JP6283293B2 - カーボンナノチューブシートの製造方法 - Google Patents
カーボンナノチューブシートの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6283293B2 JP6283293B2 JP2014196883A JP2014196883A JP6283293B2 JP 6283293 B2 JP6283293 B2 JP 6283293B2 JP 2014196883 A JP2014196883 A JP 2014196883A JP 2014196883 A JP2014196883 A JP 2014196883A JP 6283293 B2 JP6283293 B2 JP 6283293B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon nanotube
- silicone rubber
- rubber sheet
- sheet
- carbon nanotubes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
Claims (4)
- 基板の上に複数のカーボンナノチューブを形成する工程と、
常温の雰囲気で四角形状のシリコーンゴムシートの四辺の縁部をローラにそれぞれ固定し、前記シリコーンゴムシートを前記ローラに巻き付けて引き伸ばした状態にし、前記複数のカーボンナノチューブの上端部を前記シリコーンゴムシートの下面に突き刺して仮固定する工程と、
前記基板から前記複数のカーボンナノチューブを引き剥がす工程と、
常温の雰囲気で前記引き伸ばしたシリコーンゴムシートを元に戻す工程と
を有することを特徴とするカーボンナノチューブシートの製造方法。 - 前記シリコーンゴムシートを元に戻す工程の後に、
前記複数のカーボンナノチューブの隙間に樹脂を含浸させる工程と、
前記複数のカーボンナノチューブを前記シリコーンゴムシートから引き剥がす工程とを有することを特徴とする請求項1に記載のカーボンナノチューブシートの製造方法。 - 前記複数のカーボンナノチューブの隙間に樹脂を含浸させる工程において、
前記シリコーンゴムシート側の前記カーボンナノチューブの基端部の周囲が空隙になるように、前記樹脂を含浸させることを特徴とする請求項2に記載のカーボンナノチューブシートの製造方法。 - 前記複数のカーボンナノチューブの上端部を前記シリコーンゴムシートの下面に突き刺して仮固定する工程において、
押圧ローラで前記シリコーンゴムシートを下側に押圧することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブシートの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014196883A JP6283293B2 (ja) | 2014-09-26 | 2014-09-26 | カーボンナノチューブシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014196883A JP6283293B2 (ja) | 2014-09-26 | 2014-09-26 | カーボンナノチューブシートの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016072289A JP2016072289A (ja) | 2016-05-09 |
JP2016072289A5 JP2016072289A5 (ja) | 2017-04-27 |
JP6283293B2 true JP6283293B2 (ja) | 2018-02-21 |
Family
ID=55867321
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014196883A Active JP6283293B2 (ja) | 2014-09-26 | 2014-09-26 | カーボンナノチューブシートの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6283293B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6720717B2 (ja) * | 2016-06-20 | 2020-07-08 | 富士通株式会社 | 放熱シートの製造方法 |
JP6714467B2 (ja) * | 2016-08-12 | 2020-06-24 | 日立造船株式会社 | カーボンナノチューブ複合材の製造方法 |
JP6711208B2 (ja) | 2016-08-25 | 2020-06-17 | 富士通株式会社 | 電子装置、及び電子装置の製造方法 |
JP6826289B2 (ja) * | 2017-01-17 | 2021-02-03 | 富士通株式会社 | 熱伝導構造体、その製造方法及び電子装置 |
US10894718B2 (en) | 2017-04-25 | 2021-01-19 | Lintec Of America, Inc. | Densifying a nanofiber forest |
JP7009800B2 (ja) * | 2017-07-11 | 2022-01-26 | 富士通株式会社 | 電子装置の製造方法 |
US11084724B2 (en) * | 2017-12-07 | 2021-08-10 | Lintec Of America, Inc. | Transferring nanofiber forests between substrates |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101353164B (zh) * | 2007-07-25 | 2011-03-30 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 一种高密度碳纳米管阵列的制备方法 |
JP5212253B2 (ja) * | 2009-05-13 | 2013-06-19 | 富士通株式会社 | シート状構造体の製造方法 |
JP5563945B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2014-07-30 | 日本バルカー工業株式会社 | 垂直配向カーボンナノチューブの成長密度制御方法 |
JP6127417B2 (ja) * | 2012-09-18 | 2017-05-17 | 富士通株式会社 | 放熱材料の製造方法 |
-
2014
- 2014-09-26 JP JP2014196883A patent/JP6283293B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016072289A (ja) | 2016-05-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6283293B2 (ja) | カーボンナノチューブシートの製造方法 | |
JP5146256B2 (ja) | シート状構造体及びその製造方法、並びに電子機器及びその製造方法 | |
JP5104688B2 (ja) | シート状構造体及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP6127417B2 (ja) | 放熱材料の製造方法 | |
JP6132768B2 (ja) | 放熱材料及びその製造方法 | |
JP6261352B2 (ja) | カーボンナノチューブシート及び半導体装置とカーボンナノチューブシートの製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
JP5447069B2 (ja) | シート状構造体、電子機器及び電子機器の製造方法 | |
JP5790023B2 (ja) | 電子部品の製造方法 | |
JP5212253B2 (ja) | シート状構造体の製造方法 | |
JP5013116B2 (ja) | シート状構造体及びその製造方法並びに電子機器 | |
JP2002033411A (ja) | ヒートスプレッダ付き半導体装置及びその製造方法 | |
JP5928181B2 (ja) | 電子機器の製造方法及び電子機器 | |
JP2011096832A (ja) | シート状部材及び電子機器 | |
JP6223903B2 (ja) | カーボンナノチューブシート及び電子機器とカーボンナノチューブシートの製造方法及び電子機器の製造方法 | |
KR101111127B1 (ko) | 시트 형상 구조체와 그 제조 방법 및 전자기기 | |
JP2011035046A (ja) | シート状構造体及びその製造方法 | |
JP5760668B2 (ja) | シート状構造体及びその製造方法並びに電子機器及びその製造方法 | |
JP5768786B2 (ja) | シート状構造体及び電子機器 | |
JP5786986B2 (ja) | 炭素構造体の成長方法及びシート状構造体の製造方法 | |
JP5864486B2 (ja) | シート状構造体及びその製造方法 | |
TW201342542A (zh) | 半導體封裝結構及其製造方法 | |
JP6123154B2 (ja) | 放熱材料の製造方法 | |
JP5974591B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010280528A (ja) | シート状構造体及びその製造方法 | |
JP2014204056A (ja) | 放熱構造体及びその製造方法並びに電子装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170322 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170322 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171221 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180126 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6283293 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |