JP6376380B2 - ニッケル酸リチウムスパッタリングターゲットの製造方法 - Google Patents
ニッケル酸リチウムスパッタリングターゲットの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6376380B2 JP6376380B2 JP2014148022A JP2014148022A JP6376380B2 JP 6376380 B2 JP6376380 B2 JP 6376380B2 JP 2014148022 A JP2014148022 A JP 2014148022A JP 2014148022 A JP2014148022 A JP 2014148022A JP 6376380 B2 JP6376380 B2 JP 6376380B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linio
- sputtering target
- powder
- sintering
- lithium nickelate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005477 sputtering target Methods 0.000 title claims description 38
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 title claims description 35
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 34
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 229910013290 LiNiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 56
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 43
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 30
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 11
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 claims description 9
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 claims description 7
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 39
- 238000000034 method Methods 0.000 description 32
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 15
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 14
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 8
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 7
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 6
- 150000002642 lithium compounds Chemical class 0.000 description 6
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L lithium carbonate Chemical compound [Li+].[Li+].[O-]C([O-])=O XGZVUEUWXADBQD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 3
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910012851 LiCoO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000007774 positive electrode material Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 150000004649 carbonic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 150000002641 lithium Chemical class 0.000 description 1
- URIIGZKXFBNRAU-UHFFFAOYSA-N lithium;oxonickel Chemical compound [Li].[Ni]=O URIIGZKXFBNRAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012856 weighed raw material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
(1)本発明のニッケル酸リチウムスパッタリングターゲットの製造方法は、Li2CO3粉末とNiO粉末との混合粉末を、大気中、700〜900℃で焼成し、LiNiO2焼成体を得る焼成工程と、前記LiNiO2焼成体を粉砕してLiNiO2粉末を得る粉砕工程と、前記LiNiO2粉末を焼結してLiNiO2焼結体を得る焼結工程と、を備え、前記焼結工程は、前記LiNiO 2 粉末を、還元雰囲気で、400〜600℃で加圧焼結して、中間焼結体を得る加圧焼結工程と、前記中間焼結体を、大気中で、700〜850℃で加熱保持して、LiNiO 2 焼結体を得る本焼結工程と、を含むことを特徴とする。
先ず、本発明に係るニッケル酸リチウムスパッタリングターゲットを製造するために、原料粉末として、平均粒径D50が150μm、純度4NのLi2CO3粉末(株式会社高純度科学研究所製)と、平均粒径D50が1.8μm、純度3NのNiO粉末(フルウチ化学株式会社製)とを用意した。そして、以下に示す混合工程、焼成工程、粉砕工程、焼結工程:ホットプレス工程、焼結工程:本焼結工程、機械加工工程の手順に従い、製造を実施した。
Li2CO3粉末とNiO粉末とを、モル比が1:2となるように秤量した。秤量した各原料粉末を、ボールミルにより混合し、実施例1〜11の混合粉末を得た。この混合では、ZrO2ボールを用い、溶媒にはヘキサンを用いた。得られた各混合粉末を乾燥し、目開き0.5mmの篩にかけた。
実施例1〜11の混合粉末をそれぞれ容器に入れ、大気中で、表1に示された加熱温度で、48時間、加熱保持し、塊状のLiNiO2焼成体を得た。
得られた塊状のLiNiO2焼成体をそれぞれベッセルによって解砕し、目開き90μmの篩にかけて、実施例1〜11のLiNiO2粉末を得た。
得られた実施例1〜11のLiNiO2粉末を、それぞれモールドに充填し、真空槽内を10−2Torr(1.3Pa)の到達真空圧力まで排気した後、表1に示す加熱温度で2時間、圧力14.7MPaでホットプレスすることにより、実施例1〜11の中間焼結体を得た。
上記実施例1〜11の中間焼結体を、大気中、表1に示した加熱温度で、48時間、加熱保持し、実施例1〜11の焼結体を得た。
得られた実施例1〜11の焼結体を機械加工して、直径200mm、厚さ5mmの実施例1〜11のスパッタリングターゲットを作製した。ここで、実施例ごとに、同じスパッタリングターゲットを5個ずつ作製した。
実施例との比較のため、比較例1、2のニッケル酸リチウムスパッタリングターゲットを作製した。各比較例のスパッタリングターゲットは、上記実施例の場合と同様の手順で作製されたが、比較例1、2では、上記の焼成工程における温度が、本発明の温度範囲外となっており、比較例1は、低い場合であり、また、比較例2は、高い場合である。
下記の条件で、実施例1〜11及び比較例1、2のスパッタリングターゲットのそれぞれの5サンプルについて、XRD測定を実施した。
・試料の準備:得られた焼結体をメノウ乳鉢にて粉砕したものを測定試料とした。
・装置:理学電機社製(RINT−Ultima/PC)
・管球:Cu
・管電圧:40kV
・管電流:40mA
・走査範囲(2θ):10°〜90°
・スリットサイズ:発散(DS)2/3度、散乱(SS)2/3度、受光(RS)0.3mm
・測定ステップ幅:2θで0.04度
・スキャンスピード:毎分4度
・試料台回転スピード:30rpm
上記測定により得られたXRDパターンにおいて、LiNiO2相のみが検出された場合を組成ずれ無しとし、LiNiO2相以外の相、即ち、組成ずれが発生したニッケル含有リチウム化合物相も検出された場合、組成ずれ有とした。5サンプル中、組成ずれのあったサンプルの数を、表2の「組成ずれ発生数」欄に示した。なお、5サンプルいずれにおいても組成ずれ無しの場合は、「0」である。
得られた実施例1〜11及び比較例1、2の焼結体を、所定寸法に機械加工した後、重量を測定し嵩密度を求めた。これらの嵩密度を理論密度(4.81g/cm3)で割ることで、各々の相対密度を算出した。密度及び相対密度について、それらの結果を、表2の「密度(g/cm3)」欄及び「相対密度(%)」欄に示した。なお、比較例1、2の場合には、全サンプルにおいて、組成ずれが発生したため、密度及び相対密度を測定しなかった。表2においては、「−」と表記した。
Claims (1)
- Li2CO3粉末とNiO粉末との混合粉末を、大気中、700〜900℃で焼成し、LiNiO2焼成体を得る焼成工程と、
前記LiNiO2焼成体を粉砕してLiNiO2粉末を得る粉砕工程と、
前記LiNiO2粉末を焼結してLiNiO2焼結体を得る焼結工程と、
を備え、
前記焼結工程は、
前記LiNiO 2 粉末を、還元雰囲気で、400〜600℃で加圧焼結して、中間焼結体を得る加圧焼結工程と、
前記中間焼結体を、大気中で、700〜850℃で加熱保持して、LiNiO 2 焼結体を得る本焼結工程と、
を含むことを特徴とするリチウム含有ニッケル酸化物スパッタリングターゲットの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014148022A JP6376380B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | ニッケル酸リチウムスパッタリングターゲットの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014148022A JP6376380B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | ニッケル酸リチウムスパッタリングターゲットの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016023333A JP2016023333A (ja) | 2016-02-08 |
JP6376380B2 true JP6376380B2 (ja) | 2018-08-22 |
Family
ID=55270383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014148022A Expired - Fee Related JP6376380B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | ニッケル酸リチウムスパッタリングターゲットの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6376380B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7298490B2 (ja) * | 2020-01-20 | 2023-06-27 | 株式会社デンソー | ターゲットの製造方法 |
CN112321280A (zh) * | 2020-11-13 | 2021-02-05 | 北京航大微纳科技有限公司 | 一种氧化镍基陶瓷靶材材料的凝胶注模成型制备方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6340756A (ja) * | 1986-08-07 | 1988-02-22 | 旭硝子株式会社 | 錫を含む物理蒸着用酸化インジウム焼結体 |
FR2680799B1 (fr) * | 1991-09-03 | 1993-10-29 | Elf Aquitaine Ste Nale | Element de cible pour pulverisation cathodique, procede de preparation dudit element et cibles, notamment de grande surface, realisees a partir de cet element. |
JP4843582B2 (ja) * | 2007-08-17 | 2011-12-21 | 株式会社アルバック | リン酸リチウム焼結体の製造方法およびスパッタリングターゲット |
-
2014
- 2014-07-18 JP JP2014148022A patent/JP6376380B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016023333A (ja) | 2016-02-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7017079B2 (ja) | 電極の製造方法、電極、及び、電極-電解質層接合体 | |
JP5919673B2 (ja) | 固体電解質及びその製造方法 | |
JP5617417B2 (ja) | ガーネット型リチウムイオン伝導性酸化物及びその製法 | |
JP5376252B2 (ja) | セラミックス材料及びその利用 | |
JP6079307B2 (ja) | ガーネット型リチウムイオン伝導性酸化物の製造方法 | |
KR101592752B1 (ko) | 가넷 분말, 이의 제조방법, 핫프레스를 이용한 고체전해질 시트 및 이의 제조방법 | |
JP5273732B2 (ja) | セラミックス材料の製造方法 | |
JP2016171067A (ja) | ガーネット型又はガーネット型類似の結晶構造を有するリチウムイオン伝導性酸化物セラミックス材料 | |
JP2019006634A (ja) | 固体電解質の製造方法、及び固体電解質 | |
CN109195918B (zh) | 低对称石榴子石关联型结构固体电解质以及锂离子二次电池 | |
CN111033859A (zh) | 固体电解质及全固体电池 | |
JP6832073B2 (ja) | 全固体電池用正極活物質材料の製造方法 | |
JP6161467B2 (ja) | 固体酸化物型燃料電池用複合酸化物粉末及びその製造方法 | |
JP2018073503A (ja) | リチウムイオン固体電解質及びこれを用いたリチウムイオン電池 | |
JP2014172812A (ja) | リチウムイオン伝導性酸化物の製造方法 | |
JP2011105565A (ja) | 異種金属置換マンガン酸リチウム化合物及びその用途 | |
JP2011108407A (ja) | 非水電解質電池用正極の製造方法と非水電解質電池用正極ならびに非水電解質電池 | |
JP2018116817A (ja) | リチウムイオン二次電池用正極活物質およびその製造方法ならびにリチウムイオン二次電池 | |
JP6376380B2 (ja) | ニッケル酸リチウムスパッタリングターゲットの製造方法 | |
Chen et al. | 20 mS cm− 1 Li-argyrodite solid electrolyte produced via facile high-speed-mixing | |
JP5583771B2 (ja) | ZnO−MgO系スパッタリングターゲット用焼結体 | |
JP2012166966A (ja) | B型酸化チタンとその製造方法、およびそれを用いたリチウムイオン電池 | |
JP2011079707A (ja) | セラミックス材料及びその製造方法 | |
JP2014229490A (ja) | 電池用固体電解質の製造方法 | |
JP2012048893A (ja) | 固体酸化物型燃料電池用空気極材料粉末及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170328 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180220 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180628 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180711 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6376380 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |