JP6852353B2 - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置 - Google Patents

Description

本発明は液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置に関する。

液体吐出ヘッドとして、例えば、複数の圧力発生素子が配列されたアクチュエータ基板上に、圧力発生素子を覆う保持基板（保護基板とも称される。）を接合し、保持基板には個別液室に液体を供給する共通液室を形成する共通液室部材を接着剤で接合したものがある。

従来、液体噴射ヘッドと基部材とを接合材で接合し、接合材の周囲をシール材でシールして外気から遮断したものがある（特許文献１）。

また、接合体とノズル支持プレートを弾性接着剤で接合し、弾性接着剤で接合された接合領域から外部まで連通する当該ノズル支持プレートと当接する他の部材との隙間の少なくとも外部側を弾性接着剤よりも外部雰囲気中のガス成分及び湿度と低反応性を有する保護層により封止するものがある（特許文献２）。

特開２００５−９６３６６号公報 特開２００３−３２６７０８号公報

ところで、これらの文献に記載されているシール材や保護層は外部のガス成分や湿度から接着部を保護するものであり、内部に設けられた水分等に弱い接合材や弾性接着剤にガスや湿度が到達しない構成となっている。

一方で、液体噴射ヘッドにおいては、液体の流れる流路や液室部分に面して接着を行う必要があり、このような部位の接合には水分や溶剤に強い接着剤が必要となるため、特許文献１、２に記載されるような接着剤は使用できない。

それだけではなく、水分や溶剤に強い接着剤であったとしても、透気性の高い接着剤を用いた場合には、液室から接着剤を通して水分が揮発することで、液室内の液体が増粘し、吐出特性の変動や吐出不良を生じやすくなるという課題が生じるため、用いることのできる接着剤は著しく制限される。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、液体の流れる部位に透気性を有する接着剤を用いても、安定した吐出特性を維持し、吐出不良を起こしにくくすることを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体を吐出するノズルが設けられたノズル板と、
前記ノズルに通じる個別液室を少なくとも有する流路部材と、
前記個別液室に前記液体を供給する共通液室を有する共通液室部材と、を備え、
前記ノズル板、前記流路部材、前記共通液室部材のうちのいずれか２部品は、前記液体の流れる流路に面した接着剤で接合され、
前記接着剤の前記流路とは反対側に、前記接着剤の周りを取り囲んで封止部材が設けられ、
前記封止部材の少なくとも一部は、前記ノズル板と前記共通液室部材に接している
構成とした。

本発明によれば、液体の流れる部位に透気性を有する接着剤を用いても、安定した吐出特性を維持し、吐出不良を起こしにくくすることができる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の斜視説明図である。 同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う要部断面説明図である。 図２の要部拡大断面説明図である。 同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。 本発明の第１実施形態における接着剤による接合領域及び封止部材による封止領域の概要についての説明に供する平面説明図である。 共通液室部材としてのフレーム部材の平面説明図である。 図６のＡ−Ａ線に沿う斜視断面説明図である。 図６のＢ−Ｂ線に沿う斜視断面説明図である。 図６のＣ−Ｃ線に沿う斜視断面説明図である。 図９の要部拡大斜視説明図である。 図６のＡ１−Ａ１線に沿う断面におけるリブ部分の説明図である。 図６のＢ１−Ｂ１線に沿うリブ部分の断面説明図である。 図６のＣ１−Ｃ１線に沿うリブ部分の断面説明図である。 アクチュエータ基板及び保持基板と配線部材の接続部分の説明に供する斜視説明図である。 同じくフレーム部材に取付けるときの斜視説明図である。 フレーム部材の接着剤の塗布領域及び封止剤の塗布領域の説明に供するフレーム部材及び構造体の接合面側平面説明図である。 図１５のＡ１−Ａ１線に沿う断面におけるリブ部分の説明図である。 図１５のＢ１−Ｂ１線に沿うリブ部分の断面説明図である。 図１５のＣ１−Ｃ１線に沿うリブ部分の断面説明図である。 フレーム部材と構造体とを接合した状態におけるフレーム部材の共通液室周りの接合部分の断面説明図である。 同じく図１６に相当するリブ部分の断面説明図である。 同じく図１７に相当するリブ部分の断面説明図である。 同じく図１８に相当するリブ部分の断面説明図である。 本発明の第２実施形態におけるフレーム部材の接着剤の塗布領域及び封止剤の塗布領域の説明に供する平面説明図である。 本発明の第３実施形態におけるフレーム部材の平面説明図である。 同実施形態に係るヘッドをダンパ部材側から見た平面図である。 図２４のＣ−Ｃ線に相当する同ヘッドの断面説明図である。 本発明の第４実施形態における接着剤による接合領域及び封止部材による封止領域の概要の説明に供する平面説明図である。 同実施形態を適用したフレーム部材７０の接着剤８１の塗布領域及び封止剤８２の塗布領域並びに封止剤３００の充填領域の説明に供するフレーム部材及び構造体の接合面側平面説明図である。 同実施形態におけるフレーム部材と構造体を接合した状態でノズル板側から見た斜視説明図である。 同じく図２９の面Ｓ１における開口部分の破断面説明図である。 同じくフレーム部材と構造体を接合した状態でフレーム部材側から見た斜視説明図である。 同じくフレーム部材側から見た平面説明図である。 同じく図３２のＤ−Ｄ線に相当する開口部分の拡大断面説明図である。 本発明の第５実施形態に係るヘッドの長手方向に沿う一部破断断面説明図である。 図３４のＥ−Ｅ線に相当する平断面説明図である。 図３５のＦ−Ｆ線に相当する同ヘッドの開口部部分の拡大断面説明図である。 同ヘッドの分解斜視説明図である。 同ヘッドのフレーム部材の組み立て手順の説明に供する斜視説明図である。 本発明の第６実施形態に係るヘッドのフレーム部材の開口部部分の拡大断面説明図である。 本発明の第８実施形態に係るヘッドの要部断面説明図である。 本発明に係る液体を吐出する装置の一例の要部平面説明図である。 同装置の要部側面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの他の例の要部平面説明図である。 本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例の正面説明図である。

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。本発明に係る液体吐出ヘッドの一例の全体構成について図１ないし図４を参照して説明する。図１は同液体吐出ヘッドの分解斜視説明図、図２は同じくノズル配列方向と直交する方向に沿う断面説明図、図３は図２の要部拡大断面説明図、図４は同じくノズル配列方向に沿う要部断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、ノズル板１と、流路板２と、壁面部材である振動板３と、圧力発生素子である圧電素子１１と、保持基板５０と、ＦＰＣなどの配線部材６０と、共通液室部材を兼ねるフレーム部材７０とを備えている。

ここで、流路板２、振動板３及び圧電素子１１で構成される部分を、本発明における「アクチュエータ基板２０」とする。ただし、アクチュエータ基板２０として独立の部材が形成された後にノズル板１や保持基板５０と接合されることまで意味するものではない。また、流路板２、振動板３及び保持基板５０を併せて「流路部材」とする。

ノズル板１には、液体を吐出する複数のノズル４が形成されている。ここでは、ノズル４を配列したノズル列を４列配置した構成としている。

流路板２は、ノズル板１及び振動板３とともに、ノズル４が通じる個別液室６、個別液室６に通じる流体抵抗部７、流体抵抗部７が通じる液導入部（通路）８を形成している。

この液導入部８は振動板３の通路（供給口）９と保持基板５０の流路となる開口部５１を介してフレーム部材７０で形成される共通液室１０に通じている。

振動板３は、個別液室６の壁面の一部を形成する変形可能な振動領域３０を形成している。そして、この振動板３の振動領域３０の個別液室６と反対側の面には、振動領域３０と一体的に圧電素子１１が設けられ、振動領域３０と圧電素子１１によって圧電アクチュエータ構成している。

圧電素子１１は、振動領域３０側から下部電極１３、圧電層（圧電体）１２及び上部電極１４を順次積層形成して構成している。この圧電素子１１上には絶縁膜２１が形成されている。

複数の圧電素子１１の共通電極となる下部電極１３は、共通配線１５を介して共通電極電源配線パターン５０８に接続されている。なお、下部電極１３は、図４に示すように、ノズル配列方向ですべての圧電素子１１に跨って形成される１つの電極層である。

また、圧電素子１１の個別電極となる上部電極１４は、個別配線１６を介して駆動回路部である駆動ＩＣ（以下、「ドライバＩＣ」という。）５００に接続されている。個別配線１６などは絶縁膜２２にて被覆されている。

ドライバＩＣ５００は、圧電素子列の列間の領域を覆うようにアクチュエータ基板２０にフリップチップボンディングなどの工法により実装されている。

アクチュエータ基板２０に搭載されたドライバＩＣ５００は、駆動波形（駆動信号）が供給される個別電極電源配線パターン５０９と接続されている。

配線部材６０に設けられた配線が、ドライバＩＣ５００と電気的に接続されており、配線部材６０の他端側は装置本体側の制御部に接続される。

そして、アクチュエータ基板２０の振動板３側には、アクチュエータ基板２０上の圧電素子１１を覆っている保持基板５０が接着剤で接合されている。

保持基板５０は、共通液室１０と個別液室６側を通じる、ノズル配列方向に亘って延びるスリット状の貫通穴である開口部５１が形成されている。また、保持基板５０には、圧電素子１１を収容する凹部５２と、ドライバＩＣ５００を収容する開口部５３が設けられている。なお、開口部５１は、１又は複数の個別液室に対応して複数設ける構成でもよい。

この保持基板５０は、アクチュエータ基板２０と共通液室部材であるフレーム部材７０との間に介在し、共通液室１０の壁面の一部を形成している。

フレーム部材７０は、各個別液室６に液体を供給する共通液室１０が形成された共通液室部材である。なお、共通液室１０は４つのノズル列に対応してそれぞれ設けられる。また、外部からの液体供給口７１（図１）を介して共通液室１０に所要の色の液体が供給される。

フレーム部材７０には、ダンパ部材９０が接合されている。ダンパ部材９０は、共通液室１０の一部の壁面を形成する変形可能なダンパ９１と、ダンパ９１を補強するダンパプレート９２とを有している。

フレーム部材７０はノズル板１の外周部及び保持基板５０と接着剤で接合され、アクチュエータ基板２０及び保持基板５０を収容して、このヘッドのフレームを構成している。

そして、ノズル板１の周縁部及びフレーム部材７０の外周面の一部を覆うノズルカバー部材４５を設けている。

この液体吐出ヘッドにおいては、ドライバＩＣ５００から圧電素子１１の上部電極１４と下部電極１３の間に電圧を与えることで、圧電層１２が電極積層方向、すなわち電界方向に伸張し、振動領域３０と平行な方向に収縮する。これにより、振動領域３０の下部電極１３側に引っ張り応力が発生し、振動領域３０が個別液室６側に撓み、内部の液体を加圧することで、ノズル４から液体が吐出される。

次に、本発明の第１実施形態における接着剤による接合領域及び封止部材による封止領域の概要について図５を参照して説明する。図５は同説明に供する平面説明図である。なお、図示を簡略化するために共通液室を２つにして説明している。

図５（ａ）はフレーム部材７０に塗布される接着剤である接着剤８１の領域（接合領域となる。）と、封止部材８０の領域（封止領域となる。）とを示している。図５（ｂ）は保持基板５０における接着剤８１による接合領域８１ａと、封止部材８０による封止領域８０ａ１を示している。図５（ｃ）はノズル板１における封止部材８０による封止領域８０ａ１を示している。

本実施形態では、図５（ａ）に示すように、２つの共通液室１０の周囲を囲むようにフレーム部材７０に接着剤８１が塗布されて、図５（ｂ）に示すように、保持基板５０の接合領域８１ａと接合される。

また、フレーム部材７０には接着剤８１で囲まれた領域を含めて接着剤８１の周りを取り囲んで封止部材８０が配置される。そして、図５（ｃ）に示すように、フレーム部材７０の接着剤８１の周りの三辺はノズル板１の領域８０ａ１との間に封止部材８０が配置され、フレーム部材７０の接着剤８１の周りの残りの一辺は保持基板５０側の領域８０ａ２との間に封止部材８０が配置される。

これにより、平面視において、共通液室１０に臨む接着剤８１の周りを取り囲んで封止部材８０が設けられる。つまり、フレーム部材７０（共通液室部材）は、流路部材を構成する保持基板５０と液体の流れる流路（開口部５１を含む共通液室１０）に面した接着剤８１で接合され、接着剤８１の流路とは反対側に、接着剤８１の周りを取り囲んで封止部材８０が設けられている。

ここでは、封止部材８０は、平面視において、接着剤８１で囲まれた領域を含めて接着剤８１の周りを取り囲んで設けられる。なお、平面視とは、ヘッドのノズル板１の上方からノズル板１、アクチュエータ基板２０、保持基板５０を透過して視たとき状態の意味である。

このように、共通液室１０に臨む接着剤８１の周りを取り囲んでいる封止部材８０を設けることで、接着剤８１として透気性を有する接着剤を用いたとしても、接着剤８１を通しての水分の蒸発が抑制されて、液体の増粘を抑えることができ、安定した吐出性能を維持し、吐出不良を起こしにくくすることができる。さらに、接着剤８１としての材料選定の自由度を広く設定できる。

具体的に説明すると、一般的な液体吐出ヘッドにおいては、流路が形成される部分の接合には一般的に耐水性、耐溶剤性に優れ、透気性も低い接着剤が選定されて使用される。

しかし、アクチュエータ基板に接合した保持基板（流路部材の一部を構成）に共通液室部材を接合した図２のような構成にあっては、アクチュエータ基板の圧力発生素子を駆動したときに、保持基板が振動して共通液室に振動が伝搬し、吐出特性が不安定となることがある。

これを、防ぐためには保持基板と共通液室部材とを弾性を有する接着剤で接合して振動を吸収することが有効であるが、このような接着剤は分子構造上、透気性が高いものが多く、流路を通る液体から接着剤を通して水分が揮発し流路内の液体の増粘が引き起こされる、吐出不良の原因となる。

そこで、本実施形態では共通液室１０に臨む接着剤８１の周りを取り囲むようにしている。これにより、封止部材８０の内側であって封止部材８０と接着剤８１との間の領域の湿度が高くなり、流路内の液体の水分の揮発を抑制している。

封止部材８０の内側の湿度は環境温度における飽和水蒸気圧に達していることが好ましい。

これにより、接着剤８１として弾性接着剤を使用して共通液室部材（フレーム部材７０）と保持基板５０とを接合することが可能になり、保持基板５０の振動が吸収減衰することで、保持基板５０が振動して共通液室部材（フレーム部材７０）に振動が伝搬し、吐出特性が不安定になることを低減できる。

この場合、面直方向において、封止部材８０は、ノズル板１との間及び保持基板５０との間に設けられることで、詳細は後述するが、少なくとも一部は他の部分と高さが異なる位置に配置されることになり、立体的な封止が行われている。なお、面直方向とはヘッドの面直方向であり、ここでは、ノズル板、アクチュエータ基板、保持基板、共通液室部材の積層方向と同じである。

また、上記の説明では２つの共通液室１０の周囲のそれぞれ接着剤８１が配置されていることで、接着剤８１で囲まれる領域が複数箇所あり、封止部材８０は、複数箇所の接着剤８１の周りを一括して取り囲んで配置されている。

まず、共通液室部材としてのフレーム部材について図６ないし図１２を参照して説明する。図６は同フレーム部材の平面説明図、図７は図６のＡ−Ａ線に沿う斜視断面説明図、図８は図６のＢ−Ｂ線に沿う斜視断面説明図、図９Ａは図６のＣ−Ｃ線に沿う斜視断面説明図、図９Ｂは図９Ａの要部拡大斜視説明図である。図１０は図６のＡ１−Ａ１線に沿う断面におけるリブ部分の説明図、図１１は図６のＢ１−Ｂ１線に沿うリブ部分の断面説明図、図１２は図６のＣ１−Ｃ１線に沿うリブ部分の断面説明図である。なお、フレーム部材にダンパ部材を接合した状態で示している。

なお、本実施形態においては、封止部材として、封止剤（例えばエポキシ系接着剤）を使用した例で説明する。

共通液室部材であるフレーム部材７０には、図１０にも示すように、共通液室１０の周囲に、保持基板５０との接合面を形成する第１リブであるリブ１７２が設けられている。この場合、隣り合う共通液室１０の周囲の間には、リブ１７２、１７２間に段差部１７６が形成される。リブ１７２上には複数の凸形状部１７７が形成されている。

フレーム部材７０には、図１０にも示すように、すべての共通液室１０の三方を囲んでノズル板１との接合面を形成する第２リブであるリブ１７０を設けている。ここでは、リブ１７０はフレーム部材７０とノズル板１との間に封止剤が介在するリブとなる。このリブ１７０は共通液室１０の長手方向に沿う一対の辺、及び短手方向に沿う一対の辺の内一方の辺を囲むように設けられている。また、フレーム部材７０の長手方向端部には配線部材６０が通される開口部７６を有している。

ここで、面直方向（ノズル板１、保持基板５０、フレーム部材（共通液室部材）７０の積層方向）において、保持基板５０との接合面を形成する第１リブであるリブ１７２とノズル板１との接合面を形成する第２リブであるリブ１７０とは高さが異なる。つまり、第２リブであるリブ１７０は第１リブであるリブ１７２よりも高くしている。

そして、図１１及び図１２にも示すように、共通液室１０と開口部７６との間には、リブ１７１ａ、１７１ｂで三方が囲まれている凹部からなる封止剤塗布溝１７３が設けられている。リブ１７１ｂは、封止剤塗布溝１７３のノズル配列方向と直交する方向の端部に設けられ、図１１にも示すように、リブ１７０の接合面との間では段差部となる。

また、図１２に示すように、封止剤塗布溝１７３とリブ１７２間には封止剤逃げ溝１７４が設けられている。

次に、アクチュエータ基板及び保持基板と配線部材の接続部分について図１３及び図１４を参照して説明する。図１３は同説明に供する斜視説明図、図１４はフレーム部材に接合するときの斜視説明図である。

なお、以下の説明では、アクチュエータ基板２０及び保持基板５０を併せた部分を「アクチュエータユニット２０１」と称するが、１つの部材としてユニット化されて取り扱われることを要するものではない。また、アクチュエータユニット２０１、ノズル板１及び配線部材６０を併せた部分を「構造体２００」と称する。

アクチュエータユニット２０１の長手方向（ノズル配列方向）の一端部には配線部材６０が取付けられ、取り付け部分は中間部材である樹脂部材６１がモールドされている。具体的には、保持基板５０の長手方向の一端部に配線部材６０が取付けられ、中間部材である樹脂部材６１がモールドされている。なお、中間部材とは、共通液室部材であるフレーム部材７０と保持基板５０との間に位置する部材との意味である。

そして、配線部材６０を接続した構造体２００をフレーム部材７０に取付けるとき、樹脂部材６１をフレーム部材７０の封止剤塗布溝１７３内にはめ込む。

次に、フレーム部材の接着剤の塗布領域及び封止剤の塗布領域について図１５ないし図１８を参照して説明する。図１５は同説明に供するフレーム部材及び構造体の接合面側平面説明図である。図１６は図１５のＡ１−Ａ１線に沿う断面におけるリブ部分の説明図、図１７は図１５のＢ１−Ｂ１線に沿うリブ部分の断面説明図、図１８は図１５のＣ１−Ｃ１線に沿うリブ部分の断面説明図である。

フレーム部材７０の各共通液室１０の周囲に形成されたリブ１７２の保持基板５０の接合面に接着剤８１が塗布されている。このとき、１つの共通液室１０については、その周囲を接着剤８１が途切れなく、無端状態で取り囲んでいる。

なお、接着剤は、硬化後にゴム状体となる接着剤であり、シリコーン系接着剤を用いることができる。また、ウレタン系、バイオマス資源を用いたものなども使用できる。より振動を効果的に吸収できる接着剤としては、率が数十ＭＰａ以下のものが好ましい。

フレーム部材７０のリブ１７０のノズル板１との接合面には封止剤８２が塗布される。封止剤８２は、平面視において、Ｕ字状（又はコ字状）に塗布されて、接着剤８１が塗布された領域の外側を囲むように設けられる。この場合、封止剤８２は、接着剤８１で囲まれる４つの領域を一括して取り囲むように設けられる。

フレーム部材７０の樹脂部材６１がはまり込む封止剤塗布溝１７３及びリブ１７１ｂには封止剤８２が塗布されている。

これらの封止剤塗布溝１７３及びリブ１７１ｂに塗布された封止剤８２と、フレーム部材７０のリブ１７０にＵ字状（又はコ字状）に塗布された封止剤８２とにより、平面視において、途切れのない無端状態で、接着剤８１で囲まれた領域を含めて接着剤８１の外側で接着剤８１を取り囲んでいる。

封止剤８２としては、前述のエポキシ系接着剤のように、率が高く、透気しにくいものが好ましい。率は数ＧＰａ以上が好ましい。封止剤８２は、接着剤８１として加熱硬化型を使用するときには、接着剤８１と同時に硬化できるものが好ましい。

また、封止剤８２には、接着剤８１の透気度が１００〜１０００ｃｃ／ｍ^２・２４ｈ（素材１ｍ^２あたり２４時間に何ｃｃの水分が透過するかを示す単位）である場合、透気度が０〜１０ｃｃ／ｍ^２・２４ｈの材料を用いることができる。

次に、フレーム部材と構造体とを接合した状態について図１９ないし図２２を参照して説明する。図１９はフレーム部材と構造体とを接合した状態におけるフレーム部材の共通液室周りの接合部分の断面説明図である。図２０は同じく図１６に相当するリブ部分の断面説明図、図２１は同じく図１７に相当するリブ部分の断面説明図、図２２は同じく図１８に相当するリブ部分の断面説明図である。

上述したようにフレーム部材７０に接着剤８１及び封止剤８２を塗布して、構造体２００をフレーム部材７０に接合し、例えば加熱して硬化させることで、図１９ないし図２２に示すように、各部が接着剤８１又は封止剤８２で接合される。

ここで、図１９に示すように、フレーム部材７０と保持基板５０とを接合する共通液室周りの接着剤８１は共通液室１０に一部が臨んでいる。

これにより、開口部５１を伝搬する圧力波を減衰（ダンピング）することができる。

ここで、本実施形態に係るヘッドでは、共通液室部材であるフレーム部材７０に、アクチュエータユニット２０１（アクチュエータ基板２０及び保持基板５０）が収容される収容空間７７（図６、図１４、図２０参照）を構成するリブ１７０を設けている。

フレーム部材７０にアクチュエータユニット２０１が接合された状態で、保持基板５０の長手方向の一端に設けた配線部材６０をフレーム部材７０の開口部７６から引き出すために、収容空間７７の配線部材６０を引きだす側には収容空間７７を構成するリブ１７０を設けない構造としている（図９Ａ参照）。

そのため、封止剤８２が塗布される領域（リブ１７０、リブ１７１ｂ、接着剤塗布溝１７３）には、面直方向において段差が生じることになる（図９Ａ、図１５参照）。

そして、リブ１７０及びリブ１７１ｂが封止剤８２でノズル板１と接合され、接着剤塗布溝１７３と配線部材６０をモールドしている樹脂部材６１とが封止剤８２で接合される（図２１、図２２参照）。

このようにして、平面視において、接着剤８１で囲まれる領域を含めて接着剤８１の周りを取り囲んで封止剤８２が設けられるので、接着剤８１の透気性による液体の増粘を抑えることができ、接着剤８１を使用することによる吐出不良を抑制できる。

また、接着剤で保持基板５０とフレーム部材７０とを接合している領域よりも、さらに外側の領域で、ノズル板１を接着剤８１よりも率が高い封止剤８２でフレーム部材７０に接合している。

これにより、ノズル板１の外周を頑丈にフレーム部材７０に接合することができ、ノズル板１の変形を抑えることができ、吐出不良を抑制することができる。

次に、本発明の第２実施形態について図２３も参照して説明する。図２３は同実施形態におけるフレーム部材の接着剤の塗布領域及び封止剤の塗布領域の説明に供する平面説明図である。

なお、本実施形態においても、封止部材として、封止剤（例えばエポキシ系接着剤）を使用した例で説明する。

本実施形態では、フレーム部材７０の封止剤８２が塗布された領域よりも外側の領域でもある最外周面領域に第２接着剤である接着剤８３を塗布してノズル板１と接合している。なお、接着剤８３としては封止剤８２と同じものを使用して、塗布作業を簡単にしている。

これにより、フレーム部材７０とノズル板１との隙間を通じて外部から液体が内部に侵入することを低減している。

次に、本発明の第３実施形態について図２４ないし図２６も参照して説明する。図２４は同実施形態におけるフレーム部材の平面説明図、図２５は同実施形態に係るヘッドをダンパ部材側から見た平面図、図２６は図２４のＣ−Ｃ線に相当する同ヘッドの断面説明図
である。

本実施形態では、フレーム部材７０には構造体２００と接合した状態で、面内方向において、リブ１７２の外側で隣り合うリブ１７２及びリブ１７０との間に形成される空間７８（図２０も参照）を外部に通じる貫通穴７９が設けられている。この貫通穴７９はダンパ部材９０のダンパプレート９２に設けられた貫通穴９４に通じている。

そこで、ダンパプレート９２に設けられた貫通穴９４を封止部材（封止材）９５で封止して、外気が貫通穴９４及び貫通穴７９を通じて空間７８内に侵入することを阻止している。封止部材９５は封止剤８２と同じものでも異なるものでもよい。

これにより、位置決めやリーク検査などに使用可能な貫通穴７９を通じて接着剤８１の外側に常時外気が侵入することを防止でき、透気による共通液室１０内の液体の増粘を抑制できる。

また、封止部材９５による封止は、常温で行えることが好ましい。すなわち、密閉空間にして加熱硬化すると、空気の膨張により封止剤が決壊しリークパスが生じるためである。

したがって、封止部材９５として封止剤８２と同じものを使用する場合、封止剤は加熱硬化と常温硬化が可能なものであることが好ましい。

また、共通液室部材であるフレーム部材７０の貫通穴７９と封止部材（封止材）９５で封止することもできる。

次に、本発明の第４実施形態について図２７を参照して説明する。図２７は同実施形態における接着剤による接合領域及び封止部材による封止領域の概要の説明に供する平面説明図である。なお、ここでも、図示を簡略化するために共通液室を２つにして説明している。

図２７（ａ）はフレーム部材７０に塗布される接着剤である接着剤８１の領域（接合領域になる。）と、封止部材８０の領域（封止領域になる。）と、開口部７６を塞ぐ封止部材８４を示している。図２７（ｂ）は保持基板５０における接着剤８１による接合領域８１ａを示している。図２７（ｃ）はノズル板１における封止部材８０による封止領域を示している。

本実施形態では、図２７（ａ）に示すように、２つの共通液室１０を囲むようにフレーム部材７０に接着剤８１が塗布され、図２７（ｂ）に示すように、保持基板５０の接合領域８１ａと接合される。

また、平面視において、フレーム部材７０には接着剤８１で囲まれた領域を含めて接着剤８１の周りを取り囲んで封止部材８０が配置される。そして、図２７（ｃ）に示すように、フレーム部材７０の接着剤８１の周り四辺はノズル板１の領域８０ａ３との間に封止部材８０が配置される。

これにより、平面視において、共通液室１０に臨む接着剤８１の周りを囲んで封止部材８０が設けられる。ここで、封止部材８０は、接着剤８１で囲まれた領域を含めて接着剤８１の周りを囲んで設けられる。なお、平面視とは、ヘッドのノズル板１を上方からノズル板１、アクチュエータ基板２０、保持基板５０を透過して視たときの状態の意味である。

また、上記の説明では２つの共通液室１０の周囲のそれぞれ接着剤８１が配置されていることで、接着剤８１で囲まれる領域が複数箇所あり、封止部材８０は、複数箇所の接着剤８１の周りを一括して取り囲んで配置されている。

次に、本実施形態を適用したフレーム部材の接着剤の塗布領域及び封止剤の配置領域並びに封止剤の充填領域について図２８を参照して説明する。図２８は同説明に供するフレーム部材及び構造体の接合面側平面説明図である。

なお、ここでは、封止部材８０として封止剤８２を使用し、封止部材８４として同じく封止剤３００を使用した例で説明する。

フレーム部材７０の各共通液室１０の周囲に形成されたリブ１７２の保持基板５０の接合面に接着剤８１が塗布されている。このとき、１つの共通液室１０については、その周囲を接着剤８１が途切れなく取り囲んでいる。

なお、接着剤は、前述したように、硬化後にゴム状体となる接着剤であり、シリコーン系接着剤を用いることができる。また、ウレタン系、バイオマス資源を用いたものなども使用できる。より振動を効果的に吸収できる接着剤としては、率が数十ＭＰａ以下のものが好ましい。また、硬化時間を短縮するために加熱硬化できることが好ましい。

フレーム部材７０のリブ１７０のノズル板１との接合面には封止剤８２が塗布される。封止剤８２は、平面視において、フレーム部材７０の各共通液室１０の周囲に形成されたリブ１７２の保持基板５０の接合面に接着剤８１が塗布された領域の外側を囲むように設けられる。

封止剤８２としては、弾性率が高く、透気しにくいものが好ましい。弾性率は数ＧＰａ以上が好ましい。封止剤８２は、接着剤８１として加熱硬化型を使用するときには、接着剤８１と同時に硬化できるものが好ましい。

また、封止剤８２には、接着剤８１の透気度が１００〜１０００ｃｃ／ｍ^２・２４ｈ（素材１ｍ^２あたり２４時間に何ｃｃの水分が透過するかを示す単位）である場合、透気度が０〜１０ｃｃ／ｍ^２・２４ｈの材料を用いることができる。

次に、接着剤８１、封止剤８２が塗布されたフレーム部材７０と配線部材６０を有した構造体２００を接合する。

アクチュエータユニット２０１の長手方向（ノズル配列方向）の一端部には配線部材６０が取り付けられ、取り付け部分は中間部材である樹脂部材６１がモールドされ、アクチュエータユニット２０１、ノズル板１及び配線部材６０を併せた「構造体２００」が形成される。

配線部材６０を有した構造体２００をフレーム部材７０に接合するとき、構造体２００とフレーム部材７０とを位置合わせし、配線部材６０をフレーム部材７０の長手方向一端部に配置された開口部７６に通し、樹脂部材６１をフレーム部材７０の溝１７３にはめ込む。

なお、フレーム部材７０の配線部材６０が通された開口部７６は封止剤３００で封止されている。

次に、フレーム部材７０と構造体２００とを接合した状態について図２９ないし図３３も参照して説明する。図２９はフレーム部材と構造体を接合した状態でノズル板側から見た斜視説明図、図３０は図２９の面Ｓ１における開口部分の破断面説明図である。図３１はフレーム部材と構造体を接合した状態でフレーム部材側から見た斜視説明図、図３２は同じくフレーム部材側から見た平面説明図、図３３は図３２のＤ−Ｄ線に相当する開口部分の拡大断面説明図である。

前述したように、フレーム部材７０に接着剤８１及び封止剤８２を塗布して、構造体２００をフレーム部材７０に接合し、例えば加熱して硬化させることで、図１９及び図２０に示すように、各部が接着剤８１又は封止剤８２で接合される。

ここで、図１９に示すように、フレーム部材７０と保持基板５０とを接合する共通液室周りの接着剤８１は共通液室１０に一部が臨んでいる。

これにより、開口部５１を伝搬する圧力波を減衰（ダンピング）することができる。

構造体２００とフレーム部材７０とを接合したとき、フレーム部材７０の長手方向端部に設けられた開口部７６を通して、構造体２００に接続されている配線部材６０が引き出された状態になっている。

このとき接着剤８１はアクチュエータユニット２０１と配線部材６０との取付け部にモールドされている樹脂部材６１を収納するためのフレーム部材７０に形成された溝１７３を介して開口部７６より外気と連通している。

そこで、接着剤８１を外気から遮断するため、図３３に示すように、フレーム部材７０の開口部７６より引き出された配線部材６０を囲むように封止剤３００を塗布（充填）する。さらに、開口部７６に塗布された封止剤３００は、開口部７６を覆う状態を形成する。

封止剤３００は常温硬化できることが好ましい。これは、前述した封止部材９５と同様に、密閉空間にして加熱硬化すると空気の膨張により封止剤が決壊しリークパスが生じるためである。

そして、封止部材の内側であって封止部材と接着剤８１との間の領域に高湿度の空気を流しこみ、封止剤３００にて配線部材６０を包囲し、開口部７６を封止剤３００で埋めて、開口部７６を封止することにより、接着剤８１を外気から遮断することができる。

このように、接着剤８１で囲まれた領域を含めて接着剤８１の周りを取り囲んでいる封止部材を設け、配線部材６０を通すための開口部７６も封止部材で封止することで、接着剤８１の透気性による液体の増粘を抑えることができ、接着剤８１を使用することによる吐出不良を抑制できる。

そして、接着剤８１で共通液室部材（フレーム部材７０）と保持基板５０とを接合していることにより、保持基板５０の振動が吸収減衰されるので、保持基板５０が振動して共通液室部材（フレーム部材７０）に振動が伝搬し、吐出特性が不安定になることを低減できる。

次に、本発明の第５実施形態について図３４ないし図３８を参照して説明する。図３４は同実施形態に係るヘッドの長手方向（図２４のＣ−C線相当）に沿う一部破断断面説明図、図３５は図３４のＥ−Ｅ線に相当する平断面説明図、図３６は図３５のＦ−Ｆ線に相当する開口部部分の拡大断面説明図である。図３７は同ヘッドの分解斜視説明図、図３８は同ヘッドのフレーム部材の組み立て手順の説明に供する斜視説明図である。

本実施形態では、フレーム部材７０は、第１部材である第１フレーム部７０Ａと第２部材である第２フレーム部７０Ｂとを接合して構成している。第２フレーム部７０Ｂは、ヘッド長手方向において、配線部材６０を通す開口部７６の部分で第１フレーム部７０Ａと分割され、面直方向においては、リブ３０４の部分で、ノズル板１との接合部分を第１フレーム部７０Ａに残して分割されている。

ここで、第１フレーム部７０Ａと第２フレーム部７０Ｂには、接合状態で開口部７６となる面側に、配線部材６０を介して対向する位置に、封止剤塗布用リブ３０２、３０３を設けている。また、第２フレーム部７０Ｂには第１フレーム部７０Ａと面直方向で接合するためのリブ３０４を設けている。

そして、第１フレーム部７０Ａのリブ３０２と配線部材６０との間及び第２フレーム部７０Ｂのリブ３０３と配線部材６０との間をそれぞれ封止剤３００で封止し、開口部７６を封止剤３００で封止している。

このように、フレーム部材７０を開口部７６の部分で分割した第１フレーム部７０Ａと第２フレーム部７０Ｂで構成することで、リブ３０２、３０３をノズル板１に近い側に配置することができる。

これにより、開口部７６全体を封止剤３００で封止する場合よりも封止剤の量を少なくすることができるとともに、接着剤８１を配置する保持基板５０により近い位置において封止剤３００で開口部７６を封止することができる。

ここで、フレーム部材の組み立て手順について図３８を参照して説明する。図３８は同説明に供する斜視説明図である。

まず、図３８（ａ）に示すように、第２フレーム部７０を除く部分を組み立てる。

そして、図３８（ｂ）に示すように、第１フレーム部７０Ａの開口部７６を形成する面に設けられたリブ３０２に封止剤３００を塗布し、塗布された封止剤３００上に配線部材６０を配置する。

次いで、図３８（ｃ）に示すように、第２フレーム部７０Ｂの第１フレーム部７０Ａのリブ３０２と対向するリブ３０３と、リブ３０４及び短手方向両側部の接合部に封止剤３００を塗布する。

そして、図３８（ｄ）に示すように、フレーム部材７０の開口部７６を形成する位置に位置合わせする。

その後、第１フレーム部７０Ａに第２フレーム部７０Ｂを接合する。このとき、上述したように、第１フレーム部７０Ａのリブ３０２と配線部材６０との間、及び、第２フレーム部７０Ｂのリブ３０３と配線部材６０との間を含めて、配線部材６０の周囲は封止剤３００により包囲されて封止される。

また、第２フレーム部７０Ｂのリブ３０４に塗布された封止剤３００により第１フレーム部７０Ａと第２フレーム部７０Ｂとが重なり合う面も封止剤３００により封止される。

これにより、第１フレーム部７０Ａのリブ３０２に塗布された封止剤３００と、第２フレーム部７０Ｂのリブ３０３に塗布された封止剤３００と、第２フレーム部７０Ｂのリブ３０４に塗布された封止剤３００により、接着剤８１は外気から遮断される。

次に、本発明の第６実施形態について図３９を参照して説明する。図３９は同実施形態に係るヘッドのフレーム部材の開口部部分の拡大断面説明図である。

本実施形態では、配線部材６０と開口部７６の壁面との間にスペーサ部材３３０を配置して、スペーサ部材３３０のヘッド外側に封止剤３００を充填して、配線部材６０の周囲を封止している。スペーサ部材３３０は例えばクリップ構成とすることで配線部材６０への取付けが容易になる。

これにより、封止剤３００の開口部７６内への流れ込みを抑制しつつ、少ない封止剤で確実に封止することができる。

次に、本発明の第７実施形態について説明する。ここでは、上記第２実施形態の説明で使用した図２３を準用する。

この第３実施形態では、封止部材として、接着性を有する封止剤に代えて、パッキンなどの弾性部材を使用している。

例えば、無端形状のゴムのような細長いパッキンを、図２３で示した封止剤８２の塗布領域である、フレーム部材７０のリブ１７０，リブ１７１ｂ、溝１７３に跨って配置し、更に図２３と同じ領域に接着剤８３を塗布する。

そして、ノズル板１及びアクチュエータユニット２０１の樹脂部材６１とフレーム部材７０との間でパッキンを挟みこんだ状態で、接着剤８３によりノズル板１とアクチュエータユニット２０１をフレーム部材７０に接合する。

これにより、平面視において、共通液室１０に臨む接着剤８１の周りを取り囲んで封止部材を設ける構成とすることができる。

なお、この第７実施形態における封止部材としてパッキンを使用する構成は、前記第４ないし第６実施形態に適用可能である。

次に、本発明の第８実施形態について図４０を参照して説明する。図４０は同実施形態に係るヘッドの要部断面説明図である。

本実施形態は、ノズル板１０１と流路部材１０２とを積層し、ノズル板１０１及び流路部材１０２に対して共通液室部材となるフレーム部材１７０を段違いで接合し、流路部材１０２の外周側に共通液室１１０を配置している。

なお、ノズル板１０１にはノズル１０４が形成され、流路部材１０２は個別液室１０６、流体抵抗部１０７、液導入部１０８．連通路１０５などを形成し、振動領域１３０には圧電素子１１１が設けられている。

そして、ここでは、フレーム部材１７０とノズル板１０１とが共通液室１１０に面する接着剤８１で接合され、接着剤８１の流路（共通液室１１０）とは反対側に、接着剤８１の周りを取り囲んで封止部材としての封止剤８２が設けられている。

また、フレーム部材１７０と流路部材１０２とは共通液室１１０に面する接着剤８１で接合し、接着剤８１の流路（共通液室１１０）とは反対側に、接着剤８１の周りを取り囲んで封止部材としての封止剤８２が設けられている。

なお、上述したように、流路部材を構成する保持基板と共通液室部材との接合、流路部材と共通液室部材の接合、ノズル板と共通液室部材との接合について説明したが、接合される部材はこれらに限られず、ノズル板と流路板（流路部材）との接合など、液体の流路、液室が形成される部材（例えば、上述したノズル板、流路板、振動板、保持基板、共通液室部材等）同士（２部品）の流路、液室に面する部分の接合について本発明の適用が可能である。

次に、本発明に係る液体を吐出する装置の一例について図４１及び図４２を参照して説明する。図４１は同装置の要部平面説明図、図４２は同装置の要部側面説明図である。

この装置は、シリアル型装置であり、主走査移動機構４９３によって、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動する。主走査移動機構４９３は、ガイド部材４０１、主走査モータ４０５、タイミングベルト４０８等を含む。ガイド部材４０１は、左右の側板４９１Ａ、４９１Ｂに架け渡されてキャリッジ４０３を移動可能に保持している。そして、主走査モータ４０５によって、駆動プーリ４０６と従動プーリ４０７間に架け渡したタイミングベルト４０８を介して、キャリッジ４０３は主走査方向に往復移動される。

このキャリッジ４０３には、本発明に係る液体吐出ヘッド４０４及びヘッドタンク４４１を一体にした液体吐出ユニット４４０を搭載している。液体吐出ユニット４４０の液体吐出ヘッド４０４は、例えば、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｋ）の各色の液体を吐出する。また、液体吐出ヘッド４０４は、複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配置し、吐出方向を下方に向けて装着している。

液体吐出ヘッド４０４の外部に貯留されている液体を液体吐出ヘッド４０４に供給するための供給機構４９４により、ヘッドタンク４４１には、液体カートリッジ４５０に貯留されている液体が供給される。

供給機構４９４は、液体カートリッジ４５０を装着する充填部であるカートリッジホルダ４５１、チューブ４５６、送液ポンプを含む送液ユニット４５２等で構成される。液体カートリッジ４５０はカートリッジホルダ４５１に着脱可能に装着される。ヘッドタンク４４１には、チューブ４５６を介して送液ユニット４５２によって、液体カートリッジ４５０から液体が送液される。

この装置は、用紙４１０を搬送するための搬送機構４９５を備えている。搬送機構４９５は、搬送手段である搬送ベルト４１２、搬送ベルト４１２を駆動するための副走査モータ４１６を含む。

搬送ベルト４１２は用紙４１０を吸着して液体吐出ヘッド４０４に対向する位置で搬送する。この搬送ベルト４１２は、無端状ベルトであり、搬送ローラ４１３と、テンションローラ４１４との間に掛け渡されている。吸着は静電吸着、あるいは、エアー吸引などで行うことができる。

そして、搬送ベルト４１２は、副走査モータ４１６によってタイミングベルト４１７及びタイミングプーリ４１８を介して搬送ローラ４１３が回転駆動されることによって、副走査方向に周回移動する。

さらに、キャリッジ４０３の主走査方向の一方側には搬送ベルト４１２の側方に液体吐出ヘッド４０４の維持回復を行う維持回復機構４２０が配置されている。

維持回復機構４２０は、例えば液体吐出ヘッド４０４のノズル面（ノズルが形成された面）をキャッピングするキャップ部材４２１、ノズル面を払拭するワイパ部材４２２などで構成されている。

主走査移動機構４９３、供給機構４９４、維持回復機構４２０、搬送機構４９５は、側板４９１Ａ，４９１Ｂ、背板４９１Ｃを含む筐体に取り付けられている。

このように構成したこの装置においては、用紙４１０が搬送ベルト４１２上に給紙されて吸着され、搬送ベルト４１２の周回移動によって用紙４１０が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ４０３を主走査方向に移動させながら画像信号に応じて液体吐出ヘッド４０４を駆動することにより、停止している用紙４１０に液体を吐出して画像を形成
する。

このように、この装置では、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、高画質画像を安定して形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの他の例について図４３を参照して説明する。図４３は同ユニットの要部平面説明図である。

この液体吐出ユニットは、前記液体を吐出する装置を構成している部材のうち、側板４９１Ａ、４９１Ｂ及び背板４９１Ｃで構成される筐体部分と、主走査移動機構４９３と、キャリッジ４０３と、液体吐出ヘッド４０４で構成されている。

なお、この液体吐出ユニットの例えば側板４９１Ｂに、前述した維持回復機構４２０、及び供給機構４９４の少なくともいずれかを更に取り付けた液体吐出ユニットを構成することもできる。

次に、本発明に係る液体吐出ユニットの更に他の例について図４４を参照して説明する。図４４は同ユニットの正面説明図である。

この液体吐出ユニットは、流路部品４４４が取付けられた液体吐出ヘッド４０４と、流路部品４４４に接続されたチューブ４５６で構成されている。

なお、流路部品４４４はカバー４４２の内部に配置されている。流路部品４４４に代えてヘッドタンク４４１を含むこともできる。また、流路部品４４４の上部には液体吐出ヘッド４０４と電気的接続を行うコネクタ４４３が設けられている。

本願において、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッド又は液体吐出ユニットを備え、液体吐出ヘッドを駆動させて、液体を吐出させる装置である。液体を吐出する装置には、液体が付着可能なものに対して液体を吐出することが可能な装置だけでなく、液体を気中や液中に向けて吐出する装置も含まれる。

この「液体を吐出する装置」は、液体が付着可能なものの給送、搬送、排紙に係わる手段、その他、前処理装置、後処理装置なども含むことができる。

例えば、「液体を吐出する装置」として、インクを吐出させて用紙に画像を形成する装置である画像形成装置、立体造形物（三次元造形物）を造形するために、粉体を層状に形成した粉体層に造形液を吐出させる立体造形装置（三次元造形装置）がある。

また、「液体を吐出する装置」は、吐出された液体によって文字、図形等の有意な画像が可視化されるものに限定されるものではない。例えば、それ自体意味を持たないパターン等を形成するもの、三次元像を造形するものも含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」とは、液体が少なくとも一時的に付着可能なものであって、付着して固着するもの、付着して浸透するものなどを意味する。具体例としては、用紙、記録紙、記録用紙、フィルム、布などの被記録媒体、電子基板、圧電素子などの電子部品、粉体層（粉末層）、臓器モデル、検査用セルなどの媒体であり、特に限定しない限り、液体が付着するすべてのものが含まれる。

上記「液体が付着可能なもの」の材質は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックスなど液体が一時的でも付着可能であればよい。

また、「液体」は、インク、処理液、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、結着剤、造形液、又は、アミノ酸、たんぱく質、カルシウムを含む溶液及び分散液なども含まれる。

また、「液体を吐出する装置」は、液体吐出ヘッドと液体が付着可能なものとが相対的に移動する装置があるが、これに限定するものではない。具体例としては、液体吐出ヘッドを移動させるシリアル型装置、液体吐出ヘッドを移動させないライン型装置などが含まれる。

また、「液体を吐出する装置」としては他にも、用紙の表面を改質するなどの目的で用紙の表面に処理液を塗布するために処理液を用紙に吐出する処理液塗布装置、原材料を溶液中に分散した組成液を、ノズルを介して噴射させて原材料の微粒子を造粒する噴射造粒装置などがある。

「液体吐出ユニット」とは、液体吐出ヘッドに機能部品、機構が一体化したものであり、液体の吐出に関連する部品の集合体である。例えば、「液体吐出ユニット」は、ヘッドタンク、キャリッジ、供給機構、維持回復機構、主走査移動機構の構成の少なくとも一つを液体吐出ヘッドと組み合わせたものなどが含まれる。

ここで、一体化とは、例えば、液体吐出ヘッドと機能部品、機構が、締結、接着、係合などで互いに固定されているもの、一方が他方に対して移動可能に保持されているものを含む。また、液体吐出ヘッドと、機能部品、機構が互いに着脱可能に構成されていても良い。

例えば、液体吐出ユニットとして、図２８で示した液体吐出ユニット４４０のように、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。また、チューブなどで互いに接続されて、液体吐出ヘッドとヘッドタンクが一体化されているものがある。ここで、これらの液体吐出ユニットのヘッドタンクと液体吐出ヘッドとの間にフィルタを含むユニットを追加することもできる。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジが一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドを走査移動機構の一部を構成するガイド部材に移動可能に保持させて、液体吐出ヘッドと走査移動機構が一体化されているものがある。また、図２９で示したように、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドとキャリッジと主走査移動機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、液体吐出ヘッドが取り付けられたキャリッジに、維持回復機構の一部であるキャップ部材を固定させて、液体吐出ヘッドとキャリッジと維持回復機構が一体化されているものがある。

また、液体吐出ユニットとして、図３０で示したように、ヘッドタンク若しくは流路部品が取付けられた液体吐出ヘッドにチューブが接続されて、液体吐出ヘッドと供給機構が一体化されているものがある。

主走査移動機構は、ガイド部材単体も含むものとする。また、供給機構は、チューブ単体、装填部単体も含むものする。

また、「液体吐出ヘッド」は、使用する圧力発生手段が限定されるものではない。例えば、上記実施形態で説明したような圧電アクチュエータ（積層型圧電素子を使用するものでもよい。）以外にも、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いるサーマルアクチュエータ、振動板と対向電極からなる静電アクチュエータなどを使用するものでもよい。

また、本願の用語における、画像形成、記録、印字、印写、印刷、造形等はいずれも同義語とする。

１ ノズル板
２ 流路板
３ 振動板
４ ノズル
６ 個別液室
１０ 共通液室
１１ 圧電素子
１４ 上部電極（個別電極）
２０ アクチュエータ基板
５０ 保持基板
６０ 配線部材
７０ フレーム部材
７６ 開口部
８０ 封止部材
８１ 接着剤
８２ 封止剤
８４ 封止部材
９５ 封止剤
３００ 封止剤
４０３ キャリッジ
４０４ 液体吐出ヘッド
４４０ 液体吐出ユニット

Claims (19)

1. 液体を吐出するノズルが設けられたノズル板と、
   前記ノズルに通じる個別液室を少なくとも有する流路部材と、
   前記個別液室に前記液体を供給する共通液室を有する共通液室部材と、を備え、
   前記ノズル板、前記流路部材、前記共通液室部材のうちのいずれか２部品は、前記液体の流れる流路に面した接着剤で接合され、
   前記接着剤の前記流路とは反対側に、前記接着剤の周りを取り囲んで封止部材が設けられ、
   前記封止部材の少なくとも一部は、前記ノズル板と前記共通液室部材に接している
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 面直方向において、前記封止部材の少なくとも一部は他の部分と高さが異なる位置に配置されている
   ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記接着剤で囲まれる領域が複数箇所あり、
   前記封止部材は、前記複数箇所の前記接着剤を一括して取り囲んでいる
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記封止部材は、加熱硬化型の封止剤である
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記封止部材は、加熱硬化と常温硬化が可能な封止剤である
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記封止部材はエポキシ系接着剤であり、前記接着剤はシリコーン系接着剤である
   ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記流路部材は、前記個別液室が形成された流路板と、前記共通液室部材と前記流路板との間に介在し、前記個別液室に共通液室の液体を供給する流路が形成された保持基板とを含み、
   前記保持基板と前記共通液室部材とが前記接着剤で接合されている
   ことを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記封止部材の一部は、前記保持基板と前記共通液室部材に接している
   ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記共通液室部材には、
   前記保持基板と前記接着剤で接合される接合面を形成する第１リブと、
   前記ノズル板との間に前記封止部材が介在する第２リブとが設けられ、
   面直方向において、前記第１リブと前記第２リブとの高さが異なる
   ことを特徴とする請求項７又は８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記保持基板の長手方向一端部には配線部材が配置され、
    前記保持基板には前記配線部材を前記保持基板との間に挟んでいる中間部材が設けられ、
    前記共通液室部材と前記中間部材との間に前記封止部材が設けられている
    ことを特徴とする請求項７ないし９のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記共通液室部材には前記中間部材をはめ込む溝が形成され、
    前記溝において、前記共通液室部材と前記保持基板側の前記中間部材との間に前記封止部材が設けられている
    ことを特徴とする請求項１０に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記共通液室部材には、面内方向における前記接着剤と前記封止部材との間の空間を外部に通じる貫通穴を有し、
    前記共通液室部材の前記貫通穴は封止部材で封止されている
    ことを特徴とする請求項７ないし１１のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記共通液室部材には、面内方向における前記接着剤と前記封止部材との間の空間を外部に通じる貫通穴を有し、
    前記共通液室部材には、前記共通液室の一部の壁面を形成する変形可能なダンパと、ダンパを保持するダンパプレートと、を有するダンパ部材が接合されており、
    前記ダンパプレートには、前記共通液室部材の貫通穴に通じる貫通穴が設けられ、
    前記ダンパプレートの貫通穴は封止部材で封止されている
    ことを特徴とする請求項７ないし１１のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記封止部材は、前記接着剤よりも弾性率が高い第２の接着剤であり、
    前記共通液室部材と前記保持基板とが前記接着剤で接合されている領域よりも、外側の領域で、前記ノズル板と前記共通液室部材とが前記第２の接着剤で接合されている
    ことを特徴とする請求項７ないし１３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記保持基板の長手方向の一端部には、配線部材が配置され、
    前記共通液室部材には、前記配線部材を引き出すための開口部が形成され、
    前記配線部材が前記共通液室部材の前記開口部内に配置され、
    前記開口部内で前記配線部材の周りが封止されている
    ことを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
16. 前記共通液室部材は、前記開口部の部分で第１部材と第２部材とに分割され、
    前記第１部材と前記第２部材とを接合したときに前記開口部を形成する面側に、前記配線部材を介して対向するリブが設けられ、
    前記第１部材のリブと前記配線部材の間、及び、前記第２部材のリブと前記配線部材の間が封止されている
    ことを特徴とする請求項１５に記載の液体吐出ヘッド。
17. 請求項１ないし１６のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを含むことを特徴とする液体吐出ユニット。
18. 前記液体吐出ヘッドに供給する液体を貯留するヘッドタンク、前記液体吐出ヘッドを搭載するキャリッジ、前記液体吐出ヘッドに液体を供給する供給機構、前記液体吐出ヘッドの維持回復を行う維持回復機構、前記液体吐出ヘッドを主走査方向に移動させる主走査移動機構の少なくともいずれか一つと前記液体吐出ヘッドとを一体化した
    ことを特徴とする請求項１７に記載の液体吐出ユニット。
19. 請求項１ないし１６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド、又は、請求項１７若しくは１８に記載の液体吐出ユニットを備えていることを特徴とする液体を吐出する装置。

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