JP2015129894A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. セルに配置された第１レンズと第２レンズと第３レンズとを含み、
   前記第１レンズと前記第２レンズとは第一方向に隣り合って配置され、
   前記第１レンズと前記第３レンズとは前記第一方向に略直交する第二方向に隣り合って配置され、
   前記第１レンズの頂点と前記第２レンズの頂点との間隔は、前記第１レンズの頂点と前記第３レンズの頂点との間隔と異なる事を特徴とするマイクロレンズアレイ。
2. セルに配置された第１レンズと第２レンズと第３レンズとを含み、
   前記第１レンズと前記第２レンズとは第一方向に隣り合って配置され、
   前記第１レンズと前記第３レンズとは前記第一方向に略直交する第二方向に隣り合って配置され、
   前記第１レンズの頂点から前記第２レンズの頂点を結ぶベクトルと、前記第１レンズの頂点から前記第３レンズの頂点を結ぶベクトルと、の内積が０と異なる値である事を特徴とするマイクロレンズアレイ。
3. セルに配置されたＰ個（Ｐは４以上の整数）のレンズを含み、
   前記Ｐ個のレンズの頂点は、平面視にて、少なくとも部分的に対称性が破れる様に配置されている事を特徴とするマイクロレンズアレイ。
4. 前記Ｐ個のレンズの頂点は、平面視にて、前記セル内にて無秩序に配置されている事を特徴とする請求項３に記載のマイクロレンズアレイ。
5. 基板上に第一透光性材を形成する工程と、
   前記第一透光性材上に第１開口部と第２開口部と第３開口部とを有するマスク層を形成する工程と、
   前記マスク層を介して前記第一透光性材に等方性エッチングを施す事に依り、前記第一透光性材に凹部を形成する工程と、
   前記凹部を前記第一透光性材の屈折率とは異なる屈折率を有する第二透光性材にて埋め込む工程と、を含み、
   前記第１開口部と前記第２開口部とは第一方向に隣り合って配置され、
   前記第１開口部と前記第３開口部とは前記第一方向に略直交する第二方向に隣り合って配置され、
   前記第１開口部の中心位置と前記第２開口部の中心位置との間隔は、前記第１開口部の中心位置と前記第３開口部の中心位置との間隔と異なる事を特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
6. 基板上に第一透光性材を形成する工程と、
   前記第一透光性材上に第１開口部と第２開口部と第３開口部とを有するマスク層を形成する工程と、
   前記マスク層を介して前記第一透光性材に等方性エッチングを施す事に依り、前記第一透光性材に凹部を形成する工程と、
   前記凹部を前記第一透光性材の屈折率とは異なる屈折率を有する第二透光性材にて埋め込む工程と、を含み、
   前記第１開口部と前記第２開口部とは第一方向に隣り合って配置され、
   前記第１開口部と前記第３開口部とは前記第一方向に略直交する第二方向に隣り合って配置され、
   前記第１開口部の中心位置から前記第２開口部の中心位置を結ぶベクトルと、前記第１開口部の中心位置から前記第３開口部の中心位置を結ぶベクトルと、の内積が０と異なる値である事を特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
7. 基板上に第一透光性材を形成する工程と、
   前記第一透光性材上の単位領域にＰ個（Ｐは４以上の整数）の開口部を有するマスク層を形成する工程と、
   前記マスク層を介して前記第一透光性材に等方性エッチングを施す事に依り、前記第一透光性材に凹部を形成する工程と、
   前記凹部を前記第一透光性材の屈折率とは異なる屈折率を有する第二透光性材にて埋め込む工程と、を含み、
   前記Ｐ個の開口部は、平面視にて、少なくとも部分的に対称性が破れる様に配置されている事を特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
8. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載のマイクロレンズアレイを備えた事を特徴とする電気光学装置。
9. 請求項５乃至７のいずれか一項に記載のマイクロレンズアレイの製造方法にて製造されたマイクロレンズアレイを備えた事を特徴とする電気光学装置。
10. 請求項８又は９に記載の電気光学装置を備えた事を特徴とする電子機器。