JP6441252B2 - 熱レーザ刺激装置、熱レーザ刺激方法および記録媒体 - Google Patents
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Description
Claims (18)
- レーザビームを出力するレーザ光源と、
レーザビームを変更し、前記変更されたレーザビームをテストオブジェクトへ導く光学システムと、
前記テストオブジェクトを前記変更されたレーザビームで照射する過程で生じた信号の変化を検出する信号検出器と、
前記信号検出器で検出された前記変化に基づいて欠陥解析を実行するコンピュータシステムと、
を備え、
前記光学システムは、ピーク強度が照射軸近傍にある第1強度成分とピーク強度が前記照射軸周囲にある第2強度成分とを含む照射領域を前記変更されたレーザビームが生成するように、前記レーザビームを変更する
熱レーザ刺激装置。 - 前記第1強度成分は、ガウシアン強度プロファイルを持ち、
前記第2強度成分は、重心が前記照射軸と一致するドーナツ形状の強度プロファイルを持つ
請求項1に記載の装置。 - 前記第1強度成分は、ガウシアン強度プロファイルを持ち、
前記第2強度成分は、それぞれドーナツ形状の強度プロファイルを持ち、かつ、それぞれの重心が前記照射軸と一致する複数の第3強度成分を含む
請求項1に記載の装置。 - 前記第1強度成分は、ガウシアン強度プロファイルを持ち、
前記第2強度成分は、それぞれガウシアン強度プロファイルを持ち、かつ、重心が前記照射軸と一致する複数の第3強度成分を含む
請求項1に記載の装置。 - 前記コンピュータシステムは、前記信号検出器で検出された前記変化の見積りに基づいて、前記レーザビームの強度、前記第1および第2強度成分の比、前記第1強度成分の分布範囲、および、前記第2強度成分の分布範囲のうち少なくとも1つを最適化する請求項1に記載の装置。
- 前記レーザ光源は、第1レーザビームを出力する第1レーザ光源と、第2レーザビームを出力する第2レーザ光源とを含み、
前記光学システムは、前記第1レーザビームを前記第1強度成分へ変換し、前記第2レーザビームを前記第2強度成分へ変換し、前記第1強度成分と前記第2強度成分とを合波することで前記変更されたレーザビームを生成する
請求項1に記載の装置。 - 前記光学システムは、前記変更されたレーザビームのサイズを制御する請求項1に記載の装置。
- 前記光学システムは、前記変更されたレーザビームの強度を変更する請求項1に記載の装置。
- 前記テストオブジェクト周囲の環境温度、湿度および圧力を制御する環境制御システムをさらに備える請求項1に記載の装置。
- 前記信号検出器は、前記テストオブジェクトの熱物性に依存して変化する前記信号の前記変化を検出する請求項1に記載の装置。
- 前記信号検出器は、前記テストオブジェクトが所定位置で前記変更されたレーザビームで照射されたときの前記信号の大きさと、前記所定位置と同じ位置で前記変更されたレーザビームで照射される前および/または後の前記信号の大きさとの差を前記変化として検出する請求項1に記載の装置。
- 前記信号検出器は、前記テストオブジェクトが前記変更されたレーザビームで照射された領域またはその周辺の領域において熱刺激されたときに前記テストオブジェクトから検出された信号の大きさと、前記テストオブジェクトにおける熱刺激された他の領域から検出された信号の大きさとの差を前記変化として検出する請求項1に記載の装置。
- 前記テストオブジェクトに入力する第1信号を生成する信号生成器をさらに備え、
前記テストオブジェクトは、前記第1信号の入力に応じて第2信号を生成し、
前記信号検出器は、前記第2信号を検出することで前記変化を検出する
請求項1に記載の装置。 - 前記第1信号は、電圧信号または電流信号である請求項13に記載の装置。
- 前記コンピュータシステムは、前記信号検出器で検出された前記変化に基づいて、欠陥の深さを決定する請求項1に記載の装置。
- 前記コンピュータシステムは、前記信号検出器で検出された前記変化に基づいて、欠陥の位置を決定する請求項1に記載の装置。
- テストオブジェクトをレーザビームで照射し、
前記テストオブジェクトを前記レーザビームで照射する過程における信号の変化を検出し、
前記検出された信号の変化に基づいて欠陥解析を実行する
ことを含み、
前記レーザビームは、ピーク強度が照射軸近傍にある第1強度成分と、ピーク強度が前記照射軸周囲にある第2強度成分とを含む
熱レーザ刺激方法。 - 熱刺激のためのプログラムを備えるコンピュータが読み取り可能な持続性のある記録媒体であって、
前記プログラムは、
レーザビームを出力し、
テストオブジェクトを前記レーザビームで照射する過程における信号の変化を検出し、
前記検出された信号の変化に基づいて欠陥解析を実行する
命令を含み、
前記レーザビームは、ピーク強度が照射軸近傍にある第1強度成分と、ピーク強度が前記照射軸周囲にある第2強度成分とを含む
記録媒体。
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