JP6288579B2 - 免震構造 - Google Patents
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Description
ストッパー機構930は図17(b)、図17(c)に示すように、免震装置が備えられる支持体903と被支持体905の間に備えられる。ストッパー機構930は、支持体903と被支持体905にそれぞれ備えられる、係止体(ストッパー受けプレート)935、936と、これらを貫通して設置されるストッパー931からなる。
本発明は、以上の現状を鑑みなされた物であって、少ないスペースで免震構造を実現し、かつ、スムーズに動作することができるストッパーを備えた免震構造を提供するものである。
図1は、本実施形態の免震構造1を備えた免震構造体100の全体を表す斜視図であり、これに示すように免震構造体100は、所定の厚さを有する略板状に形成された装置であり、免震対象物7を設置面6に設置する際に、免震対象物7と設置面6との間に配置される。
免震構造体100は、設置面6に載置される固定架台3と、固定架台3の上方に重ねて配置され、免震対象物7が設置される免震架台5と、それらの間に介在する免震構造1が備えられている。本実施形態の免震対象物7は、例えば半導体製造装置等である。
免震構造1は、固定架台3と免震架台5の間に複数個介在しており、固定架台3又は免震架台5とを相対運動させることにより、免震構造体100に免震効果を与えている。
図2は本発明の第一実施形態である免震構造1を備えた免震構造体100の一例を示す。第一実施形態の免震構造1は本発明の原理を説明するものである。
ここで説明する免震構造1は図2中X方向の免震のみを果たしている。水平面状の各方向への振動に対応させるためには、この免震構造1をその転動方向を交差させて、鉛直方向に積み重ねることで対応することが可能である。免震構造1を鉛直方向に複数個積み重ねた構造については、第二実施形態において説明を行う。
また、図には示されていないが、この免震構造体100は、流体ダンパ等の減衰装置を備えていてもよい。その場合、減衰装置の働きによって、免震構造体100はより早く振動を停止させることができる。
図3に示すように、免震構造1は支持体として固定架台3が、被支持体として免震支承4が備えられており、免震支承4は免震対象物が取り付けられる免震架台5と剛性を持って固定されている。免震支承4は水平方向に延びた軸線10aを中心として自由に回転可能に支持される一対の転動体10を有している。
免震支承4の転動体10の支持構造は、免震支承4に固定されたロッド状の軸に、ベアリング機構で、円柱形状の転動体10を回転自在に支持した構造である。
図6(a)に示すように、地震発生などにより、設置面から図3〜6中のX方向の振動が入力され、固定架台3がX方向に振動したとき、免震支承4は基準位置から水平方向に移動するとともに、鉛直方向にも移動し、図4(a)と図6(a)を比較してわかるように、軸線10aと固定架台3の上面との鉛直距離Hは大きくなっていき、その重量に従った復元力を発生することになる。免震支承4の基準位置からの水平方向の変位に対する復元力の関係は、転動体10が転動する案内面20aの曲面に依存し、例えば案内面20aが直線的な傾斜を有する平面である場合はその復元力は、水平方向の変位に依存せずに一定であって、2次曲線からなる傾斜を有する場合などは、その復元力は水平方向の変位に比例して大きくなる。
一方ストッパー軸31aの外径aは、係止体35の長孔(開口部)35aの幅Kより小さく、しかも、その隙間K−aは、前記コロ31cの外径dと固定架台3の長孔3bの幅Lとの隙間L−dより大きく形成されており(K−a>L−d)、コロ31cの外輪31fが、長孔3bの孔内面に接触する場合にも、ストッパー軸31aと係止体35とは隙間が確保されており、ストッパー軸31aは係止体35に接触しない。
また、ストッパー軸31aは、その一端にコロ31cと係止片31bを圧入するため、コロ31cと係止片31bを取り付ける端部は、圧入時の当たり面となる、鍔部31gが形成されている。
図6(a)に示すように、X方向の振動を受け流すために免震支承4及び免震支承4に固定された免震架台5は固定架台3に対して相対運動を行う。即ち、固定架台3に備えられた軌道20上を免震支承4に備えられた転動体10が転動し、免震支承4が図6において固定架台3に対して−X方向に相対運動する。
第一実施形態では、本発明の作用効果を明瞭に説明する目的で一方向の免震効果のみを実現した構造に関して説明を行った。しかし、地震の振動方向をあらかじめ予測することは困難であるため、一般的に水平面であるXY平面上において、全方向の振動に対応する免震構造が求められている。
ここでは第二実施形態として、第一実施形態で示した免震構造と、原理を同じくし、水平面であるXY平面上のいかなる方向の振動に対しても、免震効果を発揮することができる構造を提案する。
図8に示すように、免震構造1Aは、第一実施形態で示した免震構造を、鉛直方向に積層した構造を有している。第一免震構造部として、固定架台3を支持体として免震支承4を被支持体として構成され図8中X方向の免震を行い、第二免震構造部として、免震支承4を支持体として固定架台3を被支持体として構成され図8中Y方向の免震を行う。
図12(a)は図8に示した免震構造1Aに地震等による振動入力が加わり、免震架台5に備えられた軌道21が延びる方向(図8〜13中のY方向)への免震効果を発揮し、免震架台5が固定架台3に対して、+Y方向に相対的に変位した時の、図10(a)と同じ断面をとった断面図である。また、図12(b)は、この時の、図11(a)と同じ断面を取った断面図である。
例えば、上述の実施形態では、係止体35、36は固定架台3又は免震架台5と別部材として構成されている場合について説明した。しかしながらこれに限られたものではなく、固定架台3又は免震架台5の長孔3b、5bの開口部を狭める構成を有していればよく、例えば固定架台3又は免震架台5の長孔3b、5bの開口部を加工によって狭めた構造であっても良い。
また、上述の実施形態では、固定架台3及び免震架台5に設けられた長孔3b、5bは固定架台3又は貫通した孔であったが、底部を有する溝であっても良い。具体的に以下に説明する。
図15は、第一実施形態及び第二実施形態の変形例における、ストッパー機構の断面図であって、第一実施形態のストッパー機構を示す図5(a)及び第二実施形態のストッパー機構を示す図10(b)、図11(b)の構造に対応している。尚、上述の実施形態と同一態様については、同一符号を付して説明する。
第一実施形態及び第二実施形態において、図5(a)及び図10(b)の固定架台3に備えられる長孔3bは、図15に示すように底部3gを有する長溝3cであっても良い。同様に図11(b)の免震架台5に備えられる長孔5bにおいても、底部を有する長溝であっても良い。
3・・・固定架台
3a・・・固定架台固定具
3b、5b・・・長孔(中空部)
3c・・・長溝
3d、5d・・・中空部
3g・・・長溝底部
4・・・免震支承(被支持体)
4a・・・ストッパー取り付け穴
5・・・免震架台
6・・・設置面
7・・・免震対象物
10、11、910・・・転動体
10a、11a・・・軸線
10b、11b・・・フランジ
20、21、920・・・軌道
20a、21a・・・案内面
30、930・・・ストッパー機構
31、32、931・・・ストッパー
31a、32a・・・ストッパー軸
31b、32b・・・係止片
31ba、32ba・・・突出部
31c、32c・・・コロ
31d、32d・・・内輪
31e、32e・・・ボール
31f、32f・・・外輪
31g・・・ストッパー軸鍔部
35、36、935、936・・・係止体(浮き上がり防止プレート)
35a、36a、935a、936a・・・係止体長孔(開口部)
35b、36b・・・係止部
100、901・・・免震構造体
902・・・免震装置
903・・・支持体(従来構造、固定架台)
904・・・中間体(従来構造、免震支承)
905・・・被支持体(従来構造、免震架台)
931a・・・ストッパーボルト
931b・・・ストッパーナット
931c・・・樹脂カラー
937・・・係止体固定ボルト
H、H1、H2・・・支持体被支持体間鉛直距離
I・・・軌道最低点最高点間距離
J、J1、J2・・・係止体係止片間鉛直距離
K・・・係止体長孔幅
L・・・固定架台孔幅、免震架台溝幅
QG・・・ガタ
QH・・・水平面間距離
QL・・・係止体長孔長さ
Qa・・・樹脂カラー外径
Qk・・・係止体長孔幅
a・・・ストッパー軸径
b・・・係止片外径
d・・・コロ外径
Claims (2)
- 支持体と被支持体のいずれか一方に所定の軸線まわりに転動可能に支持される転動体を備え、
前記支持体と前記被支持体の他方に、転動体と接触して転動方向に延在し、転動方向中央部が最低点又は最高点をなす凹状に形成された軌道と、を備え、
転動方向中央部を基準位置とし、前記支持体と前記被支持体とが前記軌道に沿って基準位置より相対運動するに従って、前記支持体と前記被支持体とが鉛直方向に離間する免震構造において、
前記支持体と前記被支持体のいずれか一方に、前記支持体と前記被支持体の他方側に鉛直に突出したストッパーを備え、
前記ストッパーは、ストッパー軸とその先端に水平方向に突出部を形成した係止片とを有し、
前記支持体と前記被支持体の他方にスリット上の開口部と該開口部よりうち幅の大きな中空部を有する長孔又は長溝を軌道と平行に形成し、
前記ストッパー軸は、長孔又は長溝の開口部を通過させてその先端側の突出部を前記中空部に抜け止め自在に挿入し、
前記支持体と前記被支持体のいずれか一方に、ストッパーを少なくとも二つ備え、前記ストッパーは、前記ストッパー軸に沿って係止片より先端側にコロを備えたことを特徴とするストッパー機構を備えた免震構造。 - 設置面に固定された固定架台と、免震対象物が取り付けられる免震架台と、それらの間に介在する免震支承とを有し、
前記固定架台を支持体とし、前記免震支承を被支持体として、請求項1に記載の免震構造を構成し、第一免震構造部とし、
前記免震支承を支持体とし、前記免震架台を被支持体として、請求項1に記載の免震構造を構成し、第二免震構造部とし、
前記第一免震構造部に備えられる転動体の軸線と、
前記第二免震構造部に備えられる転動体の軸線とが交差して配置されることを特徴とする免震構造。
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