KR101423503B1 - 보트 - Google Patents

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KR101423503B1
KR101423503B1 KR1020130006387A KR20130006387A KR101423503B1 KR 101423503 B1 KR101423503 B1 KR 101423503B1 KR 1020130006387 A KR1020130006387 A KR 1020130006387A KR 20130006387 A KR20130006387 A KR 20130006387A KR 101423503 B1 KR101423503 B1 KR 101423503B1
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이병일
이영호
허관선
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주식회사 테라세미콘
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Abstract

복수의 기판이 적재 보관되는 보트가 개시된다. 본 발명에 따른 보트는, 지지바에 지지된 기판의 하중이 받침부재로 전달되고, 받침부재를 통하여 전면판, 후면판, 좌측면판 및 우측면판으로 전달되므로, 보트의 전체 부위로 전달된다. 이로 인해, 보트의 전체 부위에 기판의 하중이 작용하므로, 보트가 변형되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다. 그리고, 기판을 지지하는 메인지지판이 고정 결합되고, 메인지지판에 지지되는 기판 보다 작은 크기의 기판을 지지하는 보조지지판이 메인지지판에 착탈가능하게 결합된다. 따라서, 기판의 크기에 따라서 기판을 메인지지판에 지지하거나, 보조지지판에 지지할 수 있다. 즉, 하나의 보트로 상이한 크기를 갖는 여러 종류의 기판을 지지하여 사용할 수 있으므로, 원가가 절감되는 효과가 있다.

Description

보트 {BOAT}
본 발명은 복수의 기판을 적재 보관하는 보트에 관한 것이다.
평판 표시장치용 기판 또는 박막형 태양전지용 기판은 보트에 복수개가 적재 보관된 상태로 열처리 장치에 로딩되어 처리된다.
그런데, 종래의 보트는, 그 구조상, 복수의 기판을 적재 보관하였을 때, 쉽게 변형될 우려가 있었다.
그리고, 종래의 보트는 한가지 크기의 기판만을 적재 보관할 수 있다. 즉, 하나의 보트에는 동일한 크기를 가지는 기판만을 적재 보관할 수 있고, 다른 크기를 가지는 기판을 처리하기 위해서는 별도의 보트를 구비하여야 하므로, 원가가 상승하는 단점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점들을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 변형을 방지할 수 있는 보트를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 다양한 크기의 기판을 적재 보관할 수 있도록 구성하여 원가를 절감할 수 있는 보트를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 보트는, 상면 및 하면은 개방되고, 전면판과 후면판과 좌측면판 및 우측면판을 가지면서 육면체 형상으로 형성되며, 내부에는 복수의 기판이 상호 간격을 가지면서 기립 저장된다.
본 발명에 따른 보트는, 지지바에 지지된 기판의 하중이 받침부재로 전달되고, 받침부재를 통하여 전면판, 후면판, 좌측면판 및 우측면판으로 전달되므로, 보트의 전체 부위로 전달된다. 이로 인해, 보트의 전체 부위에 기판의 하중이 작용하므로, 보트가 변형되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 본 발명에 따른 보트는, 기판을 지지하는 메인지지판이 고정 결합되고, 메인지지판에 지지되는 기판 보다 작은 크기의 기판을 지지하는 보조지지판이 메인지지판에 착탈가능하게 결합된다. 따라서, 기판의 크기에 따라서 기판을 메인지지판에 지지하거나, 보조지지판에 지지할 수 있다. 즉, 하나의 보트로 상이한 크기를 갖는 여러 종류의 기판을 지지하여 사용할 수 있으므로, 원가가 절감되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 보트의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 보트의 분해 사시도.
도 3은 도 2에 도시된 받침부재의 일부 결합 확대 사시도.
도 4는 도 2에 도시된 받침부재와 연결부재의 일부 결합 확대 사시도.
도 5는 도 2에 도시된 받침부재, 연결부재 및 지지부재의 일부 결합 확대 사시도.
도 6은 도 5의 결합 정면도.
도 7은 도 2에 도시된 받침부재, 연결부재, 지지부재 및 확산안내부재의 일부 결합 확대 사시도.
도 8은 도 2의 일부 결합 확대 사시도.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 보트의 사용 상태를 보인 도 8의 결합 사시도.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 보트가 열처리 장치에 로딩되는 것을 보인 사시도.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 보트의 일부 분해 사시도.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 보트의 사용 상태를 보인 사시도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 보트를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 보트의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 보트의 분해 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 보트(100)는 받침부재(110), 연결부재(120), 지지부재(140), 확산안내부재(150), 전면판(171), 후면판(173), 좌측면판(175), 우측면판(177) 및 메인지지판(180)을 포함한다.
받침부재(110)는 상호 간격을 가지면서 대향함과 동시에 평행을 이루는 한쌍으로 마련되고, 연결부재(120)는 받침부재(110)에 착탈가능하게 결합되어 한쌍의 받침부재(110)를 상호 연결한다. 지지부재(140)는 받침부재(110) 및 연결부재(120)에 결합되어 기판(50)(도 9 참조)을 지지한다.
전면판(171)은 받침부재(110a)의 폭방향 외측면에 결합되고, 후면판(173)은 받침부재(110b)의 폭방향 외측면에 결합되며, 좌측면판(175)은 받침부재(110)의 길이 방향 좌측 단면(端面)에 결합됨과 동시에 전면판(171) 및 우측면판(173)에 결합되고, 우측면판(177)은 받침부재(110)의 길이 방향 우측 단면(端面)에 결합됨과 동시에 전면판(171) 및 우측면판(173)에 결합된다. 그리하여, 전면판(171)과 후면판(173)과 좌측면판(175) 및 우측면판(177)에 의하여 형성되는 공간에 기판(50)이 적재 보관된다.
그리고, 전면판(171), 후면판(173), 좌측면판(175) 및 우측면판(177)에는 가스의 원활한 흐름을 유지하기 위한 개방부(미도시)가 각각 형성될 수 있다.
메인지지판(180)은 좌측면판(175) 및 우측면판(177)의 내면에 각각 복수개 결합된다. 즉, 메인지지판(180)의 일면은 좌측면판(175) 및 우측면판(177)의 내면에 각각 결합되고, 좌측면판(175)에 결합된 메인지지판(180)의 타면 및 우측면판(177)에 결합된 메인지지판(180)의 타면은 상호 대향한다. 그리고, 상호 대향하는 메인지지판(180)의 타면에는 기판(50)이 삽입 지지되는 지지홈(181)이 복수개 형성된다. 그리하여, 도 9에 도시된 바와 같이, 기판(50)의 좌측면은 좌측면판(175)에 결합된 메인지지판(180)에 지지되고, 우측면은 우측면판(177)에 결합된 메인지지판(180)에 지지된다.
받침부재(110)에 대하여 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은 도 2에 도시된 받침부재의 확대 사시도이다. 한쌍의 받침부재(110)의 구성은 동일하므로, 전방에 위치된 받침부재(110a)의 구성에 대해서만 설명한다.
도시된 바와 같이, 받침부재(110)는 내측받침부재(111), 외측받침부재(113), 받침블럭(114) 및 덮개판(116)을 포함한다.
내측받침부재(111)와 외측받침부재(113)는 상호 간격을 가지면서 결합된다. 이를 위하여, 내측받침부재(111)의 외측면에는 강성(剛性) 보강용 보강블럭(112)이 형성되고, 보강블럭(112)에는 제 1 결합돌기(112a)가 돌출 형성된다. 그리고, 외측받침부재(113)에는 제 1 결합돌기(112a)가 삽입 결합되는 제 1 결합공(113a)이 형성된다. 내측받침부재(111)와 외측받침부재(113)는 체결부재(미도시)에 의하여도 상호 결합될 수 있다.
받침블럭(114)은 내측받침부재(111) 및 외측받침부재(113)의 하면에 체결부재(미도시) 등에 의하여 착탈가능하게 결합된다. 받침블럭(114)은 바닥, 보트(100)를 이송하는 이송장치(220)(도 10 참조) 또는 챔버(212)가 형성된 열처리 장치(210)(도 10 참조)의 하면 등과 같이 고정된 상대물과 접촉한다.
받침블럭(114)은 상기 상대물에 접촉되므로 손상 또는 오염될 수 있다. 그런데, 받침블럭(114)이 착탈가능하게 결합되므로 용이하게 교체할 수 있다. 따라서, 유지 보수가 간편하다.
상호 인접하는 받침블럭(114)과 받침블럭(114) 사이의 내측받침부재(111) 및 외측받침부재(113)의 하면에는 개방부가 형성되고, 상기 개방부에는 내측받침부재(111)와 외측받침부재(113)를 상호 연결하는 연결블럭(115)이 착탈가능하게 결합될 수 있다. 연결블럭(115)은 내측받침부재(111)와 외측받침부재(113)를 상호 연결함과 동시에 내측받침부재(111) 및 외측받침부재(113)의 강성(剛性)을 보강한다.
연결블럭(115)의 하면은 내측받침부재(111) 및 외측받침부재(113)의 하면 보다 더 상측에 위치되며, 연결블럭(115)의 하측에는 공간(115a)이 형성된다. 공간(115a)을 통하여 보트(110)를 지지하여 이송하기 위한 로봇의 아암(미도시)이 출입한다.
덮개판(116)은 내측받침부재(111) 및 외측받침부재(113)의 상면에 결합되어 내측받침부재(111)와 외측받침부재(113)를 상호 연결함과 동시에 내측받침부재(111) 및 외측받침부재(113)의 강성(剛性)을 보강한다. 덮개판(116)에는 후술할 지지부재(140)의 단부측이 관통하는 관통홈(116a)이 형성된다.
연결부재(120)에 대하여 도 2 내지 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 도 2에 도시된 받침부재와 연결부재의 일부 결합 확대 사시도이다.
도시된 바와 같이, 연결부재(120)는 복수개 마련되며, 전단부측은 전방에 위치된 받침부재(110a)의 내측받침부재(111)에 착탈가능하게 결합되고, 후단부측은 후방에 위치된 받침부재(110b)의 내측받침부재(111)에 착탈가능하게 결합된다. 이때, 연결부재(120)는 받침부재(110)와 대략 수직을 이루며, 상면에는 기판(50)의 하단면(下端面)이 접촉되어 지지될 수도 있다.
연결부재(120)는 체결부재(미도시)에 의하여도 받침부재(110)에 결합될 수 있다.
상호 인접하는 연결부재(120)와 연결부재(120) 사이에는 보조연결부재(130)가 설치될 수 있다. 보조연결부재(130)의 전단부측은 받침부재(110a)의 내측받침부재(111)에 결합되고 후단부측은 받침부재(110b)의 내측받침부재(111)에 결합된다. 보조연결부재(130)는 받침부재(110)를 상호 연결하며, 상면에는 기판(50)의 하단면(下端面)측이 지지될 수도 있다.
보조연결부재(130)는 체결부재(미도시)에 의하여도 받침부재(110)에 결합될 수 있다.
연결부재(120) 및 보조연결부재(130)의 양단부에는 제 2 및 제 3 결합돌기(121, 131)가 각각 형성되고, 내측받침부재(111)에는 제 2 및 제 3 결합돌기(121, 131)가 각각 삽입 결합되는 제 2 및 제 3 결합공(111a, 111b)이 형성된다. 따라서, 받침부재(110a)와 받침부재(110b)는 연결부재(120) 및 보조연결부재(130)에 의하여 상호 연결 결합되므로, 강성(剛性)이 향상된다.
지지부재(140)에 대하여 도 2 내지 도 6을 참조하여 설명한다. 도 5는 도 2에 도시된 받침부재, 연결부재 및 지지부재의 일부 결합 확대 사시도이고, 도 6은 도 5의 결합 정면도이다.
도시된 바와 같이, 지지부재(140)의 전단부측 및 후단부측은 받침부재(110a)의 내측받침부재(111) 및 받침부재(110b)의 내측받침부재(111)에 각각 착탈가능하게 지지된다. 이를 위하여, 지지부재(140)의 일단부측 및 타단부측에는 내측받침부재(111)의 상면에 삽탈 가능하게 결합되는 제 1 결합홈(141)이 각각 형성된다.
지지부재(140)의 양단부측은 덮개판(116)에 형성된 관통홈(116a)을 통과하며, 이로 인해, 제 1 결합홈(141)이 내측받침부재(111)의 상면에 삽탈 가능하게 결합된다. 그리고, 지지부재(140)의 중앙부측은 연결부재(120)의 상면에 함몰 형성된 제 2 결합홈(123)에 삽탈 가능하게 결합된다.
지지부재(140)의 상면에는 기판(50)의 하단면(下端面)이 접촉 지지된다.
보조연결부재(130)에도 지지부재(140)가 삽탈 가능하게 결합될 수 있으며, 이를 위하여 보조연결부재(130)의 상면에도 지지부재(140)의 중앙부측이 삽탈 가능하게 결합되는 제 3 결합홈(133)이 형성된다.
도 6에 도시된 바와 같이, 받침부재(110)의 길이 방향 중심에 위치되는 지지부재(140)의 상면에는 기판(50)의 하면 중앙부측이 접촉 지지되고, 받침부재(110)의 길이 방향 중심에서 이격되어 위치된 지지부재(140)의 상면에는 기판(50)의 하면 테두리부측이 접촉 지지된다. 그런데, 기판(50)은 상대적으로 중앙부측이 자중에 의하여 하측으로 더 처진다. 이로 인해, 받침부재(110)의 길이 방향 중심에 위치되어 상기 상대물과 접촉하는 받침블럭(114) 부위(114a)의 높이를 받침부재(110)의 길이 방향 중심 외측에 위치되어 상기 상대물과 접촉하는 받침블럭(114) 부위(114a)의 높이 보다 높게 형성한다. 그러면, 받침부재(110)의 길이 방향 중심에 위치된 지지부재(140)가 받침부재(110)의 길이 방향 중심에서 이격되어 위치된 지지부재(140) 보다 더 높게 위치되므로, 기판(50)의 중앙부측이 자중에 의하여 처지는 것이 방지된다.
즉, 상기 상대물과 접촉하는 받침블럭(114) 부위(114a)의 높이를 받침부재(110)의 길이 방향 중심에서 멀어질수록 점점 낮아지는 형태로 형성하거나, 지지부재(140)의 상면의 높이를 받침부재(110)의 길이 방향 중심에서 멀어질수록 점점 낮아지는 형태로 형성하여, 기판(50)의 중앙부측이 자중에 의하여 처지는 것을 방지한다.
도 6에 도시된 상기 상대물과 접촉하는 받침블럭(114) 부위(114a)의 높이와 지지부재(140)의 상면의 높이는 설명의 편의를 위하여 과장되게 도시한 것으로, 실제품에 있어서는 상기 받침블럭(114)들의 높이 차 및 지지부재(140)들의 상면의 높이 차는 아주 미세하다.
상기 상대물과 접촉하는 받침블럭(114) 부위(114a)는 내측받침부재(111)와 외측받침부재(113)의 하면 외측으로 노출된 부위로써, 상기 상대물과 접촉하는 받침블럭(114) 부위(114a)의 높이에 차이가 있으면, 보트(100)의 변형을 방지할 수 있고, 평탄도를 용이하게 유지할 수 있다.
전술한 바와 같이, 기판(50)은 전면판(171), 후면판(173), 좌측면판(175) 및 우측면판(177)에 의하여 형성되는 공간에 수직으로 기립되어 적재 보관된다. 그리고, 기판(50)의 좌측면 및 우측면은 좌측면판(175) 및 우측면판(177)에 각각 결합된 메인지지판(180)에 지지된다.
기판(50)은 수직으로 기립되어 상호 간격을 가지면서 보트(100)에 적재 보관되며, 상호 인접하는 기판(50)과 기판(50) 사이로 가스가 균일하게 공급되어야 기판(50)이 균일하게 처리된다.
본 실시예에 따른 보트(100)에는 상호 인접하는 기판(50)과 기판(50) 사이로 가스가 균일하게 유입되어 배출되도록 안내하는 확산안내부재(150)가 설치된다. 확산안내부재(150)에 대하여 도 2, 도 3 및 도 7을 참조하여 설명한다. 도 7은 도 2에 도시된 받침부재, 연결부재, 지지부재 및 확산안내부재의 일부 결합 확대 사시도이다.
도시된 바와 같이, 받침부재(110a)의 내측받침부재(111) 및 받침부재(100b)의 내측받침부재(111)에는 지지공(111c)이 각각 형성되고, 지지공(111c)에는 지지바(160)의 일단부측 및 타단부측이 각각 삽탈가능하게 삽입 지지된다. 즉, 지지바(160)는 받침부재(110)에 착탈가능하게 지지된다.
그리고, 지지바(160)에 확산안내부재(150)가 탑재 지지된다. 확산안내부재(150)는 받침판(151), 받침판(151)에 형성되며 전면판(171)에서 후면판(173)을 향하는 방향과 평행을 이루는 복수의 관통로(153)를 포함한다. 즉, 관통로(153)의 길이 방향과 기판(50)의 좌우측면 방향은 대략 수직한다.
가스는 보트(100)의 상측에서 유입되어 하측으로 배출된다. 그런데, 보트(100)의 하측 부위에 확산안내부재(150)가 설치되어 있고, 상호 인접하는 기판(50)과 기판(50) 사이에 위치하는 확산안내부재(150)의 관통로(153)의 면적은 대략 비슷하다. 따라서, 가스는 보트(100)의 상측을 통하여 상호 인접하는 기판(50)과 기판(50) 사이로 균일하게 유입되어 배출된다.
확산안내부재(150)는 지지바(160)에 탑재 지지되어 상호 인접하는 연결부재(120)와 연결부재(120) 사이, 또는 상호 인접하는 연결부재(120)와 보조연결부재(130) 사이에 착탈가능하게 설치된다.
전면판(171), 후면판(173), 좌측면판(175), 우측면판(177) 및 메인지지판(180)에 대하여 도 2, 도 8 및 도 9를 참조하여 설명한다. 도 8은 도 2의 일부 결합 확대 사시도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 보트의 사용 상태를 보인 도 8의 결합 사시도이다.
도시된 바와 같이, 전면판(171)은 받침부재(110a)의 외측받침부재(113)의 외면에 체결부재(미도시) 등에 의하여 결합되고, 후면판(173)은 받침부재(110b)의 외측받침부재(113)의 외면에 체결부재(미도시) 등에 의하여 결합된다.
그리고, 좌측면판(175)은 받침부재(110)의 길이 방향 좌측 단면(端面)에 결합됨과 동시에 전면판(171) 및 우측면판(173)에 결합되고, 우측면판(177)은 받침부재(110)의 길이 방향 우측 단면(端面)에 결합됨과 동시에 전면판(171) 및 우측면판(173)에 결합된다.
상세히 설명하면, 받침부재(110)의 내측받침부재(111)의 좌측 단부 및 우측 단부에는 제 4 결합돌기(111d)가 각각 형성되고, 좌측면판(175) 및 우측면판(177)에는 제 4 결합돌기(111d)가 각각 삽입 결합되는 제 4 결합공(175a, 177a)이 각각 형성된다. 그리고, 받침부재(110)의 외측받침부재(113)의 좌측 단부 및 우측 단부에는 제 5 결합돌기(113b)가 각각 형성되고, 좌측면판(175) 및 우측면판(177)에는 제 5 결합돌기(113b)가 각각 삽입 결합되는 제 5 결합공(175b, 177b)이 각각 형성된다.
제 4 결합돌기(111d)와 제 4 결합공(175a, 177a) 및 제 5 결합돌기(113b)와 제 5 결합공(175b, 177b)으로 인하여 좌측면판(175) 및 우측면판(177)이 받침부재(110)에 더욱 견고하게 결합된다.
또한, 전면판(171)의 양측 단면(端面), 후면판(173)의 양측 단면, 좌측면판(175)의 양측 단면 및 우측면판(177)의 양측 단면에는 쐐기(171a, 173a, 175c, 177c) 및 쐐기홈(171b, 173b, 175d, 177d)이 연속적으로 형성된다.
그리하여, 전면판(171)의 쐐기(171a)는 좌측면판(175)의 쐐기홈(175d) 및 우측면판(177)의 쐐기홈(177d)에 각각 삽입 결합되고, 전면판(171)의 쐐기홈(171b)에는 좌측면판(175)의 쐐기(175c) 및 우측면판(177)의 쐐기(177c)가 각각 삽입 결합된다. 그리고, 후면판(173)의 쐐기(173a)는 좌측면판(175)의 쐐기홈(175d) 및 우측면판(177)의 쐐기홈(177d)에 각각 삽입 결합되고, 후면판(173)의 쐐기홈(173b)에는 좌측면판(175)의 쐐기(175c) 및 우측면판(177)의 쐐기홈(177c)가 각각 삽입 결합된다. 따라서, 전면판(171)과 좌측면판(175)과 후면판(173)과 우측면판(177)이 견고하게 결합되므로, 강성(剛性)이 향상된다.
메인지지판(180)은 좌측면판(175) 및 우측면판(177)의 내면에 각각 상하로 간격을 가지면서 복수개 결합된다. 이를 위하여, 메인지지판(180)의 일면에는 제 6 결합돌기(183)가 각각 형성되고, 좌측면판(175) 및 우측면판(177)에는 제 6 결합돌기(183)가 삽입 결합되는 제 6 결합공(175e, 177e)이 각각 형성된다. 메인지지판(180)은 좌측면판(175) 및 우측면판(177)에 체결부재(미도시)에 의하여도 결합될 수도 있다.
메인지지판(180)은 전면판(171) 및 후면판(173)에 결합될 수도 있다. 이를 위하여, 메인지지판(180)의 양측면에는 제 7 결합돌기(185)가 각각 형성되고, 전면판(171) 및 후면판(173)에는 제 7 결합돌기(185)가 삽입 결합되는 제 7 결합공(171c, 173c)이 각각 형성된다. 메인지지판(180)은 전면판(171) 및 후면판(173)에 체결부재(미도시)에 의하여도 결합될 수도 있다.
따라서, 메인지지판(180)이 견고하게 결합되므로, 기판(50)이 안정되게 지지된다. 전술한 바와 같이, 메인지지판(180)의 타면에는 기판(50)의 측면이 삽입 지지되는 지지홈(181)이 형성된다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 보트가 열처리 장치에 로딩되는 것을 보인 사시도로써, 이를 설명한다.
도시된 바와 같이, CIGS{Cu(In1 - xGax)Se2}층 등을 형성하기 위한 열처리 장치(210)는 내부에 기판(50)이 처리되는 밀폐된 공간인 챔버(212)를 포함한다.
기판(50)은 보트(100)에 적재 보관되며, 보트(100)가 이송장치(220)에 의하여 챔버(212)에 로딩되거나 챔버(212)로부터 언로딩되면, 기판(50)이 챔버(212)에 로딩되거나 챔버(212)로부터 언로딩된다.
보트(100)는 복수개가 챔버(212)에 로딩된다. 따라서, 많은 개수의 기판(50)을 한번에 처리할 수 있다.
본 실시예에 따른 보트(100)는 지지바(160)에 지지된 기판(50)의 하중이 받침부재(110)로 전달되고, 받침부재(110)를 통하여 전면판(171), 후면판(173), 좌측면판(175) 및 우측면판(177)으로 전달된다. 그러므로, 기판(50)의 하중이 보트(100)의 전체 부위로 전달되므로, 보트(100)가 상대적으로 변형되는 것이 방지된다.
도 11은 본 발명의 다른 실시예에 따른 보트의 일부 분해 사시도이고, 도 12는 본 발명의 다른 실시예에 따른 보트의 사용 상태를 보인 사시도이다.
도시된 바와 같이, 메인지지판(180)에는 체결부재(미도시) 등에 의하여 보조지지판(190)이 착탈가능하게 결합된다. 보조지지판(190)에는 메인지지판(180)에 의하여 지지되는 기판(50)보다 작은 크기의 기판(50)이 지지된다.
상세히 설명하면, 보조지지판(190)의 일면은 좌측면판(175) 및 우측면판(177)과 각각 대향하고, 타면은 상호 대향한다. 그리고, 보조지지판(190)의 폭은 메인지지판(180)의 폭 보다 넓게 형성된다. 따라서, 보조지지판(190)의 타면은 메인지지판(180)의 타면 보다 좌측면판(175) 및 우측면판(177)에서 더 이격된 위치에 위치된다.
보조지지판(190)의 타면에도 기판(50)의 좌측면 및 우측면이 삽입 지지되는 복수의 지지홈(191)이 각각 형성됨은 당연하다.
본 실시예에 따른 보트(100)는 메인지지판(180)에 기판(50)을 지지하여 기판(50)을 처리하다가, 작은 크기의 기판(50)을 처리하고자 할 경우, 보조지지판(190)을 메인지지판(180)에 결합한 다음 기판(50)을 보조지지판(190)에 지지하면 된다. 즉, 하나의 보트(100)로 상이한 크기를 갖는 여러 종류의 기판(50)을 지지하여 사용할 수 있으므로, 원가가 절감된다.
본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 예로 들어 도시하여 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.
100: 보트
110: 받침부재
120: 연결부재
140: 지지부재
150: 확산안내부재
171: 전면판
173: 후면판
175: 좌측면판
177: 우측면판
180: 메인지지판

Claims (26)

  1. 상면 및 하면은 개방되고, 전면판과 후면판과 좌측면판 및 우측면판을 가지면서 육면체 형상으로 형성되며, 내부에는 복수의 기판이 상호 간격을 가지면서 기립 저장되고,
    상호 대향하면서 간격을 가지는 한쌍의 받침부재;
    일단부측은 어느 하나의 상기 받침부재에 착탈가능하게 결합되고, 타단부측은 다른 하나의 상기 받침부재에 착탈가능하게 결합되어 어느 하나의 상기 받침부재 및 다른 하나의 상기 받침부재를 상호 연결하며, 상면에는 기판의 하단면(下端面)측이 지지되는 복수의 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 보트.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 전면판은 어느 하나의 상기 받침부재의 폭방향 외측면에 결합되고,
    상기 후면판은 다른 하나의 상기 받침부재의 폭방향 외측면에 결합되며,
    상기 좌측면판은 어느 하나의 상기 받침부재 및 다른 하나의 상기 받침부재의 길이 방향 좌측 단면(端面)에 각각 결합됨과 동시에 상기 전면판 및 상기 후면판에 각각 결합되고,
    상기 우측면판은 어느 하나의 상기 받침부재 및 다른 하나의 상기 받침부재의 길이 방향 우측 단면(端面)에 각각 결합됨과 동시에 상기 전면판 및 상기 후면판에 각각 결합되는 것을 특징으로 하는 보트.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 좌측면판 및 상기 우측면판의 내면에 일면이 각각 결합되고 타면에는 상기 기판의 좌측 부위 및 우측 부위가 각각 지지되는 상하로 간격을 가지는 복수의 메인지지판을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 보트.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 받침부재는 상기 연결부재의 단부측이 결합되는 내측받침부재, 상기 내측받침부재의 외측에서 상기 내측받침부재에 결합된 외측받침부재, 상기 내측받침부재 및 상기 외측받침부재의 하면에 착탈가능하게 결합되며 상대물과 접촉하는 복수의 받침블럭을 각각 포함하는 것을 특징으로 하는 보트.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 내측받침부재와 상기 외측받침부재의 상면에는 상기 내측받침부재와 상기 외측받침부재를 연결하는 덮개판이 결합된 것을 특징으로 하는 보트.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 내측받침부재에는 강성(剛性) 보강용 보강블럭이 각각 결합되고,
    상기 보강블럭에는 제 1 결합돌기가 돌출 형성되며,
    상기 외측받침부재에는 상기 제 1 결합돌기가 삽입 결합되는 제 1 결합공이 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
  7. 제6항에 있어서,
    상호 인접하는 상기 받침블럭과 상기 받침블럭 사이의 상기 내측받침부재 및 상기 외측받침부재의 하면에는 개방부가 형성되고,
    상기 개방부에는 상기 내측받침부재와 상기 외측받침부재를 상호 연결하는 연결블럭이 착탈가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 보트.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 내측받침부재 및 상기 외측받침부재의 하면 외측으로 노출된 상기 받침블럭 부위의 높이는 상기 받침부재의 길이 방향 중심에서 멀어질수록 점점 낮아지는 것을 특징으로 하는 보트.
  9. 제8항에 있어서,
    어느 하나의 상기 받침부재 및 다른 하나의 상기 받침부재에는 상기 기판의 하단면이 접촉 지지되는 복수의 지지부재의 일단부측 및 타단부측이 각각 착탈가능하게 지지된 것을 특징으로 하는 보트.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 지지부재의 일단부측 및 타단부측에는 상기 내측받침부재에 삽탈 가능하게 결합되는 제 1 결합홈이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 연결부재의 상면에는 상기 지지부재의 중앙부측이 삽탈 가능하게 결합되는 제 2 결합홈이 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
  12. 제11항에 있어서,
    상호 인접하는 상기 연결부재와 상기 연결부재 사이에는 일단부측은 어느 하나의 상기 받침부재의 상기 내측받침부재에 결합되고 타단부측은 다른 하나의 상기 받침부재의 상기 내측받침부재에 결합되어, 한쌍의 상기 받침부재를 상호 연결하며, 상면에는 기판의 하단면(下端面)측이 지지되는 보조연결부재가 각각 설치된 것을 특징으로 하는 보트.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 보조연결부재의 상면에는 상기 지지부재의 중앙부측이 삽탈 가능하게 결합되는 제 3 결합홈이 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 지지부재의 상면의 높이는 상기 받침부재의 길이 방향 중심에서 멀어질수록 점점 낮아지는 것을 특징으로 하는 보트.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 연결부재 및 상기 보조연결부재의 양단부에는 제 2 및 제 3 결합돌기가 각각 형성되고, 상기 내측받침부재에는 상기 제 2 및 제 3 결합돌기가 각각 삽입 결합되는 제 2 및 제 3 결합공이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
  16. 제4항에 있어서,
    상기 내측받침부재의 일측 단부 및 타측 단부에는 제 4 결합돌기가 각각 형성되고,
    상기 외측받침부재의 일측 단부 및 타측 단부에는 제 5 결합돌기가 각각 형성되며,
    상기 좌측면판 및 상기 우측면판에는 상기 제 4 및 제 5 결합돌기가 각각 삽입 결합되는 제 4 결합공 및 제 5 결합공이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 전면판의 양측 단면(端面), 상기 후면판의 양측 단면, 상기 좌측면판의 양측 단면 및 상기 우측면판의 양측 단면에는 쐐기 및 쐐기홈이 연속적으로 각각 형성되고,
    상기 전면판과 상기 좌측면판, 상기 전면판과 상기 우측면판, 상기 후면판과 상기 좌측면판 및 상기 후면판과 상기 우측면판은 상호 삽입 결합되는 상기 쐐기와 상기 쐐기홈에 의하여 각각 결합된 것을 특징으로 하는 보트.
  18. 제4항에 있어서,
    상기 메인지지판의 일면에는 제 6 결합돌기가 각각 형성되고,
    상기 좌측면판 및 우측면판에는 상기 제 6 결합돌기가 삽입 결합되는 제 6 결합공이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 메인지지판의 양측면에는 제 7 결합돌기가 각각 형성되고,
    상기 전면판 및 상기 후면판에는 상기 제 7 결합돌기가 삽입 결합되는 제 7 결합공이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
  20. 제4항에 있어서,
    상기 메인지지판에는 상기 메인지지판에 의하여 지지되는 기판보다 작은 크기의 기판을 지지하기 위한 보조지지판이 착탈가능하게 결합된 것을 특징으로 하는 보트.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 보조지지판의 폭은 상기 메인지지판의 폭 보다 넓게 형성되고,
    상기 보조지지판의 일면은 상기 좌측면판 및 상기 우측면판과 각각 대향하며,
    상기 보조지지판의 타면은 상기 메인지지판의 타면 보다 상기 좌측면판 및 상기 우측면판에서 더 이격된 것을 특징으로 하는 보트.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 메인지지판의 타면 및 상기 보조지지판의 타면에는 상기 기판의 일측 부위 및 타측 부위가 각각 삽입 지지되는 복수의 지지홈이 각각 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
  23. 제4항에 있어서,
    상기 받침부재에는 지지바가 착탈가능하게 지지되고,
    상기 지지바에는 상기 연결부재측에 지지된 상호 인접하는 기판과 기판 사이로 기판의 처리시 공급되는 가스가 균일하게 유입되어 배출되도록 안내하는 확산안내부재가 탑재 지지된 것을 특징으로 하는 보트.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 받침부재에는 상기 지지바의 일측 단부 및 타측 단부가 삽입 지지되는 지지공이 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
  25. 제23항에 있어서,
    상기 확산안내부재는 받침판, 상기 받침판에 형성되며 상기 전면판에서 상기 후면판을 향하는 방향과 평행을 이루는 복수의 관통로를 포함하는 것을 특징으로 하는 보트.
  26. 제2항에 있어서,
    상기 전면판, 상기 후면판, 상기 좌측면판 및 상기 우측면판에는 가스의 원활한 흐름을 유지하기 위한 개방부가 각각 형성된 것을 특징으로 하는 보트.
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