JP6354191B2 - 液体噴射ヘッドおよび液体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、流路内の液体を噴射する技術に関する。

複数の部材を相互に接合することで流路を形成し、流路内に流通する液体をノズルから噴射する各種の技術が従来から提案されている。例えば特許文献１には、接着剤を利用して複数の流路形成部材を接合することでインクの流路を形成し、流路内のインクをノズルから噴射させる構造が開示されている。

特開２００４−２２３８７７号公報

特許文献１の技術では、複数の流路形成部材の接合にシリコン系等の軟質（柔軟性）の接着剤が利用される。しかし、軟質の接着剤は一般的に透湿性（水分を透過させる性質）が高いという傾向がある。したがって、流路形成部材間の接着剤を介して流路内の液体の水分が蒸発するという問題がある。他方、透湿性が低い硬質の接着剤を各流路形成部材の接合に利用した場合には、樹脂材料で形成される各流路形成部材が変形（例えば熱変形）した場合に接着剤が各流路形成部材から剥離する可能性がある。以上の事情を考慮して、本発明は、水分蒸発の抑制と接着剤の剥離等の接合不良の防止とを両立することを目的とする。

以上の課題を解決するために、本発明の好適な態様に係る液体噴射ヘッドは、相互に接合された複数の部材を具備し、流路内の液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッドであって、複数の部材のうち、樹脂材料以外の材料（例えば金属またはシリコン）で形成された部材または樹脂材料（例えばポリフェニレンサルファイド）形成されたフィルム状の部材である２個の部材は、硬質の接着剤で相互に接合され、複数の部材のうち、少なくとも一方が樹脂材料で成型（例えば射出成型）されて両部材間で流路を構成する２個の部材は、軟質の接着剤で相互に接合される一方、少なくとも一方が樹脂材料で成型されて両部材間で流路を構成しない２個の部材は、硬質の接着剤で相互に接合される。硬質の接着剤の典型例はエポキシ系の接着剤であり、軟質の接着剤の典型例はシリコン系の接着剤である。

以上の構成では、樹脂材料以外の材料で形成された部材または樹脂材料で形成されたフィルム状の部材である２個の部材は、両部材の接合で流路が構成されるか否かに関わらず硬質の接着剤で相互に接合される。また、接合対象の２個の部材の少なくとも一方が樹脂材料で成型される場合でも、当該２個の部材が流路を構成しない場合には、両部材が硬質の接着剤で相互に接合される。硬質の接着剤は一般に透湿性が低いから、以上の構成によれば、接着剤を介した水分の蒸発が抑制される。他方、接合対象の２個の部材の少なくとも一方が樹脂材料で成型され、かつ、部材間で流路が構成される場合には、両部材が軟質の接着剤で相互に接合される。したがって、樹脂材料で成型された部材の変形（例えば熱変形）に起因した接着剤の剥離等の接合不良が防止される。

なお、軟質の接着剤は硬質の接着剤と比較して透湿性が高いという傾向がある。以上の傾向を考慮すると、軟質の接着剤で相互に接合された２個の部材が配置された空間を閉鎖する構造体を具備する液体噴射ヘッドが格別に好適である。以上の構成では、軟質の接着剤で相互に接合された２個の部材が配置された空間が構造体により閉鎖される。したがって各部材の接合に軟質の接着剤を利用した構成にも関わらず、各部材間の接着剤を介した水分の蒸発を抑制することが可能である。

本発明の好適な態様に係る液体噴射装置は、以上の態様に係る液体噴射ヘッドを具備する。液体噴射装置の好適例は、インクを噴射する印刷装置であるが、本発明に係る液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。

本発明の好適な形態に係る印刷装置の構成図である。 液体噴射ヘッドの断面図である。 液体噴射ヘッドを印刷媒体側からみた平面図である。 ヘッドユニットおよび支持体を拡大した断面図である。 ヘッドユニットおよび支持体の各部材を接合する接着剤の説明図である。 液体噴射ヘッドの各部材を接合する接着剤の説明図である。

＜印刷装置の構成＞
図１は、本発明の好適な形態に係るインクジェット方式の印刷装置１００の部分的な構成図である。印刷装置１００は、液体の例示であるインクを印刷用紙等の印刷媒体２００に噴射して印刷媒体２００の表面に画像を形成する液体噴射装置であり、図１に例示される通り、制御装置１０と搬送機構１２と移動機構１４と液体噴射ヘッド１６とキャリッジ１８とを具備する。

制御装置１０は、印刷装置１００の各要素を統括的に制御する。液体噴射ヘッド１６は、インクが充填された複数のインクカートリッジ３００とともにキャリッジ１８に搭載され、各インクカートリッジ３００から供給されるインクを制御装置１０による制御のもとで複数のノズルから印刷媒体２００に噴射する。搬送機構１２は、制御装置１０による制御のもとで印刷媒体２００をＹ方向（副走査方向）に搬送し、移動機構１４は、制御装置１０による制御のもとでキャリッジ１８をＸ方向（主走査方向）に往復させる。印刷媒体２００の搬送とキャリッジ１８の往復とに並行して液体噴射ヘッド１６が印刷媒体２００にインクを噴射することで印刷媒体２００に所望の画像が形成される。

図２は、液体噴射ヘッド１６の断面図（Ｙ方向に垂直な断面）である。図２に例示される通り、液体噴射ヘッド１６は、第１構造体２１と第２構造体２２と連通体２４とを含んで構成される。第１構造体２１は、複数のノズルからインクを噴射し、第２構造体２２は、各インクカートリッジ３００のインクを第１構造体２１に供給する。連通体２４は、ゴム等の弾性材料で形成され、第１構造体２１の内部の流路と第２構造体２２の内部の流路とを相互に連通させる。なお、第１構造体２１および第２構造体２２の内部に形成されるインクの流路の具体的な形態については図示を便宜的に省略した。

図２に例示される通り、第１構造体２１は、複数のヘッドユニット３０と複数の支持体３２と固定板３４とケース部材３６と制御基板３８とを具備する。図３は、印刷媒体２００側からみた第１構造体２１の平面図である。図３に例示される通り、複数のヘッドユニット３０の各々には２列に配列する複数のノズルＮが形成される。複数のノズルＮの配列がＹ方向に沿うように複数のヘッドユニット３０はＸ方向に沿って並列される。各ヘッドユニット３０は複数のノズルＮからインクを噴射し、各支持体３２はヘッドユニット３０を支持する。

図４は、任意の１組のヘッドユニット３０および支持体３２を拡大した断面図であり、図５は、図４に例示された各部材間の接合に利用される接着剤に着目した断面図である。図面の複雑化を抑制する観点から、図４では接着剤の図示が便宜的に省略され、図５では図４の各要素のハッチングが便宜的に省略されている。

図４に例示される通り、本実施形態のヘッドユニット３０は、流路形成板７０の一方の表面に圧力室形成板７２と振動板７４とを積層するとともに他方の表面にノズルプレート７６とコンプライアンス基板７８とを設置したヘッドチップである。なお、図４から理解される通り、１個のヘッドユニット３０には、ノズルＮの各配列に対応する構造が略線対称に形成されるから、以下ではノズルＮの１列分に便宜的に着目してヘッドユニット３０の構造を説明する。

ノズルプレート７６は、複数のノズルＮが２列に形成された平板材である。本実施形態のノズルプレート７６はシリコンで形成される。流路形成板７０とノズルプレート７６とは、図５の接着剤ＨA1で相互に接合される。

流路形成板７０は、インクの流路を構成する平板材である。本実施形態の流路形成板７０には、開口部７０２と複数の供給流路７０４と複数の連通流路７０６とが形成される。供給流路７０４および連通流路７０６はノズルＮ毎に形成され、開口部７０２は複数のノズルＮにわたり連続する。圧力室形成板７２は、相異なるノズルＮに対応する複数の開口部７２２が形成された平板材である。本実施形態の流路形成板７０および圧力室形成板７２は、シリコンで形成され、図５の接着剤ＨA2で相互に接合される。

図４のコンプライアンス基板７８は、流路内の圧力変動を抑制（吸収）する要素であり、封止板７８２と支持体７８４とを含んで構成される。封止板７８２は、可撓性を有するフィルム状（膜状）の部材であり、ポリフェニレンサルファイド（PPS：Polyphenylenesulfide）等の樹脂材料で形成される。支持体７８４は、例えばステンレス鋼（例えばＳＵＳ４０３やＳＵＳ４３０）等の金属で形成され、流路形成板７０の開口部７０２および各供給流路７０４が閉塞されるように封止板７８２を流路形成板７０に固定する。流路形成板７０と封止板７８２は、図５の接着剤ＨA3で相互に接合され、封止板７８２と支持体７８４は、図５の接着剤ＨA4で相互に接合される。

図４の圧力室形成板７２のうち流路形成板７０とは反対側の表面には振動板７４が設置される。振動板７４と圧力室形成板７２は、図５の接着剤ＨA5で相互に接合される。振動板７４は、弾性的に振動可能な平板状の部材であり、例えば酸化シリコン等の弾性材料で形成された弾性膜と、酸化ジルコニウム等の絶縁材料で形成された絶縁膜との積層で構成される。図４から理解される通り、振動板７４と流路形成板７０とは、圧力室形成板７２に形成された各開口部７２２の内側で相互に間隔をあけて対向する。各開口部７２２の内側で流路形成板７０と振動板７４とに挟まれた空間は、インクに圧力を付与する圧力室（キャビティ）Ｃとして機能する。

振動板７４のうち圧力室形成板７２とは反対側の表面には、相異なるノズルＮに対応する複数の圧電素子７４２が形成される。各圧電素子７４２は、相互に対向する電極間に圧電体を介在させた積層体である。駆動信号の供給により圧電素子７４２が振動板７４とともに振動することで、圧力室Ｃ内の圧力が変動して圧力室Ｃ内のインクがノズルＮから噴射される。

図４に例示される通り、流路形成板７０（ヘッドユニット３０）には支持体３２が固定される。支持体３２は、樹脂材料の成型（例えば射出成型）で一体に形成される。液体噴射ヘッド１６のうち支持体３２のように成型で形成される要素の材料としては、アクリル系樹脂、ＡＢＳ系樹脂、ポリエチレン等の樹脂材料（熱可塑性樹脂）が好適に利用される。流路形成板７０と支持体３２は、図５の接着剤ＨB1で相互に接合される。図４に例示される通り、本実施形態の支持体３２には液体流路３２２が形成される。図４から理解される通り、流路形成板７０の開口部７０２と支持体３２の液体流路３２２とを相互に連通させた空間が液体貯留室（リザーバー）Ｒとして機能する。流路形成板７０の各供給流路７０４は液体貯留室Ｒと圧力室Ｃとを連通し、流路形成板７０の各連通流路７０６は圧力室ＣとノズルＮとを連通する。以上の説明から理解される通り、液体貯留室Ｒに貯留されたインクは、複数の供給流路７０４に分岐して各圧力室Ｃに並列に供給され、各圧力室Ｃから連通流路７０６とノズルＮとを通過して外部に噴射される。すなわち、流路形成板７０と圧力室形成板７２とノズルプレート７６と振動板７４とコンプライアンス基板７８（封止板７８２）と支持体３２とはインクの流路を形成する。

図２の固定板３４は、例えば高剛性の金属（例えばＳＵＳ４０３やＳＵＳ４３０等のステンレス鋼）で形成された平板材であり、図３に例示される通り、複数の開口部３４２が形成される。複数のヘッドユニット３０の各々は、開口部３４２の内側にノズルプレート７６が位置する状態で固定板３４の表面に固定される。各ヘッドユニット３０と固定板３４との接合には図５の接着剤ＨA6が利用される。具体的には、固定板３４とコンプライアンス基板７８の支持体７８４とが接着剤ＨA6で相互に接合される。

図２のケース部材３６は、複数の支持体３２（ヘッドユニット３０）と制御基板３８とを支持するとともに各ヘッドユニット３０にインクを供給する流路を構成する。本実施形態のケース部材３６は、第１部材３６１と第２部材３６２とを含んで構成される。第１部材３６１は、基礎部３７０と保持部３７２と張出部３７４と側壁部３７６とを含む構造体であり、樹脂材料の成型（例えば射出成型）で一体に形成される。基礎部３７０と第２部材３６２とは、各ヘッドユニット３０の液体貯留室Ｒにインクを供給するための流路を構成する。保持部３７２は、基礎部３７０の周縁から第２構造体２２とは反対側（印刷媒体２００側）に突起した壁状の部位である。張出部３７４は、基礎部３７０の周縁から外側に張出した部位であり、側壁部３７６は、張出部３７４の周縁から第２構造体２２側に突起した壁状の部位である。

図６は、図２に例示された各部材間の接合に利用される接着剤に着目した断面図である。図２に図示された各要素のハッチングが図５では便宜的に省略されている。図２に例示される通り、複数の支持体３２（ヘッドユニット３０）は、保持部３７２で包囲された空間に配置されて基礎部３７０に固定される。各支持体３２と基礎部３７０は、図６の接着剤ＨB2で相互に接合される。また、保持部３７２の頂面は各ヘッドユニット３０とともに固定板３４の表面に固定される。具体的には、保持部３７２と固定板３４は、図６の接着剤ＨA7で相互に接合される。

図２の第２部材３６２は、各ヘッドユニット３０にインクを供給する流路を第１部材３６１（基礎部３７０）と協働して形成する要素であり、例えば樹脂材料の成型（例えば射出成型）で一体に形成される。第２部材３６２は第１部材３６１（基礎部３７０）に固定される。具体的には、第２部材３６２と基礎部３７０は、図６の接着剤ＨB3で相互に接合される。

図２の制御基板３８は、駆動信号や電源電位を各ヘッドユニット３０に供給する配線や駆動信号を生成する駆動回路が実装された配線基板である。各ヘッドユニット３０と制御基板３８とにわたる可撓性の配線基板（図示略）を介して駆動信号や電源電位が制御基板３８から各ヘッドユニット３０に供給される。

第１部材３６１の張出部３７４には基板支持部３７８が形成される。基板支持部３７８は、平面視で第２部材３６２を包囲する矩形枠状に形成された突起である。制御基板３８は、側壁部３７６で包囲された空間内に配置されて基板支持部３７８の頂面に固定される。具体的には、制御基板３８と基板支持部３７８とは、図６の接着剤ＨA8で相互に接合される。連通体２４の内部の流路は、制御基板３８に形成された貫通孔（図示略）を介してケース部材３６の内部の流路に連通する。

図２の第２構造体２２は、筐体５０とフィルター組立体６２とバルブ組立体６４とを含んで構成される。筐体５０は、第１筐体部５１と第２筐体部５２とシール部材５４とで構成される中空のケースである。第１筐体部５１と第２筐体部５２は、両者間にシール部材５４を挟んだ状態で相互に接合されることで内部に空間Ｖを形成する。筐体５０の内部の空間Ｖにフィルター組立体６２およびバルブ組立体６４が収容および支持される。

第１筐体部５１は、平面部５１２と側面部５１４とを含む形状の構造体であり、例えば樹脂材料の成型で一体に形成される。平面部５１２は、略矩形の平板状の部位である。側面部５１４は、平面部５１２の表面から第２筐体部５２側に突起した壁状の部分であり、平面視で略矩形枠状に形成される。他方、第２筐体部５２は、平面部５２２と側面部５２４とを含む形状の構造体であり、第１筐体部５１と同様に、樹脂材料の成型で一体に形成される。平面部５２２は略矩形の平板状の部位であり、側面部５２４は、平面部５２２の表面から第１筐体部５１側に突起した矩形枠状の部分である。

第１筐体部５１の側面部５１４と第２筐体部５２の側面部５２４との間にシール部材５４を介在させた状態で第１筐体部５１と第２筐体部５２とは複数のネジＳ1で固定される。また、第１構造体２１のケース部材３６（側壁部３７６）と第２構造体２２の第１筐体部５１（平面部５１２）とは複数のネジＳ2を利用して相互に固定される。第１構造体２１と第２構造体２２とが相互に固定されると、連通体２４は、ケース部材３６と第１筐体部５１とにより両側から押圧された状態で両者間に保持される。

フィルター組立体６２は、複数の流路部材６３（６３１，６３２）を含んで構成され、第１筐体部５１の平面部５１２に固定される。各流路部材６３は例えば樹脂材料で成型される。インクカートリッジ３００から各ヘッドユニット３０に供給されるインクを通過させて気泡や異物を除去するフィルター（図示略）が流路部材６３１と流路部材６３２との間に保持され、フィルターの上流側および下流側の流路が各流路部材６３の接合で構成される。流路部材６３１と流路部材６３２は、図６の接着剤ＨB4で相互に接合され、フィルター組立体６２（流路部材６３１）と第１筐体部５１の平面部５１２は、図６の接着剤ＨB5で相互に接合される。

図２のバルブ組立体６４は、複数の流路部材６５（６５１〜６５４）の積層で構成される。各流路部材６５は例えば樹脂材料で成型される。本実施形態のバルブ組立体６４には、インクカートリッジ３００から供給されるインクの圧力を制御する調整弁（例えば自己封止弁や背圧制御弁）と、調整弁の上流側および下流側の流路とが内部に形成される。バルブ組立体６４の各流路部材６５は図６の接着剤ＨB6〜ＨB8で相互に接合される。バルブ組立体６４が第２筐体部５２の平面部５２２とフィルター組立体６２との間に保持されるように、第１筐体部５１と第２筐体部５２とがシール部材５４を介して複数のネジＳ1で相互に固定される。

本実施形態では、液体噴射ヘッド１６を構成する各部材の接合に軟質（軟性）および硬質（硬性）の２種類の接着剤が利用される。軟質の接着剤は、硬化後（乾燥後）の硬度が硬質の接着剤を下回る特性の接着剤であり、外部からの応力に応じて弾性的に変形し得る。具体的には、軟質の接着剤の好適例はシリコン系の接着剤であり、硬質の接着剤の好適例はエポキシ系の接着剤である。軟質の接着剤は、硬質の接着剤と比較して透湿性が高い（すなわち接着剤を介して水分が蒸発し易い）という傾向がある。図５および図６に例示される通り、本実施形態では、接着剤ＨA（ＨA1〜ＨA8）が硬質の接着剤であり、接着剤ＨB（ＨB1〜ＨB8）が軟質の接着剤である。硬質および軟質の接着剤の利用の条件について以下に詳述する。

第１に、接合対象の２個の部材の双方が、樹脂材料以外の材料（例えば金属またはシリコン）で形成された部材である場合には、両部材間における流路の有無に関わらず、両部材の接合に硬質の接着剤が利用される。例えば、本実施形態では、流路形成板７０とノズルプレート７６と圧力室形成板７２はシリコン（非樹脂材料）で形成されるから、流路形成板７０とノズルプレート７６とを接合する接着剤ＨA1や、流路形成板７０と圧力室形成板７２とを接合する接着剤ＨA2は、硬質の接着剤である。同様に、振動板７４と圧力室形成板７２とを接合する接着剤ＨA5も硬質の接着剤である。また、コンプライアンス基板７８の支持体７８４と固定板３４とはステンレス鋼等の金属で形成されるから、支持体７８４と固定板３４とを接合する接着剤ＨA6は硬質の接着剤である。

第２に、接合対象の２個の部材が、樹脂材料以外の材料で形成された部材と樹脂材料（例えばポリフェニレンサルファイド）で形成されたフィルム状の部材とである場合には、両部材の接合に硬質の接着剤が利用される。具体的には、コンプライアンス基板７８のうち樹脂材料でフィルム状に形成された封止板７８２とシリコンの流路形成板７０とを接合する接着剤ＨA3や、封止板７８２と支持体７８４とを接合する接着剤ＨA4は、硬質の接着剤である。

第３に、接合対象の２個の部材の少なくとも一方が、樹脂材料の成型（例えば射出成型）で形成される場合には、当該各部材がインクの流路を構成するか否かに応じて接着剤の硬質／軟質が区別される。具体的には、樹脂材料で成型された部材を含む２個の部材がインクの流路を構成しない場合には、両部材の接合に硬質の接着剤が利用される。例えば、図２の固定板３４に接合されるケース部材３６の第１部材３６１は樹脂材料で成型されるが、固定板３４と第１部材３６１との接合で流路は構成されないから、固定板３４とケース部材３６の第１部材３６１（保持部３７２）とを接合する接着剤ＨA7は硬質である。また、制御基板３８に接合される第１部材３６１（基板支持部３７８）は樹脂材料で成型されるが、第１部材３６１と制御基板３８との接合で流路は構成されないから、第１部材３６１と制御基板３８とを接合する接着剤ＨA8は硬質である。

他方、樹脂材料で成型された部材を含む２個の部材がインクの流路を構成する場合には、両部材の接合に軟質の接着剤が利用される。例えば、流路形成板７０に接合される支持体３２は樹脂材料で成型され、かつ、流路形成板７０と支持体３２との接合で流路（液体貯留室Ｒ）が形成されるから、流路形成板７０と支持体３２とを接合する接着剤ＨB1は軟質である。各支持体３２とケース部材３６の第１部材３６１（基礎部３７０）とを接合する接着剤ＨB2や、第１部材３６１と第２部材３６２とを接合する接着剤ＨB3も同様に軟質の接着剤である。

同様に、フィルター組立体６２の流路部材６３１および流路部材６３２は樹脂材料で成型され、かつ、両部材の接合でフィルターの上流側および下流側の流路が構成されるから、流路部材６３１と流路部材６３２とを接合する接着剤ＨB4は軟質である。同様に、流路部材６３２および第１筐体部５１（平面部５１２）は樹脂材料で成型され、かつ、フィルター組立体６２から連通体２４に至る流路が両部材の接合で構成されるから、流路部材６３２と第１筐体部５１とを接合する接着剤ＨB5は軟質である。また、バルブ組立体６４の各流路部材６５は樹脂材料で成型され、かつ、各部材の接合で調整弁の上流側および下流側の流路が構成されるから、各流路部材６５を接合する接着剤ＨB6〜ＨB8は軟質である。

以上に説明した通り、本実施形態では、樹脂材料以外の材料（例えば金属やシリコン）で形成された部材または樹脂材料で形成されたフィルム状の部材である２個の部材は、両部材の接合で流路が構成されるか否かに関わらず、透湿性が相対的に低い硬質の接着剤ＨA（ＨA1〜ＨA6）で相互に接合される。また、接合対象の２個の部材の片方または双方が樹脂材料で成型される場合でも、両部材間で流路が構成されない場合には、硬質の接着剤ＨA（ＨA7，ＨA8）が利用される。したがって、接着剤ＨAを介した水分の蒸発を抑制することが可能である。他方、接合対象の２個の部材の片方または双方が樹脂材料で成型され、かつ、両部材間で流路が構成される場合には、両部材の接合に軟質の接着剤ＨB（ＨB1〜ＨB8）が利用される。したがって、樹脂材料で成型された部材の変形（例えば熱変形）に起因した接着剤ＨBの剥離等の接合不良を防止することが可能である。以上の説明から理解される通り、本実施形態では、硬質の接着剤ＨAと軟質の接着剤ＨBとが適宜に使い分けられるから、硬質および軟質の一方の接着剤のみを利用する構成と比較して、水分蒸発の抑制と接着剤の剥離等の接合不良の防止とが両立されるという利点がある。

ところで、軟質の接着剤ＨBは硬質の接着剤ＨAと比較して透湿性が高い。したがって、フィルター組立体６２の流路部材６３１と流路部材６３２との間の接着剤ＨB4を介してフィルター組立体６２の内部の水分が蒸発する可能性や、バルブ組立体６４の各流路部材６５の間の接着剤ＨB6〜ＨB8を介してバルブ組立体６４の内部の水分が蒸発する可能性がある。しかし、本実施形態では、軟質の接着剤ＨBを利用して接合された要素（フィルター組立体６２およびバルブ組立体６４）が存在する空間Ｖが筐体５０により閉鎖される。したがって、各部材の接合に軟質の接着剤ＨBを利用した構成にも関わらず、フィルター組立体６２やバルブ組立体６４からの水分の蒸発は有効に抑制される。

＜変形例＞
前述の形態は多様に変形され得る。具体的な変形の態様を以下に例示する。以下の例示から任意に選択された２以上の態様は、相互に矛盾しない範囲で適宜に併合され得る。

（１）前述の形態では、フィルター組立体６２とバルブ組立体６４との双方を筐体５０に収容したが、フィルター組立体６２およびバルブ組立体６４の一方を省略する（または筐体５０の外側に設置する）ことも可能である。

（２）前述の各形態では、液体噴射ヘッド１６の各部材を接着剤で接着したが、接着剤による接着に加えて他の方法で各部材を接合することも可能である。例えば、フィルター組立体６２の各流路部材６３やバルブ組立体６４の各流路部材６５を、接着剤により接着するとともにネジやカシメ等の接合手段で接合することも可能である。

（３）液体噴射ヘッド１６がインクを噴射する方式は、圧電素子７４２を利用した前述の方式（ピエゾ方式）に限定されない。例えば、加熱により圧力室Ｃ内に気泡を発生させて圧力室Ｃ内の圧力を変化させる発熱素子を利用した方式（サーマル方式）の液体噴射ヘッド１６にも本発明は適用され得る。また、前述の形態では、液体噴射ヘッド１６をキャリッジ１８に搭載して往復させるシリアル型の印刷装置１００を例示したが、印刷媒体２００の幅方向（Ｙ方向）に複数の液体噴射ヘッド１６を配列したライン型の印刷装置にも本発明は適用される。

（４）前述の各形態で例示した印刷装置１００は、印刷に専用される機器のほか、ファクシミリ装置やコピー機等の各種の機器にも採用され得る。もっとも、本発明の液体噴射装置の用途は印刷に限定されない。例えば、色材の溶液を噴射する液体噴射装置は、液晶表示装置のカラーフィルターを形成する製造装置として利用される。また、導電材料の溶液を噴射する液体噴射装置は、配線基板の配線や電極を形成する製造装置として利用される。

１００……印刷装置（液体噴射装置）、２００……印刷媒体、３００……インクカートリッジ、１０……制御装置、１２……搬送機構、１４……移動機構、１６……液体噴射ヘッド、１８……キャリッジ、２１……第１構造体、２２……第２構造体、２４……連通体、３０……ヘッドユニット、３２……支持体、３４……固定板、３６……ケース部材、３８……制御基板、５０……筐体、５１……第１筐体部、５２……第２筐体部、５４……シール部材、６２……フィルター組立体、６３１，６３２……流路部材、６４……バルブ組立体、６５（６５１〜６５４）……流路部材、７０……流路形成板、７２……圧力室形成板、７４……振動板、７６……ノズルプレート、７８……コンプライアンス基板、７８２……封止板、７８４……支持体、Ｓ1，Ｓ2……ネジ、Ｎ……ノズル、ＨA（ＨA1〜ＨA8）……硬質の接着剤、ＨB（ＨB1〜ＨB8）……軟質の接着剤。

Claims (5)

1. 相互に接合された複数の部材を具備し、流路内の液体をノズルから噴射する液体噴射ヘッドであって、
   前記複数の部材のうち、樹脂材料以外の材料で形成された部材または樹脂材料で形成されたフィルム状の部材である２個の部材は、第１接着剤で相互に接合され、
   前記複数の部材のうち、少なくとも一方が樹脂材料で成型されて両部材間で前記流路を構成する２個の部材は、前記第１接着剤と比較して軟質の第２接着剤で相互に接合される一方、少なくとも一方が樹脂材料で成型されて両部材間で前記流路を構成しない２個の部材は、前記第１接着剤で相互に接合され、
   前記第２接着剤で相互に接合された２個の部材が配置された空間を閉鎖する構造体
   を具備する液体噴射ヘッド。
2. 前記樹脂材料以外の材料は、金属またはシリコンであり、前記フィルム状の部材は、ポリフェニレンサルファイドで形成される
   請求項１の液体噴射ヘッド。
3. 前記第２接着剤は、前記第１接着剤と比較して透湿性が高い
   請求項１または請求項２の液体噴射ヘッド。
4. 前記第１接着剤は、エポキシ系の接着剤であり、前記第２接着剤は、シリコン系の接着剤である
   請求項１から請求項３の何れかの液体噴射ヘッド。
5. 請求項１から請求項４の何れかの液体噴射ヘッドを具備する液体噴射装置。

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