JP6398021B1 - 固体撮像装置及びカメラシステム - Google Patents
固体撮像装置及びカメラシステム Download PDFInfo
- Publication number
- JP6398021B1 JP6398021B1 JP2018001487A JP2018001487A JP6398021B1 JP 6398021 B1 JP6398021 B1 JP 6398021B1 JP 2018001487 A JP2018001487 A JP 2018001487A JP 2018001487 A JP2018001487 A JP 2018001487A JP 6398021 B1 JP6398021 B1 JP 6398021B1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- transistor
- memory
- signal
- photodiode
- state imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 34
- 230000003321 amplification Effects 0.000 claims abstract description 29
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 claims abstract description 29
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 45
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 19
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 18
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 10
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 6
- 230000007704 transition Effects 0.000 claims description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 22
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 19
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 13
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 description 8
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000001454 recorded image Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
- H01L27/14612—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements involving a transistor
- H01L27/14614—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements involving a transistor having a special gate structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14603—Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14609—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements
- H01L27/1461—Pixel-elements with integrated switching, control, storage or amplification elements characterised by the photosensitive area
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/788—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with floating gate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
- H01L29/772—Field effect transistors
- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/792—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate with charge trapping gate insulator, e.g. MNOS-memory transistors
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/40—Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled
- H04N25/42—Extracting pixel data from image sensors by controlling scanning circuits, e.g. by modifying the number of pixels sampled or to be sampled by switching between different modes of operation using different resolutions or aspect ratios, e.g. switching between interlaced and non-interlaced mode
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
- H04N25/77—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/70—SSIS architectures; Circuits associated therewith
- H04N25/76—Addressed sensors, e.g. MOS or CMOS sensors
- H04N25/77—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components
- H04N25/772—Pixel circuitry, e.g. memories, A/D converters, pixel amplifiers, shared circuits or shared components comprising A/D, V/T, V/F, I/T or I/F converters
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/30—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region
- H10B41/35—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the memory core region with a cell select transistor, e.g. NAND
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B41/00—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates
- H10B41/40—Electrically erasable-and-programmable ROM [EEPROM] devices comprising floating gates characterised by the peripheral circuit region
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/30—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region
- H10B43/35—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the memory core region with cell select transistors, e.g. NAND
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B43/00—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators
- H10B43/40—EEPROM devices comprising charge-trapping gate insulators characterised by the peripheral circuit region
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Abstract
【解決手段】イメージセンサの画素Pには、フォトダイオード35、転送トランジスタ36、リセットトランジスタ37、増幅トランジスタ38とともに、選択トランジスタの機能を有する記憶素子39が設けられている。記憶素子39は、ドレイン側選択トランジスタDST、ソース側選択トランジスタSSTとともにメモリトランジスタMTが一体的な構造で形成されている。メモリトランジスタMTは、書き込み電圧がゲート電圧としてメモリゲート電極41に印加されることにより、フォトダイオード35の受光量に応じた量の電荷を電荷蓄積層42に蓄積する。
【選択図】図3
Description
11 イメージセンサ
14 制御部
28 垂直信号線
35 フォトダイオード
36 転送トランジスタ
37 リセットトランジスタ
38 増幅トランジスタ
39 記憶素子
51 ドレイン
52 ソース
53 メモリゲート構造体
54 ドレイン側選択ゲート構造体
55 ソース側選択ゲート構造体
MT メモリトランジスタ
DST ドレイン側選択トランジスタ
SST ソース側選択トランジスタ
P 画素
PW Pウェル領域
70 メモリトランジスタ
71 第1選択トランジスタ
72 第2選択トランジスタ
73 不揮発性記憶部
Claims (13)
- 複数の画素が配列された画素アレイを備える固体撮像装置において、
前記画素は、
フォトダイオードと、
フローティングディフュージョンと、
前記フォトダイオードと前記フローティングディフュージョンとの間に接続された転送トランジスタと、
前記フローティングディフュージョンがゲートに接続された増幅トランジスタと、
信号出力線と前記増幅トランジスタとの間に接続された不揮発性記憶部とを備え、
前記不揮発性記憶部は、
前記増幅トランジスタと前記信号出力線との間で、前記増幅トランジスタと直列に接続された、メモリゲート電極及び電荷蓄積層を含むメモリトランジスタと、
前記増幅トランジスタと前記信号出力線との間で、前記メモリトランジスタと直列に接続された第1選択トランジスタと
を有することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記不揮発性記憶部は、前記メモリトランジスタと前記増幅トランジスタとの間に、前記メモリトランジスタと直列に接続された第2選択トランジスタをさらに有することを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記不揮発性記憶部は、
Pウェル領域の表面に形成されたドレイン及びソースと、
前記電荷蓄積層及び前記メモリゲート電極を含み、前記ドレインと前記ソースとの間の前記Pウェル領域の表面に配置されて前記メモリトランジスタを形成するメモリゲート構造体と、
前記メモリゲート構造体と前記ソースとの間の前記Pウェル領域の表面に配置されて前記第1選択トランジスタを形成する第1ゲート構造体と、
前記メモリゲート構造体と前記ドレインとの間の前記Pウェル領域の表面に配置されて前記第2選択トランジスタを形成する第2ゲート構造体と、
から構成されることを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。 - 前記画素は、電源線と前記フローティングディフュージョンとの間に接続されたリセットトランジスタをさらに有することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の固体撮像装置。
- 前記第1選択トランジスタと前記第2選択トランジスタは、前記信号出力線に画像信号を出力しないときには少なくともいずれか一方がオフになることを特徴とする請求項2または3に記載の固体撮像装置。
- 前記電荷蓄積層は、前記メモリゲート電極への書き込み電圧の印加によって前記増幅トランジスタの出力電位に応じた量の電荷を蓄積し、
前記メモリトランジスタは、前記電荷蓄積層に電荷蓄積が無い状態で前記メモリゲート電極への通常電圧の印加によりオンし、前記電荷蓄積層に蓄積される電荷の量に応じて閾値電圧が変化する
ことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 通常モードと、保存モードと、読み出しモードとを有し、
前記通常モードでは、前記フォトダイオードの受光量に応じた前記フローティングディフュージョンの電位に対応する画像信号を前記信号出力線に出力し、
前記保存モードでは、前記フォトダイオードの受光量に応じた前記フローティングディフュージョンの電位に対応した量の電荷を前記電荷蓄積層に蓄積し、静止画像を記憶し、
前記読み出しモードでは、前記電荷蓄積層に蓄積された前記電荷の量に対応した画像信号を前記信号出力線に出力する
ことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記信号出力線は、それぞれ複数の前記画素が接続されており、
前記第1選択トランジスタは、前記メモリトランジスタと前記信号出力線との間に接続され、前記信号出力線に画像信号を出力するときにオンし、前記メモリトランジスタに書き込み電圧を印加する際にオフする
ことを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置による撮像中のトリガ信号に応答して、前記メモリゲート電極に書き込み電圧を印加する制御部と
を備えることを特徴とするカメラシステム。 - 加速度に応じた検出信号を出力する加速度センサを有し、
前記制御部は、所定の閾値以上の加速度を示す前記検出信号をトリガ信号とすることを特徴とする請求項9に記載のカメラシステム。 - 画素のフォトダイオードの受光量に応じた画像信号を出力する通常モードと、
前記フォトダイオードの受光量に応じたアナログ量を記憶情報として不揮発性記憶部に不揮発的に記憶する保存モードと、
前記保存モードで前記不揮発性記憶部に記憶された前記記憶情報を複数ビットのデジタルな画像信号に変換して出力する読み出しモードと
を有し、
再度の前記保存モードへの移行が禁止される、または、解除操作によって再度の前記保存モードへの移行が許容されることを特徴とする固体撮像装置。 - フォトダイオードを有する複数の画素と、
前記画素からの画像信号が入力されるA/D変換回路と、
前記フォトダイオードと前記A/D変換回路との間に接続され、トリガ信号に応答して前記フォトダイオードの受光量に応じた記憶情報を記憶するメモリトランジスタと、
所定のイベントを検出して前記トリガ信号を発生するイベント検出部と、
を備えることを特徴とするカメラシステム。 - 前記イベント検出部は、加速度センサであることを特徴とする請求項12に記載のカメラシステム。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018001487A JP6398021B1 (ja) | 2018-01-09 | 2018-01-09 | 固体撮像装置及びカメラシステム |
KR1020207011042A KR102412999B1 (ko) | 2018-01-09 | 2018-12-26 | 고체 촬상 장치 및 카메라 시스템 |
US16/760,935 US11282878B2 (en) | 2018-01-09 | 2018-12-26 | Solid-state imaging device and camera system |
CN201880085554.2A CN111602388B (zh) | 2018-01-09 | 2018-12-26 | 固体摄像装置及照相机系统 |
PCT/JP2018/047953 WO2019138894A1 (ja) | 2018-01-09 | 2018-12-26 | 固体撮像装置及びカメラシステム |
TW108100028A TWI765133B (zh) | 2018-01-09 | 2019-01-02 | 固體攝像裝置及相機系統 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018001487A JP6398021B1 (ja) | 2018-01-09 | 2018-01-09 | 固体撮像装置及びカメラシステム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6398021B1 true JP6398021B1 (ja) | 2018-09-26 |
JP2019121968A JP2019121968A (ja) | 2019-07-22 |
Family
ID=63668473
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018001487A Active JP6398021B1 (ja) | 2018-01-09 | 2018-01-09 | 固体撮像装置及びカメラシステム |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11282878B2 (ja) |
JP (1) | JP6398021B1 (ja) |
KR (1) | KR102412999B1 (ja) |
CN (1) | CN111602388B (ja) |
TW (1) | TWI765133B (ja) |
WO (1) | WO2019138894A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7076972B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2022-05-30 | キヤノン株式会社 | 撮像素子及び撮像装置 |
US11626445B2 (en) * | 2018-08-23 | 2023-04-11 | Raytheon Company | Per-pixel detector bias control |
US11561132B2 (en) | 2020-06-04 | 2023-01-24 | Raytheon Company | Per-pixel detector bias control |
US11430828B2 (en) * | 2020-12-17 | 2022-08-30 | Omnivision Technologies, Inc. | Event driven pixel for spatial information extraction |
CN117038686B (zh) * | 2023-07-28 | 2024-04-16 | 中山大学 | 一种像素结构、光电二极管和cmos图像传感器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010226375A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Fujifilm Corp | 撮像装置及び固体撮像素子の駆動方法 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001085660A (ja) * | 1999-09-10 | 2001-03-30 | Toshiba Corp | 固体撮像装置及びその制御方法 |
JP2003087657A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-03-20 | Victor Co Of Japan Ltd | 固体撮像装置 |
JP4467448B2 (ja) | 2005-02-24 | 2010-05-26 | 三洋電機株式会社 | 移動体用記録装置 |
JP5016941B2 (ja) * | 2007-02-08 | 2012-09-05 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
US9420210B2 (en) * | 2008-06-10 | 2016-08-16 | Tohoku University | Solid-state image sensor for capturing high-speed phenomena and drive method for the same |
JP2010056512A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-03-11 | Genusion Inc | 固体撮像素子、その動作方法、その製造方法及びデジタルカメラ |
JP2010212417A (ja) * | 2009-03-10 | 2010-09-24 | Fujifilm Corp | 固体撮像素子、撮像装置、固体撮像素子の駆動方法 |
CN102387316B (zh) * | 2010-08-31 | 2014-11-05 | 比亚迪股份有限公司 | 一种高动态范围的像素单元及图像传感器 |
WO2012147302A1 (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-01 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置及びそれを用いたカメラシステム |
JP2014033007A (ja) * | 2012-08-01 | 2014-02-20 | Toshiba Corp | 半導体集積回路 |
JP2014053374A (ja) * | 2012-09-05 | 2014-03-20 | Toshiba Corp | 半導体集積回路 |
KR101377063B1 (ko) * | 2013-09-26 | 2014-03-26 | (주)실리콘화일 | 기판 적층형 이미지 센서의 글로벌 셔터를 위한 픽셀회로 |
US11114423B2 (en) * | 2015-12-01 | 2021-09-07 | Sharp Kabushiki Kaisha | Image-forming element |
JP2020053782A (ja) * | 2018-09-26 | 2020-04-02 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、および、撮像装置 |
JP2020107932A (ja) * | 2018-12-26 | 2020-07-09 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子および撮像装置 |
-
2018
- 2018-01-09 JP JP2018001487A patent/JP6398021B1/ja active Active
- 2018-12-26 US US16/760,935 patent/US11282878B2/en active Active
- 2018-12-26 WO PCT/JP2018/047953 patent/WO2019138894A1/ja active Application Filing
- 2018-12-26 KR KR1020207011042A patent/KR102412999B1/ko active IP Right Grant
- 2018-12-26 CN CN201880085554.2A patent/CN111602388B/zh active Active
-
2019
- 2019-01-02 TW TW108100028A patent/TWI765133B/zh active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010226375A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Fujifilm Corp | 撮像装置及び固体撮像素子の駆動方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20200106881A (ko) | 2020-09-15 |
CN111602388B (zh) | 2023-04-18 |
WO2019138894A1 (ja) | 2019-07-18 |
KR102412999B1 (ko) | 2022-06-23 |
TW201931845A (zh) | 2019-08-01 |
US11282878B2 (en) | 2022-03-22 |
TWI765133B (zh) | 2022-05-21 |
US20210183925A1 (en) | 2021-06-17 |
JP2019121968A (ja) | 2019-07-22 |
CN111602388A (zh) | 2020-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6398021B1 (ja) | 固体撮像装置及びカメラシステム | |
US9749557B2 (en) | Solid-state image pickup device in which charges overflowing a memory during a charge transfer period are directed to a floating diffusion and method of driving same | |
US7733401B2 (en) | Image capturing apparatus | |
US8890982B2 (en) | Solid-state imaging device and driving method as well as electronic apparatus | |
US8184188B2 (en) | Methods and apparatus for high dynamic operation of a pixel cell | |
JP3911788B2 (ja) | 固体撮像素子およびその駆動方法 | |
US8183604B2 (en) | Solid state image pickup device inducing an amplifying MOS transistor having particular conductivity type semiconductor layers, and camera using the same device | |
WO2008069015A1 (ja) | 固体撮像装置、固体撮像装置の駆動方法および撮像装置 | |
US7352399B2 (en) | Solid-state imaging device driving method | |
US20100238310A1 (en) | Imaging apparatus and drive method of solid-state imaging device | |
JP4758318B2 (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2010028434A (ja) | 固体撮像装置 | |
JP2010050146A (ja) | 固体撮像素子、撮像装置、及び撮像方法 | |
JP5068223B2 (ja) | 固体撮像装置およびその制御方法、電子情報機器 | |
JP2011061523A (ja) | Mos型イメージセンサ、mos型イメージセンサの駆動方法、撮像装置、撮像方法 | |
JPH09181986A (ja) | 固体撮像素子 | |
JP2008042675A (ja) | 光電変換装置及び撮像装置 | |
JP4587161B2 (ja) | 撮像装置 | |
JPH1028240A (ja) | 増幅型固体撮像素子、その固定パターンノイズ補正方法、並びに、補正値書き込み方法 | |
JPH1093868A (ja) | 固体撮像素子及びその駆動方法 | |
JPH11313255A (ja) | 固体撮像素子およびその駆動方法 | |
US20110019054A1 (en) | Solid-state image sensor, imaging system, and method of driving solid-state image sensor | |
JP2011061018A (ja) | Mos型イメージセンサ及び撮像装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180124 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20180124 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20180130 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180410 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20180607 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180802 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180821 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180903 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6398021 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |