JP6347050B2 - 固体光源装置 - Google Patents

固体光源装置

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Description

本開示は、固体光源装置であり、より詳細には半導体発光素子と波長変換素子とを備えた固体光源装置に関する。
近年、プロジェクターやヘッドライトなどの投射照明用途において、光出力が大きい白色固体光源が要望されている。現在、プロジェクターの光源としては高輝度の水銀ランプなどの放電ランプがあり、ヘッドライト光源としてはハロゲンランプなどのランプがある。しかし、これらは寿命が比較的短い、発光効率が低い、等の課題がある。そこで、発光効率の高い光源として、LED(Light Emitting Diode)や半導体レーザ(LD:Laser Diode)などの半導体発光素子を用いた光源が注目されている。例えば特許文献1には、発光素子として半導体レーザを用い、それと蛍光体を用いた波長変換部とを備えることで白色光を出射することができる固体光源装置が提案されている。この固体光源装置の波長変換部にはR(赤)G(緑)蛍光体やRGB蛍光体を含有した層が積層され、そこに光源の青色や近紫外レーザの光が入射することで、高輝度の白色光を得ることができる。
以下、図18(a)および図18(b)を用いて従来の固体光源装置の構成について説明する。図18(a)に示す固体光源装置は、第1の励起光源10と、波長変換部材30と、ライトガイド20とから構成される。第1の励起光源10は、青色波長域の励起光1を射出するレーザ素子11を含む。波長変換部材30は、第1の励起光源10から射出される励起光1を吸収し、その後、励起光1の波長を変換する。波長変換部材30は、励起光1よりも長波長域の光を放出する1種以上の蛍光物質を含む。ライトガイド20は、第1の励起光源10から射出される励起光1を波長変換部材30へ導出する。図18(b)に示す波長変換部材30は、樹脂中に赤色蛍光体31bが分散された層と樹脂中に緑色蛍光体31aが分散された層とが積層されて構成されている。この波長変換部材30は、図18(a)における出力部21に取り付けられている。
特開2006−173324号公報
しかしながら、上記の構成では以下の課題があげられる。蛍光体励起光源からの励起光1が、波長変換部材30に入射すると、励起光1が、樹脂中に緑色蛍光体31aが分散された層により波長変換される。この波長変換された光は、その後、樹脂中に赤色蛍光体31bが分散された層に入射する。そのため、樹脂中に緑色蛍光体31aが分散された層により波長変換された光が赤色蛍光体31bに吸収されてしまう。その結果として、発光効率の低下が課題となる。
本開示は、一つの蛍光体により波長変換された光が他の蛍光体に再吸収されることを抑制し、発光効率のよい白色光を得ることを目的とする。
本開示の固体光源装置は、半導体発光素子と波長変換素子とを備えた固体光源である。半導体発光素子は、第1の発光部と、第2の発光部と、を有している。波長変換素子は、第1の蛍光体材料を含有する第1の波長変換部と、第2の蛍光体材料を含有する第2の波長変換部と、を有する。第1の波長変換部と第2の波長変換部とは離間して配置されている。第1の発光部が第1の励起光を出射し、第2の発光部が第2の励起光を出射する。第1の蛍光体材料は、第1の励起光を第1の波長の光に変換し、第2の蛍光体材料は、第2の励起光を第2の波長の光に変換する。
第1の波長変換部と第2の波長変換部とが離間して配置されているため、第1の励起光が第2の蛍光体材料に吸収されるのを抑制することができる。また、第2の励起光が第1の蛍光体材料に吸収されるのを抑制することができる。その結果、発光効率のよい白色光を得ることができる。
本開示の第1の実施形態の固体光源装置の構成および動作を説明する模式図 本開示の第1の実施形態の固体光源装置の動作を説明する模式図 本開示の第1の実施形態の固体光源装置の動作を説明する図 本開示の第1の実施形態の固体光源装置の動作を説明する図 本開示の第1の実施形態の固体光源装置の変形例の構成を説明する図 本開示の第1の実施形態の固体光源装置の変形例の動作を説明する図 本開示の第2の実施形態の固体光源装置の構成および動作を説明する模式図 本開示の第2の実施形態の固体光源装置の動作を説明する図 本開示の第2の実施形態の固体光源装置の効果を説明するための比較例を説明する図 本開示の第2の実施形態の固体光源装置の効果を説明する図 本開示の第2の実施形態の固体光源装置の効果を説明する図 本開示の第3の実施形態の固体光源装置の構成および動作を説明する模式図 本開示の第4の実施形態の固体光源装置の構成および動作を説明する模式図 本開示の第4の実施形態の固体光源装置の構成を説明する図 本開示の第5の実施形態の固体光源装置の構成および動作を説明する模式図 本開示の第6の実施形態の固体光源装置の構成および動作を説明する模式図 本開示の第1〜第6の実施形態の固体光源装置の変形例の構成を説明する図 (a)従来の固体光源装置の構成を説明する図(b)従来の固体光源装置の波長変換部材の構成を説明する図
本開示に係る実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下に示す各実施形態は一例であって、本発明はこれらの実施形態には限定されない。
(第1の実施形態)
以下、本開示の第1の実施形態における固体光源装置について、図面を参照しながら説明する。
図1に示すように、第1の実施の形態における固体光源装置101は、半導体発光素子111と波長変換素子150とを備えている。半導体発光素子111は、第1の発光部111aと、第2の発光部111bとを有している。波長変換素子150は、第1の蛍光体材料を含有する第1の波長変換部151Aと、第2の蛍光体材料を含有する第2の波長変換部151Bと、を有する。第1の波長変換部151Aと第2の波長変換部151Bとは離間して配置されている。第1の発光部111aが第1の励起光161aを出射し、第2の発光部111bが第2の励起光161bを出射する。第1の蛍光体材料は、第1の励起光161aを第1の波長の光170Aに変換し、第2の蛍光体材料は、第2の励起光161bを第2の波長の光170Bに変換する。
第1の波長変換部151Aと第2の波長変換部151Bとが離間して配置されているため、第1の励起光161aが第2の蛍光体材料に吸収されるのを抑制することができる。また、第2の励起光161bが第1の蛍光体材料に吸収されるのを抑制することができる。その結果、発光効率のよい白色光を得ることができる。
以下、より具体的な構造等について説明する。
(構成)
図1は、第1の実施形態における固体光源装置101の構造を模式的に示す図である。半導体発光素子111は、例えばIII族元素(Al、Ga、In)の窒化物からなる窒化物半導体レーザ素子である。半導体発光素子111上にはリッジストライプ形状の第1の発光部111a、第2の発光部111b、第3の発光部111cが略平行に設けられている。半導体発光素子111の出射方向にはコリメータレンズ120と集光レンズ140が順に配置されている。コリメータレンズ120が、半導体発光素子111からの出射光を平行光にした後、第1のレンズとしての集光レンズ140がこの平行光を集光する。集光レンズ140の焦点位置には波長変換素子150が配置されている。
なお、固体光源装置101の大きさは、装置全体で長さ40mm、幅15mm、高さ15mm程度である。より具体的には、半導体発光素子111の共振器方向の長さは1mm程度、集光レンズ140の瞳径は12mm程度、波長変換素子150は一辺の長さが5mm程度の正方形である。
なお、固体光源装置101、コリメータレンズ120、集光レンズ140、波長変換素子150の大きさや形状は上記に限られず、固体光源装置101を搭載する機器に応じて適宜変更することができる。
(半導体発光素子)
半導体発光素子111は、基板上に半導体層が積層された構造によりなる。具体的には、例えば、n型GaN基板である基板上に、III族元素(Al、Ga、In)の窒化物である半導体層が積層されて半導体発光素子111を構成している。本実施の形態においては、基板上にn型クラッド層、n型光ガイド層、InGaN量子井戸層、p型光ガイド層、電子ブロック層、p型クラッド層、p型電極コンタクト層の順で半導体層を積層することにより半導体発光素子111を構成している。窒化物半導体のn型ドーパントとしては、例えばSiやGeなどを用いることができる。窒化物半導体のp型ドーパントとしてはMgなどを用いることができる。
半導体発光素子111に形成される第1の発光部111a、第2の発光部111b、第3の発光部111cは、例えば、p型電極やリッジストライプである。第1の発光部111a、第2の発光部111b、第3の発光部111cは、例えばリフトオフ法により形成される。具体的には、半導体層が積層されたウエハ表面に、BHFおよび水洗により前処理を行った後、CVDなどでSiO膜を成膜する。このSiO膜に対してフォトリソグラフィーを用いてリッジストライプのマスクパターニングを行い、ドライエッチングによりリッジ状のストライプ構造を形成する。したがって、本実施形態に示す複数の第1の発光部111a、第2の発光部111b、第3の発光部111cの間隔はフォトリソグラフィーにより正確に制御される。続いて、ストライプ構造の最上部には、例えばPdとPtなどの金属を蒸着、パターニングすることでp電極が形成される。これら第1の発光部111a、第2の発光部111b、第3の発光部111cは近紫外領域にピーク波長がある励起光を出射する。
(コリメータレンズ)
コリメータレンズ120としては、例えばB270などのクラウンガラスやBK7などの硼珪酸ガラスなどからなる非球面レンズ等を用いることができる。そして、コリメータレンズ120の表面には、半導体発光素子111の出射光の波長に合わせた誘電体多層膜が反射防止膜として形成されている。
なお、本実施形態においてはコリメータレンズ120の例として非球面レンズを例に挙げて説明したが、コリメータレンズ120としては非球面レンズに限らず球面レンズやフレネルレンズを用いることができる。
(ダイクロイックミラー)
ダイクロイックミラー130は、例えば、波長430nm以下の光を透過し、波長430nm以上の光を反射するように設計される。具体的には、例えばB270などの白板ガラス上に、CaF、MgF、SiO、Al、ZrO、TiOなどの誘電体膜が多層に形成された誘電体多層膜が形成され、およそ45°方向の入射光に対して、所定の透過特性・反射特性になるように設計される。
(集光レンズ)
集光レンズ140としては、例えばB270などのクラウンガラスやBK7などの硼珪酸ガラスなどからなる非球面レンズを用いることができる。この非球面レンズは、放射光に対して高い開口数(NA)、例えば0.9以上に設定される。非球面レンズが波長変換部から放射される蛍光である放射光を効率良く取り込むようにするためである。
なお、本実施形態においては集光レンズ140の例として非球面レンズを例に挙げて説明したが、集光レンズ140としては非球面レンズに限らず球面レンズを用いることができる。
(波長変換素子)
波長変換素子150は、例えばアルミ合金材料で構成される基台152に第1の凹部152A、第2の凹部152B、第3の凹部152Cが設けられた構成をしている。第1の凹部152Aには第1の波長変換部151Aが設けられている。第2の凹部152Bには、第2の波長変換部151Bが設けられている。第3の凹部152Cには、第3の波長変換部151Cが設けられている。この第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151Cは、半導体発光素子111からの出射光の波長を長波長に変換させる蛍光体などで構成される。第1の波長変換部151Aの具体例としては、波長380nm〜430nmの光を波長550nm〜700nmの光に変換する蛍光体が、例えばシリコーン、エポキシなどの有機材料もしくは、低融点ガラスなどの無機材料で構成されるバインダーに混合されてなる。また、第2の波長変換部151Bの具体例としては、波長380nm〜430nmの光を波長500nm〜600nmの光に変換する蛍光体がバインダーに混合されてなる。第3の波長変換部151Cの具体例としては、波長380nm〜430nmの光を波長430nm〜500nmの光に変換する蛍光体がバインダーに混合されてなる。第1の波長変換部151Aに用いる蛍光体の具体的な例としては、(Sr,Ca)AlSiN:Eu2+蛍光体などの赤色蛍光体である。第2の波長変換部151Bに用いる蛍光体の具体的な例としては、Y(Ga,Al)12:Ce3+蛍光体、β−SiAlON蛍光体などの緑色蛍光体である。第3の波長変換部151Cに用いる蛍光体の具体的な例としては、SiMgSi:Eu2+蛍光体などの青色蛍光体である。
上述の第1の波長変換部151Aと、第2の波長変換部151Bと、第3の波長変換部151Cとが4mmの直径を有する単一の円内に配置されることが好ましい。さらには、第1の波長変換部151Aと、第2の波長変換部151Bと、第3の波長変換部151Cとが2mmの直径を有する単一の円内に配置されることがより好ましい。第1の波長変換部151Aと第2の波長変換部151Bとの間隔、及び第2の波長変換部151Bと第3の波長変換部151Cとの間隔は、基台152に形成される第1の凹部152A、第2の凹部152B、第3の凹部152Cの配置により決まる。これらの第1の凹部152A、第2の凹部152B、第3の凹部152Cは、例えば金型等を用いたプレス加工により正確に基台152上に形成される。
(動作)
続いて本実施形態における固体光源装置101の動作を、図1から図4を用いて説明する。半導体発光素子111の第1の発光部111a、第2の発光部111b、第3の発光部111cから、例えば近紫外領域である波長380nm〜430nmのレーザ光である第1の励起光161a、第2の励起光161b、第3の励起光161cがそれぞれ出射される。第1の励起光161a、第2の励起光161b、第3の励起光161cが、コリメータレンズ120により平行光である第1の出射光162a、第2の出射光162b、第3の出射光162cに変換される。そして第1の出射光162a、第2の出射光162b、第3の出射光162cはダイクロイックミラー130を通過し、集光レンズ140に入射する。第1の出射光162a、第2の出射光162b、第3の出射光162cは、集光レンズ140により波長変換素子150に集光される。第1の出射光162aは第1の波長変換部151Aに入射する。第2の出射光162bは第2の波長変換部151Bに入射する。第3の出射光162cは第3の波長変換部151Cに入射する。このとき、図2に示すように、第1の発光部111aと第2の発光部111bの距離をh、第1の波長変換部151Aと第2の波長変換部151Bの距離をh’とした場合、コリメータレンズ120と集光レンズ140の横倍率βの設計を以下の式で示すように設定する。
Figure 0006347050
例えば、第1の発光部111aと第2の発光部111bの距離、第2の発光部111bと第3の発光部111cの距離を200μmに設定し、第1の波長変換部151Aと第2の波長変換部151Bの距離、第2の波長変換部151Bと第3の波長変換部151Cの距離を200μmに設定した場合、コリメータレンズ120と集光レンズ140の横倍率βは1となる。
このようにコリメータレンズ120と集光レンズ140の横倍率βを設定することで、第1の出射光162aを第1の波長変換部151Aに、第2の出射光162bを第2の波長変換部151Bに、第3の出射光162cを第3の波長変換部151Cに容易に入射させることができる。
また、このときの第1の出射光162a、第2の出射光162b、第3の出射光162cの集光レンズ140への入射領域は、集光レンズ140の瞳径に対して十分に小さくなるようにする。このような構成にすることで、第1の出射光162aが第1の波長変換部151Aに入射する角度を小さくすることができるため、(数1)で表される横倍率の設計をより自由に設定することができる。
なお、第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151Cはそれぞれ直径が0.2〜1mmぐらいであり、それらの配置間隔は0.05〜0.2mmぐらいである。波長変換素子150上の所定の位置の直径4mm以下、好ましくは直径2mm以下の範囲に配置する。
第1の波長変換部151Aに入射した第1の出射光162aの一部は、第1の波長変換部151Aに含まれる蛍光体によりピーク波長が550nm〜700nmの範囲にある第1の波長の光170Aに変換され出射される。第2の波長変換部151Bに入射した第2の出射光162bの一部は、第2の波長変換部151Bに含まれる蛍光体によりピーク波長が500nm〜600nmの範囲にある第2の波長の光170Bに変換され出射される。第3の波長変換部151Cに入射した第3の出射光162cの一部は、第3の波長変換部151Cに含まれる蛍光体によりピーク波長430nm〜500nmの範囲にある第3の波長の光170Cに変換され出射される。
第1の波長の光170A、第2の波長の光170B、第3の波長の光170Cは、その放射角度がランバーシアンである放射光となる。第1の波長の光170A、第2の波長の光170B、第3の波長の光170Cは、集光レンズ140に入射し平行光となりダイクロイックミラー130で反射され、外部に取り出される。このときダイクロイックミラー130は、波長430nm以下の光を透過し、波長430nm以上の光を反射する。この構成により波長変換素子150からの放射光である第1の波長の光170A、第2の波長の光170B、第3の波長の光170Cを効率良く外部を取り出すことができる。またダイクロイックミラー130で反射された第1の波長の光170A、第2の波長の光170B、第3の波長の光170Cは固体光源装置101から放射される際、互いに混色され、白色光の放射光170となり放射される。上記構成により、第1の波長変換部151Aから放射される第1の波長の光170Aが第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151Cに入射することを抑制することができる。また、第2の波長変換部151Bから放射される第2の波長の光170Bが第1の波長変換部151A、第3の波長変換部151Cに入射することを抑制することができる。さらに、第3の波長変換部151Cから放射される第3の波長の光170Cが第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151Bに入射することを抑制することができる。
(発光スペクトル)
続いて図3および図4を用いて本実施形態の発光スペクトルについて説明する。
図3に示すように、第1の波長変換部151Aから放射される第1の波長の光170Aの蛍光スペクトルは、蛍光ピーク波長が620nm、半値幅90nmである。第2の波長変換部151Bから放射される第2の波長の光170Bの蛍光スペクトルは、蛍光ピーク波長が540nm、半値幅50nmである。第3の波長変換部151Cは、蛍光体材料としてSiMgSi:Eu2+蛍光体を含有し、第3の波長の光170Cを放射する。第1の波長の光170A、第2の波長の光170B、第3の波長の光170Cが合波され出射される放射光170は色温度5000Kの白色光である。上記において、第1の波長変換部151Aは、例えば、CaAlSiN:Eu2+蛍光体や、(Sr,Ca)AlSiN3:Eu2+蛍光体を用いることができる。また、第2の波長変換部151Bは、例えば、β−SiAlON:Eu2+蛍光体を用いることができる。
さらに図4を用いて、異なる蛍光体材料を用いた場合についても説明する。図4において、波長変換素子150の第1の波長変換部151AにはLiW:Eu3+の蛍光体を用いた。また第2の波長変換部151BにはY(Ga,Al)5O12:Ce3+蛍光体を用いた。第3の波長変換部151CにはSiMgSi:Eu2+蛍光体を用いた。この構成においては、放射光170の発光スペクトルにおいて波長650nm以上の光がほとんど含まれていない。このためディスプレイ等の装置に用いることで光利用効率の高い装置を実現することができる。
(機能および効果)
このような構成により、半導体発光素子111からの第1の励起光161aが、第1の波長変換部151Aに入射する。第2の励起光161bが第2の波長変換部151Bに入射する。第3の励起光161cが第3の波長変換部151Cに入射する。その結果、異なる蛍光スペクトルを有する蛍光体材料を励起させ発光させることができる。また、基台152は第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151Cから放射される蛍光に対して反射率の高いアルミ合金材料で構成される。第1の波長変換部151Aは基台152に形成される第1の凹部152Aに配置される。第2の波長変換部151Bは基台152に形成される第2の凹部152Bに配置される。第3の波長変換部151Cは基台152に形成される第3の凹部152Cに配置される。したがって、例えば第1の波長変換部151Aから放射される第1の波長の光170Aは第2の波長変換部151Bと第3の波長変換部151Cに入射しない。したがって、第1の波長の光170Aが第2の波長変換部151Bと第3の波長変換部151Cに含まれる蛍光体に吸収されることを抑制することができる。また、第2の波長の光170Bが第1の波長変換部151Aと第3の波長変換部151Cに含まれる蛍光体に吸収されることを抑制することができる。その結果、第1の波長変換部151Aの蛍光体からの放射光と、第2の波長変換部151Bの蛍光体からの放射光とを効率良く外部に取り出すことができ、発光効率のよい白色光として放射光170を放射させることができる。
また、半導体発光素子111に半導体レーザを用いることで、微小な第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151Cへ入射する光量を効率良く多くすることができる。レーザ光は指向性があるためである。そのため、LEDを励起光源したときよりも効率よく蛍光体を励起させることができる。さらに、複数の光出射点がある半導体レーザを半導体発光素子111に用いることで、半導体プロセスのマスクで発光点間隔の調整をすることが可能となる。また、光学素子点数を抑えることができる。このため多数の光学素子を用いたときに比べ、必要な光学素子の光軸アライメントが簡単になる。また、微小な第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151Cから蛍光を放射させるため、レンズ等を用いて、容易に、直進性が高く、後段の光学系との結合効率の高い白色光などの蛍光放射光を得ることができる。さらに、一般的にレーザ特性は光出力が大きいと熱の影響が大きくなり、電力−光変換効率が低下するが、ストライプを増やすことで、ストライプ1本あたりの動作点を低くすることができるため、電力−光変換効率が高く、光出力も大きいレーザ光源を提供することができる。
(変形例)
続いて図5および図6を用いて第1の実施形態の変形例について説明する。本変形例において、半導体発光素子111は中心波長430nmから480nmの出射光を放射する窒化物半導体レーザ素子である。波長変換素子150は第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、そして偏光変換部191を備える。偏光変換部191は、例えば、酸化チタンなどの反射率が高い粒子が低融点ガラス等のバインダーに混合されて構成されている。そして、偏光変換部191における第3の出射光162cを受光する側の表面には、第3の出射光162cの波長よりも大きな凹凸が形成される。ダイクロイックミラー130は、第3の出射光162cの波長において、偏光方向に対して透過率が変化するように設定される。
具体的な動作について図2および図6を用いて説明する。半導体発光素子111の第1の発光部111a、第2の発光部111b、第3の発光部111cは中心波長445nmのレーザ光である第1の出射光162a、第2の出射光162b、第3の出射光162cを放射する。このとき、第1の出射光162a、第2の出射光162b、第3の出射光162cは第1の発光部111a、第2の発光部111b、第3の発光部111cが形成された面に対して平行な方向に電界成分をもつ偏光である。第1の出射光162aは、ダイクロイックミラー130を通過し、第1の波長変換部151Aに入射する。第2の出射光162bは、ダイクロイックミラー130を通過し、第2の波長変換部151Bに入射する。第1の波長変換部151Aは波長550nmから700nmの間にピークを持つ蛍光スペクトルを有する第1の波長の光170Aを放射する。第2の波長変換部151Bは波長500nmから600nmの間にピークを持つ蛍光スペクトルを有する第2の波長の光170Bを放射する。第1の波長の光170Aが有する蛍光スペクトルと第2の波長の光170Bが有する蛍光スペクトルとは異なる。第3の出射光162cは、偏光変換部191に入射し、偏光方向が変化した、もしくは無偏光な第4の出射光190となり、偏光変換部191に反射される。このため、第4の出射光190の一部もしくは全部は、ダイクロイックミラー130で反射され、白色光の放射光170を構成する光として固体光源装置101から放射される。
上記、白色光の放射光170の発光スペクトルの例を図6に示す。ここで第1の波長の光170Aは(Sr,Ca)AlSiN:Eu2+蛍光体から放射される光である。第2の波長の光170BはY(Ga,Al)12:Ce3+蛍光体から放射される光である。この第1の波長の光170A、第2の波長の光170Bと第4の出射光190との混合光である白色光の放射光170の色温度が約5000Kとなるように設定した。
上記構成によって、第1の波長の光170Aが、第1の波長変換部151Aから放射された後に、第2の波長変換部151Bに入射することを抑制することができる。また、第2の波長の光170Bが、第2の波長変換部151Bから放射された後に、第1の波長変換部151Aに入射することを抑制することができる。また、第4の出射光190が、偏光変換部191に反射された後に、第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151Bに入射することを抑制することができる。したがって、第1の波長の光170Aが第2の波長変換部151Bに吸収されるのを抑制することができる。また、第2の波長の光170Bが第1の波長変換部151Aに吸収されるのを抑制することができる。また、第4の出射光190が第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151Bに吸収されるのを抑制することができる。その結果として、固体光源装置から白色光を効率よく放射させることができる。また、第1の波長の光170A、第2の波長の光170B、第4の出射光190は近接した非常に小さい領域から放射される。したがって、光学系との結合効率を高くすることができ、効率の高い固体光源装置を実現できる。
(第2の実施形態)
以下、本開示の第2の実施形態における固体光源装置201について、図7から図11を参照しながら説明する。本実施形態の固体光源装置201については、第1の実施形態の固体光源装置101と異なる部分についてのみ説明する。
図7は、第2の実施形態における固体光源装置201の構造を示す図である。本実施形態において半導体発光素子211の発光部は第1の発光部211a、第2の発光部211bの2本であり、また波長変換素子250の波長変換部は第1の波長変換部251Aと第2の波長変換部251Bの2つである。上記構成が第1の実施形態と異なる。
半導体発光素子211には、例えばリッジストライプの第1の発光部211a、第2の発光部211bが2つ設けられている。第1の発光部211a、第2の発光部211bから出射される第1の励起光261a、第2の励起光261bは、コリメータレンズ220により平行光である第1の出射光262a、第2の出射光262bとなる。第1の出射光262a、第2の出射光262bは、ダイクロイックミラー230を通過し、第1のレンズとしての集光レンズ240に入射する。第1の出射光262a、第2の出射光262bは集光レンズ240の瞳に対して中央部分付近に入射し、集光され、波長変換素子250に入射される。
ここでダイクロイックミラー230は、ガラス板上に誘電体多層膜を有している。この誘電体多層膜は、45°方向から入射した光に関して、例えば波長430nm以下の光を透過し、波長430nm以上の光を反射する。
波長変換素子250は、例えばアルミ合金基板で構成された基台252上に構成された2つの第1の凹部252A、第2の凹部252Bを有する。第1の凹部252Aには蛍光体が含有された第1の波長変換部251Aが埋め込まれている。第2の凹部252Bには蛍光体が含有された第2の波長変換部251Bが埋め込まれている。第1の波長変換部251Aの蛍光体は、第2の波長変換部251Bの蛍光体と異なる。第1の波長変換部251Aを構成する蛍光体は例えば波長540nmから610nmの間に蛍光ピークを有するいわゆる黄色蛍光体が好ましい。黄色蛍光体の具体例は、SrSiO:Eu2+蛍光体、(Ba,Sr)Si:Eu2+蛍光体、(Ba,Sr)Si(O,Cl):Eu2+蛍光体、SrSi(O,Cl):Eu2+蛍光体、(Ca1−xSr(SiO12:Eu2+蛍光体などである。また第2の波長変換部251Bを構成する蛍光体は例えば波長430nmから520nmの間に蛍光ピークを有するいわゆる青色蛍光体が好ましい。青色蛍光体の具体例は、SiMgSi:Eu2+蛍光体、BaMgAl1017:Eu2+蛍光体、(Sr,Ca,Ba,Mg)10,(PO12:Eu2+蛍光体などである。
第1の出射光262aの第1の波長変換部251Aへの入射位置はコリメータレンズ220と集光レンズ240の光学倍率により高精度に調整することができる。また、第2の出射光262bの第2の波長変換部251Bへの入射位置はコリメータレンズ220と集光レンズ240の光学倍率により高精度に調整することができる。そして、例えば、第1の波長変換部251Aから放射される黄色光である第1の波長の光271Aと、第2の波長変換部251Bから放射される青色光である第2の波長の光271Bとが集光レンズ240で取り込まれ、ダイクロイックミラー230で反射されて白色光の放射光270として固体光源装置201より放射される。
(機能および効果)
上記の構成において、半導体発光素子211から出射された第1の励起光261aを第1の波長変換部251Aに位置精度良く入射させることができる。また、第2の励起光261bを第2の波長変換部251Bに位置精度良く入射させることができる。さらに、例えば第1の波長変換部251Aを黄蛍光体で構成し、第2の波長変換部251Bを青色蛍光体で構成するように、第1の波長変換部251Aに用いる蛍光体と第2の波長変換部251Bに用いる蛍光体とを異なる蛍光体で構成することにより、放射光270の色温度、スペクトルなどを容易に制御することができる。波長変換素子250を構成する基台252は例えばアルミ合金材料などの可視光を反射する材料からなる。第1の波長変換部251Aが第1の凹部252Aに埋め込まれている。第2の波長変換部251Bが第2の凹部252Bに埋め込まれている。このため、例えば第2の波長変換部251Bから放射される第2の波長の光271Bは第1の波長変換部251Aに含まれる蛍光体に吸収されない。つまり、異なる蛍光体同士で互いの放射光を吸収し、発光効率が低下することを抑制することができる。その結果、第2の波長変換部251Bの蛍光体からの放射光を効率よく外部へ取り出すことができるため、発光効率のよい白色光である放射光270を出射させることができる。
上記効果を図8から図11を用いて、より具体的に説明する。図8は、第1の波長の光271A、第2の波長の光271B、そして色温度5000Kの白色光である放射光270の光強度の波長依存性を示す図である。図8に用いた条件としては、励起光を波長405nmのレーザ光とし、第1の波長変換部251Aには蛍光ピーク波長577nm、スペクトル半値幅75nmの蛍光を放射する黄色蛍光体を用い、第2の波長変換部251Bを構成する蛍光体としてSiMgSi:Eu2+蛍光体を用いている。このとき黄色蛍光体の具体的な例としては、SrSiO:Eu2+蛍光体、(Ba,Sr)Si:Eu2+蛍光体、(Ba,Sr)Si(O,Cl):Eu2+蛍光体、SrSi(O,Cl):Eu2+蛍光体などが挙げられる。
上記構成と比較するために、波長445nmのレーザ光とYAG(YAl12:Ce3+)蛍光体を用いて構成した固体光源装置の発光スペクトルを図9に比較例としてあげる。本実施形態の構成に基づいて設計した図8に示すスペクトルと図9に示す比較例のスペクトルを用いて特性を比較した結果を図10に示す。色温度(Color temperature)Tc、平均演色数(General color rendering index)Raがほぼ同じに設定したときに、ストークスロスを考慮した理論限界発光効率(Theoretical limitation of luminous efficacy)は、ほぼ同じ270lm/Wとすることができる。これは本実施形態に示した構成において、黄色蛍光体と青色蛍光体における蛍光の再吸収がないため、蛍光体1種類の場合と比較して同等の発光効率を実現できることを示している。さらに、図11の色度座標に示すように、上記構成の固体光源装置を用いることにより、青色光と黄色光の強度比がずれたとしても黒体輻射に近い色度座標を示すことができる。さらに図8と図9を比較するとわかるように、本実施形態の白色光は、青色領域のスペクトルがブロードなためスペックルノイズ等が低く、眼への刺激が少ない白色光を放射させることができる。
なお上記構成においては、白色光を得るために、第1の波長変換部251Aが黄色蛍光体で構成され、第2の波長変換部251Bが青色蛍光体で構成された例を示したが、第1の波長変換部251Aが青緑色蛍光体で構成され、第2の波長変換部251Bがオレンジ色蛍光体で構成されてもかまわない。この場合、蛍光体材料としては、青緑色光についてはEu賦活BaZrSi蛍光体、オレンジ色光についてはEu賦活SrSiO蛍光体、Eu賦活α−SiAlON蛍光体などを用いることができる。
(第3の実施形態)
以下、本開示の第3の実施形態における固体光源装置301について、図12を参照しながら説明する。本実施形態の固体光源装置については、第1の実施形態の固体光源装置と異なる部分についてのみ説明する。
図12は、第3の実施形態における固体光源装置301の構造を示す図である。本実施形態の固体光源装置301は、波長変換素子350が第1の実施形態の固体光源装置と異なる。
波長変換素子350は、例えばアルミ合金板からなる基台352に第1の貫通孔352A、第2の貫通孔352B、第3の貫通孔352Cを有する。第1の貫通孔352Aには、波長550nmから波長700nmの間に蛍光ピーク波長を有する蛍光体材料を有する第1の波長変換部351Aが埋め込まれる。第2の貫通孔352Bには、波長500nmから波長600nmの間に蛍光ピーク波長を有する蛍光体材料を有する第2の波長変換部351Bが埋め込まれる。第3の貫通孔352Cには、波長430nmから波長500nmの間に蛍光ピーク波長を有する蛍光体材料を有する第3の波長変換部351Cが埋め込まれる。第1の波長変換部351Aが有する蛍光ピーク波長と、第2の波長変換部351Bが有する蛍光ピーク波長と、第3の波長変換部351Cが有する蛍光ピーク波長とはそれぞれ異なる。このとき第1の波長変換部351A、第2の波長変換部351B、第3の波長変換部351Cは、蛍光体材料が例えばシリコーンなどの有機透明材料や、低融点ガラスなどの無機透明材料などのバインダーに混合され埋め込まれて構成されている。波長変換素子350の基台352の一方の面には、ダイクロイックミラー353が接して配置される。ダイクロイックミラー353は、波長430nm以下を透過し、波長430nm以上の光を反射する誘電体多層膜が形成されたガラスを有する。さらに他方の面には、レンズ354が接して配置される。レンズ354は、第1の波長変換部351A、第2の波長変換部351B、第3の波長変換部351Cを構成する領域よりも十分大きい曲率半径を有する透明ガラスからなる。
上記構成の固体光源装置301において、半導体発光素子111の第1の発光部111a、第2の発光部111b、第3の発光部111cから、例えば波長380nm〜430nmのレーザ光である第1の励起光161a、第2の励起光161b、第3の励起光161cがそれぞれ出射される。第1の励起光161a、第2の励起光161b、第3の励起光161cが、コリメータレンズ120により平行光である第1の出射光162a、第2の出射光162b、第3の出射光162cに変換される。第1の出射光162a、第2の出射光162b、第3の出射光162cは、集光レンズ140に集光され、波長変換素子350に入射する。第1の出射光162a、第2の出射光162b、第3の出射光162cは、ダイクロイックミラー353を透過し、第1の波長変換部351A、第2の波長変換部351B、第3の波長変換部351Cにそれぞれ入射する。第1の波長変換部351Aが第1の出射光162aを例えば赤色光である第1の波長の光370Aに変換する。第2の波長変換部351Bが第2の出射光162bを例えば緑色光である第2の波長の光370Bに変換する。第3の波長変換部351Cが第3の出射光162cを例えば青色光である第3の波長の光370Cに変換する。第1の波長の光370A、第2の波長の光370B、第3の波長の光370Cは全方位に放射される。第1の波長の光370A、第2の波長の光370B、第3の波長の光370Cは、ダイクロイックミラー353および基台352の第1の貫通孔352A、第2の貫通孔352B、第3の貫通孔352Cを有する側壁により、レンズ354の方向に向かうように反射される。波長変換素子350のレンズ354側から放射された第1の波長の光370A、第2の波長の光370B、第3の波長の光370Cはレンズ354により平行光に近い白色光の放射光370となって固体光源装置301の外部に放射される。
(機能および効果)
このような構成により、半導体発光素子111の第1の発光部111a、第2の発光部111b、第3の発光部111cから出射された出射光は、微小な領域の異なる位置に配置された第1の波長変換部351A、第2の波長変換部351B、第3の波長変換部351Cに、精度良く入射させることが可能である。また、第1の波長変換部351Aから放射された第1の波長の光370Aは、第2の波長変換部351B、第3の波長変換部351Cに入射することなく固体光源装置301から放射される。第2の波長変換部351Bから放射された第2の波長の光370Bは、第1の波長変換部351A、第3の波長変換部351Cに入射することなく固体光源装置301から放射される。第3の波長変換部351Cから放射された第3の波長の光370Cは、第1の波長変換部351A、第2の波長変換部351Bに入射することなく固体光源装置301から放射される。
したがって、第1の波長の光370Aが第2の波長変換部351B、第3の波長変換部351Cに吸収されることを抑制することができる。また、第2の波長の光370Bが第1の波長変換部351A、第3の波長変換部351Cに吸収されることを抑制することができる。また、第3の波長の光370Cが第1の波長変換部351A、第2の波長変換部351Bに吸収されることを抑制することができる。その結果として、固体光源装置301の効率を向上させることができる。また、第1の波長の光370A、第2の波長の光370B、第3の波長の光370Cは、第1の波長変換部351A、第2の波長変換部351B、第3の波長変換部351Cのような微小領域から放射される。その結果、放射光370は、発光効率が良くかつ、後段に配置される光学系との結合効率が高い白色光を得ることができる。さらに、放射光370は第1の波長変換部351A、第2の波長変換部351B、第3の波長変換部351Cからレンズ354に直接入り、外部に取り出されるので、第1の実施形態のダイクロイックミラー130で取り出すときよりも光の損失を小さくできる。
(第4の実施形態)
以下、本開示の第4の実施形態における固体光源装置401について、図13および図14を参照しながら説明する。本実施形態の固体光源装置については、第1の実施形態の固体光源装置と異なる部分についてのみ説明する。
図13、14は、第4の実施形態における固体光源装置401の構造を示す図である。
波長変換素子450は、例えばアルミ合金板からなる基台452の中心に、たとえば第4の貫通孔461が形成され、そこに回転軸460が設けられている。さらに半導体発光素子111と対向しない側の面には、第1の波長変換部451A、第2の波長変換部451B、第3の波長変換部451Cを構成する領域よりも十分大きい曲率半径を有するレンズ454が配置される。レンズ454は透明ガラスで構成されている。レンズ454は第1の波長変換部451A、第2の波長変換部451B、第3の波長変換部451Cと接している。
半導体発光素子111の第1の発光部111a、第2の発光部111b、第3の発光部111cから、例えば波長380nm〜430nmのレーザ光である第1の励起光161a、第2の励起光161b、第3の励起光161cがそれぞれ出射される。第1の励起光161a、第2の励起光161b、第3の励起光161cが、コリメータレンズ120により平行光である第1の出射光162a、第2の出射光162b、第3の出射光162cに変換される。第1の出射光162a、第2の出射光162b、第3の出射光162cは、集光レンズ140に集光され、波長変換素子450に入射する。このとき、波長変換素子450は回転軸460を中心として回転している。
第1の波長変換部451Aが第1の出射光162aを例えば赤色光である第1の波長の光470Aに変換する。第2の波長変換部451Bが第2の出射光162bを例えば緑色光である第2の波長の光470Bに変換する。第3の波長変換部451Cが第3の出射光162cを例えば青色光である第3の波長の光470Cに変換する。
(機能および効果)
このような構成により、第1の波長変換部451A、第2の波長変換部451B、第3の波長変換部451Cは半導体発光素子111からの出射光を受けることで生じる発熱を抑えることができ、第1の波長変換部451A、第2の波長変換部451B、第3の波長変換部451Cの発熱による輝度低下を抑えることができる。
たとえば、第1の波長変換部451A、第2の波長変換部451B、第3の波長変換部451Cに含有される蛍光体のもっとも長い残光時間をT1(単位:秒)、波長変換素子の1秒あたりの回転数をR1としたとき、以下の式で示すように設定するのが好ましい。
Figure 0006347050
このような構成にすることで放射光470の輝度を保つことができる。
(第5の実施形態)
続いて、本開示の第5の実施形態における固体光源装置501について、図15を参照しながら説明する。本実施形態の固体光源装置の構成については、第4の実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
図15は、第5の実施形態における固体光源装置501の構造を示す図である。本実施形態の固体光源装置501は、レンズ554が波長変換素子に固定されていない点で異なる。
第1の波長変換部451Aが第1の出射光162aを例えば赤色光である第1の波長の光570Aに変換する。第2の波長変換部451Bが第2の出射光162bを例えば緑色光である第2の波長の光570Bに変換する。第3の波長変換部451Cが第3の出射光162cを例えば青色光である第3の波長の光570Cに変換する。
第1の波長の光570A、第2の波長の光570B、第3の波長の光570Cは空間的に離れているレンズ554に入射し、出射光570として白色光として外部に取り出される。
(機能および効果)
このような構成により、出射光570は、レンズ554によって、より広範囲の白色光を得ることが出来る。レンズ554は波長変換素子450から空間的に離れているため、第1の波長変換部451A、第2の波長変換部451B、第3の波長変換部451Cよりも十分に大きい曲率半径をもつことができる。このため、結合効率を高くすることができる。
(第6の実施形態)
続いて、本開示の第6の実施形態における固体光源装置601について、図16を参照しながら説明する。本実施形態の固体光源装置601の構成については、第2の実施形態と異なる部分についてのみ説明する。
図16は、第6の実施形態における固体光源装置601の構造を示す図である。この図16においては、半導体発光装置610の部分と、ダイクロイックミラー230から放射された後の光学系をより詳しく記載している。
半導体発光装置610は、第2の実施形態の半導体発光素子211が、例えばCANタイプと呼ばれるパッケージ612に搭載されている。具体的には半導体発光素子211は、図示しないサブマウントを介してパッケージ612に搭載され、さらに図示しない窓ガラス付き缶キャップにより気密封止される。
ダイクロイックミラー230から放射された後の光学系は、集光レンズ681、ロッドレンズ685、投射レンズ689を有する。ダイクロイックミラー230から出射した放射光270は、集光レンズ681によって集められ、ロッドレンズ685に入射する。ロッドレンズ685から出射された出射光は、投射レンズ689により拡大されて投射光690となり、図示しない対象物を照射する。
(機能および効果)
このような構成により、放射光270は、ロッドレンズ685の断面形状によって投射像を任意の形状に変換させることが可能になる。例えば、ロッドレンズ685を四角柱状に形成した場合、四角形の投射像を得ることができる。ロッドレンズ685を六角柱状に形成した場合、六角形の投射像を得ることができる。ロッドレンズ685を円柱状に形成した場合、円形の投射像を得ることができる。また、ロッドレンズ685内の多重反射により、第1の波長の光271A、第2の波長の光271Bを構成する異なるスペクトルの光を投射光690において均一に混色させることが可能となる。さらに投射レンズ689を適当に選ぶことで投射光690の明るさ、大きさなどを調節することが可能になる。
なお上記の構成は、第2の実施形態だけでなく、第1、第3〜5の実施形態の固体光源装置にも適用可能である。
なお上記第1から第6の実施形態において、波長変換素子150、250、350、450の基台152、252、352、452を構成する材料としてアルミ合金を用いたがこの限りではない。基台152、252、352、452を構成する材料としては、熱伝導率が高い材料を用いることが好ましい。その理由は、第1の波長変換部151A、251A、351A、451A、第2の波長変換部151B、251B、351B、451B、第3の波長変換部151C、351C、451Cを構成する蛍光体で発生する熱を排熱するためである。さらに第1の波長変換部151A、251A、351A、第2の波長変換部151B、251B、351B、第3の波長変換部151C、351Cから放射される可視光を反射するものが好ましい。例えば銅の表面に銀メッキを施したものを用いても良い。
なお、上記第1の実施の形態において、第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151Cそれぞれの外形が直径1mmの円内におさまるとさらによい。この場合、第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151C変換された光は、限りなく点光源に近く、光学系との結合効率を高くすることができるからである。
なお、上記第1の実施の形態において、第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151Cの形状は、円形に限らず、正方形や長方形でもよく、正三角形や正六角形のような正多角形でもよい。また、第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151Cの形状として正多角形に限らず他の多角形でもよく、例えば楕円のような閉曲線で囲まれた図形も可能である。
また、第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151Cがそれぞれ複数個直マトリックス状に配列して波長変換素子150が形成されていてもよい。
このような第1の波長変換部151A、第2の波長変換部151B、第3の波長変換部151Cの形状や配置については、第2、第3、第6の実施形態に係る波長変換素子に対しても適用可能である。
なお、上記第1〜第4の実施形態において蛍光体は、半導体発光素子111、211からの光を、波長430〜500nmの光に変換させるものとして、Eu賦活SrMgSi蛍光体、Eu賦活(Sr,Ca,Ba)MgSi蛍光体、Eu賦活(Sr,Ca)MgSi蛍光体、Eu賦活(Sr,Ba)MgSi蛍光体、Eu賦活(Sr,Ca,Ba)MgSi蛍光体、Eu賦活(Sr,Ca)MgSi蛍光体、Eu賦活(Sr,Ba)MgSi蛍光体、Eu賦活BaMgAl1017蛍光体などを用いることができる。
また半導体発光素子からの光を、波長500〜650nmの光に変換させるものとして、Ce賦活Y(Al,Ga)12蛍光体、Ce賦活Y1512、Eu賦活β−SiAlON蛍光体、Eu賦活α−SiAlON蛍光体などを用いることができる。
さらに半導体発光素子111、211からの光を、波長550〜700nmの光に変換させるものとしてEu賦活CaAlSiN、Eu賦活(Sr,Ca)AlSiN、Eu賦活LiW、Eu・Sm賦活La12などを用いることができる。
上記構成において、賦活材としてCe賦活やEu賦活だけでなく、Mn賦活でもよい。また、ユーロピウムやマンガン濃度等を調整し、最適化したものを用いてもよい。
なお、上記第1、第2、第6の実施形態においては、基台152をアルミ合金材料等で構成する例を説明したが、図17に示すような構成としてもかまわない。図17においては、基台152と第1の波長変換部151Aとの間に第1の光反射層153Aを設け、基台152と第2の波長変換部151Bとの間に第2の光反射層153Bを設け、基台152と第3の波長変換部151Cとの間に第3の光反射層153Cを設ける構成としている。このような構成とすることにより、基台152の材料選択の自由度を向上させることができる。なお、第1の光反射層153A、第2の光反射層153B、第3の光反射層153Cには、アルミ合金材料などを用いる。
本開示の固体光源装置は、波長変換部の蛍光体の光の再吸収の抑制と、光源点数の削減方法として有用である。特に、投射照明用途の光源、プロジェクターやヘッドライトとして有用である。
101,201,301,401,501,601 固体光源装置
111,211 半導体発光素子
111a,211a 第1の発光部
111b,211b 第2の発光部
111c 第3の発光部
120,220 コリメータレンズ
130,230,353 ダイクロイックミラー
140,240 集光レンズ
150,250,350,450 波長変換素子
151A,251A,351A,451A 第1の波長変換部
151B,251B,351B,451B 第2の波長変換部
151C,351C,451C 第3の波長変換部
152,252,352,452 基台
152A,252A 第1の凹部
152B,252B 第2の凹部
152C 第3の凹部
153A 第1の光反射層
153B 第2の光反射層
153C 第3の光反射層
161a,261a 第1の励起光
161b,261b 第2の励起光
161c 第3の励起光
162a,262a 第1の出射光
162b,262b 第2の出射光
162c 第3の出射光
170,270,370,470 放射光
170A,271A,370A,470A,570A 第1の波長の光
170B,271B,370B,470B,570B 第2の波長の光
170C,370C,470C,570C 第3の波長の光
190 第4の出射光
191 偏光変換部
352A 第1の貫通孔
352B 第2の貫通孔
352C 第3の貫通孔
354,454,554 レンズ
610 半導体発光装置
681 集光レンズ
685 ロッドレンズ
689 投射レンズ
690 投射光

Claims (3)

  1. 半導体発光素子と波長変換素子とを備え、
    前記半導体発光素子は、
    第1の発光部と、
    第2の発光部と、
    第3の発光部と、
    を有し、
    前記波長変換素子は、
    第1の蛍光体材料を含有する第1の波長変換部と、
    第2の蛍光体材料を含有する第2の波長変換部と、
    偏光変換部と、
    を有し、
    前記第1の波長変換部と前記第2の波長変換部と前記偏光変換部とが互いに離間して配置されており、
    前記第1の発光部が第1の励起光を出射し、
    前記第2の発光部が第2の励起光を出射し、
    前記第3の発光部が第3の励起光を出射し、
    前記第1の蛍光体材料は、前記第1の励起光を第1の波長の光に変換し、
    前記第2の蛍光体材料は、前記第2の励起光を第2の波長の光に変換し、
    前記偏光変換部は前記第3の励起光の偏光状態を変化させ第4の出射光を出射する
    固体光源装置。
  2. 前記半導体発光素子と前記波長変換素子の間に第1のレンズが配置され、
    前記第1の励起光、前記第2の励起光、前記第1の波長の光、および前記第2の波長の光は、前記第1のレンズの同じ瞳を通過する
    請求項1に記載の固体光源装置。
  3. 前記波長変換素子が基台を有し、
    前記基台が
    第1の凹部と、
    第2の凹部と、
    第3の凹部と、
    を有し、
    前記第1の凹部に前記第1の波長変換部が配置され、
    前記第2の凹部に前記第2の波長変換部が配置され、
    前記第3の凹部に前記偏光変換部が配置された
    請求項1または2に記載の固体光源装置。
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