JP2016072289A5 - - Google Patents

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以下の開示の一観点によれば、基板の上に複数のカーボンナノチューブを形成する工程と、常温の雰囲気で四角形状のシリコーンゴムシートの四辺の縁部をローラにそれぞれ固定し、前記シリコーンゴムシートを前記ローラに巻き付けて引き伸ばした状態にし、前記複数のカーボンナノチューブの上端部を前記シリコーンゴムシートの下面に突き刺して仮固定する工程と、前記基板から前記複数のカーボンナノチューブを引き剥がす工程と、常温の雰囲気で前記引き伸ばしたシリコーンゴムシートを元に戻す工程とを有するカーボンナノチューブシートの製造方法が提供される。

Claims (4)

  1. 基板の上に複数のカーボンナノチューブを形成する工程と、
    常温の雰囲気で四角形状のシリコーンゴムシートの四辺の縁部をローラにそれぞれ固定し、前記シリコーンゴムシートを前記ローラに巻き付けて引き伸ばした状態にし、前記複数のカーボンナノチューブの上端部を前記シリコーンゴムシートの下面に突き刺して仮固定する工程と、
    前記基板から前記複数のカーボンナノチューブを引き剥がす工程と、
    常温の雰囲気で前記引き伸ばしたシリコーンゴムシートを元に戻す工程と
    を有することを特徴とするカーボンナノチューブシートの製造方法。
  2. 前記シリコーンゴムシートを元に戻す工程の後に、
    前記複数のカーボンナノチューブの隙間に樹脂を含浸させる工程と、
    前記複数のカーボンナノチューブを前記シリコーンゴムシートから引き剥がす工程とを有することを特徴とする請求項１に記載のカーボンナノチューブシートの製造方法。
  3. 前記複数のカーボンナノチューブの隙間に樹脂を含浸させる工程において、
    前記シリコーンゴムシート側の前記カーボンナノチューブの基端部の周囲が空隙になるように、前記樹脂を含浸させることを特徴とする請求項２に記載のカーボンナノチューブシートの製造方法。
  4. 前記複数のカーボンナノチューブの上端部を前記シリコーンゴムシートの下面に突き刺して仮固定する工程において、
    押圧ローラで前記シリコーンゴムシートを下側に押圧することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載のカーボンナノチューブシートの製造方法。
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