CN106458433A - 晶舟 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种放置并保管多个基板的晶舟。在本发明涉及的晶舟中，被支撑杆支撑的基板的荷重传递至支持部件，并通过支持部件传递至前面板、后面板、左侧面板以及右侧面板，由此传递至晶舟的整个部位。由于基板的荷重作用于晶舟的整个部位，因此能够防止晶舟变形。并且，固定结合有对基板进行支撑的主支撑板，主支撑板上可拆卸地结合有辅助支撑板，所述辅助支撑板对尺寸比主支撑板所支撑的基板更小的基板进行支撑。因此，根据基板的尺寸，可以将基板支撑于主支撑板或辅助支撑板。即，可以使用一个晶舟支撑不同尺寸的多种基板，因此具有节约成本的效果。

Description

晶舟
技术领域
本发明涉及一种放置并保管多个基板的晶舟。
背景技术
多个平板显示装置用基板或薄膜型太阳能电池用基板以放置并保管于晶舟的状态装载到热处理装置中，从而接受处理。
但是，当放置并保管多个基板时，现有晶舟在结构上有可能发生变形。
并且，现有晶舟只能放置并保管一种尺寸的基板。即，一个晶舟只能放置并保管相同尺寸的基板，为了处理另一尺寸的基板，需具备额外的晶舟，因此成本提高。
发明内容
所要解决的技术问题
本发明是为了解决上述的现有技术问题而被提出的，本发明的目的在于，提供一种能够防止变形的晶舟。
本发明的另一目的在于，提供一种能够放置并保管多种尺寸的基板，从而能够节约成本的晶舟。
解决问题的技术方案
用于实现上述目的的本发明涉及的晶舟呈六面体形状，上面以及下面开放，并具有前面板、后面板、左侧面板以及右侧面板，在内部以相互隔开间隔并且竖立的方式储存有多个基板。
发明效果
在本发明涉及的晶舟中，被支撑杆支撑的基板的荷重传递至支持部件，并通过支持部件传递至前面板、后面板、左侧面板以及右侧面板，由此传递至晶舟的整个部位。由于基板的荷重作用于晶舟的整个部位，因此能够防止晶舟变形。
并且，本发明涉及的晶舟固定结合有对基板进行支撑的主支撑板，主支撑板可拆卸地结合有辅助支撑板，所述辅助支撑板对尺寸比被主支撑板支撑的基板更小的基板进行支撑。因此，根据基板的尺寸，可以将基板支撑于主支撑板或辅助支撑板。即，可以使用一个晶舟支撑不同尺寸的多种基板，因此，节约成本。
附图说明
图1是本发明的一实施例涉及的晶舟的立体图。
图2是图1所示的晶舟的分解立体图。
图3是图2所示的支持部件的局部组装放大立体图。
图4是图2所示的支持部件和连接部件的局部组装放大立体图。
图5是图2所示的支持部件、连接部件以及支架部件的局部组装放大立体图。
图6是图5的组装主视图。
图7是图2所示的支持部件、连接部件、支架部件以及扩散引导部件的局部组装放大立体图。
图8是图2的局部组装放大立体图。
图9是示出本发明的一实施例涉及的晶舟的使用状态的图8的组装立体图。
图10是示出本发明的一实施例涉及的晶舟装载于热处理装置上的立体图。
图11是本发明的另一实施例涉及的晶舟的局部分解立体图。
图12是示出本发明的另一实施例涉及的晶舟的使用状态的立体图。
附图标记
100：晶舟
110：支持部件
120：连接部件
140：支架部件
150：扩散引导部件
171：前面板
173：后面板
175：左侧面板
177：右侧面板
180：主支撑板
具体实施方式
后述的对于本发明的详细说明将参照附图，所述附图示例性地示出了能够实施本发明的特定实施例。将充分且详细说明这些实施例，以使本领域的技术人员能够实施本发明。应当理解，本发明的各种实施例虽然彼此不同，但并非互相排斥。例如，在此所记载的与一个实施例有关的特定形状、特定结构以及特性，在不脱离本发明的精神以及范围的情况下，可以通过其它实施例来实现。另外，应当理解，在不脱离本发明的精神以及范围的情况下，各公开的实施例中的个别构成要素的位置或者配置能够进行变更。因此，后述的详细说明并非旨在限定，本发明的保护范围应当以权利要求书的内容为准，并包含与权利要求所主张的内容等同的所有范围。为了方便起见，可放大表示附图所示的实施例的长度、面积、厚度以及形状。
下面将参照附图对本发明的一实施例涉及的晶舟进行详细说明。
图1是本发明的一实施例涉及的晶舟的立体图，图2是图1所示的晶舟的分解立体图。
如图所示，本实施例涉及的晶舟100包括：支持部件110、连接部件120、支架部件140、扩散引导部件150、前面板171、后面板173、左侧面板175、右侧面板177以及主支撑板180。
一对支持部件110彼此具有间隔且对置的同时相互平行，连接部件120可拆卸地结合于支持部件110，从而使一对支持部件110相互连接。支架部件140结合在支持部件110以及连接部件120上，从而支撑基板50(参照图9)。
前面板171结合在支持部件110a的宽度方向的外侧面，后面板173结合在支持部件110b的宽度方向的外侧面，左侧面板175在结合于支持部件110的长度方向的左侧端面的同时结合于前面板171以及后面板173，右侧面板177在结合于支持部件110的长度方向的右侧端面的同时结合于前面板171以及后面板173。因此，基板50放置并保管于通过前面板171和后面板173和左侧面板175以及右侧面板177所形成的空间。
并且，前面板171、后面板173、左侧面板175以及右侧面板177可以分别形成有用于维持气流顺畅的开放部(未图示)。
左侧面板175以及右侧面板177的内表面分别结合有多个主支撑板180。即，主支撑板180的一面分别结合在左侧面板175以及右侧面板177的内表面，结合在左侧面板175上的主支撑板180的另一面以及结合在右侧面板177上的主支撑板180的另一面相互对置。并且，相互对置的主支撑板180的另一面形成有多个插入并支撑基板50的支撑槽181。因此，如图9所示，基板50的左侧面被结合于左侧面板175的主支撑板180支撑，右侧面被结合于右侧面板177的主支撑板180支撑。
参照图1至图3，对支持部件110进行说明。图3是图2所示的支持部件的放大立体图。由于一对支持部件110的构成相同，因此，仅对位于前方的支持部件110a的构成进行说明。
如图所示，支持部件110包括内侧支持部件111、外侧支持部件113、支持块114以及盖板116。
内侧支持部件111和外侧支持部件113以彼此隔开间隔的方式结合。为此，在内侧支持部件111的外侧面形成有刚度加强用的加强块112，在加强块112突出形成有第一结合突起112a。并且，在外侧支持部件113上形成有供第一结合突起112a插入并结合的第一结合孔113a。内侧支持部件111和外侧支持部件113还可以通过紧固部件(未图示)相互结合。
支持块114通过紧固部件(未图示)等，可拆卸地结合在内侧支持部件111以及外侧支持部件113的下面。支持块114与诸如地面、移送晶舟100的移送装置220(参照图10)或形成有腔室(212)的热处理装置210(参照图10)的下面等的被固定的对象物接触。
由于支持块114接触到所述对象物，因此会受损或受污染。但是，由于支持块114可拆卸地结合，容易更换。因此，维护简便。
相邻的支持块114之间的内侧支持部件111以及外侧支持部件113的下面形成有开放部，在所述开放部上可以可拆卸地结合连接块115，所述连接块115用于相互连接内侧支持部件111和外侧支持部件113。连接块115在用于相互连接内侧支持部件111和外侧支持部件113的同时，增强内侧支持部件111以及外侧支持部件113的刚度。
连接块115的下面高于内侧支持部件111以及外侧支持部件113的下面，并且连接块115的下侧形成有空间115a。用于支撑并移送晶舟110的机器人的手臂(未图示)通过空间115a进出。
盖板116结合在内侧支持部件111以及外侧支持部件113的上表面，用于相互连接内侧支持部件111和外侧支持部件113，同时增强内侧支持部件111以及外侧支持部件113的刚度。盖板116形成有被后述的支架部件140的端部贯穿的贯穿槽116a。
参照图2至图4，对连接部件120进行说明。图4是图2所示的支持部件和连接部件的局部组装放大立体图。
如图所示，具有多个连接部件120，前端部可拆卸地结合于位于前方的支持部件110a的内侧支持部件111，后端部可拆卸地结合于位于后方的支持部件110b的内侧支持部件111。此时，连接部件120与支持部件110大致垂直，所述连接部件120通过上表面接触并支撑基板50的下端面。
连接部件120还可以通过紧固部件(未图示)结合于支持部件110。
相邻的连接部件120之间可以设置有辅助连接部件130。辅助连接部件130的前端部结合于支持部件110a的内侧支持部件111，后端部结合于支持部件110b的内侧支持部件111。辅助连接部件130使支持部件110相互连接，上表面可以对基板的下端面进行支撑。
辅助连接部件130也可以通过紧固部件(未图示)结合于支持部件110。
在连接部件120以及辅助连接部件130的两端部分别形成有第二以及第三结合突起121、131，在内侧支持部件111形成有供第二以及第三结合突起121、131分别插入并结合的第二以及第三结合孔111a、111b。由于支持部件110a和支持部件110b通过连接部件120以及辅助连接部件130相互连接并结合，因此提高刚度。
参照图2至图6，对支架部件140进行说明。图5是图2所示的支持部件、连接部件以及支架部件的局部组装放大立体图，图6是图5的组装主视图。
如图所示，支架部件140的前端部以及后端部分别被支持部件110a的内侧支持部件111以及支持部件110b的内侧支持部件111可拆卸地支撑。为此，在支架部件140的一端部以及另一端部分别形成有供内侧支持部件111的上表面可插拔地结合的第一结合槽141。
支架部件140的两端部穿过形成在盖板116上的贯穿槽116a，以使内侧支持部件111的上表面可插拔地结合于第一结合槽141内。并且，支架部件140的中央部可插拔地结合于第二结合槽123内，所述第二结合槽123以凹陷的方式形成在连接部件120的上表面。
支架部件140的上表面接触并支撑基板50的下端面。
辅助连接部件130也可以可插拔地结合有支架部件140，为此，在辅助连接部件130的上表面也形成有供支架部件140的中央部可插拔地结合的第三结合槽133。
如图6所示，位于支持部件110的长度方向的中心的支架部件140的上表面接触并支撑基板50的下面中央部，自支持部件110的长度方向的中心隔开的支架部件140的上表面接触并支撑基板50的下面边缘部。但是，基板50的中央部因自重而朝向下侧下垂的幅度相对更大。因此，将位于支持部件110的长度方向的中心并与所述对象物接触的支持块114部位114a的高度形成为大于位于支持部件110的长度方向的中心外侧并与所述对象物接触的支持块114部位114a的高度。此时，位于支持部件110的长度方向的中心的支持部件140更加高于自支持部件110的长度方向的中心隔开的支持部件140，因此防止基板50的中央部因自重下垂。
即，将与所述对象物接触的支持块114部位114a的高度形成为随着远离支持部件110的长度方向的中心而逐渐降低的形状，或将支架部件140的上表面的高度形成为随着远离支持部件110的长度方向的中心而逐渐降低的形状，从而防止基板50的中央部因自重下垂。
为了方便说明，放大示出了图6所示的与所述对象物接触的支持块114部位114a的高度和支架部件140的上表面的高度，在实际产品中，所述多个支持块114的高度差以及多个支架部件140的上表面的高度差微乎其微。
与所述对象物接触的支持块114部位114a是朝向内侧支持部件111和外侧支持部件113的下面外侧露出的部位，与所述对象物接触的支持块114部位114a的高度存在高度差时，能够防止晶舟100的变形，并且能够容易维持平坦度。
如前面所述，基板50以垂直竖立的状态，放置保管于由前面板171、后面板173、左侧面板175以及右侧面板177所形成的空间。并且，基板50的左侧面以及右侧面被分别结合于左侧面板175以及右侧面板177的主支撑板180支撑。
基板50需按照垂直竖立并且相互隔开间隔的方式放置保管于晶舟100，并且向相邻的基板50之间均匀供应气体，才能均匀处理基板50。
本实施例涉及的晶舟设置有扩散引导部件150，所述扩散引导部件150引导气体均匀流入基板50之间并排出。参照图2、图3以及图7，对扩散引导部件150进行说明。图7是图2所示的支持部件、连接部件、支架部件以及扩散引导部件的局部组装放大立体图。
如图所示，在支持部件110a的内侧支持部件111以及支持部件111b的内侧支持部件111分别形成有支撑孔111c，所述支撑杆160的一端部以及另一端部分别可插拔地插入并被支撑在所述支撑孔111c中。即，支撑杆160可拆卸地支撑于支持部件110。
并且，支撑杆160搭载并支撑扩散引导部件150。扩散引导部件150包括支持板151、形成于支持板151并且与自前面板171至后面板173的方向的多个贯穿路径153平行。即，贯穿路径153的长度方向和基板50的左右侧面方向大致垂直。
气体从晶舟100的上侧流入并从下侧排出。但是，晶舟100的下侧部位设置有扩散引导部件150，位于相邻的基板50之间的扩散引导部件150的贯穿路径153的面积大致相似。因此，气体通过晶舟100的上侧均匀流入相邻的基板50之间后，被排出。
扩散引导部件150搭载并支撑于支撑杆160，并且可拆卸地设置在相邻的连接部件120之间，或相邻的连接部件120和辅助连接部件130之间。
参照图2、图8以及图9，对前面板171、后面板173、左侧面板175、右侧面板177以及主支撑板180进行说明。图8是图2的局部组装放大立体图，图9是示出本发明的一实施例涉及的晶舟的使用状态的图8的组装立体图。
如图所示，前面板171通过紧固部件(未图示)等结合在支持部件110a的外侧支持部件113的外面，后面板173通过紧固部件(未图示)等结合在支持部件110b的外侧支持部件113的外面。
并且，左侧面板175在结合于支持部件110的长度方向的左侧端面的同时结合于前面板171以及右侧面板173，右侧面板177在结合于支持部件110的长度方向的右侧端面的同时结合于前面板171以及右侧面板173。
详细而言，支持部件110的内侧支持部件111的左侧端部以及右侧端部分别形成有第四结合突起，在左侧面板175以及右侧面板177上分别形成有供第四结合突起111d分别插入并结合的第四结合孔175a、177a。并且，在支持部件110的外侧支持部件113的左侧端部以及右侧端部分别形成有第五结合突起113b，左侧面板175以及右侧面板177分别形成有供第五结合突起113b分别插入并结合的第五结合孔175b、177b。
通过第四结合突起111d和第四结合孔175a、177a以及第五结合突起113b和第五结合孔175b、177b，左侧面板175以及右侧面板177更加牢固地结合在支持部件110上。
另外，在前面板171的两侧端面、后面板173的两侧端面、左侧面板175的两侧端面以及右侧面板177的两侧端面连续形成有楔子171a、173a、175c、177c以及楔子槽171b、173b、175d、177d。
前面板171的楔子171a分别插入并结合到左侧面板175的楔子槽175d以及右侧面板177的楔子槽177d，前面板171的楔子槽171b中分别插入并结合有左侧面板175的楔子175c以及右侧面板177的楔子177c。并且，后面板173的楔子173a分别插入并结合到左侧面板175的楔子槽175d以及右侧面板177的楔子槽177d，后面板173的楔子槽173b中分别插入并结合有左侧面板175的楔子175c以及右侧面板177的楔子槽177c。由于前面板171和左侧面板175和后面板173和右侧面板177牢固结合，因此，提高刚度。
多个主支撑板180以上下隔开间隔的方式分别结合在左侧面板175以及右侧面板177的内表面。为此，在主支撑板180的一面分别形成有第六结合突起183，在左侧面板175以及右侧面板177上分别形成有供第六结合突起183插入并结合的第六结合孔175e、177e。主支撑板180也可以通过紧固部件(未图示)结合在左侧面板175以及右侧面板177。
主支撑板180还可以结合于前面板171以及后面板173。为此，在主支撑板180的两侧面分别形成有第七结合突起185，在前面板171以及后面板173分别形成有供第七结合突起185插入并结合的第七结合孔171c、173c。主支撑板180也可以通过紧固部件(未图示)结合于前面板171以及后面板173。
因此，主支撑板180牢固结合，稳定支撑基板50。如前面所述，在主支撑板180的另一面形成有支撑槽181基板50的侧面插入并被支撑在所述支撑槽181内。
图10是示出本发明的一实施例涉及的晶舟装载于热处理装置上的立体图，对其进行说明。
如图所示，用于形成CIGS{Cu(In1-xGax)Se2}层等的热处理装置210在内部包括腔室212，所述腔室212为对基板50进行处理的密闭空间。
基板50放置并保管于晶舟100上，当晶舟100通过移送装置220装载到腔室212或从腔室212卸载时，基板50装载到腔室212或从腔室212卸载。
多个晶舟100装载于腔室212。因此，能够一次性处理数量较多的基板50。
在本实施例涉及的晶舟100中，被支撑杆160支撑的基板50的荷重传递至支持部件110，并通过支持部件110传递至前面板171、后面板173、左侧面板175以及右侧面板177。由于基板50的荷重传递至晶舟100的整个部位，因此，防止晶舟100相对变形。
图11是本发明的另一实施例涉及的晶舟的局部分解立体图，图12是示出本发明的另一实施例涉及的晶舟的使用状态的立体图。
如图所示，辅助支撑板190通过紧固部件(未图示)等可拆卸地结合于主支撑板180。辅助支撑板190用于支撑尺寸比被主支撑板180支撑的基板50更小的基板50。
详细说明而言，辅助支撑板190的一面分别与左侧面板175以及右侧面板177对置，另一面相互对置。并且，辅助支撑板190的宽度大于主支撑板180的宽度。因此，辅助支撑板190的另一面与所述左侧面板以及所述右侧面板的距离，大于主支撑板的另一面与所述左侧面板以及所述右侧面板的距离。
当然，辅助支撑板190的另一面也分别形成有用于插入支撑基板50的左侧面以及右侧面的多个支撑槽191。
本实施例涉及的晶舟100在主支撑板180上支撑基板50，对基板50进行处理后，要处理尺寸较小的基板50时，将辅助支撑板190结合到主支撑板180后，将基板50支撑于辅助支撑板190即可。即，可以使用一个晶舟100支撑不同尺寸的多种基板50，因此，节约成本。
本发明以如前面所述的优选实施例为例进行图示说明，但是并非限定于所述实施例，在不超出本发明精神的范围内，该发明所属技术领域的普通技术人员可进行多种变形和变更。这样的变形例以及变更例应视为属于本发明的权利要求书范围内。

Claims (26)

1.一种晶舟，其特征在于，
呈六面体形状，上面以及下面开放，并具有前面板、后面板、左侧面板以及右侧面板，在内部以相互隔开间隔并且竖立的方式储存有多个基板。
2.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，还包括：
一对支持部件，相互对置，并隔开间隔；
多个连接部件，一端部可拆卸地结合于任意一个所述支持部件，另一端部可拆卸地结合于另一个所述支持部件，从而使任意一个所述支持部件以及另一个所述支持部件相互连接，所述多个连接部件通过上表面支撑基板的下端面，
所述前面板结合于任意一个所述支持部件的宽度方向的外侧面，
所述后面板结合于另一个所述支持部件的宽度方向的外侧面，
所述左侧面板分别结合于任意一个所述支持部件以及另一个所述支持部件的长度方向的左侧端面，同时分别结合于所述前面板以及所述后面板，
所述右侧面板分别结合于任意一个所述支持部件以及另一个所述支持部件的长度方向的右侧端面，同时分别结合于所述前面板以及所述后面板。
3.根据权利要求2所述的晶舟，其特征在于，还包括：
多个主支撑板，在上下方向隔开间隔，且一面分别结合于所述左侧面板以及所述右侧面板的内表面，另一面分别支撑所述基板的左侧部位以及右侧部位。
4.根据权利要求3所述的晶舟，其特征在于，
所述支持部件分别包括：内侧支持部件，结合有所述连接部件的端部；外侧支持部件，从所述内侧支持部件的外侧结合于所述内侧支持部件；多个支持块，可拆卸地结合于所述内侧支持部件以及所述外侧支持部件的下表面，并与对象物接触。
5.根据权利要求4所述的晶舟，其特征在于，
在所述内侧支持部件和所述外侧支持部件的上面结合有用于连接所述内侧支持部件与所述外侧支持部件的盖板。
6.根据权利要求5所述的晶舟，其特征在于，
在所述内侧支持部件分别结合有刚度加强用的加强块，
在所述加强块突出形成有第一结合突起，
在所述外侧支持部件上形成有供所述第一结合突起插入并结合的第一结合孔。
7.根据权利要求6所述的晶舟，其特征在于，
相邻的所述支持块之间的所述内侧支持部件以及所述外侧支持部件的下面形成有开放部，
在所述开放部可拆卸地结合有用于相互连接所述内侧支持部件与所述外侧支持部件的连接块。
8.根据权利要求7所述的晶舟，其特征在于，
朝向所述内侧支持部件以及所述外侧支持部件的下面外侧露出的所述支持块部位的高度随着远离所述支持部件的长度方向的中心而逐渐降低。
9.根据权利要求8所述的晶舟，其特征在于，
多个支架部件的一端部以及另一端部分别可拆卸地支撑于任意一个所述支持部件以及另一个所述支持部件，所述多个支架部件接触并支撑所述基板的下端面。
10.根据权利要求9所述的晶舟，其特征在于，
在所述支架部件的一端部以及另一端部分别形成有供所述内侧支持部件可插拔地结合的第一结合槽。
11.根据权利要求10所述的晶舟，其特征在于，
在所述连接部件的上表面形成有供所述支架部件的中央部可插拔地结合的第二结合槽。
12.根据权利要求11所述的晶舟，其特征在于，
相邻的所述连接部件之间分别设置有辅助连接部件，所述辅助连接部件的一端部结合在任意一个所述支持部件的所述内侧支持部件上，另一端部结合在另一个所述支持部件的所述内侧支持部件上，从而使一对所述支持部件相互连接，所述辅助连接部件通过上表面支撑基板的下端面。
13.根据权利要求12所述的晶舟，其特征在于，
在所述辅助连接部件的上表面形成有供支架部件的中央部可插拔地结合的第三结合槽。
14.根据权利要求13所述的晶舟，其特征在于，
所述支架部件的上表面的高度随着远离所述支持部件的长度方向的中心而逐渐降低。
15.根据权利要求14所述的晶舟，其特征在于，
在所述连接部件以及所述辅助连接部件的两端部分别形成有第二以及第三结合突起，在所述内侧支持部件分别形成有供所述第二以及第三结合突起分别插入并结合的第二以及第三结合孔。
16.根据权利要求4所述的晶舟，其特征在于，
在所述内侧支持部件的一侧端部以及另一侧端部分别形成有第四结合突起，
在所述外侧支持部件的一侧端部以及另一侧端部分别形成有第五结合突起，
在所述左侧面板以及所述右侧面板分别形成有供所述第四结合突起以及所述第五结合突起分别插入并结合的第四结合孔以及第五结合孔。
17.根据权利要求16所述的晶舟，其特征在于，
在所述前面板的两侧端面、所述后面板的两侧端面、所述左侧面板的两侧端面以及所述右侧面板的两侧端面分别连续形成有楔子以及楔子槽，
所述前面板与所述左侧面板、所述前面板与所述右侧面板、所述后面板与所述左侧面板以及所述后面与所述右侧面板分别通过相互插入结合的所述楔子和所述楔子槽进行结合。
18.根据权利要求4所述的晶舟，其特征在于，
在所述主支撑板的一面分别形成有第六结合突起，在所述左侧面板以及右侧面板分别形成有供所述第六结合突起插入并结合的第六结合孔。
19.根据权利要求18所述的晶舟，其特征在于，
在所述主支撑板的两侧面分别形成有第七结合突起，在所述前面板以及所述后面板分别形成有供所述第七结合突起插入并结合的第七结合孔。
20.根据权利要求4所述的晶舟，其特征在于，
辅助支撑板可拆卸地结合在所述主支撑板上，所述辅助支撑板用于支撑尺寸比所述主支撑板所支撑的基板更小的基板。
21.根据权利要求20所述的晶舟，其特征在于，
所述辅助支撑板的宽度大于所述主支撑板的宽度，
所述辅助支撑板的一面分别与所述左侧面板以及所述右侧面板对置，
所述辅助支撑板的另一面与所述左侧面板以及所述右侧面板的距离，大于所述主支撑板的另一面与所述左侧面板以及所述右侧面板的距离。
22.根据权利要求21所述的晶舟，其特征在于，
在所述主支撑板的另一面以及所述辅助支撑板的另一面分别形成有多个支撑槽，所述基板的一侧部位以及另一侧部位分别插入并被支撑在所述多个支撑槽中。
23.根据权利要求4所述的晶舟，其特征在于，
支撑杆可拆卸地支撑于所述支持部件，
所述支撑杆搭载并支撑扩散引导部件，所述扩散引导部件用于引导处理基板时供应的气体，使其均匀流入所述连接部件所支撑的相邻的基板之间并被排出。
24.根据权利要求23所述的晶舟，其特征在于，
在所述支持部件形成有支撑孔，所述支撑杆的一侧端部以及另一侧端部插入并被支撑在所述支撑孔中。
25.根据权利要求23所述的晶舟，其特征在于，
所述扩散引导部件包括：支持板；多个贯穿路径，形成在所述支撑板上，并与自所述前面板至所述后面板的方向平行。
26.根据权利要求2所述的晶舟，其特征在于，
在所述前面板、所述后面板、所述左侧面板以及所述右侧面板分别形成有用于维持气流顺畅的开放部。
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