020388 SiO1/2 Inorganic materials 0.000 description 16
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 14
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 14
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 12
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 229910020485 SiO4/2 Inorganic materials 0.000 description 10
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- 229910020487 SiO3/2 Inorganic materials 0.000 description 9
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 9
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 9
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 9
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910020447 SiO2/2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 7
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical compound CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 6
- 125000002704 decyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 125000003438 dodecyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- BITPLIXHRASDQB-UHFFFAOYSA-N ethenyl-[ethenyl(dimethyl)silyl]oxy-dimethylsilane Chemical compound C=C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C=C BITPLIXHRASDQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000003187 heptyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 125000001400 nonyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 6
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 6
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 6
- ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N triflic acid Chemical compound OS(=O)(=O)C(F)(F)F ITMCEJHCFYSIIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(phenyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1 ZNOCGWVLWPVKAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000002948 undecyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 6
- 125000004400 (C1-C12) alkyl group Chemical group 0.000 description 5
- 125000006710 (C2-C12) alkenyl group Chemical group 0.000 description 5
- 125000000094 2-phenylethyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 5
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 5
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 5
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 5
- 125000005388 dimethylhydrogensiloxy group Chemical group 0.000 description 5
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 5
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 5
- 125000004998 naphthylethyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC=CC=C12)CC* 0.000 description 5
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical class 0.000 description 5
- QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 1H-1,2,3-Triazole Chemical compound C=1C=NNN=1 QWENRTYMTSOGBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 4
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 4H-1,2,4-triazole Chemical compound C=1N=CNN=1 NSPMIYGKQJPBQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000004423 acyloxy group Chemical group 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000002178 anthracenyl group Chemical group C1(=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C12)* 0.000 description 4
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 4
- 125000004369 butenyl group Chemical group C(=CCC)* 0.000 description 4
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 125000003493 decenyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 4
- 125000005066 dodecenyl group Chemical group C(=CCCCCCCCCCC)* 0.000 description 4
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- 125000006038 hexenyl group Chemical group 0.000 description 4
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 4
- 125000005187 nonenyl group Chemical group C(=CCCCCCCC)* 0.000 description 4
- 125000004365 octenyl group Chemical group C(=CCCCCCC)* 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 125000002255 pentenyl group Chemical group C(=CCCC)* 0.000 description 4
- 125000005561 phenanthryl group Chemical group 0.000 description 4
- 125000001725 pyrenyl group Chemical group 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 4
- 125000005372 silanol group Chemical class 0.000 description 4
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 4
- 125000005065 undecenyl group Chemical group C(=CCCCCCCCCC)* 0.000 description 4
- 125000005023 xylyl group Chemical group 0.000 description 4
- CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-2h-benzotriazole Chemical compound CC1=CC=CC2=NNN=C12 CMGDVUCDZOBDNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 3
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 3
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 3
- 125000001246 bromo group Chemical group Br* 0.000 description 3
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 3
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N octamethylcyclotetrasiloxane Chemical compound C[Si]1(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O[Si](C)(C)O1 HMMGMWAXVFQUOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 3
- 229920001843 polymethylhydrosiloxane Polymers 0.000 description 3
- 125000002572 propoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 3
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- 125000006736 (C6-C20) aryl group Chemical group 0.000 description 2
- QYLFHLNFIHBCPR-UHFFFAOYSA-N 1-ethynylcyclohexan-1-ol Chemical compound C#CC1(O)CCCCC1 QYLFHLNFIHBCPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KLSJWNVTNUYHDU-UHFFFAOYSA-N Amitrole Chemical compound NC1=NC=NN1 KLSJWNVTNUYHDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 2
- BYLOHCRAPOSXLY-UHFFFAOYSA-N dichloro(diethyl)silane Chemical compound CC[Si](Cl)(Cl)CC BYLOHCRAPOSXLY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N ferrosoferric oxide Chemical compound O=[Fe]O[Fe]O[Fe]=O SZVJSHCCFOBDDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 125000005417 glycidoxyalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 2
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 2
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 229910000108 silver(I,III) oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N sulfur monoxide Chemical class S=O XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 2
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IDXCKOANSQIPGX-UHFFFAOYSA-N (acetyloxy-ethenyl-methylsilyl) acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](C)(C=C)OC(C)=O IDXCKOANSQIPGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSKNTIBJBKHLSA-UHFFFAOYSA-N (acetyloxy-ethyl-methylsilyl) acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](C)(CC)OC(C)=O JSKNTIBJBKHLSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWEKXPWNFQBJAY-UHFFFAOYSA-N (dimethyl-$l^{3}-silanyl)oxy-dimethylsilicon Chemical compound C[Si](C)O[Si](C)C KWEKXPWNFQBJAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HMVBQEAJQVQOTI-SOFGYWHQSA-N (e)-3,5-dimethylhex-3-en-1-yne Chemical compound CC(C)\C=C(/C)C#C HMVBQEAJQVQOTI-SOFGYWHQSA-N 0.000 description 1
- GRGVQLWQXHFRHO-AATRIKPKSA-N (e)-3-methylpent-3-en-1-yne Chemical compound C\C=C(/C)C#C GRGVQLWQXHFRHO-AATRIKPKSA-N 0.000 description 1
- YFSYFAJGRGDWQT-KTKRTIGZSA-N (z)-1-(benzotriazol-1-yl)octadec-9-en-1-one Chemical compound C1=CC=C2N(C(=O)CCCCCCC\C=C/CCCCCCCC)N=NC2=C1 YFSYFAJGRGDWQT-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- MDTUWBLTRPRXBX-UHFFFAOYSA-N 1,2,4-triazol-3-one Chemical compound O=C1N=CN=N1 MDTUWBLTRPRXBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FMCUPJKTGNBGEC-UHFFFAOYSA-N 1,2,4-triazol-4-amine Chemical compound NN1C=NN=C1 FMCUPJKTGNBGEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 1,2-bis(ethenyl)benzene;1-ethenyl-2-ethylbenzene;styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1.CCC1=CC=CC=C1C=C.C=CC1=CC=CC=C1C=C NWUYHJFMYQTDRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LZTSCEYDCZBRCJ-UHFFFAOYSA-N 1,2-dihydro-1,2,4-triazol-3-one Chemical compound OC=1N=CNN=1 LZTSCEYDCZBRCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(prop-2-enyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound C=CCN1C(=O)N(CC=C)C(=O)N(CC=C)C1=O KOMNUTZXSVSERR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ASOKPJOREAFHNY-UHFFFAOYSA-N 1-Hydroxybenzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N(O)N=NC2=C1 ASOKPJOREAFHNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQPDFQFGNCXQSL-UHFFFAOYSA-N 1-[(dioctylamino)methyl]benzotriazole-4-carboxylic acid Chemical compound C1=CC=C2N(CN(CCCCCCCC)CCCCCCCC)N=NC2=C1C(O)=O LQPDFQFGNCXQSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGEPBYXGRXRFGU-UHFFFAOYSA-N 1-[[bis(2-ethylhexyl)amino]methyl]benzotriazole-4-carboxylic acid Chemical compound C1=CC=C2N(CN(CC(CC)CCCC)CC(CC)CCCC)N=NC2=C1C(O)=O KGEPBYXGRXRFGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OILIWDRDPKUVBC-UHFFFAOYSA-N 1-[[bis(2-hydroxyethyl)amino]methyl]benzotriazole-4-carboxylic acid Chemical compound C1=CC=C2N(CN(CCO)CCO)N=NC2=C1C(O)=O OILIWDRDPKUVBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYNVQVFAPOVHNT-UHFFFAOYSA-N 1-[[bis(2-hydroxypropyl)amino]methyl]benzotriazole-4-carboxylic acid Chemical compound C1=CC=C2N(CN(CC(C)O)CC(O)C)N=NC2=C1C(O)=O DYNVQVFAPOVHNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 1-butoxypropan-2-ol Chemical compound CCCCOCC(C)O RWNUSVWFHDHRCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQCZPFJGIXHZMB-UHFFFAOYSA-N 1-tert-Butoxy-2-propanol Chemical compound CC(O)COC(C)(C)C GQCZPFJGIXHZMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFBBKYQYNPNMAT-UHFFFAOYSA-N 1h-1,2,4-triazol-1-ium-3-thiolate Chemical compound SC=1N=CNN=1 AFBBKYQYNPNMAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VMAWODUEPLAHOE-UHFFFAOYSA-N 2,4,6,8-tetrakis(ethenyl)-2,4,6,8-tetramethyl-1,3,5,7,2,4,6,8-tetraoxatetrasilocane Chemical compound C=C[Si]1(C)O[Si](C)(C=C)O[Si](C)(C=C)O[Si](C)(C=C)O1 VMAWODUEPLAHOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZJUBBHODHNQPW-UHFFFAOYSA-N 2,4,6,8-tetramethyl-1,3,5,7,2$l^{3},4$l^{3},6$l^{3},8$l^{3}-tetraoxatetrasilocane Chemical compound C[Si]1O[Si](C)O[Si](C)O[Si](C)O1 WZJUBBHODHNQPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LHPPDQUVECZQSW-UHFFFAOYSA-N 2-(benzotriazol-2-yl)-4,6-ditert-butylphenol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC(C(C)(C)C)=CC(N2N=C3C=CC=CC3=N2)=C1O LHPPDQUVECZQSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WXHVQMGINBSVAY-UHFFFAOYSA-N 2-(benzotriazol-2-yl)-4-tert-butylphenol Chemical compound CC(C)(C)C1=CC=C(O)C(N2N=C3C=CC=CC3=N2)=C1 WXHVQMGINBSVAY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ITLDHFORLZTRJI-UHFFFAOYSA-N 2-(benzotriazol-2-yl)-5-octoxyphenol Chemical compound OC1=CC(OCCCCCCCC)=CC=C1N1N=C2C=CC=CC2=N1 ITLDHFORLZTRJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WKZLYSXRFUGBPI-UHFFFAOYSA-N 2-[benzotriazol-1-ylmethyl(2-hydroxyethyl)amino]ethanol Chemical compound C1=CC=C2N(CN(CCO)CCO)N=NC2=C1 WKZLYSXRFUGBPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GHUVKJKGVAZUHA-UHFFFAOYSA-N 2-ethylbut-1-enyl(hydroxy)silane Chemical compound C(C)C(=C[SiH2]O)CC GHUVKJKGVAZUHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CEBKHWWANWSNTI-UHFFFAOYSA-N 2-methylbut-3-yn-2-ol Chemical compound CC(C)(O)C#C CEBKHWWANWSNTI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTZPUTADNGREHA-UHFFFAOYSA-N 2h-benzo[e]benzotriazole Chemical compound C1=CC2=CC=CC=C2C2=NNN=C21 YTZPUTADNGREHA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZDWPBMJZDNXTPG-UHFFFAOYSA-N 2h-benzotriazol-4-amine Chemical compound NC1=CC=CC2=C1NN=N2 ZDWPBMJZDNXTPG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KFJDQPJLANOOOB-UHFFFAOYSA-N 2h-benzotriazole-4-carboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC2=NNN=C12 KFJDQPJLANOOOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SSKLSASVMYKNHK-UHFFFAOYSA-N 3,3-diphenylprop-2-enoxysilane Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(=CCO[SiH3])C1=CC=CC=C1 SSKLSASVMYKNHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethylhex-1-yn-3-ol Chemical compound CC(C)CC(C)(O)C#C NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WVIXTJQLKOLKTQ-UHFFFAOYSA-N 3-(benzotriazol-1-yl)propane-1,2-diol Chemical compound C1=CC=C2N(CC(O)CO)N=NC2=C1 WVIXTJQLKOLKTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MVRGLMCHDCMPKD-UHFFFAOYSA-N 3-amino-1h-1,2,4-triazole-5-carboxylic acid Chemical compound NC1=NNC(C(O)=O)=N1 MVRGLMCHDCMPKD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MGSLBBSZARNBCU-UHFFFAOYSA-N 3-ethylpent-2-enoxysilane Chemical compound C(C)C(=CCO[SiH3])CC MGSLBBSZARNBCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CQLAMJKGAKHIOC-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxybenzotriazole-5-carboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C2N=NN(O)C2=C1 CQLAMJKGAKHIOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDMRLRNXHLPZJN-UHFFFAOYSA-N 3-propoxypropan-1-ol Chemical compound CCCOCCCO LDMRLRNXHLPZJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 4-(3-methoxyphenyl)aniline Chemical compound COC1=CC=CC(C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 OSWFIVFLDKOXQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BWFMTHGMFVQPSE-UHFFFAOYSA-N 4-amino-1,2,4-triazolidine-3,5-dione Chemical compound NN1C(=O)NNC1=O BWFMTHGMFVQPSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NGKNMHFWZMHABQ-UHFFFAOYSA-N 4-chloro-2h-benzotriazole Chemical compound ClC1=CC=CC2=NNN=C12 NGKNMHFWZMHABQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRHDSDJIMDCCKE-UHFFFAOYSA-N 4-ethyl-2h-benzotriazole Chemical compound CCC1=CC=CC2=C1N=NN2 QRHDSDJIMDCCKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHEICIPYBJHEQV-UHFFFAOYSA-N 4-ethylhex-3-enoxysilane Chemical compound C(C)C(=CCCO[SiH3])CC QHEICIPYBJHEQV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZBSKZKPSSKTLNE-UHFFFAOYSA-N 4-methylpent-3-enoxysilane Chemical compound CC(=CCCO[SiH3])C ZBSKZKPSSKTLNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BSQHPNWDOZEXBX-UHFFFAOYSA-N 5-[(dibutylamino)methyl]-2h-benzotriazole-4-carboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(CN(CCCC)CCCC)C=CC2=NNN=C21 BSQHPNWDOZEXBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZUUZPAYWFIBDF-UHFFFAOYSA-N 5-amino-1,2-dihydro-1,2,4-triazole-3-thione Chemical compound NC1=NNC(S)=N1 WZUUZPAYWFIBDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVBWRBHVXDTVEB-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)[Si](O[Si](C)(C=C)C1=CC=CC=C1)(C)C=C.C(=C)[Si](O[Si](C=C)(C=C)C=C)(C=C)C=C Chemical compound C1(=CC=CC=C1)[Si](O[Si](C)(C=C)C1=CC=CC=C1)(C)C=C.C(=C)[Si](O[Si](C=C)(C=C)C=C)(C=C)C=C VVBWRBHVXDTVEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N Cu2+ Chemical compound [Cu+2] JPVYNHNXODAKFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N CuO Inorganic materials [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004283 SiO 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009973 Ti2O3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009815 Ti3O5 Inorganic materials 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RQVFGTYFBUVGOP-UHFFFAOYSA-N [acetyloxy(dimethyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](C)(C)OC(C)=O RQVFGTYFBUVGOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BKPKTOIGWIYKJZ-UHFFFAOYSA-N [bis(ethenyl)-methylsilyl]oxy-bis(ethenyl)-methylsilane Chemical compound C=C[Si](C=C)(C)O[Si](C)(C=C)C=C BKPKTOIGWIYKJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZGKIFMFVVLNYAN-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(anthracen-1-yl)silyl] acetate Chemical compound C1=CC=C2C=C3C([Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)OC(=O)C)=CC=CC3=CC2=C1 ZGKIFMFVVLNYAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXJLGCBCRCSXQF-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(ethyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](CC)(OC(C)=O)OC(C)=O KXJLGCBCRCSXQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TVJPBVNWVPUZBM-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(methyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](C)(OC(C)=O)OC(C)=O TVJPBVNWVPUZBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VLFKGWCMFMCFRM-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(phenyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)C1=CC=CC=C1 VLFKGWCMFMCFRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCLSUQHCFCXETM-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(pyren-1-yl)silyl] acetate Chemical compound C1=C2C([Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)OC(=O)C)=CC=C(C=C3)C2=C2C3=CC=CC2=C1 UCLSUQHCFCXETM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTVHXOHGRUQTPX-UHFFFAOYSA-N [ethenyl(dimethyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](C)(C)C=C KTVHXOHGRUQTPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001242 acetic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 125000003668 acetyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(=O)O[*] 0.000 description 1
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004202 aminomethyl group Chemical group [H]N([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N ammonia Natural products N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPWKFWQTTJZSCM-UHFFFAOYSA-N anthracen-1-yl(trichloro)silane Chemical compound C1=CC=C2C=C3C([Si](Cl)(Cl)Cl)=CC=CC3=CC2=C1 RPWKFWQTTJZSCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZGDOOZYUWMOIJH-UHFFFAOYSA-N anthracen-1-yl(trihydroxy)silane Chemical compound C1=CC=C2C=C3C([Si](O)(O)O)=CC=CC3=CC2=C1 ZGDOOZYUWMOIJH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFLZEANEEYUWOE-UHFFFAOYSA-N anthracen-1-yl(trimethoxy)silane Chemical compound C1=CC=C2C=C3C([Si](OC)(OC)OC)=CC=CC3=CC2=C1 HFLZEANEEYUWOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- GHPGOEFPKIHBNM-UHFFFAOYSA-N antimony(3+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Sb+3].[Sb+3] GHPGOEFPKIHBNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- OMBADDZNTSOLPP-UHFFFAOYSA-N benzhydryloxy(methyl)silane Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(O[SiH2]C)C1=CC=CC=C1 OMBADDZNTSOLPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JSAYQGVHWNBMNG-UHFFFAOYSA-N bis(2-methylbut-3-yn-2-yloxy)-prop-1-enylsilane Chemical compound CC=C[SiH](OC(C#C)(C)C)OC(C#C)(C)C JSAYQGVHWNBMNG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004106 butoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N carbonic acid Chemical compound OC(O)=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- ZTBHAQIQNUZAJC-UHFFFAOYSA-N chloro(2-ethylbut-1-enyl)silane Chemical compound Cl[SiH2]C=C(CC)CC ZTBHAQIQNUZAJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YMQKSHPWLHFISZ-UHFFFAOYSA-N chloro-bis(ethenyl)-methylsilane Chemical compound C=C[Si](Cl)(C)C=C YMQKSHPWLHFISZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XSDCTSITJJJDPY-UHFFFAOYSA-N chloro-ethenyl-dimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)C=C XSDCTSITJJJDPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PLMTWHZZBPGADP-UHFFFAOYSA-N chloro-ethenyl-diphenylsilane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Si](C=C)(Cl)C1=CC=CC=C1 PLMTWHZZBPGADP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIFXYFOVERKZLG-UHFFFAOYSA-N chloro-methyl-(2-phenylethenyl)silane Chemical compound C[SiH](Cl)C=CC1=CC=CC=C1 ZIFXYFOVERKZLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OJZNZOXALZKPEA-UHFFFAOYSA-N chloro-methyl-diphenylsilane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Si](Cl)(C)C1=CC=CC=C1 OJZNZOXALZKPEA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNKJLYMBVRDUEI-UHFFFAOYSA-N chloro-tris(ethenyl)silane Chemical compound C=C[Si](Cl)(C=C)C=C NNKJLYMBVRDUEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004218 chloromethyl group Chemical group [H]C([H])(Cl)* 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 229910001431 copper ion Inorganic materials 0.000 description 1
- BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N copper(I) oxide Inorganic materials [Cu]O[Cu] BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N cuprous oxide Chemical compound [O-2].[Cu+].[Cu+] KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- UOZZKLIPYZQXEP-UHFFFAOYSA-N dichloro(dipropyl)silane Chemical compound CCC[Si](Cl)(Cl)CCC UOZZKLIPYZQXEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YLJJAVFOBDSYAN-UHFFFAOYSA-N dichloro-ethenyl-methylsilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)C=C YLJJAVFOBDSYAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNECSTWRDNQOLT-UHFFFAOYSA-N dichloro-ethyl-methylsilane Chemical compound CC[Si](C)(Cl)Cl PNECSTWRDNQOLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMAPKOCENOWQRE-UHFFFAOYSA-N diethoxy(diethyl)silane Chemical compound CCO[Si](CC)(CC)OCC ZMAPKOCENOWQRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HZLIIKNXMLEWPA-UHFFFAOYSA-N diethoxy(dipropyl)silane Chemical compound CCC[Si](CCC)(OCC)OCC HZLIIKNXMLEWPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWTJVXCCMKLQKS-UHFFFAOYSA-N diethoxy(ethyl)silicon Chemical compound CCO[Si](CC)OCC ZWTJVXCCMKLQKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DAKRXZUXJUPCOF-UHFFFAOYSA-N diethyl(dihydroxy)silane Chemical compound CC[Si](O)(O)CC DAKRXZUXJUPCOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSYLGGHSEIWGJV-UHFFFAOYSA-N diethyl(dimethoxy)silane Chemical compound CC[Si](CC)(OC)OC VSYLGGHSEIWGJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJKVHSBPTUYDLN-UHFFFAOYSA-N dihydroxy(oxo)silane Chemical compound O[Si](O)=O IJKVHSBPTUYDLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(dimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)OC JJQZDUKDJDQPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JVUVKQDVTIIMOD-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(dipropyl)silane Chemical compound CCC[Si](OC)(OC)CCC JVUVKQDVTIIMOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N dimethoxy-methyl-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCOCC1CO1 WHGNXNCOTZPEEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 1
- RQCQBDUYEHRNPP-UHFFFAOYSA-N dimethyl-bis(2-methylbut-3-yn-2-yloxy)silane Chemical compound C#CC(C)(C)O[Si](C)(C)OC(C)(C)C#C RQCQBDUYEHRNPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYLGKUPAFFKGRQ-UHFFFAOYSA-N dimethyldiethoxysilane Chemical compound CCO[Si](C)(C)OCC YYLGKUPAFFKGRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XCLIHDJZGPCUBT-UHFFFAOYSA-N dimethylsilanediol Chemical compound C[Si](C)(O)O XCLIHDJZGPCUBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MCPKSFINULVDNX-UHFFFAOYSA-N drometrizole Chemical compound CC1=CC=C(O)C(N2N=C3C=CC=CC3=N2)=C1 MCPKSFINULVDNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 1
- IXGYSZDFZQSXDT-UHFFFAOYSA-N ethenyl-[ethenyl(diethyl)silyl]oxy-diethylsilane Chemical compound CC[Si](CC)(C=C)O[Si](CC)(CC)C=C IXGYSZDFZQSXDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RCNRJBWHLARWRP-UHFFFAOYSA-N ethenyl-[ethenyl(dimethyl)silyl]oxy-dimethylsilane;platinum Chemical compound [Pt].C=C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C=C RCNRJBWHLARWRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HOMYFVKFSFMSFF-UHFFFAOYSA-N ethenyl-[ethenyl(diphenyl)silyl]oxy-diphenylsilane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Si](C=1C=CC=CC=1)(C=C)O[Si](C=C)(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 HOMYFVKFSFMSFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MBGQQKKTDDNCSG-UHFFFAOYSA-N ethenyl-diethoxy-methylsilane Chemical compound CCO[Si](C)(C=C)OCC MBGQQKKTDDNCSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JMTARFYECDNZGS-UHFFFAOYSA-N ethenyl-dihydroxy-methylsilane Chemical compound C[Si](O)(O)C=C JMTARFYECDNZGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLNAFSPCNATQPQ-UHFFFAOYSA-N ethenyl-dimethoxy-methylsilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)C=C ZLNAFSPCNATQPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NUFVQEIPPHHQCK-UHFFFAOYSA-N ethenyl-methoxy-dimethylsilane Chemical compound CO[Si](C)(C)C=C NUFVQEIPPHHQCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 1
- CWAFVXWRGIEBPL-UHFFFAOYSA-N ethoxysilane Chemical compound CCO[SiH3] CWAFVXWRGIEBPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KEYRRLATNFZVGW-UHFFFAOYSA-N ethyl(trihydroxy)silane Chemical compound CC[Si](O)(O)O KEYRRLATNFZVGW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N ethyl(trimethoxy)silane Chemical compound CC[Si](OC)(OC)OC SBRXLTRZCJVAPH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZSDVIKZKUVYUAO-UHFFFAOYSA-N ethyl-dihydroxy-methylsilane Chemical compound CC[Si](C)(O)O ZSDVIKZKUVYUAO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HTSRFYSEWIPFNI-UHFFFAOYSA-N ethyl-dimethoxy-methylsilane Chemical compound CC[Si](C)(OC)OC HTSRFYSEWIPFNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSEIMSPAXMNYFJ-UHFFFAOYSA-N europium(III) oxide Inorganic materials O=[Eu]O[Eu]=O RSEIMSPAXMNYFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisiloxane Chemical compound C[Si](C)(C)O[Si](C)(C)C UQEAIHBTYFGYIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- BPIWPYXVCTUKPV-UHFFFAOYSA-N hydroxy(2-methylprop-1-enyl)silane Chemical compound CC(C)=C[SiH2]O BPIWPYXVCTUKPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NYMPGSQKHIOWIO-UHFFFAOYSA-N hydroxy(diphenyl)silicon Chemical class C=1C=CC=CC=1[Si](O)C1=CC=CC=C1 NYMPGSQKHIOWIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AIVBTEVJRNATTL-UHFFFAOYSA-N hydroxy(penta-1,4-dien-3-yl)silane Chemical compound C(=C)C(C=C)[SiH2]O AIVBTEVJRNATTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPGPMDYRORRRGX-UHFFFAOYSA-N hydroxy-methyl-(2-phenylethenyl)silane Chemical compound C[SiH](O)C=CC1=CC=CC=C1 MPGPMDYRORRRGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MLPRTGXXQKWLDM-UHFFFAOYSA-N hydroxy-methyl-diphenylsilane Chemical compound C=1C=CC=CC=1[Si](O)(C)C1=CC=CC=C1 MLPRTGXXQKWLDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003456 ion exchange resin Substances 0.000 description 1
- 229920003303 ion-exchange polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N iron oxide Inorganic materials [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical group OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- IKPUOBYSZKPWGX-UHFFFAOYSA-N methoxy(penta-1,4-dien-3-yl)silane Chemical compound C(=C)C(C=C)[SiH2]OC IKPUOBYSZKPWGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POPACFLNWGUDSR-UHFFFAOYSA-N methoxy(trimethyl)silane Chemical compound CO[Si](C)(C)C POPACFLNWGUDSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZMMBQCILDZFYKX-UHFFFAOYSA-N methyl 2h-benzotriazole-5-carboxylate Chemical compound C1=C(C(=O)OC)C=CC2=NNN=C21 ZMMBQCILDZFYKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005055 methyl trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- SKYCLDLCBIETAK-UHFFFAOYSA-N methyl(3-phenylprop-2-enoxy)silane Chemical compound C[SiH2]OCC=CC1=CC=CC=C1 SKYCLDLCBIETAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N methylsilane Chemical compound [SiH3]C UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJBHFQKJEBGFNL-UHFFFAOYSA-N methylsilanetriol Chemical compound C[Si](O)(O)O ZJBHFQKJEBGFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YSBWEEYHPPQJIU-UHFFFAOYSA-N methylsilyl 2,2-diphenylacetate Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C(=O)O[SiH2]C)C1=CC=CC=C1 YSBWEEYHPPQJIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RFJXZOGTGKLKEU-UHFFFAOYSA-N methylsilyl 4-phenylbut-3-enoate Chemical compound C[SiH2]OC(CC=CC1=CC=CC=C1)=O RFJXZOGTGKLKEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N methyltrichlorosilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)Cl JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N methyltrimethoxysilane Chemical compound CO[Si](C)(OC)OC BFXIKLCIZHOAAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKQVTLCUHATGDD-UHFFFAOYSA-N n-(benzotriazol-1-ylmethyl)-2-ethyl-n-(2-ethylhexyl)hexan-1-amine Chemical compound C1=CC=C2N(CN(CC(CC)CCCC)CC(CC)CCCC)N=NC2=C1 OKQVTLCUHATGDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 125000005375 organosiloxane group Chemical group 0.000 description 1
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- PARWUHTVGZSQPD-UHFFFAOYSA-N phenylsilane Chemical compound [SiH3]C1=CC=CC=C1 PARWUHTVGZSQPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005054 phenyltrichlorosilane Substances 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000137 polyphosphoric acid Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003223 protective agent Substances 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 239000003340 retarding agent Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- KCIKCCHXZMLVDE-UHFFFAOYSA-N silanediol Chemical compound O[SiH2]O KCIKCCHXZMLVDE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N silanol Chemical compound [SiH3]O SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N silicon tetrachloride Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)Cl FDNAPBUWERUEDA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XFTDXEGRBTYXQE-UHFFFAOYSA-N silyl 3-ethenylpent-4-enoate Chemical compound C(=C)C(C=C)CC(=O)O[SiH3] XFTDXEGRBTYXQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UYAQJZZGMJTIAV-UHFFFAOYSA-N silyl 4,4-diphenylbut-3-enoate Chemical compound C1(=CC=CC=C1)C(=CCC(=O)O[SiH3])C1=CC=CC=C1 UYAQJZZGMJTIAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJUYHBCRXPVODY-UHFFFAOYSA-N silyl 4-ethylhex-3-enoate Chemical compound C(C)C(=CCC(=O)O[SiH3])CC SJUYHBCRXPVODY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UQMGAWUIVYDWBP-UHFFFAOYSA-N silyl acetate Chemical class CC(=O)O[SiH3] UQMGAWUIVYDWBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N titanium dioxide Inorganic materials O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- YZVRVDPMGYFCGL-UHFFFAOYSA-N triacetyloxysilyl acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)OC(C)=O YZVRVDPMGYFCGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOYFEXPFPVDYIS-UHFFFAOYSA-N trichloro(ethyl)silane Chemical compound CC[Si](Cl)(Cl)Cl ZOYFEXPFPVDYIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ORVMIVQULIKXCP-UHFFFAOYSA-N trichloro(phenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C1=CC=CC=C1 ORVMIVQULIKXCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VKELFFBBMBRBHX-UHFFFAOYSA-N trichloro(pyren-1-yl)silane Chemical compound C1=C2C([Si](Cl)(Cl)Cl)=CC=C(C=C3)C2=C2C3=CC=CC2=C1 VKELFFBBMBRBHX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N triethoxy(methyl)silane Chemical compound CCO[Si](C)(OCC)OCC CPUDPFPXCZDNGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(phenyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C1=CC=CC=C1 JCVQKRGIASEUKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SEUGQQYRPAEMFC-UHFFFAOYSA-N triethoxy(pyren-1-yl)silane Chemical compound C1=C2C([Si](OCC)(OCC)OCC)=CC=C(C=C3)C2=C2C3=CC=CC2=C1 SEUGQQYRPAEMFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HUZZQXYTKNNCOU-UHFFFAOYSA-N triethyl(methoxy)silane Chemical compound CC[Si](CC)(CC)OC HUZZQXYTKNNCOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCVNATXRSJMIDT-UHFFFAOYSA-N trihydroxy(phenyl)silane Chemical compound O[Si](O)(O)C1=CC=CC=C1 FCVNATXRSJMIDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFHNMMYXHFSSPL-UHFFFAOYSA-N trihydroxy(pyren-1-yl)silane Chemical compound C1=C2C([Si](O)(O)O)=CC=C(C=C3)C2=C2C3=CC=CC2=C1 HFHNMMYXHFSSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GIULLRLLAPLKNF-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(pyren-1-yl)silane Chemical compound C1=C2C([Si](OC)(OC)OC)=CC=C(C=C3)C2=C2C3=CC=CC2=C1 GIULLRLLAPLKNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](OC)(OC)OC)CCC2OC21 DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilane Chemical compound CO[SiH](OC)OC YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAPLIUHOKVUFCC-UHFFFAOYSA-N trimethylsilanol Chemical compound C[Si](C)(C)O AAPLIUHOKVUFCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHUNJMXHQHHWQP-UHFFFAOYSA-N trimethylsilyl acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](C)(C)C QHUNJMXHQHHWQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYTZMGROHNUACI-UHFFFAOYSA-N tris(ethenyl)-methoxysilane Chemical compound CO[Si](C=C)(C=C)C=C JYTZMGROHNUACI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N zinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Zn+2] RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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Description
特許文献1および2では、分岐鎖状のオルガノポリシロキサンとして、式:R’2SiO2/2(式中、R’は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数2〜12のアルケニル基である。)で表されるシロキサン単位を有するものは具体的に記載されていない。また、特許文献3では、分岐鎖状のオルガノポリシロキサンの含有量が、直鎖状のオルガノポリシロキサン100質量部に対して150質量部を超えると、得られる硬化物の基材に対する密着性が低下して好ましくないことが記載されている。
一般に、このような硬化性シリコーン組成物は、LEDからの発光波長を変換するために蛍光体を配合して使用されるが、蛍光体の分散性が乏しいため、蛍光体が凝集し、その結果、LEDからの光にむらがでるという課題がある。さらに、このような硬化性シリコーン組成物の硬化物により封止されたLEDに高い電流値をかけて発光させ続けると、硬化物にクラックが生じるという課題もある。
(A)平均単位式:
(R1 3SiO1/2)x(R2 2SiO2/2)y(R3SiO3/2)z
(式中、R1は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケニル基、炭素数6〜20のアリール基、もしくは炭素数7〜20のアラルキル基であり、R2は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数2〜12のアルケニル基であり、R3は炭素数1〜12のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、または炭素数7〜20のアラルキル基であり、但し、一分子中、前記R1、R2、およびR3で表される基の合計の少なくとも0.5モル%は前記アルケニル基であり、前記R3で表される基の少なくとも1個は前記アリール基または前記アラルキル基であり、x、y、およびzは、それぞれ、0.01≦x≦0.5、0.01≦y≦0.4、0.1≦z≦0.9、かつx+y+z=1を満たす数である。)
で表されるオルガノポリシロキサン、
(B)一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有する直鎖状のオルガノポリシロキサン{(A)成分100質量部に対して0.1〜60質量部}、
(C)一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン{(A)成分と(B)成分に含まれるアルケニル基の合計1モルに対して、本成分に含まれるケイ素原子結合水素原子が0.1〜10モルとなる量}、および
(D)ヒドロシリル化反応用触媒(本組成物の硬化を促進する量)
から少なくともなることを特徴とする。
本発明の硬化物は、上記組成物を硬化してなることを特徴とする。
本発明の光半導体装置は、光半導体素子が上記組成物の硬化物により封止もしくは被覆されていることを特徴とする。
(A)成分は、平均単位式:
(R1 3SiO1/2)x(R2 2SiO2/2)y(R3SiO3/2)z
で表されるオルガノポリシロキサンである。
式中、R1は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケニル基、炭素数6〜20のアリール基、もしくは炭素数7〜20のアラルキル基である。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等のアルキル基;ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、ノネニル基、デセニル基、ウンデセニル基、ドデセニル基等のアルケニル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントラセニル基、フェナントリル基、ピレニル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基、ナフチルエチル基、ナフチルプロピル基、アントラセニルエチル基、フェナントリルエチル基、ピレニルエチル基等のアラルキル基;およびこれらの基に結合している水素原子の一部または全部を塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子で置換した基が例示される。
また、式中、R2は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数2〜12のアルケニル基である。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等のアルキル基;ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、ノネニル基、デセニル基、ウンデセニル基、ドデセニル基等のアルケニル基;およびこれらの基に結合している水素原子の一部または全部を塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子で置換した基が例示される。前記R2は全て前記アルキル基であることが好ましい。
また、式中、R3は炭素数1〜12のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、または炭素数7〜20のアラルキル基である。具体的には、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等のアルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントラセニル基、フェナントリル基、ピレニル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基、ナフチルエチル基、ナフチルプロピル基、アントラセニルエチル基、フェナントリルエチル基、ピレニルエチル基等のアラルキル基;およびこれらの基に結合している水素原子の一部または全部を塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子で置換した基が例示される。
一分子中、前記R1、R2、およびR3で表される基の合計、すなわち、ケイ素原子結合全有機基の少なくとも0.5モル%は前記アルケニル基であり、好ましくは、ビニル基である。さらに、一分子中、前記R3で表される基の少なくとも1個は前記アリール基または前記アラルキル基であり、好ましくは、フェニル基である。
また、式中、x、y、およびzは、それぞれ、0.01≦x≦0.5、0.01≦y≦0.4、0.1≦z≦0.9、かつx+y+z=1を満たす数であり、好ましくは、0.05≦x≦0.45、0.05≦y≦0.4、0.2≦z≦0.8、かつx+y+z=1を満たす数、または、0.05≦x≦0.4、0.1≦y≦0.4、0.3≦z≦0.8、かつx+y+z=1を満たす数である。これは、xが上記範囲の下限以上であると、硬化物にべたつきが生じ難くなるからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、硬化物の強度が良好になるからである。また、yが上記範囲の下限以上であると、硬化物の伸びが向上するからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、硬化物の機械的特性が向上するからである。また、zが上記範囲の下限以上であると、硬化物の屈折率が良好となり、ガスバリア性が良好になるからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、硬化物の機械的特性が向上するからである。
(A)成分は、1種のオルガノポリシロキサンであってもよく、また、少なくとも2種のオルガノポリシロキサンの混合物であってもよい。(A)成分が少なくとも2種のオルガノポリシロキサンである場合、その混合物が上記の平均単位式で表されるものであればよい。このようなオルガノポリシロキサンの混合物としては、式:R1 3SiO1/2で表されるシロキサン単位と式:R2 2SiO2/2で表されるシロキサン単位と式:R3SiO3/2で表されるシロキサン単位からなるオルガノポリシロキサンと、式:R1 3SiO1/2で表されるシロキサン単位と式:R2 2SiO2/2で表されるシロキサン単位と式:R3SiO3/2で表されるシロキサン単位からなるオルガノポリシロキサンの混合物、式:R1 3SiO1/2で表されるシロキサン単位と式:R2 2SiO2/2で表されるシロキサン単位と式:R3SiO3/2で表されるシロキサン単位からなるオルガノポリシロキサンと、式:R1 3SiO1/2で表されるシロキサン単位と式:R3SiO3/2で表されるシロキサン単位からなるオルガノポリシロキサンの混合物、式:R1 3SiO1/2で表されるシロキサン単位と式:R2 2SiO2/2で表されるシロキサン単位と式:R3SiO3/2で表されるシロキサン単位からなるオルガノポリシロキサンと、R2 2SiO2/2で表されるシロキサン単位と式:R3SiO3/2で表されるシロキサン単位からなるオルガノポリシロキサンの混合物が挙げられる。さらに、本発明の目的を損なわない範囲で、(A)成分には、式:SiO4/2で表されるシロキサン単位を有してもよい。さらに、(A)成分中のケイ素原子に、本発明の目的を損なわない範囲で、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基等のアルコキシ基、あるいは水酸基を結合していてもよい。
(A)成分のオルガノポリシロキサンを調製する方法は限定されず、例えば、一般式:
R3SiY3
で表されるシラン(I)、一般式:
R2 2SiY2
で表されるシラン(II−1)、および一般式:
R1 3SiOSiR1 3
で表されるジシロキサン(III−1)を、酸もしくはアルカリの存在下、加水分解・縮合反応させる方法が挙げられる。
シラン(I)は、得られるオルガノポリシロキサンに、式:R3SiO3/2で表されるシロキサン単位を導入するための原料である。式中、R3は炭素数1〜12のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、または炭素数7〜20のアラルキル基であり、前記と同様の基が例示される。また、式中、Yはアルコキシ基、アシロキシ基、ハロゲン原子、または水酸基である。具体的には、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基等のアルコキシ基;アセトキシ基等のアシロキシ基;塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子が例示される。
このシラン(I)としては、フェニルトリメトキシシラン、ナフチルトリメトキシシラン、アントラセニルトリメトキシシラン、フェナントリルトリメトキシシラン、ピレニルトリメトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ナフチルトリエトキシシラン、アントラセニルトリエトキシシラン、フェナントリルトリエトキシシラン、ピレニルトリエトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン等のアルコキシシラン;フェニルトリアセトキシシラン、ナフチルトリアセトキシシラン、アントラセニルトリアセトキシシラン、フェナントリルトリアセトキシシラン、ピレニルトリアセトキシシラン、メチルトリアセトキシシラン、エチルトリアセトキシシラン等のアシロキシシラン;フェニルトリクロロシラン、ナフチルトリクロロシラン、アントラセニルトリクロロシラン、フェナントリルトリクロロシラン、ピレニルトリクロロシラン、メチルトリクロロシラン、エチルトリクロロシラン等のハロシラン;フェニルトリヒドロキシシラン、ナフチルトリヒドロキシシラン、アントラセニルトリヒドロキシシラン、フェナントリルトリヒドロキシシラン、ピレニルトリヒドロキシシラン、メチルトリヒドロキシシラン、エチルトリヒドロキシシラン等のヒドロキシシランが例示される。
また、シラン(II−1)は、得られるオルガノポリシロキサンに、式:R2 2SiO2/2で表されるシロキサン単位を導入するための原料である。式中、R2は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数2〜12のアルケニル基であり、前記と同様の基が例示される。また、式中、Yはアルコキシ基、アシロキシ基、ハロゲン原子、または水酸基であり、前記と同様の基が例示される。
このシラン(II−1)としては、ジメチルジメトキシシラン、ジエチルジメトキシシラン、ジプロピルジメトキシシラン、メチルエチルジメトキシシラン、メチルビニルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、ジエチルジエトキシシラン、ジプロピルジエトキシシラン、メチルエチルジエトキシシラン、メチルビニルジエトキシシラン等のジアルコキシシラン;ジメチルジアセトキシシラン、メチルエチルジアセトキシシラン、メチルビニルジアセトキシシラン等のジアシロキシシラン;ジメチルジクロロシラン、ジエチルジクロロシラン、ジプロピルジクロロシラン、メチルエチルジクロロシラン、メチルビニルジクロロシラン等のジハロシラン;ジメチルジヒドロキシシラン、ジエチルジヒドロキシシラン、ジプロピルジヒドロキシシラン、メチルエチルジヒドロキシシラン、メチルビニルジヒドロキシシラン等のジヒドロキシシランが例示される。
また、ジシロキサン(III−1)は、得られるオルガノポリシロキサンに、式:R1 3SiO1/2で表されるシロキサン単位を導入するための原料である。式中、R1は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケニル基、炭素数6〜20のアリール基、もしくは炭素数7〜20のアラルキル基であり、前記と同様の基が例示される。
このジシロキサン(III−1)としては、1,1,1,3,3,3−ヘキサメチルジシロキサン、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラエチルジシロキサン、1,1,3,3−テトラビニル−1,3−ジメチルジシロキサン、1,1,1,3,3,3−ヘキサビニルジシロキサン、1,3−ジフェニル−1,3−ジビニル−1,3−ジメチルジシロキサン、1,1,3,3−テトラフェニル−1,3−ジビニルジシロキサンが例示される。
上記の方法において、シラン(II−1)の代わりに、あるいはシラン(II−1)に加えて、一般式:
(R2 2SiO)p
で表される環状シロキサン(II−2)を用いてもよい。式中、R2は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数2〜12のアルケニル基であり、前記と同様の基が例示される。また、式中、pは3以上の整数である。
この環状シロキサン(II−2)としては、1,1,3,3,5,5,7,7−オクタメチルシクロテトラシロキサン、1,3,5,7−テトラビニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,1,3,3,5,5,7,7−オクタエチルシクロテトラシロキサンが例示される。
また、上記の方法において、シラン(II−1)および環状シロキサン(II−2)の代わりに、あるいは、シラン(II−1)および/または環状シロキサン(II−2)に加えて、一般式:
HO(R2 2SiO)qH
で表される直鎖状シロキサン(II−3)を用いてもよい。式中、R2は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数2〜12のアルケニル基であり、前記と同様の基が例示される。また、式中、qは2以上の整数である。
この直鎖状シロキサン(II−3)としては、分子鎖両末端シラノール基封鎖ジメチルシロキサンオリゴマー、分子鎖両末端シラノール基封鎖メチルビニルシロキサンオリゴマー、分子鎖両末端シラノール基封鎖ジエチルシロキサンオリゴマー、分子鎖両末端シラノール基封鎖ジプロピルシロキサンオリゴマーが例示される。
また、上記の方法において、ジシロキサン(III−1)の代わりに、あるいはジシロキサン(III−1)に加えて、一般式:
R1 3SiY
で表されるシラン(III−2)を用いてもよい。式中、R1は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケニル基、炭素数6〜20のアリール基、もしくは炭素数7〜20のアラルキル基であり、前記と同様の基が例示される。また、式中、Yはアルコキシ基、アシロキシ基、ハロゲン原子、または水酸基であり、前記と同様の基が例示される。
このようなシラン(III−2)としては、トリメチルメトキシシラン、トリエチルメトキシシラン、ジメチルビニルメトキシシラン、ジエチルビニルメトキシシラン、ジメチルビニルエトキシシラン、ジエチルビニルエトキシシラン、ジビニルメチルメトキシシラン、トリビニルメトキシシラン、メチルフェニルビニルメトキシシラン、メチルジフェニルメトキシシラン、ジフェニルビニルメトキシシラン等のアルコキシシラン;トリメチルアセトキシシラン、ジメチルビニルアセトキシシラン、ジエチルビニルアセトキシシラン、ジビニルメチルアセトキシシラン、トリビニルアセトキシシラン、メチルフェニルビニルアセトキシシラン、メチルジフェニルアセトキシシラン、ジフェニルビニルアセトキシシラン等のアシロキシシラン;トリメチルクロロシラン、ジメチルビニルクロロシラン、ジエチルビニルクロロシラン、ジビニルメチルクロロシラン、トリビニルクロロシラン、メチルフェニルビニルクロロシラン、メチルジフェニルクロロシラン等のハロシラン;トリメチルヒドロキシシラン、ジメチルビニルヒドロキシシラン、ジエチルビニルヒドロキシシラン、ジビニルメチルヒドロキシシラン、トリビニルヒドロキシシラン、メチルフェニルビニルヒドロキシシラン、メチルジフェニルヒドロキシシラン等のヒドロキシシランが例示される。
また、上記の方法では、必要に応じて、得られるオルガノポリシロキサンに、式:SiO4/2で表されるシロキサン単位を導入するためのシランもしくはシロキサンオリゴマーを反応させることができる。このようなシランとしては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン等のアルコキシシラン;テトラアセトキシシラン等のアセトキシシラン;テトラクロロシラン等のハロシランが例示される。また、シロキシサンオリゴマーとしては、テトラメトキシシランの部分加水分解物、テトラエトキシシランの部分加水分解物が例示される。
上記の方法では、シラン(I)、シラン(II−1)、およびジシロキサン(III−1)、あるいは、シラン(II−1)の代わりに、あるいはシラン(II−1)に加えて、環状シロキサン(II−2)および/または直鎖状シロキサン(II−3)、さらには、ジシロキサン(III−1)の代わりに、あるいはジシロキサン(III−1)に加えてシラン(III−2)、さらに必要に応じて、その他のシランまたはシロキサンオリゴマーを、酸もしくはアルカリの存在下、加水分解・縮合反応させることを特徴とする。なお、上記の調製方法において用いるシラン(I)の少なくとも1種は炭素数6〜20のアリール基または炭素数7〜20のアラルキル基を有するものであり、シラン(II−1)、環状シロキサン(II−2)、直鎖状シロキサン(II−3)、ジシロキサン(III−1)、およびシラン(III−2)の少なくとも1種は炭素数2〜12のアルケニル基を有するものである。
また、上記の方法で用いる酸としては、塩酸、酢酸、蟻酸、硝酸、シュウ酸、硫酸、リン酸、ポリリン酸、多価カルボン酸、トリフルオロメタンスルホン酸、イオン交換樹脂が例示される。また、上記の方法で用いるアルカリとしては、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム等の無機アルカリ;トリエチルアミン、ジエチルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、アンモニア水、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、アミノ基を有するアルコキシラン、アミノプロピルトリメトキシシラン等の有機塩基化合物が例示される。
また、上記の方法では、有機溶剤を用いてもよい。この有機溶剤としては、エーテル類、ケトン類、アセテート類、芳香族あるいは脂肪族炭化水素、γ−ブチロラクトン、およびこれらの2種以上の混合物が例示される。好ましい有機溶剤としては、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノ−t−ブチルエーテル、γ−ブチロラクトン、トルエン、キシレンが例示される。
上記の方法では、加水分解・縮合反応を促進するため、水、あるいは水とアルコールの混合液を添加することが好ましい。このアルコールとしては、メタノール、エタノールが好ましい。また、この反応は、加熱により促進され、有機溶媒を使用する場合には、その還流温度で反応を行うことが好ましい。
(B)成分は、一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有する直鎖状のオルガノポリシロキサンである。(B)成分中のアルケニル基としては、ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、ノネニル基、デセニル基、ウンデセニル基、ドデセニル基が例示され、好ましくは、ビニル基である。また、(B)成分中のアルケニル基以外のケイ素原子に結合する基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等のアルキル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントラセニル基、フェナントリル基、ピレニル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基、ナフチルエチル基、ナフチルプロピル基、アントラセニルエチル基、フェナントリルエチル基、ピレニルエチル基等のアラルキル基;およびこれらの基に結合している水素原子の一部または全部を塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子で置換した基が例示され、好ましくは、メチル基、フェニル基である。(B)成分の25℃における粘度は限定されないが、好ましくは、10〜10,000,000mPa・sの範囲内、10〜1,000,000mPa・sの範囲内、または10〜100,000mPa・sの範囲内である。これは、(B)成分の粘度が上記範囲の下限以上であると、得られる硬化物の機械的強度が向上するからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、得られる組成物の取扱作業性が向上するからである。
(B)成分としては、次のようなオルガノポリシロキサンが例示される。なお、式中、Me、Vi、Phは、それぞれ、メチル基、ビニル基、フェニル基を示し、mおよびm’はそれぞれ1以上の整数である。
ViMe2SiO(Me2SiO)mSiMe2Vi
ViPhMeSiO(Me2SiO)mSiMePhVi
ViPh2SiO(Me2SiO)mSiPh2Vi
ViMe2SiO(Me2SiO)m(Ph2SiO)m’SiMe2Vi
ViPhMeSiO(Me2SiO)m(Ph2SiO)m’SiPhMeVi
ViPh2SiO(Me2SiO)m(Ph2SiO)m’SiPh2Vi
ViMe2SiO(MePhSiO)mSiMe2Vi
MePhViSiO(MePhSiO)mSiMePhVi
Ph2ViSiO(MePhSiO)mSiPh2Vi
ViMe2SiO(Ph2SiO)m(PhMeSiO)m’SiMe2Vi
ViPhMeSiO(Ph2SiO)m(PhMeSiO)m’SiPhMeVi
ViPh2SiO(Ph2SiO)m(PhMeSiO)m’SiPh2Vi
本組成物において、(B)成分の含有量は、(A)成分100質量部に対して、0.1〜60質量部の範囲内であり、好ましくは、0.1〜50質量部の範囲内、または0.1〜40質量部の範囲内である。これは、(B)成分の含有量が上記範囲の下限以上であると、硬化物に柔軟性を付与できるからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、硬化物の機械的特性が良好であるからである。
(C)成分は一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサンである。(C)成分の分子構造としては、例えば、直鎖状、一部分岐を有する直鎖状、分岐鎖状、環状、樹枝状が挙げられ、好ましくは、直鎖状、一部分岐を有する直鎖状、樹枝状である。(C)成分中のケイ素原子結合水素原子の結合位置は限定されず、例えば、分子鎖末端および/または分子鎖側鎖が挙げられる。また、(C)成分中の水素原子以外のケイ素原子に結合する基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等のアルキル基;ベンジル基、フェネチル基、ナフチルエチル基、ナフチルプロピル基、アントラセニルエチル基、フェナントリルエチル基、ピレニルエチル基等のアラルキル基;クロロメチル基、3−クロロプロピル基、3,3,3−トリフルオロプロピル基等のハロゲン化アルキル基;3−グリシドキシプロピル基、4−グリシドキシブチル基等のグリシドキシアルキル基;2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル基、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピル基等のエポキシシクロヘキシルアルキル基が例示される。また、(C)成分の25℃における粘度は限定されないが、好ましくは、1〜10,000mPa・sの範囲内、または1〜1,000mPa・sの範囲内である。
(C)成分としては、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、トリス(ジメチルハイドロジェンシロキシ)メチルシラン、トリス(ジメチルハイドロジェンシロキシ)フェニルシラン、1−(3−グリシドキシプロピル)−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1,5−ジ(3−グリシドキシプロピル)−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、1−(3−グリシドキシプロピル)−5−トリメトキシシリルエチル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジフェニルポリシロキサン、分子鎖両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサン・ジフェニルシロキサン共重合体、分子鎖両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサン・ジフェニルシロキサン・ジメチルシロキサン共重合体、トリメトキシシランの加水分解縮合物、(CH3)2HSiO1/2単位とSiO4/2単位とからなる共重合体、および(CH3)2HSiO1/2単位とSiO4/2単位と(C6H5)SiO3/2単位とからなる共重合体、およびこれらの少なくとも2種の混合物が例示される。
さらに、(C)成分としては、次のようなオルガノシロキサンが例示される。なお、式中、Me、Ph、Naphは、それぞれ、メチル基、フェニル基、ナフチル基を示し、nおよびn’はそれぞれ1以上の整数であり、i、j、k、およびlは、それぞれ、0<i<1、0<j<1、0<k<1、0<l<1、かつ、i+j+k+l=1を満たす数である。
HMe2SiO(Ph2SiO)nSiMe2H
HMePhSiO(Ph2SiO)nSiMePhH
HMeNaphSiO(Ph2SiO)nSiMeNaphH
HMePhSiO(Ph2SiO)n(MePhSiO)n’SiMePhH
HMePhSiO(Ph2SiO)n(Me2SiO)n’SiMePhH
(HMe2SiO1/2)i(PhSiO3/2)j
(HMePhSiO1/2)i(PhSiO3/2)j
(HMePhSiO1/2)i(NaphSiO3/2)j
(HMe2SiO1/2)i(NaphSiO3/2)j
(HMePhSiO1/2)i(HMe2SiO1/2)j(PhSiO3/2)k
(HMe2SiO1/2)i(SiO4/2)j
(HMe2SiO1/2)i(SiO4/2)j(PhSiO3/2)k
(HMePhSiO1/2)i(SiO4/2)j(PhSiO3/2)k
(HMe2SiO1/2)i(SiO4/2)j(NaphSiO3/2)k
(HMePhSiO1/2)i(SiO4/2)j(NaphSiO3/2)k
(HMePhSiO1/2)i(HMe2SiO1/2)j(NaphSiO2/2)k
(HMePhSiO1/2)i(HMe2SiO1/2)j(SiO4/2)k(NaphSiO3/2)l
(HMePhSiO1/2)i(HMe2SiO1/2)j(SiO4/2)k(PhSiO3/2)l
本組成物において、(C)成分の含有量は、(A)成分と(B)成分に含まれるアルケニル基の合計1モルに対して、本成分に含まれるケイ素原子結合水素原子が0.1〜10モルの範囲内となる量であり、好ましくは、0.5〜5モルの範囲内となる量である。これは、(C)成分の含有量が上記範囲の下限以上であると、得られる組成物が十分に硬化するからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、得られる硬化物の耐熱性が向上して、ひいては、本組成物を用いて作製した光半導体装置の信頼性が向上するからである。
(D)成分は、本組成物の硬化を促進するためのヒドロシリル化反応用触媒である。(D)成分としては、白金系触媒、ロジウム系触媒、パラジウム系触媒が例示され、好ましくは、白金系触媒である。この白金系触媒としては、白金微粉末、白金黒、白金担持シリカ微粉末、白金担持活性炭、塩化白金酸、塩化白金酸のアルコール溶液、白金のオレフィン錯体、白金のアルケニルシロキサン錯体等の白金系化合物が例示される。
本組成物において、(D)成分の含有量は本組成物の硬化を促進する量であり、具体的には、本組成物に対して、この触媒中の金属原子が質量単位で0.01〜1,000ppmの範囲内となる量である。これは、(D)成分の含有量が上記範囲の下限以上であると、得られる組成物の硬化が十分に進行するからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、得られる硬化物が着色し難くなるからである。
本組成物には、常温での可使時間を延長し、保存安定性を向上させるために、(E)ヒドロシリル化反応抑制剤を含有してもよい。(E)成分としては、1−エチニルシクロヘキサン−1−オール、2−メチル−3−ブチン−2−オール、3,5−ジメチル−1−ヘキシン−3−オール、2−フェニル−3−ブチン−2−オール等のアルキンアルコール;3−メチル−3−ペンテン−1−イン、3,5−ジメチル−3−ヘキセン−1−イン等のエンイン化合物;1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサン、1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラヘキセニルシクロテトラシロキサン等のメチルアルケニルシロキサンオリゴマー;ジメチルビス(3−メチル−1−ブチン−3−オキシ)シラン、メチルビニルビス(3−メチル−1−ブチン−3−オキシ)シラン等のアルキンオキシシラン、ならびにトリアリルイソシアヌレート系化合物が例示される。
(E)成分の含有量は限定されないが、(A)成分〜(C)成分の合計100質量部に対して、好ましくは、0.01〜3質量部の範囲内、または0.01〜1質量部の範囲内である。これは、(E)成分の含有量が上記範囲の下限以上であると、本組成物が適度な可使時間を有するからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、本組成物が適度な作業性を有するからである。
さらに、本組成物には、硬化中に接触している基材への接着性を更に向上させるために、(F)接着促進剤を含有してもよい。(F)成分としては、ケイ素原子に結合したアルコキシ基を一分子中に少なくとも1個有する有機ケイ素化合物が好ましい。このアルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、ブトキシ基、およびメトキシエトキシ基が例示され、好ましくは、メトキシ基、エトキシ基である。また、この有機ケイ素化合物のケイ素原子に結合するアルコキシ基以外の基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基等のアルキル基;ビニル基、アリル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基、ノネニル基、デセニル基、ウンデセニル基、ドデセニル基等のアルケニル基;フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基、アントラセニル基、フェナントリル基、ピレニル基等のアリール基;ベンジル基、フェネチル基、ナフチルエチル基、ナフチルプロピル基、アントラセニルエチル基、フェナントリルエチル基、ピレニルエチル基等のアラルキル基;およびこれらの基に結合している水素原子の一部または全部を塩素原子、臭素原子等のハロゲン原子で置換した基;3−グリシドキシプロピル基、4−グリシドキシブチル基等のグリシドキシアルキル基;2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチル基、3−(3,4−エポキシシクロヘキシル)プロピル基等のエポキシシクロヘキシルアルキル基;4−オキシラニルブチル基、および8−オキシラニルオクチル基等のオキシラニルアルキル基;3−メタクリロキシプロピル基等のアクリロキシアルキル基;その他、イソシアネート基、イソシアヌレート基、水素原子が例示される。
この有機ケイ素化合物は、本組成物中のアルケニル基またはケイ素原子結合水素原子と反応し得る基を有することが好ましく、具体的には、ケイ素原子結合水素原子またはアルケニル基を有することが好ましい。このケイ素化合物の分子構造としては、直鎖状、一部分枝を有する直鎖状、分枝鎖状、環状、網状が例示され、特に、直鎖状、分枝鎖状、網状であることが好ましい。このような有機ケイ素化合物としては、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のシラン化合物;一分子中にケイ素原子結合アルケニル基もしくはケイ素原子結合水素原子、およびケイ素原子結合アルコキシ基をそれぞれ少なくとも1個有するシロキサン化合物、ケイ素原子結合アルコキシ基を少なくとも1個有するシラン化合物またはシロキサン化合物と一分子中にケイ素原子結合ヒドロキシ基とケイ素原子結合アルケニル基をそれぞれ少なくとも1個有するシロキサン化合物との混合物、平均単位式:
で表されるシロキサン化合物、平均単位式:
で表されるシロキサン化合物が例示される。
(F)成分の含有量は限定されないが、好ましくは、(A)成分〜(C)成分の合計100質量部に対して0.1〜5質量部の範囲内、または1〜5質量部の範囲内である。これは、(F)成分の含有量が上記範囲の下限以上であると、接着性が良好であり、一方、上記範囲の上限以下であると、保存安定性が良好であるからである。
さらに、本組成物には、光半導体素子からの発光波長を変換するために、(G)蛍光体を含有してもよい。(G)成分としては、例えば、発光ダイオード(LED)に広く利用されている、酸化物系蛍光体、酸窒化物系蛍光体、窒化物系蛍光体、硫化物系蛍光体、酸硫化物系蛍光体等からなる黄色、赤色、緑色、および青色発光蛍光体が挙げられる。酸化物系蛍光体としては、セリウムイオンを包含するイットリウム、アルミニウム、ガーネット系のYAG系緑色〜黄色発光蛍光体、セリウムイオンを包含するテルビウム、アルミニウム、ガーネット系のTAG系黄色発光蛍光体、および、セリウムやユーロピウムイオンを包含するシリケート系緑色〜黄色発光蛍光体が例示される。酸窒化物系蛍光体としては、ユーロピウムイオンを包含するケイ素、アルミニウム、酸素、窒素系のサイアロン系赤色〜緑色発光蛍光体が例示される。窒化物系蛍光体としては、ユーロピウムイオンを包含するカルシウム、ストロンチウム、アルミニウム、ケイ素、窒素系のカズン系赤色発光蛍光体が例示される。硫化物系蛍光体としては、銅イオンやアルミニウムイオンを包含するZnS系緑色発色蛍光体が例示される。酸硫化物系蛍光体としては、ユーロピウムイオンを包含するY2O2S系赤色発光蛍光体が例示される。これらの蛍光体を2種以上組み合わせて用いてもよい。
(G)成分の平均粒子径は限定されないが、好ましくは、1〜50μmの範囲内、または5〜20μmの範囲内である。これは、(G)成分の平均粒子径粒が上記範囲の下限以上であると、混合時の粘度上昇が抑えられ、一方、上記範囲の上限以下であると、光透過性が良好となるからである。
(G)成分の含有量は、(A)成分〜(C)成分の合計量に対して、0.1〜70質量%の範囲内であり、好ましくは、1〜70質量%の範囲内、または5〜70質量%の範囲内である。これは、(G)成分の含有量が上記範囲の下限以上であると、効率良く波長変換することができるからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、得られる組成物の取扱作業性が向上するからである。
さらに、本組成物には、空気中の硫黄含有ガスによる、光半導体装置における銀電極や基板の銀メッキの変色を十分に抑制するためにAl、Ag、Cu、Fe、Sb、Si、Sn、Ti、Zr、および希土類元素からなる群より選ばれる少なくとも1種の元素の酸化物を表面被覆した酸化亜鉛微粉末、アルケニル基を有さない有機ケイ素化合物で表面処理した酸化亜鉛微粉末、および炭酸亜鉛の水和物微粉末からなる群より選ばれる、平均粒子径が0.1nm〜5μmである少なくとも一種の微粉末を含有してもよい。
酸化物を表面被覆した酸化亜鉛微粉末において、希土類元素としては、イットリウム、セリウム、ユーロピウムが例示される。酸化亜鉛微粉末の表面の酸化物としては、Al2O3、AgO、Ag2O、Ag2O3、CuO、Cu2O、FeO、Fe2O3、Fe3O4、Sb2O3、SiO2、SnO2、Ti2O3、TiO2、Ti3O5、ZrO2、Y2O3、CeO2、Eu2O3、およびこれらの酸化物の2種以上の混合物が例示される。
この粉末の含有量は限定されないが、好ましくは、本組成物に対して、質量単位で1ppm〜10%の範囲内の量、または、1ppm〜5%の範囲内の量である。これは、この粉末の含有量が上記範囲の下限以上であると、硫黄含有ガスによる光半導体装置における銀電極や基板の銀メッキの変色を十分に抑制できるからであり、一方、上記範囲の上限以下であると、得られる組成物の流動性を損なわないからである。
また、本組成物には、空気中の硫黄含有ガスによる、光半導体装置における銀電極や基板の銀メッキの変色をさらに抑制できることから、トリアゾール系化合物を含有してもよい。このトリアゾール系化合物としては、1H−1,2,3−トリアゾール、2H−1,2,3−トリアゾール、1H−1,2,4−トリアゾール、4H−1,2,4−トリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−メチルフェニル)ベンゾトリアゾール、1H−1,2,3−トリアゾール、2H−1,2,3−トリアゾール、1H−1,2,4−トリアゾール、4H−1,2,4−トリアゾール、ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾール、カルボキシベンゾトリアゾール、1H−ベンゾトリアゾール−5−カルボン酸メチル、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−1,2,4−トリアゾール、5−アミノ−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、クロロベンゾトリアゾール、ニトロベンゾトリアゾール、アミノベンゾトリアゾール、シクロヘキサノ[1,2−d]トリアゾール、4,5,6,7−テトラヒドロキシトリルトリアゾール、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール、エチルベンゾトリアゾール、ナフトトリアゾール、1−N,N−ビス(2−エチルヘキシル)−[(1,2,4−トリアゾール−1−イル)メチル]アミン、1−[N,N−ビス(2−エチルヘキシル)アミノメチル]ベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−エチルヘキシル)アミノメチル]トリルトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−エチルヘキシル)アミノメチル]カルボキシベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)−アミノメチル]ベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)−アミノメチル]トリルトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−ヒドロキシエチル)−アミノメチル]カルボキシベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(2−ヒドロキシプロピル)アミノメチル]カルボキシベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(1−ブチル)アミノメチル]カルボキシベンゾトリアゾール、1−[N,N−ビス(1−オクチル)アミノメチル]カルボキシベンゾトリアゾール、1−(2’,3’−ジ−ヒドロキシプロピル)ベンゾトリアゾール、1−(2’,3’−ジ−カルボキシエチル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’,5’−ジ−tert−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−3’,5’−アミルフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−4’−オクトキシフェニル)ベンゾトリアゾール、2−(2’−ヒドロキシ−5’−tert−ブチルフェニル)ベンゾトリアゾール、1−ヒドロキシベンゾトリアゾール−6−カルボン酸、1−オレオイルベンゾトリアゾール、1,2,4−トリアゾール−3−オール、5−アミノ−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、5−アミノ−1,2,4−トリアゾール−3−カルボン酸、1,2,4−トリアゾール−3−カルボキシアミド、4−アミノウラゾール、および1,2,4−トリアゾール−5−オンが例示される。このトリアゾール系化合物の含有量は特に限定されないが、本組成物中に質量単位で0.01ppm〜3%の範囲内となる量であり、好ましくは、0.1ppm〜1%の範囲内となる量である。
さらに、本組成物には、本発明の目的を損なわない限り、その他任意の成分として、シリカ、ガラス、アルミナ、酸化亜鉛等の無機質充填剤;ポリメタクリレート樹脂等の有機樹脂微粉末;耐熱剤、染料、顔料、難燃性付与剤、溶剤等を含有してもよい。
本組成物の25℃における粘度は限定されないが、好ましくは、100〜500,000mPa・sの範囲内、または100〜100,000mPa・sの範囲内である。このような本組成物は室温もしくは加熱により硬化が進行するが、迅速に硬化させるためには加熱することが好ましい。この加熱温度としては、50〜200℃の範囲内であることが好ましい。
次に、本発明の硬化物について詳細に説明する。
本発明の硬化物は、上記の硬化性シリコーン組成物を硬化してなることを特徴とする。硬化物の形状は特に限定されず、例えば、シート状、フィルム状が挙げられる。また、この硬化物は、光半導体素子等を封止もしくは被覆した状態であってもよい。
次に、本発明の光半導体装置について詳細に説明する。
本発明の光半導体装置は、光半導体素子が、上記の硬化性シリコーン組成物の硬化物により封止もしくは被覆されてなることを特徴とする。このような本発明の光半導体装置としては、発光ダイオード(LED)、フォトカプラー、CCDが例示される。また、光半導体素子としては、発光ダイオード(LED)チップ、固体撮像素子が例示される。
本発明の光半導体装置の一例である単体の表面実装型LEDの断面図を図1に示した。図1で示されるLEDは、光半導体素子1がリードフレーム2上にダイボンドされ、この光半導体素子1とリードフレーム3とがボンディングワイヤ4によりワイヤボンディングされている。この光半導体素子1の周囲には枠材5が設けられており、この枠材5の内側の半導体素子1が、本発明の硬化性シリコーン組成物の硬化物6により封止されている。
図1で示される表面実装型LEDを製造する方法としては、光半導体素子1をリードフレーム2にダイボンドし、この半導体素子1とリードフレーム3とを金製のボンディングワイヤ4によりワイヤボンドし、次いで、光半導体素子1の周囲に設けられた枠材5の内側に本発明の硬化性シリコーン組成物を充填した後、50〜200℃で加熱することにより硬化させる方法が例示される。
[硬化性シリコーン組成物の屈折率]
硬化性シリコーン組成物の25℃における屈折率をアッベ式屈折率計により測定した。なお、測定には589nmの光源を用いた。
[蛍光体の分散性]
硬化性シリコーン組成物 100質量部に対して、(G)成分として、YAG系蛍光体(INTEMATIX社製のMX311(B)) 3質量部をデンタルミキサーで混合した。その後、蛍光体を含有する硬化性シリコーン組成物をガラスプレート上に塗布し、150℃のオーブン中で1時間加熱することで硬化させた。得られた硬化物中の蛍光体の分散状態を目視で観察し、その結果を次のように評価した。
○: 蛍光体が均一に分散している。
△: 蛍光体の一部が凝集している。
×: 蛍光体の大部分が凝集している。
[耐クラック性]
硬化性シリコーン組成物 100質量部に対して、(G)成分として、YAG系蛍光体(INTEMATIX社製のMX311(B)) 50質量部をデンタルミキサーで混合して蛍光体含有の硬化性シリコーン組成物を調製した。
次に、この蛍光体含有の硬化性シリコーン組成物を用いて、図1に示される光半導体装置を作製した。なお、硬化性シリコーン組成物は、150℃、3時間加熱して硬化させた。得られた光半導体装置に520mAの電荷をかけ、85℃、湿度85%の条件下で点灯させながら、耐久試験を行った。400時間後に電子顕微鏡を用いて封止材の外観を確認し、その結果を次のように評価した。
○: 封止材にクラックが観察されない。
△: 一部の封止材にクラックが観察される。
×: すべての封止材にクラックが観察される。
[合成例1]
攪拌機、還流冷却管、および温度計付きの四口フラスコに、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン 70.6g(0.38mol)、オクタメチルシクロテトラシロキサン 56.2g(0.19mol)、フェニルトリメトキシシラン 450.5g(2.27mol)、およびトリフルオロメタンスルホン酸 0.35gを投入し、攪拌下、水 122.8g(6.81mol)を30分かけて滴下した。滴下終了後、85℃まで加熱し、生成したメタノールを留去した。次に、トルエン 105g、および30質量%−水酸化カリウム水溶液2.8gを投入し、水を共沸脱水させた。その後、125℃で6時間保持した後、室温まで冷却し、酢酸 0.9gで中和した。生成した塩を濾別した後、得られた透明な溶液から低沸点物を加熱減圧除去し、無色透明で、数平均分子量が1,400である、平均単位式:
(ViMe2SiO1/2)0.20(Me2SiO2/2)0.20(PhSiO3/2)0.60
で表されるオルガノポリシロキサン 400g(収率:95%)を調製した。
[合成例2]
攪拌機、還流冷却管、および温度計付きの四口フラスコに、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン 54.7g(0.29mol)、オクタメチルシクロテトラシロキサン 87.1g(0.29mol)、フェニルトリメトキシシラン 427.0g(2.15mol)、およびトリフルオロメタンスルホン酸 0.34gを投入し、攪拌下、水 110.8g(6.15mol)を30分かけて滴下した。滴下終了後、85℃まで加熱し、生成したメタノールを留去した。トルエン 105g、および30質量%−水酸化カリウム水溶液 2.8gを投入し、水を共沸脱水させた。その後、125℃で6時間保持した後、室温まで冷却し、酢酸 0.9gで中和した。生成した塩を濾別した後、得られた透明な溶液から低沸点物を加熱減圧除去し、無色透明で、数平均分子量が1,800である、平均単位式:
(ViMe2SiO1/2)0.15(Me2SiO2/2)0.30(PhSiO3/2)0.55
で表されるオルガノポリシロキサン400g(収率:95%)を調製した。
[合成例3]
攪拌機、還流冷却管、および温度計付きの四口フラスコに、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン 63.4g(0.34mol)、1,3,5,7−テトラフェニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン92.7g(0.17mol)、フェニルトリメトキシシラン 404.9g(2.04mol)、およびトリフルオロメタンスルホン酸 0.35gを投入し、攪拌下、水 110.4g(6.13mol)を30分かけて滴下した。滴下終了後、85℃まで加熱し、生成したメタノールを留去した。トルエン 105g、および30質量%−水酸化カリウム水溶液 2.8gを投入し、水を共沸脱水させた。その後、125℃で6時間保持した後、室温まで冷却し、酢酸 0.9gで中和した。生成した塩を濾別した後、得られた透明な溶液から低沸点物を加熱減圧除去し、無色透明で、数平均分子量が1,300である、平均単位式:
(ViMe2SiO1/2)0.20(PhMeSiO2/2)0.20(PhSiO3/2)0.60
で表されるオルガノポリシロキサン 400g(収率:95%)を調製した。
[合成例4]
攪拌機、還流冷却管、および温度計付きの四口フラスコに、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン 46.6g(0.25mol)、1,3,5,7−テトラフェニル−1,3,5,7−テトラメチルシクロテトラシロキサン 136.3g(0.25mol)、フェニルトリメトキシシラン 363.8g(1.83mol)、およびトリフルオロメタンスルホン酸 0.35gを投入し、攪拌下、水 99.2g(5.50mol)を30分かけて滴下した。滴下終了後、85℃まで加熱し、生成したメタノールを留去した。トルエン 105g、および30質量%−水酸化カリウム水溶液 2.8gを投入し、水を共沸脱水させた。その後、125℃で6時間保持した後、室温まで冷却し、酢酸 0.9gで中和した。生成した塩を濾別した後、得られた透明な溶液から低沸点物を加熱減圧除去し、無色透明で、数平均分子量が1,400である、平均単位式:
(ViMe2SiO1/2)0.15(PhMeSiO2/2)0.30(PhSiO3/2)0.55
で表されるオルガノポリシロキサン 400g(収率:95%)を調製した。
[合成例5]
反応容器に、式:
HO(Me2SiO)12H
で表されるジメチルポリシロキサン 40.0g(0.045mol)、トルエン62.0g、およびトリエチルアミン 10.9g(0.107mol)を投入し、撹拌下、ビニルジフェニルクロロシラン 22.0g(0.090mol)を投入した。室温で1時間撹拌した後、50℃に加熱し、3時間攪拌した。その後、水を投入し、水洗後、有機層から低沸物を加熱減圧留去して、粘度が36mPa・sであり、無色透明で、屈折率が1.466である、式:
ViPh2SiO(Me2SiO)12SiPh2Vi
で表されるオルガノポリシロキサンを調製した。
[合成例6]
攪拌機、還流冷却管、および温度計付きの四口フラスコに、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン 82.2g(0.44mol)、水 143g、トリフルオロメタンスルホン酸 0.38g、およびトルエン 500gを投入し、攪拌下、フェニルトリメトキシシラン 524.7g(2.65mol)を1時間かけて滴下した。滴下終了後、1時間加熱還流した。その後、冷却し、下層を分離し、トルエン溶液層を3回水洗した。水洗したトルエン溶液層に3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン 314g(1.42mol)、水 130g、および水酸化カリウム 0.50gを投入し、1時間加熱還流した。続いて、メタノールを留去し、過剰の水を共沸脱水で除いた。4時間加熱還流した後、トルエン溶液を冷却し、酢酸 0.55gで中和した後、3回水洗した。水を除去した後、トルエンを減圧下に留去して、粘度が8,500mPa・sである、平均単位式:
(ViMe2SiO1/2)0.18(PhSiO3/2)0.53(EpMeSiO2/2)0.29
で表される接着付与剤を調製した。
[実施例1〜5、比較例1〜3]
下記の成分を表1に示す組成(質量部)で混合して硬化性シリコーン組成物を調製した。なお、表1中の[SiH/Vi]は(A)成分と(B)成分に相当する成分に含まれるビニル基1モルに対する、(C)成分に相当する成分に含まれるケイ素原子結合水素原子のモル数を示している。また、(D)成分の含有量は、質量単位における、硬化性シリコーン組成物に対する白金金属の含有量(ppm)で示した。
(A)成分として、次の成分を用いた。
(A−1)成分:合成例1で調製した、平均単位式:
(ViMe2SiO1/2)0.20(Me2SiO2/2)0.20(PhSiO3/2)0.60
で表されるオルガノポリシロキサン(ケイ素原子結合全有機基に対するビニル基の含有率=12.5モル%)
(A−2)成分:合成例2で調製した、平均単位式:
(ViMe2SiO1/2)0.15(Me2SiO2/2)0.30(PhSiO3/2)0.55
で表されるオルガノポリシロキサン(ケイ素原子結合全有機基に対するビニル基の含有率=9.4モル%)
(A−3)成分:合成例3で調製した、平均単位式:
(ViMe2SiO1/2)0.20(PhMeSiO2/2)0.20(PhSiO3/2)0.60
で表されるオルガノポリシロキサン(ケイ素原子結合全有機基に対するビニル基の含有率=12.5モル%)
(A−4)成分:合成例4で調製した、平均単位式:
(ViMe2SiO1/2)0.15(PhMeSiO2/2)0.30(PhSiO3/2)0.55
で表されるオルガノポリシロキサン(ケイ素原子結合全有機基に対するビニル基の含有率=9.4モル%)
(A−5)成分:平均単位式:
(ViMe2SiO1/2)0.25(PhSiO3/2)0.75
で表されるオルガノポリシロキサン(ケイ素原子結合全有機基に対するビニル基の含有率=16.7モル%)
(B)成分として、次の成分を用いた。
(B−1)成分:粘度2,000mPa・sの分子鎖両末端ジメチルビニルシロキシ基封鎖フェニルメチルポリシロキサン
(B−2)成分:合成例5で調製した、式:
ViPh2SiO(Me2SiO)12SiPh2Vi
で表されるオルガノポリシロキサン
(C)成分として、次の成分を用いた。
(C−1)成分:粘度4mPa・sである、式:
HMe2SiOPh2SiOSiMe2H
で表されるオルガノトリシロキサン
(C−2)成分:粘度30mPa・sである、平均単位式:
(HMe2SiO1/2)0.6(PhSiO3/2)0.4
で表されるオルガノポリシロキサン
(D)成分として、次の成分を用いた。
(D−1)成分:白金−1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン錯体の1,3,5,7−テトラメチル−1,3,5,7−テトラビニルシクロテトラシロキサンの溶液(白金を0.121質量%含有する溶液)
(E)成分として、次の成分を用いた。
(E−1)成分:1−エチニルシクロヘキサノール
(F)成分として、次の成分を用いた。
(F−1)成分:合成例6で調製した接着付与剤
2 リードフレーム
3 リードフレーム
4 ボンディングワイヤ
5 枠材
6 硬化性シリコーン組成物の硬化物
Claims (8)
- (A)平均単位式:
(R1 3SiO1/2)x(R2 2SiO2/2)y(R3SiO3/2)z
(式中、R1は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数2〜12のアルケニル基、炭素数6〜20のアリール基、もしくは炭素数7〜20のアラルキル基であり、R2は同じかまたは異なる、炭素数1〜12のアルキル基もしくは炭素数2〜12のアルケニル基であり、R3は炭素数1〜12のアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、または炭素数7〜20のアラルキル基であり、但し、一分子中、前記R1、R2、およびR3で表される基の合計の少なくとも0.5モル%は前記アルケニル基であり、前記R3で表される基の少なくとも1個は前記アリール基または前記アラルキル基であり、x、y、およびzは、それぞれ、0.01≦x≦0.5、0.01≦y≦0.4、0.1≦z≦0.9、かつx+y+z=1を満たす数である。)
で表されるオルガノポリシロキサン、
(B)一分子中に少なくとも2個のアルケニル基を有する直鎖状のオルガノポリシロキサン{(A)成分100質量部に対して0.1〜60質量部}、
(C)一分子中に少なくとも2個のケイ素原子結合水素原子を有するオルガノポリシロキサン{(A)成分と(B)成分に含まれるアルケニル基の合計1モルに対して、本成分に含まれるケイ素原子結合水素原子が0.1〜10モルとなる量}、および
(D)ヒドロシリル化反応用触媒(本組成物の硬化を促進する量)
から少なくともなる硬化性シリコーン組成物。 - (A)成分が、平均単位式中のR2が同じかまたは異なる炭素数1〜12のアルキル基であるオルガノポリシロキサンである、請求項1記載の硬化性シリコーン組成物。
- (B)成分が、分子鎖両末端のケイ素原子にアルケニル基を結合する直鎖状のオルガノポリシロキサンである、請求項1または2に記載の硬化性シリコーン組成物。
- さらに、(E)ヒドロシリル化反応抑制剤を(A)成分〜(C)成分の合計100質量部に対して0.01〜3質量部含有する、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の硬化性シリコーン組成物。
- さらに、(F)接着付与剤を(A)成分〜(C)成分の合計100質量部に対して0.1〜5質量部含有する、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の硬化性シリコーン組成物。
- さらに、(G)蛍光体を(A)成分〜(C)成分の合計量に対して0.1〜70質量%含有する、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の硬化性シリコーン組成物。
- 請求項1乃至6のいずれか1項に記載の硬化性シリコーン組成物を硬化してなることを特徴とする硬化物。
- 光半導体素子が、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の硬化性シリコーン組成物の硬化物により封止もしくは被覆されていることを特徴とする光半導体装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014019702 | 2014-02-04 | ||
JP2014019702 | 2014-02-04 | ||
PCT/JP2015/053315 WO2015119226A1 (ja) | 2014-02-04 | 2015-01-30 | 硬化性シリコーン組成物、その硬化物、および光半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2015119226A1 JPWO2015119226A1 (ja) | 2017-03-30 |
JP6455886B2 true JP6455886B2 (ja) | 2019-01-23 |
Family
ID=53778027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015561043A Active JP6455886B2 (ja) | 2014-02-04 | 2015-01-30 | 硬化性シリコーン組成物、その硬化物、および光半導体装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9944759B2 (ja) |
EP (1) | EP3103842B1 (ja) |
JP (1) | JP6455886B2 (ja) |
KR (1) | KR101682369B1 (ja) |
CN (1) | CN106255728B (ja) |
TW (1) | TWI653295B (ja) |
WO (1) | WO2015119226A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI624510B (zh) | 2014-02-04 | 2018-05-21 | 日商道康寧東麗股份有限公司 | 硬化性聚矽氧組合物、其硬化物及光半導體裝置 |
KR102165826B1 (ko) * | 2016-08-12 | 2020-10-15 | 와커 헤미 아게 | 경화성 오르가노폴리실록산 조성물, 캡슐화제 및 반도체 장치 |
TWI763735B (zh) * | 2016-12-09 | 2022-05-11 | 美商道康寧公司 | 組成物、光漫散器和由其所形成之裝置、及相關方法 |
JP6710175B2 (ja) * | 2017-04-03 | 2020-06-17 | 信越化学工業株式会社 | 白色熱硬化性エポキシ・シリコーンハイブリッド樹脂組成物及び光半導体装置 |
JP7256745B2 (ja) * | 2017-09-21 | 2023-04-12 | ダウ・東レ株式会社 | 硬化性シリコーン組成物、それからなる光学部材用樹脂シートおよび発光デバイス |
TWI802631B (zh) * | 2018-01-16 | 2023-05-21 | 日商信越化學工業股份有限公司 | 聚矽氧黏著劑組成物、硬化物、黏著膜及黏著帶 |
JP7377765B2 (ja) * | 2020-05-21 | 2023-11-10 | 信越化学工業株式会社 | オルガノポリシロキサン、およびそれを含有する組成物 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3996195A (en) * | 1974-11-15 | 1976-12-07 | Shinetsu Chemical Company | Curable organosilicon compositions |
JP4409160B2 (ja) | 2002-10-28 | 2010-02-03 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | 硬化性オルガノポリシロキサン組成物および半導体装置 |
US7595113B2 (en) * | 2002-11-29 | 2009-09-29 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | LED devices and silicone resin composition therefor |
JP2004359756A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Wacker Asahikasei Silicone Co Ltd | Led用封止剤組成物 |
JP4908736B2 (ja) | 2003-10-01 | 2012-04-04 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | 硬化性オルガノポリシロキサン組成物および半導体装置 |
US7192795B2 (en) * | 2004-11-18 | 2007-03-20 | 3M Innovative Properties Company | Method of making light emitting device with silicon-containing encapsulant |
JP4648099B2 (ja) * | 2005-06-07 | 2011-03-09 | 信越化学工業株式会社 | ダイボンディング用シリコーン樹脂組成物 |
JP5392805B2 (ja) * | 2005-06-28 | 2014-01-22 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | 硬化性オルガノポリシロキサン樹脂組成物および光学部材 |
ATE498659T1 (de) | 2005-11-09 | 2011-03-15 | Dow Corning Toray Co Ltd | Härtbare silikonzusammensetzung |
JP4965111B2 (ja) | 2005-11-09 | 2012-07-04 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | 硬化性シリコーン組成物 |
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JP5202822B2 (ja) | 2006-06-23 | 2013-06-05 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | 硬化性オルガノポリシロキサン組成物および半導体装置 |
JP5148088B2 (ja) | 2006-08-25 | 2013-02-20 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | 硬化性オルガノポリシロキサン組成物および半導体装置 |
JP5972512B2 (ja) * | 2008-06-18 | 2016-08-17 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | 硬化性オルガノポリシロキサン組成物及び半導体装置 |
JP2010070599A (ja) * | 2008-09-17 | 2010-04-02 | Dow Corning Toray Co Ltd | 液状ダイボンディング剤 |
SG183402A1 (en) * | 2010-02-19 | 2012-09-27 | Toray Industries | Phosphor-containing cured silicone, process for production of same, phosphor-containing silicone composition, precursor of the composition, sheet-shaped moldings, led package, light -emitting device, and process for production of led-mounted substrate |
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WO2012093907A2 (ko) * | 2011-01-06 | 2012-07-12 | 주식회사 엘지화학 | 경화성 조성물 |
EP2662412B1 (en) * | 2011-01-06 | 2018-07-11 | LG Chem, Ltd. | Curable composition |
JP5287935B2 (ja) * | 2011-06-16 | 2013-09-11 | 東レ株式会社 | 蛍光体含有シート、それを用いたled発光装置およびその製造方法 |
TWI480335B (zh) * | 2011-11-25 | 2015-04-11 | Lg Chemical Ltd | 可固化組成物 |
EP2878636B1 (en) * | 2012-07-27 | 2016-12-28 | LG Chem, Ltd. | Curable composition |
JP6081774B2 (ja) * | 2012-10-30 | 2017-02-15 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | 硬化性シリコーン組成物、その硬化物、および光半導体装置 |
TWI624510B (zh) | 2014-02-04 | 2018-05-21 | 日商道康寧東麗股份有限公司 | 硬化性聚矽氧組合物、其硬化物及光半導體裝置 |
-
2015
- 2015-01-26 TW TW104102584A patent/TWI653295B/zh active
- 2015-01-30 JP JP2015561043A patent/JP6455886B2/ja active Active
- 2015-01-30 EP EP15745951.2A patent/EP3103842B1/en active Active
- 2015-01-30 KR KR1020167024145A patent/KR101682369B1/ko active IP Right Grant
- 2015-01-30 US US15/114,456 patent/US9944759B2/en active Active
- 2015-01-30 CN CN201580006763.XA patent/CN106255728B/zh active Active
- 2015-01-30 WO PCT/JP2015/053315 patent/WO2015119226A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106255728A (zh) | 2016-12-21 |
US20160347911A1 (en) | 2016-12-01 |
WO2015119226A1 (ja) | 2015-08-13 |
KR101682369B1 (ko) | 2016-12-05 |
TWI653295B (zh) | 2019-03-11 |
TW201533164A (zh) | 2015-09-01 |
EP3103842B1 (en) | 2023-01-11 |
CN106255728B (zh) | 2019-07-02 |
JPWO2015119226A1 (ja) | 2017-03-30 |
US9944759B2 (en) | 2018-04-17 |
KR20160110522A (ko) | 2016-09-21 |
EP3103842A4 (en) | 2017-10-04 |
EP3103842A1 (en) | 2016-12-14 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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