JP6344991B2 - 撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1および2を参照して、本発明の一部の実施形態による固体撮像装置およびその製造方法を説明する。図1は、複数の固体撮像装置を形成するために用いられる構造体114の平面図である。図1(a)は構造体114の全体を示し、図1(b)は構造体114の一部を拡大したものである。図1(a)に示すように、構造体114には、1つの固体撮像装置が形成された領域である素子領域113が複数配列されている。後述するように、構造体114をダイシング(切断)することによって個別の固体撮像装置が得られる。本実施形態では、複数の素子領域113は、第1の方向116と、第1の方向とは異なる第2の方向117との両方向に配列されており、マトリクス形状を有する。これに代えて、複数の素子領域113は、第1の方向116のみに配列されていてもよいし、第2の方向117のみに配列されてもよい。第2の方向117は、第1の方向116に直交する方向であってもよい。
図3を参照して、本実施形態の様々な実施形態の構造体について説明する。各実施形態の構造体は、第1の実施形態の構造体114とは、パッシベーション膜103に形成される溝109の形状が異なり、他の部分は同様であってもよい。そのため、図3の各図では、スクライブ領域108の交差部115及びその周辺に着目する。
図3(b)に本発明に係る第3の実施形態の構造体の平面図を示す。本実施形態では、スクライブ領域108の交差部115において溝109の幅が変化する。本実施形態ではパッシベーション膜103のうち交差部115を覆う区画をすべて取り除くことによって、このような溝109が形成される。これにより、第1の実施形態と比較して交差部の溝が大きくなり、薬液が広がることにより、薬液のあふれ出しを抑制することが可能となる。また、パッシベーション膜103のうち交差部115を覆う区画は図1(b)、図3(a)に示されるように、素子領域113などに形成された区画と比較してサイズが小さい。このため、半導体装置完成後の基板101のダイシングの工程において、異物として飛散する可能性が高くなる。この実施形態によると、この異物の飛散を抑制し、結果として歩留まりが向上する。
図3(c)に本発明に係る第4の実施形態の構造体の平面図を示す。本実施形態では、第3の実施形態に加え、溝109によって分割された区画の角が面取りされた構造となっている。本実施形態では、パッシベーション膜103の素子領域113aと素子領域113bと素子領域113cと素子領域113dとのそれぞれを覆う区画の角が面取りされた構造となる。これによりスピンコートによる薬液塗布において、薬液が溝109からスクライブ領域108の交差部115へと進む際、溝109の幅が急激に広がらないため、薬液同士の粘性などによる干渉作用が緩和され、薬液のあふれ出しがさらに抑制される。これによりストリエーションの発生が抑制される。また図3(d)では、スクライブ領域108を覆う区画の角を面取りした構造である。このようにパッシベーション膜103が溝109に分割された区画の角の一部又はすべてを面取りすることによって、薬液の流れを改善し、ストリエーションの発生を抑制することができる。
図3(e)に本発明に係る第5の実施形態の構造体の平面図を示す。本実施形態では、溝109が一つの方向に少なくとも2つの素子領域113に沿って連続して形成される。
Claims (9)
- 撮像装置の製造方法において、
複数の素子領域を有する基板の上にパッシベーション膜を形成する工程と、
前記パッシベーション膜に複数の溝を形成する工程と、
前記複数の溝を形成した前記パッシベーション膜の上にスピンコートによって膜を形成する工程と、を有し、
前記複数の素子領域は、
第1の方向に並んだ2つ以上の素子領域を含む第1の素子領域行と、
前記第1の方向に並んだ2つ以上の素子領域を含む第2の素子領域行であって、前記第1の素子領域行に並行する隣接した第2の素子領域行と、を含み、
前記複数の溝は、前記第1の素子領域行と前記第2の素子領域行との間において互いに並行する第1の溝及び第2の溝を含み、
前記第1の溝及び前記第2の溝はそれぞれ、2つ以上の素子領域にわたって連続して延びることを特徴とする製造方法。 - 前記複数の素子領域は、
前記第1の方向に交差する第2の方向に並んだ2つ以上の素子領域を含む第1の素子領域列と、
前記第2の方向に並んだ2つ以上の素子領域を含む第2の素子領域列であって、前記第1の素子領域列に並行する第2の素子領域列と、を更に含み、
前記複数の溝は、前記第1の素子領域列と前記第2の素子領域列との間において互いに並行する第3の溝及び第4の溝を更に含み、
前記第3の溝及び前記第4の溝はそれぞれ、2つ以上の素子領域にわたって連続して延びることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。 - 前記パッシベーション膜のうち、前記第1の溝と前記第2の溝と前記第3の溝と前記第4の溝とに囲まれた部分の一部、又はすべてが取り除かれていることを特徴とする請求項2に記載の製造方法。
- 前記パッシベーション膜のうち、前記第1の溝と前記第2の溝と前記第3の溝と前記第4の溝とによって分割された複数の区画の角の一部又はすべてが面取りされていることを特徴とする請求項2又は3に記載の製造方法。
- 前記複数の区画のうち、前記複数の素子領域のうちの何れかの素子領域を覆う区画の角が面取りされていることを特徴とする請求項4に記載の製造方法。
- 前記複数の区画のうち、前記第1の溝及び前記第2の溝にはさまれた区画と、前記第3の溝及び第4の溝にはさまれた区画との一部又はすべての角が面取りされていることを特徴とする請求項4に記載の製造方法。
- 前記スピンコートによって膜を形成する工程の後に、前記基板を前記第1の溝と前記第2の溝との間において切断する工程を更に有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記スピンコートによって膜を形成する工程の後に、前記膜の上にマイクロレンズ層を形成する工程と、
前記マイクロレンズ層を形成した後に、前記基板を前記第1の溝と前記第2の溝との間において切断する工程と、
を更に有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の製造方法。 - 前記膜は、平坦化膜又はカラーフィルタであることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の製造方法。
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