JP6362278B2

JP6362278B2 - ボート

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Publication number: JP6362278B2
Application number: JP2016564313A
Authority: JP
Inventors: イルイ，ビョン; ホイ，ヨン; スンホ，カン
Original assignee: ウォンイクテラセミコンカンパニーリミテッド
Priority date: 2014-06-30
Filing date: 2014-06-30
Publication date: 2018-07-25
Anticipated expiration: 2034-06-30
Also published as: JP2017519689A; CN106458433B; CN106458433A; WO2016002978A1

Description

本発明は、複数の基板を積載・保管するボートに関する。

平板表示装置用基板又は薄膜型太陽電池用基板は、ボートに複数個が積載・保管された状態で熱処理装置にローディングされて処理される。

ところで、従来のボートは、その構造上、複数の基板を積載・保管した時、容易に変形される恐れがあった。

そして、従来のボートは、一種のサイズの基板のみを積載・保管することができる。すなわち、１つのボートには、同じサイズを有する基板のみを積載・保管し、異なるサイズを有する基板を処理するためには、別途のボートを備えなければならないので、コスト高となる短所があった。

本発明は、前記のような従来技術の問題点を解消するために案出されたものであって、本発明の目的は、変形を防止することができるボートを提供するところにある。

本発明の他の目的は、多様なサイズの基板を積載・保管できるように構成して、コストを節減することができるボートを提供するところにある。

前記目的を果たすための本発明によるボートは、前面板と、裏面板と、左側面板と、右側面板と、互いに対向しながら間隔を有するサポート部材と、一端部側は、何れか１つの前記サポート部材に着脱自在に結合され、他端部側は、他の１つの前記サポート部材に着脱自在に結合されて、何れか１つの前記サポート部材及び他の１つの前記サポート部材を互いに連結する複数の連結部材と、を含み、前記前面板、前記裏面板、前記左側面板、及び前記右側面板によって上面及び下面は開放されるとともに六面体状に形成され、内部には複数の基板が互いに間隔を置いて起立保存され、前記連結部材の上面には基板の下端面側が支持され、前記サポート部材は、前記連結部材の端部側が結合される内側サポート部材と、前記内側サポート部材の外側で前記内側サポート部材に結合された外側サポート部材と、前記内側サポート部材及び前記外側サポート部材の下面に着脱自在に結合され、相手物と接触する複数のサポートブロックと、をそれぞれ含む。

本発明によるボートは、支持バーに支持された基板の荷重がサポート部材に伝達され、サポート部材を通じて前面板、裏面板、左側面板及び右側面板に伝達されるので、ボートの全体部位に伝達される。これにより、ボートの全体部位に基板の荷重が作用するので、ボートの変形を防止することができる。

そして、本発明によるボートは、基板を支持するメイン支持板が固着され、メイン支持板に支持される基板よりも小さなサイズの基板を支持する補助支持板がメイン支持板に着脱自在に結合される。したがって、基板のサイズによって基板をメイン支持板に支持するか、補助支持板に支持することができる。すなわち、１つのボートで互いに異なるサイズを有する多種の基板を支持し、使用可能なので、コストが節減される。

本発明の一実施形態によるボートの斜視図である。図１に示されたボートの分解斜視図である。図２に示されたサポート部材の一部結合拡大斜視図である。図２に示されたサポート部材と連結部材との一部結合拡大斜視図である。図２に示されたサポート部材、連結部材及び支持部材の一部結合拡大斜視図である。図５の結合正面図である。図２に示されたサポート部材、連結部材、支持部材及び拡散案内部材の一部結合拡大斜視図である。図２の一部結合拡大斜視図である。本発明の一実施形態によるボートの使用状態を示した図８の結合斜視図である。本発明の一実施形態によるボートが熱処理装置にローディングされることを示した斜視図である。本発明の他の実施形態によるボートの一部分解斜視図である。本発明の他の実施形態によるボートの使用状態を示した斜視図である。

後述する本発明についての詳細な説明は、本発明が実施される特定の実施形態を例示して、図示した添付図面を参照する。これらの実施形態は、当業者が本発明を十分に実施可能なように詳細に説明される。本発明の多様な実施形態は、互いに異なるが、相互排他的である必要はないということを理解しなければならない。例えば、ここに記載されている特定の形状、特定の構造、及び特性は、一実施形態と関連して、本発明の精神及び範囲を外れず、他の実施形態として具現可能である。また、それぞれの開示された実施形態内の個別構成要素の位置又は配置は、本発明の精神及び範囲を外れず、変更されうるということを理解しなければならない。したがって、後述する詳細な説明は、限定的な意味ではなく、本発明の範囲は、適切に説明されるならば、その請求項が主張するものと均等なあらゆる範囲と共に、添付の請求項によってのみ限定される。図面に示された実施形態の長さ、面積、厚さ及び形態は、便宜上、誇張されて表現されることもある。

以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態によるボートを詳しく説明する。

図１は、本発明の一実施形態によるボートの斜視図であり、図２は、図１に示されたボートの分解斜視図である。

示したように、本実施形態によるボート１００は、サポート部材１１０、連結部材１２０、支持部材１４０、拡散案内部材１５０、前面板１７１、裏面板１７３、左側面板１７５、右側面板１７７、及びメイン支持板１８０を含む。

サポート部材１１０は、互いに間隙を置いて対向すると共に、平行を成す一対からなり、連結部材１２０は、サポート部材１１０に着脱自在に結合されて、一対のサポート部材１１０を互いに連結する。支持部材１４０は、サポート部材１１０及び連結部材１２０に結合されて、基板５０（図９参照）を支持する。

前面板１７１は、サポート部材１１０ａの幅方向の外側面に結合され、裏面板１７３は、サポート部材１１０ｂの幅方向の外側面に結合され、左側面板１７５は、サポート部材１１０の長手方向の左側端面に結合されると共に、前面板１７１及び右側面板１７３に結合され、右側面板１７７は、サポート部材１１０の長手方向の右側端面に結合されると共に、前面板１７１及び右側面板１７３に結合される。これにより、前面板１７１と裏面板１７３と左側面板１７５及び右側面板１７７とによって形成される空間に基板５０が積載・保管される。

そして、前面板１７１、裏面板１７３、左側面板１７５及び右側面板１７７には、ガスの円滑な流れを保持するための開放部（図示せず）がそれぞれ形成されうる。

メイン支持板１８０は、左側面板１７５及び右側面板１７７の内面にそれぞれ複数個結合される。すなわち、メイン支持板１８０の一面は、左側面板１７５及び右側面板１７７の内面にそれぞれ結合され、左側面板１７５に結合されたメイン支持板１８０の他面及び右側面板１７７に結合されたメイン支持板１８０の他面は、互いに対向する。そして、互いに対向するメイン支持板１８０の他面には、基板５０が挿入支持される支持溝１８１が複数個形成される。これにより、図９に示したように、基板５０の左側面は、左側面板１７５に結合されたメイン支持板１８０に支持され、右側面は、右側面板１７７に結合されたメイン支持板１８０に支持される。

サポート部材１１０について、図１ないし図３を参照して説明する。図３は、図２に示されたサポート部材の拡大斜視図である。一対のサポート部材１１０の構成は同一なので、前側に位置されたサポート部材１１０ａの構成についてのみ説明する。

示したように、サポート部材１１０は、内側サポート部材１１１、外側サポート部材１１３、サポートブロック１１４、及び蓋板１１６を含む。

内側サポート部材１１１と外側サポート部材１１３は、互いに間隙を置いて結合される。そのために、内側サポート部材１１１の外側面には、剛性補強用の補強ブロック１１２が形成され、補強ブロック１１２には、第１係合突起１１２ａが突設される。そして、外側サポート部材１１３には、第１係合突起１１２ａが挿設される第１取付孔１１３ａが形成される。内側サポート部材１１１と外側サポート部材１１３は、締結部材（図示せず）によっても互いに結合されうる。

サポートブロック１１４は、内側サポート部材１１１及び外側サポート部材１１３の下面に締結部材（図示せず）などによって着脱自在に結合される。サポートブロック１１４は、床、ボート１００を移送する移送装置２２０（図１０参照）又はチャンバ２１２が形成された熱処理装置２１０（図１０参照）の下面のように固定された相手物と接触する。

サポートブロック１１４は、前記相手物に接触されるので、損傷又は汚染されうる。ところで、サポートブロック１１４が着脱自在に結合されるので、容易に取り替えることができる。したがって、メンテナンスが簡便である。

互いに隣接するサポートブロック１１４とサポートブロック１１４との間の内側サポート部材１１１及び外側サポート部材１１３の下面には、開放部が形成され、前記開放部には、内側サポート部材１１１と外側サポート部材１１３とを互いに連結する連結ブロック１１５が着脱自在に結合されうる。連結ブロック１１５は、内側サポート部材１１１と外側サポート部材１１３とを互いに連結すると共に、内側サポート部材１１１及び外側サポート部材１１３の剛性を補強する。

連結ブロック１１５の下面は、内側サポート部材１１１及び外側サポート部材１１３の下面よりもさらに上側に位置され、連結ブロック１１５の下側には、空間１１５ａが形成される。空間１１５ａを通じてボート１００を支持して移送するためのロボットのアーム（図示せず）が出入りする。

蓋板１１６は、内側サポート部材１１１及び外側サポート部材１１３の上面に結合されて、内側サポート部材１１１と外側サポート部材１１３とを互いに連結すると共に、内側サポート部材１１１及び外側サポート部材１１３の剛性を補強する。蓋板１１６には、後述する支持部材１４０の端部側が貫通する貫通溝１１６ａが形成される。

連結部材１２０について、図２ないし図４を参照して説明する。図４は、図２に示されたサポート部材と連結部材との一部結合拡大斜視図である。

示したように、連結部材１２０は、複数個設けられ、前端部側は、前側に位置されたサポート部材１１０ａの内側サポート部材１１１に着脱自在に結合され、後端部側は、後側に位置されたサポート部材１１０ｂの内側サポート部材１１１に着脱自在に結合される。この際、連結部材１２０は、サポート部材１１０とほぼ垂直を成し、上面には、基板５０の下端面が接触されて支持されることもできる。

連結部材１２０は、締結部材（図示せず）によってもサポート部材１１０に結合されうる。

互いに隣接する連結部材１２０と連結部材１２０との間には、補助連結部材１３０が設けられることもある。補助連結部材１３０の前端部側は、サポート部材１１０ａの内側サポート部材１１１に結合され、後端部側は、サポート部材１１０ｂの内側サポート部材１１１に結合される。補助連結部材１３０は、サポート部材１１０を互いに連結し、上面には、基板５０の下端面側が支持されることもできる。

補助連結部材１３０は、締結部材（図示せず）によってもサポート部材１１０に結合されうる。

連結部材１２０及び補助連結部材１３０の両端部には、第２及び第３係合突起１２１、１３１がそれぞれ形成され、内側サポート部材１１１には、第２及び第３係合突起１２１、１３１がそれぞれ挿設される第２及び第３取付孔１１１ａ、１１１ｂが形成される。したがって、サポート部材１１０ａとサポート部材１１０ｂは、連結部材１２０及び補助連結部材１３０によって互いに連設されるので、剛性が向上する。

支持部材１４０について、図２ないし図６を参照して説明する。図５は、図２に示されたサポート部材、連結部材及び支持部材の一部結合拡大斜視図であり、図６は、図５の結合正面図である。

示したように、支持部材１４０の前端部側及び後端部側は、サポート部材１１０ａの内側サポート部材１１１及びサポート部材１１０ｂの内側サポート部材１１１にそれぞれ着脱自在に支持される。そのために、支持部材１４０の一端部側及び他端部側には、内側サポート部材１１１の上面に挿脱自在に結合される第１係合溝１４１がそれぞれ形成される。

支持部材１４０の両端部側は、蓋板１１６に形成された貫通溝１１６ａを通過し、これにより、第１係合溝１４１が内側サポート部材１１１の上面に挿脱自在に結合される。そして、支持部材１４０の中央部側は、連結部材１２０の上面に陥没形成された第２係合溝１２３に挿脱自在に結合される。

支持部材１４０の上面には、基板５０の下端面が接触支持される。

補助連結部材１３０にも、支持部材１４０が挿脱自在に結合され、そのために、補助連結部材１３０の上面にも、支持部材１４０の中央部側が挿脱自在に結合される第３係合溝１３３が形成される。

図６に示したように、サポート部材１１０の長手方向の中心に位置される支持部材１４０の上面には、基板５０の下面中央部側が接触支持され、サポート部材１１０の長手方向の中心から離隔して位置された支持部材１４０の上面には、基板５０の下面フレーム部側が接触支持される。ところで、基板５０は、相対的に中央部側が自重によって下側にさらに垂れる。これにより、サポート部材１１０の長手方向の中心に位置されて、前記相手物と接触するサポートブロック１１４の部位１１４ａの高さをサポート部材１１０の長手方向の中心外側に位置されて、前記相手物と接触するサポートブロック１１４の部位１１４ａの高さよりも高く形成する。そうすると、サポート部材１１０の長手方向の中心に位置された支持部材１４０が、サポート部材１１０の長手方向の中心から離隔して位置された支持部材１４０よりもさらに高く位置されるので、基板５０の中央部側が自重によって垂れることが防止される。

すなわち、前記相手物と接触するサポートブロック１１４の部位１１４ａの高さをサポート部材１１０の長手方向の中心から遠くなるほど次第に低くなる形態で形成するか、支持部材１４０の上面の高さをサポート部材１１０の長手方向の中心から遠くなるほど次第に低くなる形態で形成して、基板５０の中央部側が自重によって垂れることを防止する。

図６に示された前記相手物と接触するサポートブロック１１４の部位１１４ａの高さと支持部材１４０の上面の高さは、説明の便宜上、誇張されるように図示したものであって、実際品においては、前記サポートブロック１１４の高さの差及び支持部材１４０の上面の高さの差は、ごく微細である。

前記相手物と接触するサポートブロック１１４の部位１１４ａは、内側サポート部材１１１と外側サポート部材１１３との下面外側に露出された部位であって、前記相手物と接触するサポートブロック１１４の部位１１４ａの高さに差があれば、ボート１００の変形を防止し、平坦度を容易に保持する。

前述したように、基板５０は、前面板１７１、裏面板１７３、左側面板１７５及び右側面板１７７によって形成される空間に垂直に起立されて積載・保管される。そして、基板５０の左側面及び右側面は、左側面板１７５及び右側面板１７７にそれぞれ結合されたメイン支持板１８０に支持される。

基板５０は、垂直に起立されて互いに間隙を置いてボート１００に積載・保管され、互いに隣接する基板５０と基板５０との間にガスが均一に供給されて初めて、基板５０が均一に処理される。

本実施形態によるボート１００には、互いに隣接する基板５０と基板５０との間にガスが均一に流入されて排出されるように案内する拡散案内部材１５０が設けられる。

拡散案内部材１５０について、図２、図３及び図７を参照して説明する。図７は、図２に示されたサポート部材、連結部材、支持部材及び拡散案内部材の一部結合拡大斜視図である。

示したように、サポート部材１１０ａの内側サポート部材１１１及びサポート部材１００ｂの内側サポート部材１１１には、支持孔１１１ｃがそれぞれ形成され、支持孔１１１ｃには、支持バー１６０の一端部側及び他端部側がそれぞれ挿脱自在に挿入支持される。すなわち、支持バー１６０は、サポート部材１１０に着脱自在に支持される。

そして、支持バー１６０に拡散案内部材１５０が搭載支持される。拡散案内部材１５０は、台板１５１、台板１５１に形成され、前面板１７１から裏面板１７３に向ける方向と平行を成す複数の貫通路１５３を含む。すなわち、貫通路１５３の長手方向と基板５０の左右側面の方向は、ほぼ垂直である。

ガスは、ボート１００の上側から流入されて下側に排出される。ところで、ボート１００の下側部位に拡散案内部材１５０が設けられており、互いに隣接する基板５０と基板５０との間に位置する拡散案内部材１５０の貫通路１５３の面積は、ほぼ類似している。したがって、ガスは、ボート１００の上側を通じて互いに隣接する基板５０と基板５０との間に均一に流入されて排出される。

拡散案内部材１５０は、支持バー１６０に搭載支持されて互いに隣接する連結部材１２０と連結部材１２０との間に、又は互いに隣接する連結部材１２０と補助連結部材１３０との間に着脱自在に設けられる。

前面板１７１、裏面板１７３、左側面板１７５、右側面板１７７、及びメイン支持板１８０について、図２、図８及び図９を参照して説明する。図８は、図２の一部結合拡大斜視図であり、図９は、本発明の一実施形態によるボートの使用状態を示した図８の結合斜視図である。

示したように、前面板１７１は、サポート部材１１０ａの外側サポート部材１１３の外面に締結部材（図示せず）などによって結合され、裏面板１７３は、サポート部材１１０ｂの外側サポート部材１１３の外面に締結部材（図示せず）などによって結合される。

そして、左側面板１７５は、サポート部材１１０の長手方向の左側端面に結合されると共に、前面板１７１及び右側面板１７３に結合され、右側面板１７７は、サポート部材１１０の長手方向の右側端面に結合されると共に、前面板１７１及び右側面板１７３に結合される。

詳しく説明すれば、サポート部材１１０の内側サポート部材１１１の左側端部及び右側端部には、第４係合突起１１１ｄがそれぞれ形成され、左側面板１７５及び右側面板１７７には、第４係合突起１１１ｄがそれぞれ挿設される第４取付孔１７５ａ、１７７ａがそれぞれ形成される。そして、サポート部材１１０の外側サポート部材１１３の左側端部及び右側端部には、第５係合突起１１３ｂがそれぞれ形成され、左側面板１７５及び右側面板１７７には、第５係合突起１１３ｂがそれぞれ挿設される第５取付孔１７５ｂ、１７７ｂがそれぞれ形成される。

第４係合突起１１１ｄと第４取付孔１７５ａ、１７７ａ及び第５係合突起１１３ｂと第５取付孔１７５ｂ、１７７ｂとによって左側面板１７５及び右側面板１７７が、サポート部材１１０にさらに堅固に結合される。

また、前面板１７１の両側端面、裏面板１７３の両側端面、左側面板１７５の両側端面、及び右側面板１７７の両側端面には、楔１７１ａ、１７３ａ、１７５ｃ、１７７ｃ及び楔溝１７１ｂ、１７３ｂ、１７５ｄ、１７７ｄが連続して形成される。

これにより、前面板１７１の楔１７１ａは、左側面板１７５の楔溝１７５ｄ及び右側面板１７７の楔溝１７７ｄにそれぞれ挿入結合され、前面板１７１の楔溝１７１ｂには、左側面板１７５の楔１７５ｃ及び右側面板１７７の楔１７７ｃがそれぞれ挿設される。そして、裏面板１７３の楔１７３ａは、左側面板１７５の楔溝１７５ｄ及び右側面板１７７の楔溝１７７ｄにそれぞれ挿入結合され、裏面板１７３の楔溝１７３ｂには、左側面板１７５の楔１７５ｃ及び右側面板１７７の楔溝１７７ｃがそれぞれ挿設される。したがって、前面板１７１と左側面板１７５と裏面板１７３と右側面板１７７が、堅固に結合されるので、剛性が向上する。

メイン支持板１８０は、左側面板１７５及び右側面板１７７の内面にそれぞれ上下に間隙を置いて複数個結合される。そのために、メイン支持板１８０の一面には、第６係合突起１８３がそれぞれ形成され、左側面板１７５及び右側面板１７７には、第６係合突起１８３が挿設される第６取付孔１７５ｅ、１７７ｅがそれぞれ形成される。メイン支持板１８０は、左側面板１７５及び右側面板１７７に締結部材（図示せず）によっても結合されることもできる。

メイン支持板１８０は、前面板１７１及び裏面板１７３に結合されることもできる。そのために、メイン支持板１８０の両側面には、第７係合突起１８５がそれぞれ形成され、前面板１７１及び裏面板１７３には、第７係合突起１８５が挿設される第７取付孔１７１ｃ、１７３ｃがそれぞれ形成される。メイン支持板１８０は、前面板１７１及び裏面板１７３に締結部材（図示せず）によっても結合されることもできる。

したがって、メイン支持板１８０が堅固に結合されるので、基板５０が安定して支持される。前述したように、メイン支持板１８０の他面には、基板５０の側面が挿入支持される支持溝１８１が形成される。

図１０は、本発明の一実施形態によるボートが熱処理装置にローディングされることを示した斜視図であって、それを説明する。

示したように、ＣＩＧＳ｛Ｃｕ（Ｉｎ_１−ｘＧａ_ｘ）Ｓｅ_２｝層などを形成するための熱処理装置２１０は、内部に基板５０が処理される密閉された空間であるチャンバ２１２を含む。

基板５０は、ボート１００に積載・保管され、ボート１００が移送装置２２０によってチャンバ２１２にローディングされるか、チャンバ２１２からアンローディングされれば、基板５０がチャンバ２１２にローディングされるか、チャンバ２１２からアンローディングされる。

ボート１００は、複数個がチャンバ２１２にローディングされる。したがって、多数の基板５０を一回に処理することができる。

本実施形態によるボート１００は、支持バー１６０に支持された基板５０の荷重がサポート部材１１０に伝達され、サポート部材１１０を通じて前面板１７１、裏面板１７３、左側面板１７５及び右側面板１７７に伝達される。したがって、基板５０の荷重がボート１００の全体部位に伝達されるので、ボート１００が相対的に変形されることが防止される。

図１１は、本発明の他の実施形態によるボートの一部分解斜視図であり、図１２は、本発明の他の実施形態によるボートの使用状態を示した斜視図である。

示したように、メイン支持板１８０には、締結部材（図示せず）などによって補助支持板１９０が着脱自在に結合される。補助支持板１９０には、メイン支持板１８０によって支持される基板５０よりも小さなサイズの基板５０が支持される。

詳しく説明すれば、補助支持板１９０の一面は、左側面板１７５及び右側面板１７７とそれぞれ対向し、他面は、互いに対向する。そして、補助支持板１９０の幅は、メイン支持板１８０の幅よりも広く形成される。したがって、補助支持板１９０の他面は、メイン支持板１８０の他面よりも左側面板１７５及び右側面板１７７からさらに離隔した位置に位置される。

補助支持板１９０の他面にも、基板５０の左側面及び右側面が挿入支持される複数の支持溝１９１がそれぞれ形成されることは当然である。

本実施形態によるボート１００は、メイン支持板１８０に基板５０を支持して基板５０を処理しながら、小さなサイズの基板５０を処理しようとする場合、補助支持板１９０をメイン支持板１８０に結合した後、基板５０を補助支持板１９０に支持すれば良い。すなわち、１つのボート１００で互いに異なるサイズを有する多種の基板５０を支持し、使用可能なので、コストが節減される。

本発明は、前述したように、望ましい実施形態を挙げて図示して説明したが、前記実施形態に限定されず、本発明の精神を外れない範囲内で当業者によって多様な変形と変更とが可能である。そのような変形例及び変更例は、本発明と添付の特許請求の範囲内に属するものと認めなければならない。

本発明は、ボート関連の技術分野に適用可能である。

１００：ボート
１１０：サポート部材
１２０：連結部材
１４０：支持部材
１５０：拡散案内部材
１７１：前面板
１７３：裏面板
１７５：左側面板
１７７：右側面板
１８０：メイン支持板

Claims

前面板と、
裏面板と、
左側面板と、
右側面板と、
互いに対向しながら間隔を有するサポート部材と、
一端部側は、何れか１つの前記サポート部材に着脱自在に結合され、他端部側は、他の１つの前記サポート部材に着脱自在に結合されて、何れか１つの前記サポート部材及び他の１つの前記サポート部材を互いに連結する複数の連結部材と、を含み、
前記前面板、前記裏面板、前記左側面板、及び前記右側面板によって上面及び下面は開放されるとともに六面体状に形成され、内部には複数の基板が互いに間隔を置いて起立保存され、
前記連結部材の上面には前記基板の下端面側が支持され、
前記サポート部材は、前記連結部材の端部側が結合される内側サポート部材と、
前記内側サポート部材の外側で前記内側サポート部材に結合された外側サポート部材と、
前記内側サポート部材及び前記外側サポート部材の下面に着脱自在に結合され、相手物と接触する複数のサポートブロックと、をそれぞれ含むボート。
前記前面板は、何れか１つの前記サポート部材の幅方向の外側面に結合され、
前記裏面板は、他の１つの前記サポート部材の幅方向の外側面に結合され、
前記左側面板は、何れか１つの前記サポート部材及び他の１つの前記サポート部材の長手方向の左側端面にそれぞれ結合されると共に、前記前面板及び前記裏面板にそれぞれ結合され、
前記右側面板は、何れか１つの前記サポート部材及び他の１つの前記サポート部材の長手方向の右側端面にそれぞれ結合されると共に、前記前面板及び前記裏面板にそれぞれ結合されることを特徴とする請求項１に記載のボート。
前記左側面板及び前記右側面板の内面に一面がそれぞれ結合され、他面には、前記基板の左側部位及び右側部位がそれぞれ支持される上下に間隔を有する複数のメイン支持板をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載のボート。
前記内側サポート部材と前記外側サポート部材の上面には、前記内側サポート部材と前記外側サポート部材とを連結する蓋板が結合されたことを特徴とする請求項１に記載のボート。
前記内側サポート部材には、剛性補強用の補強ブロックがそれぞれ結合され、
前記補強ブロックには、第１係合突起が突設され、
前記外側サポート部材には、前記第１係合突起が挿設される第１取付孔が形成されたことを特徴とする請求項４に記載のボート。
互いに隣接する前記サポートブロックと前記サポートブロックの間の前記内側サポート部材及び前記外側サポート部材の下面には、開放部が形成され、
前記開放部には、前記内側サポート部材と前記外側サポート部材とを互いに連結する連結ブロックが着脱自在に結合されたことを特徴とする請求項５に記載のボート。
前記内側サポート部材及び前記外側サポート部材の下面の外側に露出された前記サポートブロック部位の高さは、前記サポート部材の長手方向の中心から遠くなるほど次第に低くなることを特徴とする請求項６に記載のボート。
何れか１つの前記サポート部材及び他の１つの前記サポート部材には、前記基板の下端面が接触支持される複数の支持部材の一端部側及び他端部側がそれぞれ着脱自在に支持されたことを特徴とする請求項７に記載のボート。
前記支持部材の一端部側及び他端部側には、前記内側サポート部材に挿脱自在に結合される第１係合溝がそれぞれ形成されたことを特徴とする請求項８に記載のボート。
前記連結部材の上面には、前記支持部材の中央部側が挿脱自在に結合される第２係合溝が形成されたことを特徴とする請求項９に記載のボート。
互いに隣接する前記連結部材と前記連結部材の間には、一端部側は、何れか１つの前記サポート部材の前記内側サポート部材に結合され、他端部側は、他の１つの前記サポート部材の前記内側サポート部材に結合されて、一対の前記サポート部材を互いに連結し、上面には、前記基板の下端面側が支持される補助連結部材がそれぞれ設けられたことを特徴とする請求項１０に記載のボート。
前記補助連結部材の上面には、前記支持部材の中央部側が挿脱自在に結合される第３係合溝が形成されたことを特徴とする請求項１１に記載のボート。
前記支持部材の上面の高さは、前記サポート部材の長手方向の中心から遠くなるほど次第に低くなることを特徴とする請求項１２に記載のボート。
前記連結部材及び前記補助連結部材の両端部には、第２及び第３係合突起がそれぞれ形成され、前記内側サポート部材には、前記第２及び第３係合突起がそれぞれ挿設される第２及び第３取付孔がそれぞれ形成されたことを特徴とする請求項１３に記載のボート。
前記内側サポート部材の一側端部及び他側端部には、第４係合突起がそれぞれ形成され、
前記外側サポート部材の一側端部及び他側端部には、第５係合突起がそれぞれ形成され、
前記左側面板及び前記右側面板には、前記第４及び第５係合突起がそれぞれ挿設される第４取付孔及び第５取付孔がそれぞれ形成されたことを特徴とする請求項１に記載のボート。
前記前面板の両側端面、前記裏面板の両側端面、前記左側面板の両側端面及び前記右側面板の両側端面には、楔及び楔溝が連続してそれぞれ形成され、
前記前面板と前記左側面板、前記前面板と前記右側面板、前記裏面板と前記左側面板及び前記裏面板と前記右側面板は、互いに挿設される前記楔と前記楔溝とによってそれぞれ結合されたことを特徴とする請求項１５に記載のボート。
前記メイン支持板の一面には、第６係合突起がそれぞれ形成され、
前記左側面板及び前記右側面板には、前記第６係合突起が挿設される第６取付孔がそれぞれ形成されたことを特徴とする請求項３に記載のボート。
前記メイン支持板の両側面には、第７係合突起がそれぞれ形成され、
前記前面板及び前記裏面板には、前記第７係合突起が挿設される第７取付孔がそれぞれ形成されたことを特徴とする請求項１７に記載のボート。
前記メイン支持板には、前記メイン支持板によって支持される基板よりも小さなサイズの基板を支持するための補助支持板が着脱自在に結合されたことを特徴とする請求項３に記載のボート。
前記補助支持板の幅は、前記メイン支持板の幅よりも広く形成され、前記補助支持板の一面は、前記左側面板及び前記右側面板とそれぞれ対向し、
前記補助支持板の他面は、前記メイン支持板の他面よりも前記左側面板及び前記右側面板からさらに離隔したことを特徴とする請求項１９に記載のボート。
前記メイン支持板の他面及び前記補助支持板の他面には、前記基板の一側部位及び他側部位がそれぞれ挿入支持される複数の支持溝がそれぞれ形成されたことを特徴とする請求項２０に記載のボート。
前記サポート部材には、支持バーが着脱自在に支持され、
前記支持バーには、前記連結部材側に支持された互いに隣接する基板と基板との間に基板の処理時に、供給されるガスが均一に流入されて排出されるように案内する拡散案内部材が搭載支持されたことを特徴とする請求項１に記載のボート。
前記サポート部材には、前記支持バーの一側端部及び他側端部が挿入支持される支持孔が形成されたことを特徴とする請求項２２に記載のボート。
前記拡散案内部材は、台板、前記台板に形成され、前記前面板から前記裏面板に向ける方向と平行を成す複数の貫通路を含むことを特徴とする請求項２２に記載のボート。
前記前面板、前記裏面板、前記左側面板及び前記右側面板には、ガスの円滑な流れを保持するための開放部がそれぞれ形成されたことを特徴とする請求項１に記載のボート。