JP6404189B2 - 基板液処理装置、基板液処理方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
4 制御部(制御装置)
31 基板保持部
33 回転駆動部
41,414 第1ノズル移動機構(ノズルアーム及びアーム駆動機構)
42,424 第1ノズル移動機構(ノズルアーム及びアーム駆動機構)
411 第1ノズル(第1処理液ノズル)
421 第2ノズル(第2処理液ノズル)
711 第1処理液供給部(処理液供給部)
721 第2処理液供給部(処理液供給部)
Claims (13)
- 基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部を鉛直軸線周りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部により保持された前記基板の少なくとも中心部に処理液を供給する第1ノズルと、
前記基板保持部により保持された前記基板に前記処理液を供給する第2ノズルと、
前記第1ノズルに前記処理液を供給する第1処理液供給部と、
前記第2ノズルに前記処理液を供給する第2処理液供給部と、
前記第1ノズルを、前記基板の中心部と周縁部との間で移動させる第1ノズル移動機構と、
前記第2ノズルを、前記基板の中心部と周縁部との間で移動させる第2ノズル移動機構と、
少なくとも前記第1処理液供給部、前記第2処理液供給部、前記第1ノズル移動機構および前記第2ノズル移動機構の動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第1ノズルが前記基板の中心部に処理液を供給しているときに、前記第2ノズルが前記基板の中心部から周縁部に向かって移動しているときに前記第2ノズルから前記処理液を吐出させ、前記第2ノズルが前記基板の周縁部から中心部へ向かって移動しているときに前記第2ノズルからの前記処理液の吐出を停止させ、
前記制御部は、前記第2ノズルが前記基板の中心部に処理液を供給しているときに、前記第1ノズルが前記基板の中心部から周縁部に向かって移動しているときに前記第1ノズルから前記処理液を吐出させ、前記第1ノズルが前記基板の周縁部から中心部に向かって移動しているときに前記第1ノズルからの前記処理液の吐出を停止させる、基板液処理装置。 - 前記制御部は、
前記第1ノズルが前記基板の中心部に処理液を供給しているときに、前記第2ノズルから前記処理液を吐出させながら前記第2ノズルを前記基板の中心部から周縁部に移動させ、その後、前記第2ノズルからの処理液の吐出を停止した状態で前記第2ノズルを前記基板の周縁部から中心部に移動させることと、
前記第2ノズルが前記基板の中心部に処理液を供給しているときに、前記第1ノズルから前記処理液を吐出させながら前記第1ノズルを前記基板の中心部から周縁部に移動させ、その後、前記第1ノズルからの処理液の吐出を停止した状態で前記第1ノズルを前記基板の周縁部から中心部に移動させることと
を交互に実行させる、請求項1記載の基板液処理装置。 - 前記制御部は、前記第2ノズルが前記基板の中心部に位置しているときの前記第2ノズルからの処理液の吐出流量を、前記第2ノズルが前記基板の中心部から周縁部に向かって移動しているときの吐出流量よりも大きくし、かつ、前記第1ノズルが前記基板の中心部に位置しているときの前記第1ノズルからの処理液の吐出流量を、前記第1ノズルが前記基板の中心部から周縁部に向かって移動しているときの吐出流量よりも大きくする、請求項1または2記載の基板液処理装置。
- 前記制御部は、前記第2ノズルが前記基板の中心部から周縁部に移動を開始した後に前記第1ノズルが前記基板の中心部に到達したときに前記第2ノズルからの処理液の吐出流量を減じ、前記第1ノズルが前記基板の中心部から周縁部に移動を開始した後に前記第2ノズルが前記基板の中心部に到達したときに前記第1ノズルからの処理液の吐出流量を減ずる、請求項3記載の基板液処理装置。
- 前記制御部は、前記第2ノズルが前記基板の周縁部から中心部に移動するときの移動速度よりも中心部から周縁部に移動するときの移動速度よりも高くする、前記第1ノズルが前記基板の周縁部から中心部に移動するときの移動速度よりも中心部から周縁部に移動するときの移動速度よりも高くする、請求項1から4のうちのいずれか一項に記載の基板液処理装置。
- 基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部を鉛直軸線周りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部により保持された前記基板の少なくとも中心部に処理液を供給する第1ノズルと、
前記基板保持部により保持された前記基板に前記処理液を供給する第2ノズルと、
前記第1ノズルに前記処理液を供給する第1処理液供給部と、
前記第2ノズルに前記処理液を供給する第2処理液供給部と、
前記第2ノズルを、前記基板の中心部と周縁部との間で移動させる第2ノズル移動機構と、
少なくとも前記第1処理液供給部、前記第2処理液供給部および前記第2ノズル移動機構の動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第1ノズルが前記基板の中心部に処理液を供給しているときに、前記第2ノズルが前記基板の中心部から周縁部に向かって移動しているときに前記第2ノズルから前記処理液を吐出させ、前記第2ノズルが前記基板の周縁部から中心部へ向かって移動しているときに前記第2ノズルからの前記処理液の吐出を停止させ、
前記制御部は、前記第2ノズルが前記基板の中心部に位置しているときの前記第2ノズルからの処理液の吐出流量を、前記第2ノズルが前記基板の中心部から周縁部に向かって移動しているときの吐出流量よりも大きくする、基板液処理装置。 - 基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部を鉛直軸線周りに回転させる回転駆動部と、
前記基板保持部により保持された前記基板の少なくとも中心部に処理液を供給する第1ノズルと、
前記基板保持部により保持された前記基板に前記処理液を供給する第2ノズルと、
前記第1ノズルに前記処理液を供給する第1処理液供給部と、
前記第2ノズルに前記処理液を供給する第2処理液供給部と、
前記第2ノズルを、前記基板の中心部と周縁部との間で移動させる第2ノズル移動機構と、
少なくとも前記第1処理液供給部、前記第2処理液供給部および前記第2ノズル移動機構の動作を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第1ノズルが前記基板の中心部に処理液を供給しているときに、前記第2ノズルが前記基板の中心部から周縁部に向かって移動しているときに前記第2ノズルから前記処理液を吐出させ、前記第2ノズルが前記基板の周縁部から中心部へ向かって移動しているときに前記第2ノズルからの前記処理液の吐出を停止させ、
前記制御部は、前記第2ノズルが前記基板の周縁部から中心部に移動するときの移動速度よりも中心部から周縁部に移動するときの移動速度よりも高くする、基板液処理装置。 - (a)基板を鉛直軸線周りに回転させることと、
(b)第1ノズルから回転する前記基板の中心部に処理液を供給しながら、第2ノズルから回転する前記基板に処理液を供給し、このとき、前記第2ノズルから吐出された処理液の着液点を前記基板の中心部から前記基板の周縁部に向けて移動させることと、
(c)前記(b)の後に、前記第1ノズルから回転する前記基板の中心部に引き続き処理液を供給しながら、前記第2ノズルからの処理液の吐出を停止して前記第2ノズルを前記回転する基板の中心部に処理液を供給しうる位置に移動させることと、
(d)前記(c)の後に、前記第2ノズルから回転する前記基板の中心部に処理液を供給することと、
(e)前記(d)の後に、前記第2ノズルから前記回転する基板の中心部に処理液を供給しながら、前記第1ノズルから回転する前記基板に処理液を供給し、このとき、前記第1ノズルから吐出された処理液の着液点を前記基板の中心部から前記基板の周縁部に連続的に移動させることと、
を備えた基板液処理方法。 - (a)基板を鉛直軸線周りに回転させることと、
(b)第1ノズルから回転する前記基板の中心部に処理液を供給しながら、第2ノズルから回転する前記基板に処理液を供給し、このとき、前記第2ノズルから吐出された処理液の着液点を前記基板の中心部から前記基板の周縁部に向けて移動させることと、
(c)前記(b)の後に、前記第1ノズルから回転する前記基板の中心部に引き続き処理液を供給しながら、前記第2ノズルからの処理液の吐出を停止して前記第2ノズルを前記回転する基板の中心部に処理液を供給しうる位置に移動させることと、
(d)前記(c)の後に、前記第2ノズルから回転する前記基板の中心部に処理液を供給することと、
(f)前記(d)の後に、前記第1ノズルから回転する前記基板の中心部に引き続き処理液を供給しながら、第2ノズルから回転する前記基板に処理液を供給し、このとき、前記第2ノズルから吐出された処理液の着液点を前記基板の中心部から前記基板の周縁部に連続的に移動させることと、
を備えた基板液処理方法。 - (a)基板を鉛直軸線周りに回転させることと、
(b)第1ノズルから回転する前記基板の中心部に処理液を供給しながら、第2ノズルから回転する前記基板に処理液を供給し、このとき、前記第2ノズルから吐出された処理液の着液点を前記基板の中心部から前記基板の周縁部に向けて移動させることと、
(c)前記(b)の後に、前記第1ノズルから回転する前記基板の中心部に引き続き処理液を供給しながら、前記第2ノズルからの処理液の吐出を停止して前記第2ノズルを前記回転する基板の中心部に処理液を供給しうる位置に移動させることと、
を備え、
前記第1ノズル及び前記第2ノズルからの前記処理液の吐出流量は、前記基板の中心部に前記処理液を供給するときの吐出流量が、前記処理液の着液点を前記基板の中心部から前記基板の周縁部に連続的に移動させているときの吐出流量よりも大きくなるように制御される、基板液処理方法。 - 前記処理液は常温より高い温度の液である、請求項8から10のうちのいずれか一項に記載の基板液処理方法。
- 前記処理液は洗浄液またはエッチング液である、請求項8から11のうちのいずれか一項に記載の基板液処理方法。
- 基板液処理装置の動作を制御するためのコンピュータにより実行されたときに、前記コンピュータが前記基板液処理装置を制御して請求項8から12のうちのいずれか一項に記載の基板液処理方法を実行させるプログラムが記録された記憶媒体。
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