JP6411336B2 - 超紫外線レチクルの検査装置および方法 - Google Patents
超紫外線レチクルの検査装置および方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6411336B2 JP6411336B2 JP2015517319A JP2015517319A JP6411336B2 JP 6411336 B2 JP6411336 B2 JP 6411336B2 JP 2015517319 A JP2015517319 A JP 2015517319A JP 2015517319 A JP2015517319 A JP 2015517319A JP 6411336 B2 JP6411336 B2 JP 6411336B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- pattern
- euv reticle
- phase
- euv
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/001—Industrial image inspection using an image reference approach
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/10—Image acquisition modality
- G06T2207/10056—Microscopic image
- G06T2207/10061—Microscopic image from scanning electron microscope
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30148—Semiconductor; IC; Wafer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
本出願は、Mehran Nasser−Ghodsiらによって2012年6月14日に出願された、米国特許仮出願第61/659,804号、表題「METHOD FOR INSPECTING AND IMPROVING THE QUALITY OF EUV PATTERNED MASKS」に対する優先権を主張し、当該出願は、全ての目的で、参照により本明細書にその全体が組み込まれる。
超紫外線(EUV)リソグラフィプロセスは、13.5nmのようなEUV波長での、ウェハ上のパターン化を容易にするために設計する、EUV型レチクルを典型的に使用する。図1は、例のEUVレチクルの一部の側面図の図示である。図示の通り、EUVレチクル100は、低熱膨張(LTE)または超低膨張(ULE)ガラスプレートのような、基板102を含み得る。
本発明のある実施形態は、ブランクEUVレチクル上の位相欠陥を発見するための光学検査、および、パターン化EUVレチクル上の検出位相欠陥のレチクル位置を撮像するためと同様に小さいパターン欠陥を発見するための高速eビーム検査を組み合わせる。この組み合わせは、欠陥補償およびレチクル修正に使用し得る、特定のEUVレチクルの位相欠陥マップおよびパターン化欠陥マップを生じさせる。これらの技術は、位相欠陥マップ(光学系から)およびパターン欠陥マップ(eビーム系から)の優れた座標正確性もまた含む。
D=exp(iΦ)S=1
位相(Φ)は、点拡がり関数にわたり積分した、平均欠陥位相に対応する。平らな周囲の光学振幅(S)は1に設定する。点拡がり関数を使用して複数の光学振幅を混ぜ合わせることにより、画像コントラストを達成することができる。したがって、欠陥強度コントラストは、次の式で表すことができる。
本発明の技術は、ハードウェアおよび/またはソフトウェア系の任意の適切な組み合わせにおいて実施し得る。図12は、本発明の技術を実施し得る、例の検査およびリソグラフィ系1200の図示である。図示の通り、当該系1200は、ブランクレチクル(または他の標本)の欠陥を検査するための光学検査工具1204と、パターン化EUV上のパターン欠陥を検出するおよび欠陥の高解像度画像を得るためのeビーム検査工具1202と、EUVレチクルを製作し使用するための1つ以上のリソグラフィ系1210と、検査リソグラフィ系構成部分間の通信を可能にするためのネットワーク(例えば交換ネットワーク1206)と、および任意の大容量記憶装置1208とを含む。検査またはリソグラフィ系のうちのいずれもが、検査およびリソグラフィ系を設定し、欠陥データ、画像、およびマップをレビューするために、1つ以上の検査/リソグラフィ制御および/またはレビューステーションを含み得る。検査およびリソグラフィ系のそれぞれの装置は、典型的に1つ以上のマイクロプロセッサ集積回路を含み得、インターフェースおよび/または記憶集積回路もまた含み得、さらに設定レシピおよび検査結果を保存するための1つ以上の共有および/またはグローバル記憶装置に連結し得る。
Claims (22)
- 超紫外線(EUV)レチクルの検査方法であって、
パターンが前記EUVレチクル上に形成される前に、位相欠陥のために前記EUVレチクルを検査し、前記EUVレチクルの位相欠陥マップを得るために電磁波形を検出する検査工具を使用することであり、前記位相欠陥マップは前記EUVレチクル上のそれぞれの位相欠陥の位置を特定するものである、使用することと、
前記EUVレチクル上に前記パターンが形成された後に、前記位相欠陥マップにおいて特定するそれぞれの位相欠陥のそれぞれの位置に近接する、それぞれのレチクル部分の画像を取得し、パターン欠陥のために前記EUVレチクルを検査し、前記EUVレチクルのパターン欠陥マップを得るために荷電粒子検査工具を使用することであり、前記パターン欠陥マップは、前記EUVレチクル上のそれぞれのパターン欠陥の位置を特定するものである、使用することと、
フォトリソグラフィプロセスにおいて前記EUVレチクルを使用する前に、前記位相欠陥マップおよび前記パターン欠陥マップに基づく、前記EUVレチクル上のそれぞれのパターン欠陥および位相欠陥から生じる露光パターンを模擬することと、
を含む、方法。 - フォトリソグラフィプロセスにおいて前記EUVレチクルを使用する前に、1つ以上のパターンまたは位相欠陥が、前記EUVレチクルで製作される装置において問題を引き起こすと予測されるかどうか、および、かかる問題が前記EUVレチクルの前記パターンを変更することによって軽減し得るかどうかを決定するために前記模擬露光パターンを分析することであって、前記模擬露光パターンを模擬および分析することが、前記EUVレチクルを製作するために利用された設計データベースの使用を伴わずに実施される、分析することと、
1つ以上のパターンまたは位相欠陥が、軽減し得る問題を引き起こすと予測される場合、前記問題を軽減するために前記EUVレチクルの前記パターンを変更することと、をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - 前記それぞれの位相欠陥の位置が前記検査工具の第1のステージ座標系を基準とし、前記それぞれのパターン欠陥の位置が前記荷電粒子検査工具の第2のステージ座標系を基準とする、請求項1に記載の方法。
- 前記第1および第2のステージ座標系が、前記EUVレチクルの複数の基準マークに基づく、請求項3に記載の方法。
- 前記パターン欠陥マップが、前記EUVレチクルをフォトリソグラフィプロセスにおいて使用するときに同一露光パターンになるように設計し、前記フォトリソグラフィプロセスの少なくともフレア効果を補償するように設計する、レチクル部分間の設計差異を補償することによって得られる、請求項1に記載の方法。
- 前記パターン欠陥マップが、前記EUVレチクルをわたって同時に走査する前記荷電粒子検査工具の複数のビームによって得られる、請求項1に記載の方法。
- 前記複数のビームが25より多い数を有する、請求項6に記載の方法。
- 前記EUVレチクル上に前記パターンを形成する前に、前記EUVレチクル上の前記パターンを形成するために使用し得る設計パターンに関して前記位相欠陥マップによって特定される複数の位相欠陥のそれぞれの位置を分析することであり、前記位相欠陥が前記設計パターンでパターン化された後に問題を引き起こすと予測されるかどうか、および前記問題が、前記EUVレチクルの前記設計パターンを変更することによって軽減し得るかどうかを決定するために分析することと、
1つ以上の前記位相欠陥が軽減し得る問題を引き起こすと予測される場合、前記問題を軽減するために、前記EUVレチクル上にパターンを形成するため、前記設計パターンを変更することと、前記変更した設計パターンを使用することと、をさらに含む、請求項1に記載の方法。 - レチクルを検査するための系であって、
非パターン化EUVレチクルを検査し、複数の位相欠陥および前記EUVレチクル上のそれらの関連する位置を特定する位相欠陥マップを生成するように構成される電磁波形を検出する検査工具と、
レチクルパターンがかかるEUVレチクル上に形成された後に前記EUVレチクルを検査し、複数のパターン欠陥および前記EUVレチクル上のそれらの関連する位置を特定するパターン欠陥マップを得るように構成され、それぞれの位相欠陥の前記EUVレチクル上の関連する位置で画像を得るようにさらに構成される、荷電粒子検査工具と、
を含み、フォトリソグラフィプロセスにおいて前記EUVレチクルを使用する前に、前記位相欠陥マップおよび前記パターン欠陥マップに基づく、前記EUVレチクル上のそれぞれのパターン欠陥および位相欠陥から生じる露光パターンを模擬する、系。 - 前記荷電粒子検査工具の一部を形成する分析器と、
を含み、前記分析器は、1つ以上のパターンまたは位相欠陥が、前記EUVレチクルで製作される装置において問題を引き起こすかどうかを予想するために前記位相欠陥マップ及び前記パターン欠陥マップを分析するように構成される、請求項9に記載の系。 - 前記荷電粒子検査工具および前記検査工具が、統合クラスタ系の形態である、請求項9に記載の系。
- 前記荷電粒子検査工具が、複数のビームカラムを形成するように構成され、1つ以上のパターンまたは位相欠陥が軽減し得る問題を引き起こすと予測される場合、前記EUVレチクルを修正するためのレチクル修正工具をさらに含む、請求項9に記載の系。
- 前記ビームカラムが、前記ビームカラムのそれぞれにレンズ場を製造するために磁場を変化させる複数のボアを有する磁束バイパスプレートを使用することによって形成され、前記荷電粒子検査工具が複数のボアを有する前記磁束バイパスプレートを含む、請求項12に記載の系。
- 前記荷電粒子検査工具が、25個より多いビームカラムを形成するように構成される、請求項12に記載の系。
- 前記それぞれの位相欠陥の位置が、前記検査工具の第1のステージ座標系を基準とし、前記それぞれのパターン欠陥の位置が、前記荷電粒子検査工具の第2のステージ座標系を基準とし、前記第1および第2のステージ座標系が前記EUVレチクルの複数の基準マークに基づく、請求項9に記載の系。
- EUVレチクルの検査結果をレビューするための装置であって、
画像を表示するためのディスプレイと、
コントローラであって、以下の操作:
パターンがEUVレチクル上で形成される前に電磁波形検査工具を使用して得られた、前記EUVレチクル上のそれぞれの位相欠陥の位置を特定する、前記EUVレチクルの位相欠陥マップを受信することと、
前記ディスプレイ上に、前記位相欠陥マップにおいて特定するそれぞれの位相欠陥のそれぞれの位置に近接するそれぞれのレチクル部分の画像を表示することであり、それぞれの位相欠陥のためのそれぞれの画像は前記パターンが前記EUVレチクル上に形成された後に荷電粒子検査工具により得られたものである、表示することと、
前記ディスプレイ上に、前記パターンが前記EUVレチクル上に形成された後に前記荷電粒子検査工具により得られた、前記EUVレチクルのパターン欠陥マップを表示することであり、前記パターン欠陥マップは前記EUVレチクル上のそれぞれのパターン欠陥の位置を特定するものである、表示することと、
表示された前記レチクル部分の画像及び前記パターン欠陥マップを用いて、フォトリソグラフィプロセスにおいて前記EUVレチクルを使用する前に、前記位相欠陥マップおよび前記パターン欠陥マップに基づく、前記EUVレチクル上のそれぞれのパターン欠陥および位相欠陥から生じる露光パターンを模擬することと、
を実施するように構成されるコントローラと、を含む、装置。 - 前記パターン欠陥マップを、前記EUVレチクルを修正するかまたは廃棄するかどうかを決定するために、前記位相欠陥マップおよびそれぞれの位相欠陥のそれぞれの位置に近接するそれぞれのレチクル部分の1つ以上の画像と関連して分析することと、を実施するようにさらに構成され、
前記分析操作が、
フォトリソグラフィプロセスにおいて前記EUVレチクルを使用する前に、1つ以上のパターンまたは位相欠陥が、前記EUVレチクルで製作する装置において問題を引き起こすと予測されるかどうか、および、かかる問題が前記EUVレチクルの前記パターンを変更することによって軽減し得るかどうかを決定するために、前記模擬露光パターンを分析することであって、前記模擬露光パターンの模擬および分析が、前記EUVレチクルを製作するために利用された設計データベースの使用を伴わずに実施される、分析することと、をさらに含む、請求項16に記載の装置。 - 前記それぞれの位相欠陥の位置が、検査工具の第1のステージ座標系を基準とし、前記それぞれのパターン欠陥の位置が、前記荷電粒子検査工具の第2のステージ座標系を基準とし、前記第1および第2のステージ座標系が前記EUVレチクルの複数の基準マークに基づく、請求項16に記載の装置。
- 前記パターン欠陥マップが、前記EUVレチクルをフォトリソグラフィプロセスにおいて使用するときに同一露光パターンになるように設計し、前記フォトリソグラフィプロセスの少なくともフレア効果を補償するように設計する、レチクル部分間の設計差異を補償することによって得られる、請求項16に記載の装置。
- 前記荷電粒子検査工具の形態の前記装置が、前記EUVレチクルをわたって同時に走査するための複数のカラムを形成するように構成される、請求項16に記載の装置。
- 前記複数のカラムが25より多い数を有する、請求項20に記載の装置。
- 前記複数のカラムが、前記ビームカラムのそれぞれにレンズ場を製造するために磁場を変化させる複数のボアを有する磁束バイパスプレートを使用することによって形成され、前記荷電粒子検査工具が複数のボアを有する前記磁束バイパスプレートを含む、請求項21に記載の装置。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201261659804P | 2012-06-14 | 2012-06-14 | |
US61/659,804 | 2012-06-14 | ||
US13/905,448 | 2013-05-30 | ||
US13/905,448 US8953869B2 (en) | 2012-06-14 | 2013-05-30 | Apparatus and methods for inspecting extreme ultra violet reticles |
PCT/US2013/044739 WO2013188232A1 (en) | 2012-06-14 | 2013-06-07 | Apparatus and methods for inspecting extreme ultra violet reticles |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015519617A JP2015519617A (ja) | 2015-07-09 |
JP2015519617A5 JP2015519617A5 (ja) | 2016-07-28 |
JP6411336B2 true JP6411336B2 (ja) | 2018-10-24 |
Family
ID=49755976
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015517319A Active JP6411336B2 (ja) | 2012-06-14 | 2013-06-07 | 超紫外線レチクルの検査装置および方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8953869B2 (ja) |
EP (1) | EP2862197B1 (ja) |
JP (1) | JP6411336B2 (ja) |
TW (1) | TWI594070B (ja) |
WO (1) | WO2013188232A1 (ja) |
Families Citing this family (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9793673B2 (en) | 2011-06-13 | 2017-10-17 | Kla-Tencor Corporation | Semiconductor inspection and metrology system using laser pulse multiplier |
US10197501B2 (en) | 2011-12-12 | 2019-02-05 | Kla-Tencor Corporation | Electron-bombarded charge-coupled device and inspection systems using EBCCD detectors |
US9091930B2 (en) | 2012-04-02 | 2015-07-28 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Enhanced EUV lithography system |
US9496425B2 (en) | 2012-04-10 | 2016-11-15 | Kla-Tencor Corporation | Back-illuminated sensor with boron layer |
US8953869B2 (en) | 2012-06-14 | 2015-02-10 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and methods for inspecting extreme ultra violet reticles |
US9601299B2 (en) | 2012-08-03 | 2017-03-21 | Kla-Tencor Corporation | Photocathode including silicon substrate with boron layer |
FR2994605B1 (fr) * | 2012-08-20 | 2014-08-22 | Commissariat Energie Atomique | Procede de fabrication de masques euv minimisant l'impact des defauts de substrat |
US9151940B2 (en) | 2012-12-05 | 2015-10-06 | Kla-Tencor Corporation | Semiconductor inspection and metrology system using laser pulse multiplier |
US9529182B2 (en) | 2013-02-13 | 2016-12-27 | KLA—Tencor Corporation | 193nm laser and inspection system |
US9608399B2 (en) | 2013-03-18 | 2017-03-28 | Kla-Tencor Corporation | 193 nm laser and an inspection system using a 193 nm laser |
US9478402B2 (en) | 2013-04-01 | 2016-10-25 | Kla-Tencor Corporation | Photomultiplier tube, image sensor, and an inspection system using a PMT or image sensor |
JP6236216B2 (ja) * | 2013-04-16 | 2017-11-22 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査装置および検査方法 |
US9748294B2 (en) | 2014-01-10 | 2017-08-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Anti-reflection layer for back-illuminated sensor |
US9410901B2 (en) | 2014-03-17 | 2016-08-09 | Kla-Tencor Corporation | Image sensor, an inspection system and a method of inspecting an article |
US9804101B2 (en) | 2014-03-20 | 2017-10-31 | Kla-Tencor Corporation | System and method for reducing the bandwidth of a laser and an inspection system and method using a laser |
DE102014213198B4 (de) | 2014-07-08 | 2020-08-06 | Carl Zeiss Ag | Verfahren zur Lokalisierung von Defekten auf Substraten |
US9767986B2 (en) | 2014-08-29 | 2017-09-19 | Kla-Tencor Corporation | Scanning electron microscope and methods of inspecting and reviewing samples |
US9748729B2 (en) | 2014-10-03 | 2017-08-29 | Kla-Tencor Corporation | 183NM laser and inspection system |
KR20160116534A (ko) * | 2015-03-30 | 2016-10-10 | 삼성전자주식회사 | 전자빔을 이용한 웨이퍼의 검사 방법 |
US9860466B2 (en) | 2015-05-14 | 2018-01-02 | Kla-Tencor Corporation | Sensor with electrically controllable aperture for inspection and metrology systems |
EP3109700B1 (en) | 2015-06-26 | 2020-07-01 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Defect inspecting method, sorting method, and producing method for photomask blank |
JP2017015692A (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-19 | 信越化学工業株式会社 | フォトマスクブランクの欠陥検査方法、選別方法及び製造方法 |
US9875534B2 (en) * | 2015-09-04 | 2018-01-23 | Kla-Tencor Corporation | Techniques and systems for model-based critical dimension measurements |
US9740805B1 (en) | 2015-12-01 | 2017-08-22 | Western Digital (Fremont), Llc | Method and system for detecting hotspots for photolithographically-defined devices |
US10778925B2 (en) | 2016-04-06 | 2020-09-15 | Kla-Tencor Corporation | Multiple column per channel CCD sensor architecture for inspection and metrology |
US10313622B2 (en) | 2016-04-06 | 2019-06-04 | Kla-Tencor Corporation | Dual-column-parallel CCD sensor and inspection systems using a sensor |
US9870612B2 (en) * | 2016-06-06 | 2018-01-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for repairing a mask |
US9929045B2 (en) * | 2016-07-14 | 2018-03-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Ltd. | Defect inspection and repairing method and associated system and non-transitory computer readable medium |
JP6735645B2 (ja) * | 2016-09-28 | 2020-08-05 | 日本電子株式会社 | 観察方法および試料観察装置 |
US10175555B2 (en) | 2017-01-03 | 2019-01-08 | KLA—Tencor Corporation | 183 nm CW laser and inspection system |
US10877370B2 (en) * | 2017-07-31 | 2020-12-29 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Stretchable layout design for EUV defect mitigation |
JP6964031B2 (ja) * | 2018-03-27 | 2021-11-10 | Tasmit株式会社 | パターンエッジ検出方法 |
US10937705B2 (en) * | 2018-03-30 | 2021-03-02 | Onto Innovation Inc. | Sample inspection using topography |
US11114489B2 (en) | 2018-06-18 | 2021-09-07 | Kla-Tencor Corporation | Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor |
KR20210036962A (ko) | 2018-08-28 | 2021-04-05 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 최적의 계측 안내 시스템들 및 방법들 |
US10866197B2 (en) | 2018-09-20 | 2020-12-15 | KLA Corp. | Dispositioning defects detected on extreme ultraviolet photomasks |
JP7080992B2 (ja) * | 2018-11-12 | 2022-06-06 | 株式会社日立ハイテク | 欠陥の発生を推定するシステム、及びコンピューター可読媒体 |
US11114491B2 (en) | 2018-12-12 | 2021-09-07 | Kla Corporation | Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor |
US10816483B2 (en) | 2018-12-27 | 2020-10-27 | Globalfoundries Inc. | Double pass diluted ultraviolet reticle inspection |
US11119404B2 (en) | 2019-10-10 | 2021-09-14 | Kla Corporation | System and method for reducing printable defects on extreme ultraviolet pattern masks |
KR20210117622A (ko) | 2020-03-19 | 2021-09-29 | 삼성전자주식회사 | Euv 마스크의 위상 측정 장치 및 방법과 그 방법을 포함한 euv 마스크의 제조방법 |
US11848350B2 (en) | 2020-04-08 | 2023-12-19 | Kla Corporation | Back-illuminated sensor and a method of manufacturing a sensor using a silicon on insulator wafer |
JP2021197263A (ja) * | 2020-06-12 | 2021-12-27 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | マルチ電子ビーム画像取得装置及びマルチ電子ビーム画像取得方法 |
DE102020208883B4 (de) * | 2020-07-16 | 2023-06-15 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren und Computerprogramm zur Reparatur einer Maske für die Lithographie |
CN112053967B (zh) * | 2020-08-21 | 2022-09-20 | 华虹半导体(无锡)有限公司 | 评估掩膜版缺陷对器件制造影响程度的方法 |
CN111968099B (zh) * | 2020-08-24 | 2023-01-24 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种大口径拼接望远镜共相方法、装置、设备及存储介质 |
US11617256B2 (en) | 2020-12-30 | 2023-03-28 | Kla Corporation | Laser and drum control for continuous generation of broadband light |
US11727556B2 (en) * | 2021-09-29 | 2023-08-15 | KLA Corp. | Defect detection for multi-die masks |
US20230134909A1 (en) * | 2021-11-04 | 2023-05-04 | SK Hynix Inc. | Defect inspection system and semiconductor fabrication apparatus including a defect inspection apparatus using the same |
Family Cites Families (34)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6023060A (en) * | 1998-03-03 | 2000-02-08 | Etec Systems, Inc. | T-shaped electron-beam microcolumn as a general purpose scanning electron microscope |
US6235434B1 (en) * | 1998-12-08 | 2001-05-22 | Euv Llc | Method for mask repair using defect compensation |
DE10103958C1 (de) * | 2001-01-30 | 2002-05-29 | Infineon Technologies Ag | Verfahren zur Inspektion von Defekten auf einer Maske |
US6873720B2 (en) * | 2001-03-20 | 2005-03-29 | Synopsys, Inc. | System and method of providing mask defect printability analysis |
US6925202B2 (en) * | 2001-03-20 | 2005-08-02 | Synopsys, Inc. | System and method of providing mask quality control |
US7072502B2 (en) * | 2001-06-07 | 2006-07-04 | Applied Materials, Inc. | Alternating phase-shift mask inspection method and apparatus |
WO2003079116A1 (en) | 2002-03-19 | 2003-09-25 | Mapper Lithography Ip B.V. | Direct write lithography system |
US7179568B2 (en) * | 2003-07-10 | 2007-02-20 | Wisconsin Alumni Research Foundation | Defect inspection of extreme ultraviolet lithography masks and the like |
GB2408143B (en) | 2003-10-20 | 2006-11-15 | Ims Nanofabrication Gmbh | Charged-particle multi-beam exposure apparatus |
KR101056142B1 (ko) * | 2004-01-29 | 2011-08-10 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 레티클 설계 데이터의 결함을 검출하기 위한 컴퓨터로구현되는 방법 |
KR20060132680A (ko) * | 2004-02-05 | 2006-12-21 | 코닌클리즈케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 광학 검사 장치, 광학 검사 방법, 피사체 제조 방법 및마스크 |
JP4738114B2 (ja) | 2005-09-16 | 2011-08-03 | 株式会社東芝 | マスク欠陥検査方法 |
US8103086B2 (en) | 2007-01-11 | 2012-01-24 | Kla-Tencor Corporation | Reticle defect inspection with model-based thin line approaches |
US7738093B2 (en) * | 2007-05-07 | 2010-06-15 | Kla-Tencor Corp. | Methods for detecting and classifying defects on a reticle |
JP5039495B2 (ja) | 2007-10-04 | 2012-10-03 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | マスクブランク検査方法、反射型露光マスクの製造方法、反射型露光方法および半導体集積回路の製造方法 |
US8142959B2 (en) * | 2008-09-05 | 2012-03-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method and apparatus for gating photomask contamination |
JP5275763B2 (ja) * | 2008-11-27 | 2013-08-28 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | マスク欠陥検査方法および半導体装置の製造方法 |
NL2003678A (en) | 2008-12-17 | 2010-06-21 | Asml Holding Nv | Euv mask inspection system. |
KR20100074626A (ko) | 2008-12-24 | 2010-07-02 | 주식회사 하이닉스반도체 | 레티클의 결함 검출 방법 |
US8945802B2 (en) * | 2009-03-03 | 2015-02-03 | Nikon Corporation | Flare-measuring mask, flare-measuring method, and exposure method |
WO2010147846A2 (en) | 2009-06-19 | 2010-12-23 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Inspection systems and methods for detecting defects on extreme ultraviolet mask blanks |
WO2011007800A1 (ja) * | 2009-07-16 | 2011-01-20 | Hoya株式会社 | マスクブランク及び転写用マスク |
JP5275275B2 (ja) * | 2010-02-25 | 2013-08-28 | 株式会社東芝 | 基板処理方法、euvマスクの製造方法、euvマスクおよび半導体装置の製造方法 |
JP5841710B2 (ja) * | 2010-03-17 | 2016-01-13 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 |
JP5471835B2 (ja) * | 2010-05-26 | 2014-04-16 | 大日本印刷株式会社 | 反射型マスクの位相欠陥補正方法および反射型マスクの製造方法 |
DE102010025033B4 (de) * | 2010-06-23 | 2021-02-11 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren zur Defekterkennung und Reparatur von EUV-Masken |
US8692193B2 (en) | 2010-08-05 | 2014-04-08 | Hermes Microvision, Inc. | Method for inspecting EUV reticle and apparatus thereof |
JP2012089580A (ja) * | 2010-10-15 | 2012-05-10 | Renesas Electronics Corp | Euvl用マスクの製造方法および半導体装置の製造方法 |
JP6000288B2 (ja) | 2011-03-15 | 2016-09-28 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | 反射性リソグラフィマスクブランクを検査し、マスク品質を向上させるための方法および装置 |
US8455838B2 (en) | 2011-06-29 | 2013-06-04 | Kla-Tencor Corporation | Multiple-column electron beam apparatus and methods |
DE102011079382B4 (de) * | 2011-07-19 | 2020-11-12 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Analysieren und zum Beseitigen eines Defekts einer EUV Maske |
KR101958050B1 (ko) | 2012-04-18 | 2019-07-04 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 극자외선 레티클의 임계 치수 균일성 모니터링 |
US8953869B2 (en) | 2012-06-14 | 2015-02-10 | Kla-Tencor Corporation | Apparatus and methods for inspecting extreme ultra violet reticles |
US8748063B2 (en) * | 2012-08-01 | 2014-06-10 | International Business Machines Corporation | Extreme ultraviolet (EUV) multilayer defect compensation and EUV masks |
-
2013
- 2013-05-30 US US13/905,448 patent/US8953869B2/en active Active
- 2013-06-07 JP JP2015517319A patent/JP6411336B2/ja active Active
- 2013-06-07 WO PCT/US2013/044739 patent/WO2013188232A1/en active Application Filing
- 2013-06-07 EP EP13803745.2A patent/EP2862197B1/en active Active
- 2013-06-14 TW TW102121222A patent/TWI594070B/zh active
-
2015
- 2015-01-07 US US14/591,181 patent/US9679372B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013188232A1 (en) | 2013-12-19 |
EP2862197A4 (en) | 2016-02-17 |
EP2862197B1 (en) | 2017-05-10 |
EP2862197A1 (en) | 2015-04-22 |
JP2015519617A (ja) | 2015-07-09 |
TWI594070B (zh) | 2017-08-01 |
TW201403218A (zh) | 2014-01-16 |
US8953869B2 (en) | 2015-02-10 |
US20130336574A1 (en) | 2013-12-19 |
US9679372B2 (en) | 2017-06-13 |
US20150117754A1 (en) | 2015-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6411336B2 (ja) | 超紫外線レチクルの検査装置および方法 | |
US10288415B2 (en) | Critical dimension uniformity monitoring for extreme ultra-violet reticles | |
KR102329153B1 (ko) | 두 개의 포토마스크의 비교에 의한 포토마스크의 검사 | |
TWI698635B (zh) | 用於判定將對一試樣執行之一度量程序之參數之系統、方法及非暫時性電腦可讀取媒體 | |
KR102347057B1 (ko) | 전자 빔 이미지에서의 결함 위치 결정 | |
US11010886B2 (en) | Systems and methods for automatic correction of drift between inspection and design for massive pattern searching | |
JP6472447B2 (ja) | フォトマスク欠陥性における変化の監視 | |
TW201940864A (zh) | 檢查方法及檢查裝置 | |
JP2021012131A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP2020134165A (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
US20230046682A1 (en) | Mask defect detection | |
KR20230079063A (ko) | 검사 및 다른 프로세스를 위한 시료의 정렬 | |
Jeong et al. | Actinic EUVL mask blank defect inspection system | |
JP2015002114A (ja) | 検査装置および検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160606 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160606 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170228 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170529 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170727 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170830 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180206 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180424 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180904 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180926 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6411336 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |