JP6327824B2 - リソグラフィ装置、リソグラフィシステム、および物品の製造方法 - Google Patents
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一実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイスなどのマイクロデバイスや微細構造を有する素子などの物品を製造するのに好適である。当該製造方法は、物体(例えば、感光剤を表面に有する基板)上に上記のリソグラフィ装置を用いてパターン(例えば潜像パターン)を形成する工程と、該工程でパターンを形成された物体を処理する工程(例えば、現像工程)とを含み得る。さらに、該製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージングなど)を含み得る。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
2 露光部
3 マスク搬送部
5 搬送路
6 ハンド
7 マスク保管部
13 マスクステージ
Claims (5)
- チャンバ内において第1の保持部によって保持された原版を用いて基板上にパターンを形成する第1のリソグラフィ装置と、
チャンバ内において第2の保持部によって保持された原版を用いて基板上にパターンを形成する第2のリソグラフィ装置と、
原版を保管する保管部と、
前記第1の保持部及び前記第2の保持部との間で原版の受け渡しを行う搬送部を含むリソグラフィシステムであって、
前記搬送部は、前記第1のリソグラフィ装置のチャンバの内部から外部にわたって延設された搬送路を有し、
前記搬送路は、前記第1のリソグラフィ装置のチャンバの外部から前記第2のリソグラフィ装置のチャンバの内部を通って前記保管部まで延設されていることを特徴とするリソグラフィシステム。 - 前記第1のリソグラフィ装置のチャンバ及び前記第2のリソグラフィ装置のチャンバには、前記搬送路が貫通する開口が形成されている、ことを特徴とする請求項1に記載のリソグラフィシステム。
- 前記開口を封止するためのエアカーテンまたは開閉機構を有する、ことを特徴とする請求項2に記載のリソグラフィシステム。
- 前記保管部は、前記原版を検査する検査部を有する、ことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のリソグラフィシステム。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載のリソグラフィシステムを用いて基板上にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含み、加工された基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
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