JP6348299B2 - 流路付きワーククランプトレイ - Google Patents

Description

本発明はワークの固定と解放が可能な流路付きワーククランプトレイに関するものである。

例えば、複数個のワーク（チップ等を含む）に同時に印刷を行う場合やワークを実装機に供給する場合、半導体ワークにボンディングを行う場合などには、高い精度でワークを位置決め固定することが要求される。

このような要求に対応するため、これまで種々のワーククランプトレイが提案されている。例えば特許文献１には、底板８、９（ベースプレート）、枠板１０、および上板１１（カバープレート）といった板状の部材が積層配置されており、可動板３が枠板１０の内側において移動可能に配置された治具（ワーククランプトレイ）が開示されている。

特開2000-357729号公報

ワーククランプトレイを用いたワークの処理工程の一つとして、例えば、ワーククランプトレイに固定されたワークを洗浄液に浸して当該ワークを洗浄する工程（洗浄工程）が挙げられる。このような洗浄工程では、ワーククランプトレイごと洗浄液に浸されるため、その内部に洗浄液が入り込むことになる。

洗浄工程の後には、ワーククランプトレイのメンテナンス等の観点から、内部に入り込んだ洗浄液を排出させておくことが要求される。このような事情から、ワーククランプトレイは、内部に入り込んだ洗浄液の排出が容易であるのが望ましい。

上述した問題点に鑑み、本発明の目的は、内部に入り込んだ洗浄液などの液体を容易に排出できるワーククランプトレイを提供することにある。

本発明に係るワーククランプトレイは、ワークを収容する複数個の収容穴が設けられた板状の外形を有し、収容されたワークを押さえて固定する固定機構が内部に設けられた流路付きワーククランプトレイであって、内部から液体を排出させる溝として、内部と側方外部に繋がる排出溝が形成された構成とする。

また、上記構成としてより具体的には、ベースプレートとカバープレートとの間に枠プレートが積層配置され、前記枠プレートの内側に、前記固定機構の少なくとも一部である可動プレートが移動可能に配置され、ベースプレート及びカバープレートの少なくとも一方と、前記可動プレートとに前記収容穴が形成され、前記可動プレートは、その移動方向へワークを押さえて固定する位置と、当該固定されたワークを解放する位置とに移動が可能であり、前記排出溝は、ベースプレートの表面に形成されている構成としてもよい。

なお、上記各種のプレートは略板状の部材（プレート部材）であるが、その具体的な外形などは問わない。また、上記各種のプレートは、複数の部材を寄り集めて形成したものであっても構わない。そしてまた、上記構成としてより具体的には、前記枠プレートの内側に、前記可動プレートをその移動方向の一方側に付勢するばね部材が設けられ、前記排出溝が、前記ばね部材と積層方向隣接する位置に形成されている構成としてもよい。

また、上記構成において、それぞれ異なる方向へ伸びる複数個の前記排出溝が設けられた構成としてもよい。更に、当該構成としてより具体的には、前記異なる方向は、互いに直交する方向である構成としてもよい。

また、上記構成としてより具体的には、平面形状が四角形であり、前記排出溝は、前記四角形の四辺全てに対応して設けられている構成としてもよい。

本発明の流路付きワーククランプトレイでは、内部に入り込んだ洗浄液などの液体が容易に排出される。

本発明の第１実施形態に係るワーククランプトレイの斜視図である。 第１実施形態に係るワーククランプトレイの垂直断面図である。 第１実施形態に係るベース板の平面図である。 第１実施形態に係る第１中間製造物およびばね板の平面図である。 第１実施形態に係る第２中間製造物、スペーサー板、およびカバー板の平面図である。 第１実施形態に係る洗浄液の排出に関する説明図である。 本発明の第２実施形態に係るワーククランプトレイの斜視図である。 第２実施形態に係るワーククランプトレイの垂直断面図である。 第２実施形態に係るベースプレートの平面図である。 第１実施形態に係る第１中間製造物、枠プレート、および可動プレートの平面図である。 第２実施形態に係る第２中間製造物およびカバープレートの平面図である。 第２実施形態におけるワークの位置決め固定の様子を示す説明図である。 第２実施形態に係るベースプレートの変形例の平面図である。 第２実施形態に係るベースプレートの変形例の平面図である。

以下、本発明に係る流路付きワーククランプトレイの実施形態として第１および第２実施形態を例に挙げ、これらについて各図を参照しながら詳述する。但し、本発明の内容は、これらの実施形態に何ら限定されるものではない。

なお、以下の説明においてｘ、ｙ、およびｚの直交座標軸は、図１（第１実施形態の場合）および図７（第２実施形態の場合）に示す通りである。また、特に断りの無い限り、「平面方向」はｘｙ平面の方向（各プレート部材の平面が広がる方向）であり、「積層方向」はｚ方向（各プレート部材が積層される方向）であるとする。

［第１実施形態］
まず、第１実施形態について説明する。図１に、第１実施形態に係る流路付きワーククランプトレイ１（以下、「クランプトレイ１」と記すことがある）の斜視図を示す。また、図２に、図１のＡ−Ａ線における垂直断面図（但し、ワークを固定した状態）を示す。

図１に示すようにクランプトレイ１には、平面形状が長方形である板状の外形を有し、ワークを収容可能とする収容穴１ａが、８個（ｘ方向）×５個（ｙ方向）のマトリクス状に形成されている。各収容穴１ａからは、あて板１２、第１板ばね１３ｄ、および第２板ばね１３ｅが見えている。更にクランプトレイ１の側面には、排出溝１１ａ（図３を参照）の先端が見えている。また、図２に示すように、クランプトレイ１は、ベース板１１（ベースプレート）とカバー板１５（カバープレート）の間に、あて板１２及びばね板１３が積層配置された構成となっている。

収容穴１ａは、カバー板１５の層を通って、あて板１２及びばね板１３の層にまで及んでいる。また、クランプトレイ１における対向した二つの角の近傍には、積層方向へ貫通した駆動穴１ｂ（用途については後述する）が形成されている。また、図２には示されていないが、ばね板１３の枠部１３ａ（図４を参照）とカバー板１５の間には、スペーサー板１４（図５を参照）が配置されている。上述した各プレート部材（１１〜１５）は、例えばステンレス鋼により形成されている。

上述した各プレート部材（１１〜１５）の構成、およびこれらを用いてクランプトレイ１が形成される工程の一例について、図３〜図５の各平面図を参照しながら以下に説明する。

図３は、ベース板１１の平面図である。本図に示すようにベース板１１は、長方形の外形を有し、複数個の排出溝１１ａが表面に形成されている。排出溝１１ａは、クランプトレイ１の内部から液体（特にワークの洗浄液）を排出させる溝として、クランプトレイ１の内部と側方外部に繋がるように形成された溝である。ベース板１１に排出溝１１ａを形成する手法としては、フォトエッチング加工などが好適である。また、排出溝１１ａの深さは、例えばベース板１１の厚みが１ｍｍである場合に、０．７ｍｍ程度とすれば良い。

また、図３に示すように、排出溝１１ａは、クランプトレイ１の平面形状である長方形の四辺全てに対応して形成されており、当該長方形の長辺（或いは短辺）に対して約４５度ずれた方向に伸びている。排出溝１１ａの役割については、後述の説明により明らかとなる。

図４は、ベース板１１にあて板１２を取り付けて形成した第１中間製造物Ｘ１、および、ばね板１３の平面図である。本図に示すようにばね板１３は、枠状に形成された枠部１３ａ（枠プレート）、枠部１３ａ内に移動可能に配置された可動部１３ｂ（可動プレート）、および、ばね部材１３ｃを有している。枠部１３ａは、ベース板１１と同じ長方形の外形を有するとともに、内側に中央空間を有している。

可動部１３ｂは、枠部１３ａの中央空間に所定方向（図４に白抜矢印で示す方向）へ移動可能に配置されている。また、ばね部材１３ｃは、可動部１３ｂをその移動可能の一方側に常に付勢する。ばね部材１３ｃは、枠部１３ａにおける四辺全ての内壁面において、枠部１３ａおよび可動部１３ｂと一体に形成されている。

また、可動部１３ｂの各収容穴１ａに対応する位置には、ワークをｘ軸方向に付勢する略Ｕ字状の第１板ばね１３ｄ、および、ワークをｙ軸方向に付勢する略Ｕ字状の第２板ばね１３ｅが、可動部１３ｂと一体に形成されている。ばね板１３を第１中間製造物Ｘ１の上に積層配置することにより、図５に示す第２中間製造物Ｘ２が形成される。

図５は、第２中間製造物Ｘ２、スペーサー板１４、およびカバー板１５の平面図である。なお、図５（図６も同様）では、排出溝１１ａの形成位置を分かり易くするため、ばね板１３の一部を透過して、排出溝１１ａが表示されるようにしている。

本図に示すようにスペーサー板１４は、ベース板１１と同じ長方形の外形を有しており、内部が空洞の形状となっている。スペーサー板１４の厚みは、あて板１２の厚みとばね板１３の厚みの差に等しくなるよう設定されている。スペーサー板１４は、可動部１３ｂを円滑に移動させるためのクリアランス（図２を参照）を確保しつつ、カバー板１５の適切な積層配置を可能とする役割を果たす。

また、カバー板１５は、ベース１１と同じ長方形の外形を有しており、収容穴１ａが形成されている。スペーサー板１４とカバー板１５は、第２中間製造物Ｘ２の上に順に積層配置される。そして更に所定の接合工程などを経て、クランプトレイ１が完成することになる。

上述した構成のクランプトレイ１において、可動部１３ｂは通常、ばね部材１３ｃの付勢力によって、枠部１３ａと当接するまで図４での左下方向に移動している。このとき、図１に示すように、収容穴１ａから第１板ばね１３ｄ及び第２板ばね１３ｅが露出している。また、このとき、駆動穴１ｂへ所定のピンを挿入することによって、可動部１３ｂをばね部材１３ｃの付勢力に抗して図４での右上方向へ移動させることが可能である。

クランプトレイ１にワークを位置決め固定する場合には、まず、駆動穴１ｂにピンを挿入し、可動部１３ｂを図４での右上方向へ移動させる。これにより、第１板ばね１３ｄ及び第２板ばね１３ｅは収容穴１ａから見えない位置に移動し、ワークを収容穴１ａに収容可能な状態となる。この状態で、収容穴１ａにワークを収容する。収容穴１ａはワークの外形よりも大きく形成されているため、この段階では、収容されたワークは位置決め固定されていない。

次に、駆動穴１ｂからピンを引き抜くと、ばね部材１３ｃの付勢力によって可動部１３ｂが図４での左下方向へ移動する。これにより、第１板ばね１３ｄと第２板ばね１３ｅがワークに当接して、ワークを左下方向へ移動させることになる。

その結果、第１板ばね１３ｄと第２板ばね１３ｅ及びあて板１２によって、ワークは位置決めされるとともに挟持され固定される。このとき可動部１３ｂは、収容されたワークを押さえて固定する固定位置にある。また、第１板ばね１３ｄと第２板ばね１３ｅはワークを付勢している。

位置決め固定されたワークを収容穴１ａから取り出す場合には、駆動穴１ｂにピンを再度挿入し、可動部１３ｂを移動させれば良い。これによってワークの挟持が解除され、ワークを取り出すことが可能となる。このとき可動部１３ｂは、固定されたワークを解放する解放位置にある。

以上に説明した通り、クランプトレイ１の内部には、収容されたワークを押さえて固定する固定機構（あて板１２、可動部１３ｂ、及びばね部材１３ｃを含む）が設けられている。これによりクランプトレイ１は、収容されたワークを適切に固定することが可能である。

また、クランプトレイ１を用いたワークの処理工程の一つとして、例えば、クランプトレイ１に固定されたワークを洗浄液に浸して当該ワークを洗浄する工程（洗浄工程）がある。このような洗浄工程では、クランプトレイ１ごと洗浄液に浸されるため、その内部に洗浄液が入り込むことになる。洗浄工程の後には、クランプトレイ１のメンテナンス等の観点から、内部に入り込んだ洗浄液を排出させておくことが要求される。

この点、本実施形態のクランプトレイ１は、内部に入り込んだ洗浄液を容易に排出できる。より具体的に説明すると、クランプトレイ１には、クランプトレイ１の内部と側方外部に繋がるように形成された排出溝１１ａが形成されている。そのため、例えば図６（内部形態を分かり易くするため、カバー板１５を非表示としている）に示すように、クランプトレイ１の一側面が鉛直下向となるようにクランプトレイ１を保持しておくと、クランプトレイ１の内部に入り込んでいる洗浄液は、重力の作用によって排出溝１１ａを通って下に落ち、クランプトレイ１から排出される。

なお、排出溝１１ａは、クランプトレイ１の外形（長方形）の四辺全てに対応して形成されている。そして排出溝１１ａの伸びる方向は、各辺に対して平行ではない方向（具体的には４５度ずれた方向）である。そのためクランプトレイ１は、何れの辺の側面を鉛直下向とするかに関わらず、排出溝１１ａを利用して洗浄液を排出させることが可能である。

また、図６に示すように、排出溝１１ａは、ばね部材１３ｃ（特にＵ字状の部分）と積層方向隣接する位置に形成されている。そのため、ばね部材１３ｃの位置に入り込んだ洗浄液についても、排出溝１１ａによって円滑に排出させることが可能となる。

［第２実施形態］
次に第２実施形態について説明する。なお、以下の説明では、第１実施形態と異なる部分の説明に重点をおき、共通する部分については説明を省略することがある。

図７に、第２実施形態に係る流路付きワーククランプトレイ２（以下、「クランプトレイ２」と記すことがある）の斜視図を示す。図７に示すようにクランプトレイ２は、ベースプレート２１、枠プレート２３、およびカバープレート２２の各プレート部材が、この順に積層配置された構成となっている。更にクランプトレイ２の側面には、排出溝２１ａ（図９を参照）の先端が見えている。

また、クランプトレイ２の内部には、可動プレート２４（図１０を参照）が配置されているとともに、４個の柱部２５が平面方向に離隔配置されている。なお、ベースプレート２１と枠プレート２３の間、および枠プレート２３とカバープレート２２の間の少なくとも一方には、可動プレート２４の移動を円滑にするため、所定厚さのスペーサープレートが介装されても良い。

図８に、図７のＢ−Ｂ線における垂直断面図を示す。本図に示すように、可動プレート２４の貫通穴１４ｆを挿通するように、ベースプレート２１とカバープレート２２の間に柱部２５が設けられている。柱部２５は、カバープレート２２（或いはベースプレート２１）の撓みを抑える役割を果たす。なお、貫通穴２４ｆの内周と柱部２５の外周との隙間は、可動プレート２４の移動量よりも広く設定されている。そのため、柱部２５が可動プレート２４の移動を妨げることはない。

次に各プレート部材（２１〜２４）の構成、およびこれらを用いてクランプトレイ２が形成される工程の一例について、図９〜図１１を参照しながら以下に説明する。図９は、ベースプレート２１の平面図である。本図に示すようにベースプレート２１は、四角形の１つ角部を切り取った形状（略四角形の形状）となっている。

ベースプレート２１の表面には、複数個の排出溝２１ａが形成されている。排出溝２１ａは、クランプトレイ２の内部から液体（特にワークの洗浄液）を排出させる溝として、クランプトレイ２の内部と側方外部に繋がるように形成された溝である。ベースプレート２１に排出溝２１ａを形成する手法としては、フォトエッチング加工などが好適である。

また、図９に示すように、排出溝２１ａは、クランプトレイ１の平面形状である略四角形の四辺全てに対応して形成されている。そして排出溝２１ａとしては、ｘ軸方向へ伸びる溝とｙ軸方向へ伸びる溝との両方が形成されている。なお、排出溝２１ａの役割は、第１実施形態の排出溝１１ａの場合と基本的に同様である。

図１０は、ベースプレート２１に柱部２５を取り付けて形成された第１中間製造物Ｙ１、および、枠プレート２３と可動プレート２４の平面図である。枠プレート２３は、ベースプレート２１と同じ外形で、内側に中央空間を有している。可動プレート２４は、枠プレート２３の中央空間に所定方向（図１０に着色矢印で示す方向）へ移動可能に配置されており、収容穴２ａが形成されている。

また、四角形状の可動プレート２４は、対向する角部から外方に突出する第１突出部２４ｄと第２突出部２４ｅとを有する。第１突出部２４ｄは枠プレート２３の切れ目から外方に突出し、第２突出部２４ｅは枠プレート２３の切り欠き部に係入している。また、可動プレート２４には、柱部２５を通すための貫通穴２４ｆが設けられている。

また、図１０に示すように、可動プレート２４における四角形状の各収容穴２ａには、ワークをｘ軸方向に付勢する略Ｕ字状の第１板ばね２４ｂとｙ軸方向に付勢する略Ｕ字状の第２板ばね２４ｃとが、隣り合う２つの内壁面にそれぞれ可動プレート２４と一体に形成されている。

なお、第１板ばね２４ｂと第２板ばね２４ｃとは、可動プレート２４と別体に作製し、可動プレート２４に取り付けても構わないが、部品数の増加を抑えてクランプトレイ２の組み立て作業を容易化する観点などから、第１板ばね２４ｂと第２板ばね２４ｃは可動プレート２４と一体に形成するのが望ましい。第１板ばね２４ｂ、第２板ばね２４ｃ、および可動プレート２４を一体形成する際には、従来公知の形成方法を用いることができ、中でもフォトエッチング加工が好適に使用できる。

また、図１０に示すように、枠プレート２３の各内壁面には、可動プレート２４の移動可能方向へ可動プレート２４を付勢するばね部材２３ａが、枠プレート２３および可動プレート２４と一体に形成されている。枠プレート２３、ばね部材２３ａ、および可動プレート２４を一体形成する際には、前述のフォトエッチング加工が好適に使用できる。枠プレート２３と可動プレート２４を第１中間製造物Ｙ１の上に積層配置することにより、図１１に示す第２中間製造物Ｙ２が形成される。

図１１は、第２中間製造物Ｙ２およびカバープレート２２の平面図である。なお、図１１では、排出溝２１ａの形成位置を分かり易くするため、枠プレート２３および可動プレート２４の一部を透過して、排出溝２１ａが表示されるようにしている。

カバープレート２２はベースプレート２１と同じ外形を有しており、収容穴２ａが形成されている。カバープレート２２は、第２中間製造物Ｙ２の上に積層配置される。そして更に所定の接合工程などを経て、クランプトレイ２が完成することになる。

ベースプレート２１と枠プレート２３の接合、および枠プレート２３とカバープレート２２の接合には、例えばスポット溶接やネジによる締結など、従来公知の接合方法を用いることができる。また、ベースプレート２１、カバープレート２２、および枠プレート２３を磁性体材料で構成した場合には、磁石によってそれらを接合するようにしてもよい。このようにすれば、クランプトレイ２の組立・分解作業が容易となり、枠プレート２３や可動プレート２４が使用により劣化した場合には新しいものと交換できるようになる。

上述した構成のクランプトレイ２において、可動プレート２４は通常、ばね部材２３ａの付勢力によって、枠プレート２３と当接するまで図１０での右上方向に移動している。これにより、第１突出部２４ｄの位置は、枠プレート２３から外方に突出した位置となっている。このとき、図１２（ａ）に示すように、カバープレート２２の収容穴２ａから第１板ばね２４ｂ及び第２板ばね２４ｃが露出している。

クランプトレイ２にワークを位置決め固定する場合には、まず、第１突出部２４ｄに力を加え、これをばね部材２３ａの付勢力に抗して図１０での左下方向に押し入れる。これにより、可動プレート２４はその方向に移動し、図１２（ｂ）に示すように、第１板ばね２４ｂ及び第２板ばね２４ｃは収容穴２ａから見えない位置に移動し、ワークを収容穴２ａに収容可能な状態となる。次いで、図１２（ｃ）に示すように、収容穴２ａにワークを収容する。収容穴２ａは、ワークの大きさのバラツキを考慮し標準的なワークの外形よりも大きく形成されている。そのためこの段階では、収容されたワークは位置決め固定されていない。

次に、第１突出部２４ｄに加えていた力を外すと、ばね部材２３ａの付勢力によって可動プレート２４は第１突出部２４ｄが外方に突出する位置に移動する。このとき、図１２（ｄ）に示すように、第１板ばね２４ｂと第２板ばね２４ｃがワークに当接してワークを右上方向へ移動させることになる。そして、第１板ばね２４ｂと第２板ばね２４ｃ及びカバープレート２２の収容穴２ａの内周面によって、ワークは位置決めされるとともに挟持され固定される。このとき可動プレート２４は、収容されたワークを押し付けて固定する固定位置にある。

位置決め固定されたワークを収容穴２ａから取り出す場合は、第１突出部２４ｄを図１０での左下方向に押せば良い。これにより、可動プレート２４が同じ方向へ移動してワークの挟持が解除され、ワークを取り出すことが可能となる。このとき可動プレート２４は、固定されたワークを解放する解放位置にある。

以上に説明した通り、クランプトレイ２の内部には、収容されたワークを押さえて固定する固定機構（ばね部材２３ａおよび可動プレート２４を含む）が設けられている。これによりクランプトレイ２は、収容されたワークを適切に固定することが可能である。

また、クランプトレイ２を用いたワークの処理工程の一つとして、例えば、第１実施形態の場合と同様に、ワークを洗浄する洗浄工程がある。そこで第２実施形態のクランプトレイ２についても、クランプトレイ２の内部と側方外部に繋がるように形成された排出溝２１ａが形成されている。そのためクランプトレイ２は、第１実施形態のクランプトレイ１の場合と同様の原理により、内部に入り込んだ洗浄液を容易に排出できる。

また、図１１に示すように、排出溝２１ａは、ばね部材２３ａと積層方向隣接する位置に形成されている。そのためクランプトレイ２は、ばね部材２３ａに入り込んだ洗浄液も、排出溝２１ａによって円滑に排出される。また、排出溝２１ａは、クランプトレイ２の外形（略四角形）の四辺全てに対応して形成されている。

そして更にクランプトレイ２では、それぞれ異なる方向へ伸びる複数個の排出溝２１ａ（ｘ軸方向へ伸びる溝とｙ軸方向へ伸びる溝）が設けられている。これにより、クランプトレイ２における側面のどの部分を鉛直下向としても、少なくとも一方の排出溝２１ａの伸びる方向は水平方向とならない。そのため、水平方向とならない排出溝２１ａを利用して、重力により洗浄液を排出させることが可能である。

なお、排出溝２１ａの具体的形態については上記の形態に限られず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改変を加えることが可能である。一例としては図１３に示すように、排出溝２１ａと同等の厚みとなるようにベースプレート２１の中央部分を加工しておき、この中央部分へ繋がるように排出溝２１ａが形成されても良い。なお、当該加工についても、フォトエッチング加工などが好適である。また、他の例としては図１４に示すように、排出溝２１ａとして、ｘ軸方向に対して４５度ずれた方向に伸びる溝と、これに直交する方向に伸びる溝との両方が形成されても良い。

また、異なる方向へ伸びる排出溝２１ａそれぞれの方向は、互いに直交しない方向に設定されても良い。上記の他、排出溝２１ａの具体的形態は、クランプトレイ２の仕様や用途などに応じて適切に設定され得る。

以上に説明したように各実施形態のワーククランプトレイは、ワークを収容する複数個の収容穴が設けられた板状の外形を有し、収容されたワークを押さえて固定する固定機構が内部に設けられている。そして内部から液体を排出させる溝として、内部と側方外部に繋がる排出溝が形成されている。そのため、内部に入り込んだ洗浄液などの液体を排出させることが容易となっている。

本発明は、各種のワークをクランプするワーククランプトレイに利用可能である。

１ ワーククランプトレイ（第１実施形態）
１ａ 収容穴
１ｂ 駆動穴
１１ ベース板
１１ａ 排出溝
１２ あて板
１３ ばね板
１３ａ 固定部
１３ｂ 可動部
１３ｃ ばね部材
１３ｄ 第１板ばね
１３ｅ 第２板ばね
１４ スペーサー板
１５ カバー板
２ ワーククランプトレイ（第２実施形態）
２ａ 収容穴
２１ ベースプレート
２１ａ 排出溝
２２ カバープレート
２３ 枠プレート
２３ａ ばね部材
２４ 可動プレート
２４ｂ 第１板ばね
２４ｃ 第２板ばね

Claims (4)

1. ワークを収容する複数個の収容穴が設けられた板状の外形を有し、収容されたワークを押さえて固定する固定機構が内部に設けられ、内部から液体を排出させる溝として、内部と側方外部に繋がる排出溝が形成されたワーククランプトレイであって、
   ベースプレートとカバープレートとの間に枠プレートが積層配置され、
   前記枠プレートの内側に、前記固定機構の少なくとも一部である可動プレートが移動可能に配置され、
   ベースプレート及びカバープレートの少なくとも一方と前記可動プレートとに、前記収容穴が形成され、
   前記可動プレートは、その移動方向へワークを押さえて固定する位置と、当該固定されたワークを解放する位置とに移動が可能であり、
   前記枠プレートの内側に、前記可動プレートをその移動方向の一方側へ付勢するばね部材が設けられ、
   前記排出溝は、ベースプレートの表面の前記ばね部材と積層方向隣接する位置に形成されている
   ことを特徴とする流路付きワーククランプトレイ。
2. それぞれ異なる方向へ伸びる複数個の前記排出溝が設けられた請求項１記載の流路付きワーククランプトレイ。
3. 前記異なる方向は、互いに直交する方向である請求項２記載の流路付きワーククランプトレイ。
4. 平面形状が四角形であり、
   前記排出溝は、前記四角形の四辺全てに対応して設けられている請求項１〜３のいずれかに記載の流路付きワーククランプトレイ。