JP6293535B2 - 光学素子及び光検出装置 - Google Patents
光学素子及び光検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6293535B2 JP6293535B2 JP2014053556A JP2014053556A JP6293535B2 JP 6293535 B2 JP6293535 B2 JP 6293535B2 JP 2014053556 A JP2014053556 A JP 2014053556A JP 2014053556 A JP2014053556 A JP 2014053556A JP 6293535 B2 JP6293535 B2 JP 6293535B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- refractive index
- optical element
- axis
- thickness direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 98
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 22
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 13
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B3/00—Simple or compound lenses
- G02B3/0087—Simple or compound lenses with index gradient
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0232—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L31/02327—Optical elements or arrangements associated with the device the optical elements being integrated or being directly associated to the device, e.g. back reflectors
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1(a)〜図1(c)は、第1の実施形態に係る光学素子を例示する模式図である。 図1(a)は、断面図である。図1(b)及び図1(c)は、特性を例示するグラフ図である。
図1(a)に表したように、実施形態に係る光学素子110は、第1面10aと、第2面10bと、を有する。第2面10bは、第1面10aとは反対の面である。光学素子110は、第1領域11を含む。
図1(b)は、第1屈折率n1の変化を例示している。図1(b)において、横軸は、第1方向D1の位置である。縦軸は、第1屈折率n1である。
図2(a)は、断面図である。図2(b)及び図2(c)は、特性を例示するグラフ図である。
図2(a)に表したように、実施形態に係る別の光学素子111においても、第1領域11が設けられる。この例では、第1屈折率n1の第1方向D1に沿う変化が、第1厚さ方向Dz1に沿う変化とは異なる。
図3(a)は、断面図である。図3(b)及び図3(c)は、特性を例示するグラフ図である。
図3(a)に表したように、実施形態に係る別の光学素子121は、第2領域12をさらに含む。これ以外は、光学素子110と同様である。図3(b)は、第1領域11における第1屈折率n1の変化を例示している。この例でも、第1屈折率n1は、非対称である。
図4(a)は、断面図である。図4(b)及び図4(c)は、特性を例示するグラフ図である。
図4(a)に表したように、実施形態に係る別の光学素子122も、第2領域12をさらに含む。
図5(a)は、断面図である。図5(b)及び図5(c)は、特性を例示するグラフ図である。
図5(a)に表したように、実施形態に係る別の光学素子123も、第2領域12をさらに含む。
図6(a)は、断面図である。図6(b)及び図6(c)は、特性を例示するグラフ図である。
図6(a)に表したように、実施形態に係る別の光学素子124も、第2領域12をさらに含む。
図7に表したように、本実施形態に係る別の光学素子125においても、第1領域11及び第2領域12が設けられる。例えば、第1方向D1と第2方向D2との間の角度の絶対値は、45度未満である。
図8に表したように、本実施形態に係る別の光学素子126においても、第1領域11及び第2領域12が設けられる。例えば、第1方向D1と第2方向D2との間の角度の絶対値は、45度以上90度以下である。
図9に表したように、本実施形態に係る別の光学素子130においては、第1面10a及び第2面10bが曲面である。
図10(a)は、断面図である。図10(b)は、平面図である。図10(c)及び図10(d)は、特性を例示するグラフ図である。
図10(a)に表したように、実施形態に係る別の光学素子140には、第1領域11が設けられる。
図10(b)に表したように、第1領域11は、端e1a及び端e2aを含む。端e1aと端e2aは、第1交差方向Da1に並ぶ。
図11(a)は、断面図である。図11(b)は、平面図である。図11(c)及び図11(d)は、特性を例示するグラフ図である。
図11(a)に表したように、実施形態に係る別の光学素子150には、第1領域11に加えて、第3領域13が設けられる。
図12(a)〜図12(c)は、第2の実施形態に係る光学素子を例示する模式的断面図である。
図12(a)に表したように、本実施形態に係る光学素子160において、第1領域11と第2領域12とが設けられている。
本実施形態は、光検出装置に係る。
図13は、第3の実施形態に係る光検出装置を例示する模式的断面図である。
図13に表したように、本実施形態に係る光検出装置220は、光学素子120と、第1検出部51と、第2検出部52と、を含む。
図14は、実施形態に係る光学素子の製造方法を例示する模式的断面図である。
図14に表したように、製造装置310は、光Lsと、原料M1と、を出射するヘッド61を含む。加工体Wpの上に、原料M1を供給しつつ、光Lsを照射する。光Lsは、例えば、レーザ光である。光Lsは、加工体Wpの表面近傍において集中されている。光Lsによる熱エネルギーにより、例えば、原料M1が溶融する。溶融領域M2が形成される。溶融した原料M1が冷却されて光学素子の一部が形成される。加工体Wpとヘッド61との相対的な位置を変更しつつ、この動作を行う。これにより、所望の形状の光学素子が得られる。この例では、例えば、指向性エネルギー堆積法により、光学素子が形成される。
図15(a)に表したように、製造装置311は、原料M1を出射するヘッド62を含む。ヘッド62は、加工体Wpに対して、相対的に移動する。この例では、X方向、Y方向及びZ方向において、ヘッド62と加工体Wpとの相対的位置が変更される。
図16(a)に表したように、製造装置312においては、ステージSTが設けられる。ステージSTの上に原料M1を含む層が形成される。例えば、格納部63に原料M1が格納される。ステージSTの高さを制御することで、所望の厚さの層(原料M1を含む層)がステージST上に形成される。
また、各具体例のいずれか2つ以上の要素を技術的に可能な範囲で組み合わせたものも、本発明の要旨を包含する限り本発明の範囲に含まれる。
Claims (10)
- 第1面と、前記第1面とは反対の第2面と、を有し、第1領域及び第3領域を備え、
前記第1領域の第1屈折率は、前記第1領域のなかの前記第1面から前記第2面に向かう第1厚さ方向に対して垂直な第1方向に沿って変化し、
前記第1屈折率は、前記第1領域のなかで前記第1屈折率が最高または最低となる第1位置を通り、前記第1厚さ方向に対して平行な第1軸に対して非対称であり、
前記第3領域の前記第1厚さ方向に沿う位置は、前記第1領域の前記第1厚さ方向に沿う位置とは異なり、
前記第3領域は、第3屈折率を有し、
前記第3屈折率は、前記第1厚さ方向に対して垂直な第3方向に沿って変化し、
前記第3屈折率は、
前記第1厚さ方向の変化率とは異なる前記第3方向の変化率、及び、
前記第3領域のなかで前記第3屈折率が最高または最低となる第3位置を通り前記第1厚さ方向に対して平行な第3軸に対して非対称である前記第3方向の変化率、
の少なくともいずれかを有し、
前記第3方向は、前記第1方向と交差した、光学素子。 - 前記第1屈折率は、前記第1軸に対して平行な第1平面に対して非対称である請求項1記載の光学素子。
- 前記第1屈折率は、前記第1軸に対して平行で前記第1平面と交差する第2平面に対して非対称である請求項2記載の光学素子。
- 前記第1面及び前記第2面の少なくともいずれかは、曲面である請求項1〜3のいずれか1つに記載の光学素子。
- 前記第1厚さ方向に対して交差する方向において前記第1領域と並ぶ第2領域をさらに備え、
前記第2領域は、第2屈折率を有し、
前記第2屈折率は、前記第2領域の位置の前記第1面から前記第2面に向かう第2厚さ方向に対して垂直な第2方向に沿って変化し、
前記第2屈折率は、
前記第2厚さ方向の変化率とは異なる前記第2方向の変化率、及び、
前記第2領域のなかで前記第2屈折率が最高または最低となる第2位置を通り前記第2厚さ方向に対して平行な第2軸に対して非対称である前記第2方向の変化率、
の少なくともいずれかを有する請求項1〜4のいずれか1つに記載の光学素子。 - 前記第1屈折率の前記第1方向の前記変化率は、前記第1軸に対して非対称であり、
前記第1領域は前記第1方向に並ぶ第1端と第2端とを含み、
前記第1端と前記第1位置との間の距離は、前記第2端と前記第1位置との間の距離よりも短い請求項5記載の光学素子。 - 前記第1軸は、前記第2軸と非平行である請求項5または6に記載の光学素子。
- 前記第1領域は第1焦点距離を有し、
前記第2領域は前記第1焦点距離とは異なる第2焦点距離を有する請求項5〜7のいずれか1つに記載の光学素子。 - 請求項5〜8のいずれか1つに記載の光学素子と、
前記第1領域を通過した光が入射する第1検出部と、
前記第2領域を通過した光が入射する第2検出部と、
を備えた光検出装置。 - 請求項5〜8のいずれか1つに記載の光学素子と、
前記第1領域および前記第2領域を通過した光が入射する検出部と、
を備えた光検出装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014053556A JP6293535B2 (ja) | 2014-03-17 | 2014-03-17 | 光学素子及び光検出装置 |
PCT/JP2014/072929 WO2015141025A1 (ja) | 2014-03-17 | 2014-09-01 | 光学素子及び光検出装置 |
US15/122,965 US10422930B2 (en) | 2014-03-17 | 2014-09-01 | Optical element and photo detection device |
TW103130641A TWI544235B (zh) | 2014-03-17 | 2014-09-04 | 光學元件及光檢測裝置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014053556A JP6293535B2 (ja) | 2014-03-17 | 2014-03-17 | 光学素子及び光検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015176044A JP2015176044A (ja) | 2015-10-05 |
JP6293535B2 true JP6293535B2 (ja) | 2018-03-14 |
Family
ID=54144023
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014053556A Expired - Fee Related JP6293535B2 (ja) | 2014-03-17 | 2014-03-17 | 光学素子及び光検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10422930B2 (ja) |
JP (1) | JP6293535B2 (ja) |
TW (1) | TWI544235B (ja) |
WO (1) | WO2015141025A1 (ja) |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63222047A (ja) * | 1987-03-12 | 1988-09-14 | Canon Inc | 屈折率分布型光学素子の製造方法 |
JPH1054945A (ja) * | 1996-08-12 | 1998-02-24 | Olympus Optical Co Ltd | 内視鏡照明光学系 |
JP2001159702A (ja) | 1999-12-01 | 2001-06-12 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 屈折率分布型レンズ |
JP2001343604A (ja) * | 2000-05-31 | 2001-12-14 | Ricoh Co Ltd | 光走査用レンズ・光走査装置および画像形成装置 |
US6831990B2 (en) * | 2001-01-02 | 2004-12-14 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | System and method for image tamper detection via thumbnail hiding |
JP2003006627A (ja) | 2001-06-18 | 2003-01-10 | Nec Corp | 指紋入力装置 |
JP4139209B2 (ja) | 2002-12-16 | 2008-08-27 | 株式会社リコー | 光走査装置 |
JP2006098790A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶プロジェクタ、液晶パネルおよびその製造方法 |
JP4091948B2 (ja) | 2005-06-17 | 2008-05-28 | 松下電器産業株式会社 | 集光装置およびそれを用いた密着型固体撮像装置 |
TW200913238A (en) | 2007-06-04 | 2009-03-16 | Sony Corp | Optical member, solid state imaging apparatus, and manufacturing method |
JP2009267000A (ja) * | 2008-04-24 | 2009-11-12 | Panasonic Corp | 固体撮像素子 |
JP5516500B2 (ja) * | 2010-06-25 | 2014-06-11 | 横浜ゴム株式会社 | 空気入りタイヤ |
JP5936444B2 (ja) | 2011-07-26 | 2016-06-22 | キヤノン株式会社 | 光学素子、それを用いた光学系および光学機器 |
JP2015028960A (ja) * | 2011-12-01 | 2015-02-12 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置および電子機器 |
JP6087069B2 (ja) * | 2012-04-23 | 2017-03-01 | ローム株式会社 | ドキュメントスキャナ |
-
2014
- 2014-03-17 JP JP2014053556A patent/JP6293535B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-09-01 US US15/122,965 patent/US10422930B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2014-09-01 WO PCT/JP2014/072929 patent/WO2015141025A1/ja active Application Filing
- 2014-09-04 TW TW103130641A patent/TWI544235B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2015141025A1 (ja) | 2015-09-24 |
US20170075041A1 (en) | 2017-03-16 |
TWI544235B (zh) | 2016-08-01 |
US10422930B2 (en) | 2019-09-24 |
JP2015176044A (ja) | 2015-10-05 |
TW201537234A (zh) | 2015-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US11086065B2 (en) | Diffractive grating with variable diffraction efficiency and method for displaying an image | |
US10629851B2 (en) | OLED thin film encapsulation structure | |
Chung et al. | Mining the smartness of insect ultrastructures for advanced imaging and illumination | |
JP2017522589A5 (ja) | ||
JP6967593B2 (ja) | 多重導波管明視野ディスプレイ | |
JP2018045240A5 (ja) | ||
JP2009015315A5 (ja) | ||
JP2019035954A (ja) | 多レベル回折光学素子の薄膜コーティング | |
JP2016189007A5 (ja) | ||
JP2008205443A5 (ja) | ||
JP2015129894A5 (ja) | ||
US20140247492A1 (en) | Diffraction optical element, optical system, and optical apparatus | |
JP2017173593A5 (ja) | ||
JP2016218436A (ja) | 回折光学素子、光学系、および、光学機器 | |
JP6293535B2 (ja) | 光学素子及び光検出装置 | |
TWI831413B (zh) | 超穎透鏡以及影像感測器 | |
CN103722292A (zh) | 激光加工装置 | |
KR20140097957A (ko) | 광학 장치, 고체 촬상 장치 및 광학 장치의 제조 방법 | |
CN106772727A (zh) | 一种柱矢量光束介质光栅长焦深聚焦透镜 | |
US20140291711A1 (en) | Semiconductor light emitting device and package structure thereof | |
JP2013105054A (ja) | 反射防止膜およびそれを有する光学装置 | |
JP2008310160A5 (ja) | ||
CN203950049U (zh) | 一种可产生光环或光环中心有光点的复合透镜及可实现变焦光环的光学系统 | |
JPWO2013094710A1 (ja) | 光学部材の製造方法 | |
JP6404465B2 (ja) | レーザー刻線用光学レンズ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160923 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171004 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180117 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180214 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6293535 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |