JP6396167B2 - 炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法 - Google Patents
炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6396167B2 JP6396167B2 JP2014211624A JP2014211624A JP6396167B2 JP 6396167 B2 JP6396167 B2 JP 6396167B2 JP 2014211624 A JP2014211624 A JP 2014211624A JP 2014211624 A JP2014211624 A JP 2014211624A JP 6396167 B2 JP6396167 B2 JP 6396167B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- single crystal
- silicon carbide
- seed crystal
- crystal
- sic single
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 162
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 99
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 99
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims 3
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 87
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 83
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 58
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 34
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 32
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 18
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 10
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 claims description 10
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 claims description 10
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 claims description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 6
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 12
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N aqua regia Chemical compound Cl.O[N+]([O-])=O QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 235000014593 oils and fats Nutrition 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
(1)昇華再結晶法により炭化珪素を結晶成長させる際に用いる炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法であって、薄板状の炭化珪素単結晶の表面及び裏面を研磨して炭化珪素単結晶基板とした後、前記炭化珪素単結晶基板の裏面に真空蒸着、スパッタリング又はめっきによりニッケル薄膜を形成して裏面側を防食被覆し、溶融水酸化カリウム中に浸漬させて、炭化珪素単結晶基板の表面のみをエッチングして種結晶を得ることを特徴とする炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法、
(2)前記ニッケル薄膜を形成する方法がスパッタリング法であることを特徴とする(1)に記載の炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法、
(3)前記ニッケル薄膜の厚さが0.1mm以上、0.5mm以下であることを特徴とする(1)又は(2)に記載の炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法、
である。
なお、本発明において、表面、裏面とは、最終的に種結晶として炭化珪素を結晶成長させる側(結晶成長面側)を表面とし、その反対側が裏面である。
初めに、種結晶を得るための従来の溶融KOHによるエッチング方法について説明する。電気炉(マッフル炉)内にニッケル製坩堝をセットし、ニッケルるつぼ中にKOH(粒状、固体)を所定量入れる。ニッケルるつぼの底の下には温度測定用の熱電対をセットする。加熱により設定温度(450〜550℃程度)まで昇温してKOH粒を溶かして溶融KOH浴が形成される。エッチングするSiC単結晶基板は、薄板状のSiC単結晶の表面及び裏面を研磨した後、予めエタノールで洗浄して油脂などを除去しておく。そして、図3にしめしたように、このSiC単結晶基板をニッケル製ワイヤーにより釣り下げて保持できるようにしておき、エッチング浴中に浸漬する。浸漬する時間はSiC単結晶基板の成長面表面に残存する加工歪みの程度によるが、大体5〜10分程度で十分である。その後、SiC単結晶基板を溶融KOH浴から取出し、基板の温度が十分に下がり付着した溶融KOHが固化したことを確認してから、水洗してKOHを溶かしてから乾燥させ、SiC単結晶基板をニッケル製ワイヤーからとり外す。この従来の手法では、得られた種結晶の表裏両面にはエッチング液が触れているため、昇華再結晶法によりSiCを結晶成長させる際に坩堝の蓋体に取り付けられる裏面に凹凸が発生してしまう。
溶融KOHによるエッチングについては、図3に示したような従来の溶融KOHエッチング装置を使用した。すなわち、電気炉(マッフル炉)内部にKOH粒を入れたニッケル坩堝を置き、加熱により溶かしてエッチング浴とする。加熱温度は坩堝底に入れた熱電対により調節する。温度は520℃、エッチング時間は5分で行った。また、エッチングするSiC単結晶基板については、SiC単結晶インゴットから切り出された薄板状のSiC単結晶を両面研磨機でラップして鏡面に仕上げ、更にポリッシュして表面及ぶ裏面を仕上げ研磨した直径150mm(6インチ)、厚さ1mmのSiC単結晶基板を用いた。
SiC単結晶基板の裏面へのニッケル薄膜被覆方法として、スパッタリング法を用いた以外は実施例1と同様の実験を行った。すなわち、裏面をニッケル薄膜で防食被覆したSiC単結晶基板について、裏面側に直径0.3mmΦのニッケル線を複数廻し込み、表面側でこれらをひとつに束ねてSiC単結晶基板を吊り下げるようにして、温度が520℃の溶融KOH浴に浸漬させて、5分間のエッチングを行った。なお、このときのニッケル薄膜の厚さは0.5mmとした。
SiC単結晶基板の裏面にニッケル箔を密着させずにエッチングを行ったこと以外は実施例1と同様にして種結晶を得た。そして、KOHエッチングを行った種結晶の裏面を顕微鏡観察したところ、エッチング液に反応した裏面にて凹凸が発生していた。
Claims (3)
- 昇華再結晶法により炭化珪素を結晶成長させる際に用いる炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法であって、薄板状の炭化珪素単結晶の表面及び裏面を研磨して炭化珪素単結晶基板とした後、前記炭化珪素単結晶基板の裏面に真空蒸着、スパッタリング又はめっきによりニッケル薄膜を形成して裏面側を防食被覆し、溶融水酸化カリウム中に浸漬させて、炭化珪素単結晶基板の表面のみをエッチングして種結晶を得ることを特徴とする炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法。
- 前記ニッケル薄膜を形成する方法がスパッタリング法であることを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法。
- 前記ニッケル薄膜の厚さが0.1mm以上、0.5mm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014211624A JP6396167B2 (ja) | 2014-10-16 | 2014-10-16 | 炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014211624A JP6396167B2 (ja) | 2014-10-16 | 2014-10-16 | 炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016079063A JP2016079063A (ja) | 2016-05-16 |
JP6396167B2 true JP6396167B2 (ja) | 2018-09-26 |
Family
ID=55957614
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014211624A Active JP6396167B2 (ja) | 2014-10-16 | 2014-10-16 | 炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6396167B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007081258A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | パターン形成方法 |
-
2014
- 2014-10-16 JP JP2014211624A patent/JP6396167B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016079063A (ja) | 2016-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2010041497A1 (ja) | SiC単結晶の形成方法 | |
JP6537590B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴットの製造方法 | |
JP5854013B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
JP5146418B2 (ja) | 炭化珪素単結晶製造用坩堝及び炭化珪素単結晶の製造方法 | |
TWI671438B (zh) | SiC(碳化矽)種晶之加工變質層的除去方法、SiC種晶及SiC基板之製造方法 | |
JP5569112B2 (ja) | 炭化珪素単結晶ウェハの製造方法及びこの方法で得られた炭化珪素単結晶ウェハ | |
JP4985625B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP2015182948A (ja) | 炭化ケイ素単結晶の製造方法 | |
JP2006290635A (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法及び炭化珪素単結晶インゴット | |
JP4523733B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴットの製造方法並びに炭化珪素単結晶育成用種結晶の装着方法 | |
JP5418385B2 (ja) | 炭化珪素単結晶インゴットの製造方法 | |
JP5843725B2 (ja) | 単結晶の製造方法 | |
JP5339239B2 (ja) | SiC基板の作製方法 | |
JP5263900B2 (ja) | 単結晶SiCの成長方法 | |
JP4494856B2 (ja) | 炭化珪素単結晶成長用種結晶とその製造方法及びそれを用いた結晶成長方法 | |
JP6396167B2 (ja) | 炭化珪素単結晶育成用の種結晶作製方法 | |
JP5948988B2 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP4661039B2 (ja) | 炭化珪素基板の製造方法 | |
JP6040866B2 (ja) | SiC単結晶の製造方法 | |
WO2016163157A1 (ja) | 炭化珪素単結晶の製造方法 | |
JP6695182B2 (ja) | 炭化珪素単結晶成長用種結晶の製造方法及び炭化珪素単結晶インゴットの製造方法 | |
JP5545567B2 (ja) | 単結晶ダイヤモンド成長用の基材及び単結晶ダイヤモンドの製造方法 | |
WO2011135669A1 (ja) | SiC基板の作製方法 | |
JP2010052997A (ja) | 炭化ケイ素単結晶成長用種結晶の製造方法及び炭化ケイ素単結晶の製造方法 | |
JP2015129087A (ja) | 炭化珪素基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170605 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180227 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20180227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180417 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20180621 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20180628 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180814 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180829 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6396167 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |