TWI780691B - 組合式晶舟結構 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種組合式晶舟結構，其包含一第一框架、一第二框架、二第一支撐板及二第二支撐板。其中，第二框架相對於第一框架設置。二第一支撐板及二第二支撐板分別透過複數連接桿被夾設於第一框架及第二框架之間。二第一支撐板及二第二支撐板可組合地被複數連接桿所穿設，二第一支撐板及二第二支撐板上各設置有複數溝槽，且該複數溝槽各具有一三角形截面以對應容置具有特定尺寸及特定翹曲度之複數晶圓。

Description

組合式晶舟結構

本發明係關於一種晶舟結構；詳細而言，係關於一種組合式晶舟結構。

近年來由於晶圓技術的演進，導致製程複雜度增加，這使得晶圓在加工後會於厚度、翹曲度等參數產生變化，形成各種形狀與尺寸。如此一來，一般典型的固定尺寸晶舟便無法順利地承載上述具有特定厚度或翹曲度的特殊晶圓，使得廠商必須額外採購具有其他尺寸及溝槽形狀的晶舟。且特殊尺寸的晶圓種類越多，需要額外對應採購的晶舟也越多，對於製造成本添加不少負擔。

有鑑於此，如何提供一種組合式晶舟結構，使其能夠依據不同的晶圓容置需求進行拆卸組合，從而能夠承載具有不同厚度、翹曲度的特殊晶圓，乃為此一業界亟待解決之問題。

本發明之一目的在於提供一種組合式晶舟結構，其能夠依據不同的容置需求進行拆卸組合，以承載具有不同厚度、翹曲度的特殊晶圓，從而減少特殊尺寸之晶舟的購買需求，藉此降低晶圓的製造成本。

為達上述目的，本發明揭示一種組合式晶舟結構，用以容置具有特定尺寸及特定翹曲度之複數晶圓，包含：

一第一框架及一第二框架，第二框架相對於第一框架設置；以及

二第一支撐板及二第二支撐板，分別透過複數連接桿被夾設於第一框架及第二框架之間；

其中，二第一支撐板及二第二支撐板可組合地被複數連接桿所穿設，二第一支撐板及二第二支撐板上各設置有複數溝槽，該複數溝槽各具有一三角形截面以對應容置具有特定尺寸及特定翹曲度之複數晶圓。

於本發明之組合式晶舟結構中，複數溝槽各具有一溝槽寬度，以容置具有特定尺寸及特定翹曲度之複數晶圓。

於本發明之組合式晶舟結構中，溝槽寬度為2毫米。

於本發明之組合式晶舟結構中，溝槽寬度為4毫米。

於本發明之組合式晶舟結構中，溝槽寬度為6毫米。

於本發明之組合式晶舟結構中，複數溝槽之相鄰二溝槽之間具有一溝槽間距，以容置具有特定尺寸及特定翹曲度之複數晶圓。

於本發明之組合式晶舟結構中，溝槽間距為10毫米。

於本發明之組合式晶舟結構中，溝槽間距為20毫米。

於本發明之組合式晶舟結構中，該溝槽間距為6.35毫米。

於本發明之組合式晶舟結構中，溝槽間距為12.7毫米。

本發明係關於一種組合式晶舟結構，其可用以容置具有特定尺寸、特定厚度、及特定翹曲度之複數晶圓。

參閱圖1，本發明之組合式晶舟結構100包含一第一框架200、一第二框架300、二第一支撐板400及二第二支撐板500。

請同時參閱圖2，第二框架300相對於第一框架200設置，且二第一支撐板400及二第二支撐板500分別透過複數連接桿600被夾設於第一框架200及第二框架300之間。其中，二第一支撐板400及二第二支撐板500可組合地被複數連接桿600所穿設，且二第一支撐板400及二第二支撐板500上各設置有複數溝槽700，以對應容置具有特定尺寸及特定翹曲度之複數晶圓800。

需說明的是，當容置具有特定尺寸及特定翹曲度之複數晶圓800時，二第一支撐板400及二第二支撐板500上的複數溝槽700將具有相同的溝槽數量、溝槽寬度、及溝槽間距。

此外，由於二第一支撐板400及二第二支撐板500是透過複數連接桿600之組合（如：以螺絲鎖固）而被夾設於第一框架200及第二框架300之間，故當要容置具有其他尺寸及翹曲度之複數晶圓800時，僅需經由簡單的拆卸步驟（如：旋轉卸下螺絲），便能輕鬆地進行第一支撐板400及第二支撐板500更換，藉此選擇對應的溝槽700來容置晶圓800。

如圖3所示，於本發明之組合式晶舟結構100中，第二支撐板500（或第一支撐板400）所包含的複數溝槽700各具有一三角形截面TS，且複數溝槽700之間各具有一溝槽寬度W，以容置具有特定尺寸及特定翹曲度之複數晶圓800。

舉例而言，當所容置之晶圓800為直徑300毫米（mm）或直徑200毫米之晶圓，且晶圓的翹曲度（即：當晶圓水平擺放時，晶圓之中央部朝高度方向彎曲的程度）介於1~2毫米時，則可使溝槽寬度W為2毫米。因此時的溝槽寬度W大於或等於晶圓的翹曲度，故彼此相鄰設置的晶圓800在搬運過程中將具有足夠預留空間，藉此確保複數晶圓800在被容置於複數溝槽700的期間時不會產生碰撞而受損。

而當所容置之晶圓800為直徑300毫米或直徑200毫米之晶圓，且晶圓的翹曲度介於2~3毫米時，則可使溝槽寬度W為4毫米；當所容置之晶圓800為直徑300毫米或直徑200毫米之晶圓，且晶圓的翹曲度介於3.0~3.5毫米或大於3.5毫米時，則可使溝槽寬度W為6毫米。上述之設置皆可確保溝槽寬度W大於或等於晶圓的翹曲度，讓複數晶圓800在被容置於複數溝槽700的期間時彼此間隔有一定的間隙，使各晶圓800之間不會產生碰撞而受損。

請再次參閱圖3，於本發明之組合式晶舟結構的另一實施例中，複數溝槽700各具有一三角形截面TS，且複數溝槽700之相鄰二溝槽700之間具有一溝槽間距P，藉此容置具有特定尺寸及特定翹曲度之複數晶圓800。

舉例而言，當所容置之晶圓800為直徑300毫米之晶圓，且晶圓的翹曲度介於1~2、2~3毫米時，則可使溝槽間距P為10毫米。當晶圓的翹曲度大於3.5毫米時，則可使溝槽間距P為20毫米。因此時的溝槽間距P遠大於晶圓的翹曲度，故彼此相鄰設置的晶圓800在搬運過程中將同樣具有足夠預留空間，確保複數晶圓800在被容置於複數溝槽700的期間時彼此間隔有一定的間隙，使各晶圓800之間不會產生碰撞而受損。

於另一實施例中，當所容置之晶圓800為直徑200毫米之晶圓，且晶圓的翹曲度介於1~2、2~3毫米時，則可使溝槽間距P為6.35毫米。當所容置之晶圓800為直徑200毫米之晶圓，且晶圓的翹曲度大於3.5毫米時，則可使溝槽間距P為12.7毫米。相同地，因此時的溝槽間距P大於晶圓的翹曲度，故彼此相鄰設置的晶圓800在搬運過程中將同樣具有足夠預留空間，而亦可確保複數晶圓800在被容置於複數溝槽700的期間時彼此間隔有一定的間隙，使各晶圓800之間不會產生碰撞而受損。

需說明的是，前述之三角形截面TS係指當組合式晶舟結構100以水平方向存放複數晶圓800時，其溝槽700所具有的三角形截面TS。其中，三角形截面TS之一長邊用以接觸並支撐晶圓800之一周緣，而三角形截面TS之一斜邊則位於晶圓800之該周緣的下側。此種設置晶圓800之方式能夠確保晶圓800在被機械手臂（圖未示出）放入或移出溝槽700的過程中皆被平穩地擺放，有效抑制晶圓800的傾斜。

綜上所述，本發明之組合式晶舟結構所具有的第一框架200、第二框架300、第一支撐板400及第二支撐板500因可透過複數連接桿600進行快速拆卸與組合，故得以滿足特殊晶圓之製程需求，節省製程準備時間，並藉此降低額外採購多種晶舟之費用，節省材料成本。再者，因僅需進行第一支撐板400及第二支撐板500之更換，得以增加製程於晶舟使用上之靈活性，避免損傷特殊尺寸與形狀之晶圓，提高製程良率。又，本發明之組合式晶舟結構可讓8吋與12吋晶舟具有共用設計（即：可將8吋晶舟設置於12吋晶舟內部），從而增加設備應用彈性。

上述之實施例僅用來例舉本發明之實施態樣，以及闡釋本發明之技術特徵，並非用來限制本發明之保護範疇。任何熟悉此技術者可輕易完成之改變或均等性之安排均屬於本發明所主張之範圍，本發明之權利保護範圍應以申請專利範圍為準。

100:組合式晶舟結構 200:第一框架 300:第二框架 400:第一支撐板 500:第二支撐板 600:連接桿 700:溝槽 800:晶圓 TS:三角形截面 W:溝槽寬度 P:溝槽間距

圖1為本發明組合式晶舟結構的立體圖。 圖2為本發明組合式晶舟結構之分解示意圖。 圖3為本發明組合式晶舟結構中，當晶圓設置於第二支撐板之複數溝槽的剖示圖。

100:組合式晶舟結構

200:第一框架

300:第二框架

400:第一支撐板

500:第二支撐板

700:溝槽

800:晶圓

Claims (6)

1. 一種組合式晶舟結構，用以容置具有特定尺寸及特定翹曲度之複數晶圓，包含：一第一框架及一第二框架，該第二框架相對於該第一框架設置；以及二第一支撐板及二第二支撐板，分別透過複數連接桿被夾設於該第一框架及該第二框架之間；其中，該二第一支撐板及該二第二支撐板可組合地被該複數連接桿所穿設，該二第一支撐板及該二第二支撐板上各設置有複數溝槽，該複數溝槽各具有一三角形截面以對應容置具有特定尺寸及特定翹曲度之該複數晶圓；以及其中該複數溝槽各具有一溝槽寬度，以容置具有特定尺寸及特定翹曲度之該複數晶圓，該溝槽寬度包含2至6毫米。
2. 如請求項1所述之組合式晶舟結構，其中該複數溝槽之相鄰二溝槽之間具有一溝槽間距，以容置具有特定尺寸及特定翹曲度之該複數晶圓。
3. 如請求項2所述之組合式晶舟結構，其中該溝槽間距為10毫米。
4. 如請求項2所述之組合式晶舟結構，其中該溝槽間距為20毫米。
5. 如請求項2所述之組合式晶舟結構，其中該溝槽間距為6.35毫米。
6. 如請求項2所述之組合式晶舟結構，其中該溝槽間距為12.7毫米。

Images