JP6327954B2 - 加工装置 - Google Patents
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- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Dicing (AREA)
- Automatic Tool Replacement In Machine Tools (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
10 粗切削ユニット
26 ホイールマウント
28 粗研削ホイール
30 環状基台
32 研削砥石
34,34A 識別部
36 判別手段
37 バーコードリーダー
38 仕上げ研削ユニット
56 ホイールマウント
58 仕上げ研削ホイール
60 識別部
94 制御手段
102 切削装置
110 第1切削ユニット
110a 切削ブレード
112 第2切削ユニット
112a 切削ブレード
126,128 判別手段
Claims (4)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物をスピンドルの先端に装着した加工工具で加工する加工手段と、該チャックテーブルを覆うカバーと、を備えた加工装置であって、
該加工手段は、該スピンドルの先端に固定され、該加工工具が装着されるマウント部材を含み、
該加工手段の近傍に配設されて、該マウント部材に固定される該加工工具が該マウント部材に装着されるのに適しているかを判別する判別手段を具備し、
該判別手段は、該カバーの上に配設されていることを特徴とする加工装置。 - 前記加工工具は識別部を有しており、
前記判別手段は、該加工工具に配設された該識別部によって加工工具の種類を判別し、
該識別部の色情報、凹凸情報、ICタグ又はバーコードを用いて該加工工具の種類を判別する請求項1記載の加工装置。 - 前記加工手段は研削手段から構成され、前記加工工具は研削ホイールから構成される請求項1又は2記載の加工装置。
- 前記加工手段は切削手段から構成され、前記加工工具は切削ブレードから構成される請求項1又は2記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014112993A JP6327954B2 (ja) | 2014-05-30 | 2014-05-30 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014112993A JP6327954B2 (ja) | 2014-05-30 | 2014-05-30 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015226945A JP2015226945A (ja) | 2015-12-17 |
JP6327954B2 true JP6327954B2 (ja) | 2018-05-23 |
Family
ID=54884784
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014112993A Active JP6327954B2 (ja) | 2014-05-30 | 2014-05-30 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6327954B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6689542B2 (ja) * | 2016-08-26 | 2020-04-28 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6847729B2 (ja) * | 2017-03-28 | 2021-03-24 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP7382840B2 (ja) | 2020-01-16 | 2023-11-17 | 株式会社ディスコ | 研削装置 |
EP4035832A1 (en) * | 2021-01-28 | 2022-08-03 | Carl Zeiss Vision International GmbH | Blocking piece and method for vacuum blocking a lens blank |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61209858A (ja) * | 1985-03-11 | 1986-09-18 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 情報内蔵型工具 |
JPS62218051A (ja) * | 1986-03-17 | 1987-09-25 | Okuma Mach Works Ltd | 工具識別装置 |
JPH04331045A (ja) * | 1991-04-26 | 1992-11-18 | Ando Electric Co Ltd | ツールリングの色による工具の種類識別機構 |
JP4387010B2 (ja) * | 1999-11-10 | 2009-12-16 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP2009241177A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | ブレード交換工具 |
-
2014
- 2014-05-30 JP JP2014112993A patent/JP6327954B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015226945A (ja) | 2015-12-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180123 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180322 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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