JP6278748B2 - セラミックス接合体の製造方法 - Google Patents
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Description
[1]同一組成の2つのセラミックス成形体が一体焼成されて接合されることにより構成され、前記2つのセラミックス成形体のうち少なくとも一方のセラミックス成形体の接合面に形成された溝部に由来する、前記セラミックス接合体を貫通する中空部を有し、前記中空部内表面の表面粗さRaが1.2μm以下であるセラミックス接合体の製造方法であって、前記2つのセラミックス焼結体の前駆体である2つのセラミックス成形体のうち少なくとも一方のセラミックス成形体に前記中空部を構成する溝部を形成する溝部形成工程と、前記2つのセラミックス成形体のそれぞれの表面のうち、少なくとも前記中空部の表面を構成する所定部分の表面粗さRaを2.0μm以下に表面加工する表面加工工程と、前記2つのセラミックス成形体の接合面同士を当接させたときに前記中空部の全長に沿って延在する経路を残すように、前記所定部分を樹脂で被覆する被覆工程と、前記2つのセラミックス成形体と同一組成のセラミックス粉末を含有するスラリー中に前記2つのセラミックス成形体を浸漬し、前記2つのセラミックス成形体の接合面同士を当接させる当接工程と、接合面同士が当接した状態で前記経路に残存しているスラリーを洗浄液で除去した上で、前記樹脂の溶剤を前記経路に流通させることにより前記樹脂を溶解して前記中空部から除去する除去工程と、前記2つのセラミックス成形体を焼成して前記セラミックス接合体を形成する焼成工程と、を備えるセラミックス接合体の製造方法。
[2][1]記載のセラミックス接合体の製造方法であって、前記セラミックス接合体の主成分は酸化物セラミックスであり、前記樹脂は、パラフィン系樹脂又はエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂であるセラミックス接合体の製造方法。
図1に示されるように、本実施形態のセラミックス接合体10は、接合面11を有する直方体状のセラミックス焼結体の部材である。本明細書においては、図1に示される互いに直交する直交座標系であるXYZ軸を次のように定義する。X軸はセラミックス接合体10の接合面11の短辺と平行な方向、Y軸はセラミックス接合体10の長手方向と平行な方向、Z軸は接合面11と垂直な方向である。
図2を用いて、本実施形態のセラミックス接合体、すなわち、平板矩形状のセラミックス成形体22と、中空部46を構成するY軸方向に平行な直線状の溝部26を備える平板矩形状のセラミックス成形体24とを当接して一体焼成することにより形成されるセラミックス接合体の製造方法を説明する。
図2(a)に示されるように、まず、2つのセラミックス成形体22,24のうち少なくとも一方のセラミックス成形体に中空部を構成する溝部を形成する。本実施形態では、セラミックス成形体24に中空部46を構成する溝部26を形成する。
次に、図2(b)に示されるように、溝部26内に、セラミックス成形体22,24の接合面同士を当接させたときに溝部26のY軸方向の全長に渡り延在する経路29を残すように、セラミックス成形体22,24の接合面22a,24aのうち、中空部46を構成する部分と、第2のセラミックス成形体24の溝部26の内面とを、樹脂28で被覆する。被覆工程では、樹脂を用いるので、直線状の溝部26だけでなく、蛇行形状等の複雑な形状の溝部の内面も樹脂で被覆することができる。
図2(c)に示されるように、セラミックス成形体22,24と同一組成のセラミックス粉末を含有するスラリー30中に2つのセラミックス成形体22,24を浸漬し、接合面22a,24a同士を当接させる。樹脂29で被覆された溝部26にスラリー30を満たし、セラミックス成形体22,24の接合面22a,24a同士を均質なスラリー30を介して当接させ、後述する焼成工程により接合するためである。
図2(d)に示されるように、当接したセラミックス成形体22,24を乾燥させる。乾燥工程により、スラリーからなるセラミックス成形体22,24間の接合部32が形成される。また、溝部26を被覆する樹脂29上にスラリー32aが残留して経路29の断面積は小さくなるが、溝部26内部のスラリー30が乾燥し、閉塞することを防止できる。従って、後述する除去工程で、経路29にスラリーを除去する洗浄液と、樹脂を溶解除去する溶剤を容易に流通させることが可能になる。
次に、接合面22a,24a同士が接合部32を介して当接した状態で、経路29に残存しているスラリー32aを洗浄液、例えば水で除去する。図2(e)に示されるように、セラミックス成形体22と、樹脂29で被覆された溝部26を備えるセラミックス成形体24とが接合層32’によって当接したセラミックス成形体22,24が得られる。
除去工程により当接したセラミックス成形体22,24を得た後、樹脂28そしてバインダを脱脂する。脱脂工程の雰囲気は酸化雰囲気が好ましい。
図2(g)に示されるように、脱脂工程後のセラミックス成形体22,24を焼成してセラミックス接合体40を形成する。この結果、接合面の周縁における一の箇所から他の箇所に連続する中空部46を備え、中空部46内表面の表面粗さRaが1.2μm以下であるセラミックス接合体40を形成することができる。また、接合界面とセラミックスの明度指数の差ΔL*が0.01〜6.5であるセラミックス接合体40を形成することができる。
[セラミックス成形体の作製]
(実施例1)
粒度0.5μm、純度99.5%のアルミナ粉末10kgに、焼結助剤として硝酸マグネシウムを65g、分散剤としてポリアクリル酸アンモニウム塩(東亜合成(株)製、商品名:A−6114)を100g添加した原料粉末をボールミルに投入するとともに、適量のイオン交換水を添加して攪拌混合してスラリーを得た。ボールミルから払い出してから、バインダとしてポリビニルアルコール(発火温度:440℃)を20g添加して得られたスラリーを噴霧造粒法により噴霧乾燥して造粒した。そして、造粒した2次原料をゴム型内へ投入し、静水圧プレス成形法により成形して、208mm×208mm×18mmの2つの平板状のアルミナ成形体を得た。得られた一方の平板状のアルミナ成形について、接合面の周縁における一の箇所から他の箇所に連続する一本の渦巻き形状で、深さ4.7mm、幅7.2mm、長さ1280mmの溝部を切削加工してアルミナ成形体を形成した。2つのアルミナ成形体の接合面及び中空部内部の表面の表面粗さRaが1.7μm(JISB0601−2001)になるように研磨加工した。
バインダとしてアクリル樹脂(発火温度:420℃)を使用し、2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さRaを2.0μmになるように研磨加工し、脱脂温度を550℃とした以外は実施例1と同じ条件で接合体を製造した。
2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さRaを1.2μmになるように研磨加工した以外は実施例1と同じ条件で接合体を製造した。
2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを1.0μmになるように研磨加工した以外は実施例2と同じ条件で接合体を製造した。
セラミックス成形体原料としてジルコニア粉末を使用し、2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを1.6μmになるように研磨加工した以外は実施例1と同じ条件で接合体を製造した。
セラミックス成形体原料としてジルコニア粉末を使用し、2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを1.9μmになるように研磨加工した以外は実施例1と同じ条件で接合体を製造した。
セラミックス成形体原料としてイットリア粉末を使用し、2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを0.9μmになるように研磨加工した以外は実施例2と同じ条件で接合体を製造した。
セラミックス成形体原料としてチタニア粉末を使用し、2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを1.1μmになるように研磨加工した以外は実施例1と同じ条件で接合体を製造した。
2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを3.5μmになるように研磨加工した以外は実施例1と同じ条件で接合体を製造した。
2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを1.4μmになるように研磨加工した以外は実施例2と同じ条件で接合体を製造した。
2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを1.2μmになるように研磨加工した以外は実施例5と同じ条件で接合体を製造した。
バインダとしてアクリル樹脂を使用し、溝部に樹脂を被覆しなかったこと以外は比較例3と同じ条件で接合体を製造した。
バインダとしてポリビニルアルコールを使用し、2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを1.7μmになるように研磨加工し、脱脂工程の時間を5時間にした以外は実施例7と同じ条件で接合体を製造した。
バインダとしてアクリル樹脂を使用し、2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを1.4μmになるように研磨加工し、樹脂として酢酸ビニル(発火温度:385℃)を使用し、脱脂工程の時間を24時間とした以外は比較例5と同じ条件で接合体を製造した。
2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを5.2μmになるように研磨加工し、樹脂として発泡ウレタン樹脂(発火温度:410℃)を使用し、脱脂工程の時間を20時間にした以外は実施例1と同じ条件で接合体を製造した。
バインダとしてアクリル樹脂を使用し、2つの成形体の接合面及び中空部内表面の表面粗さを1.2μmになるように研磨加工し、さらに、成形体の溝部に樹脂を完全に充填した以外は実施例8と同じ条件で接合体を製造した。
実施例1、2及び比較例1のアルミナ接合体に対して、中空部に5℃の冷水(カルシウムイオン:9.1mg/100ml、ナトリウムイオン:1.2mg/100ml)を通水し、アルミナ接合体全体が5℃になるまで冷却した後、室温(23.5℃)下に静置し、アルミナ接合体の2つのアルミナ焼結体のうち溝部を有さないアルミナ焼結体の表面において中空部から最短距離の位置の温度が当該室温に戻るまでの時間を測定した。
Claims (2)
- 同一組成の2つのセラミックス成形体が一体焼成されて接合されることにより構成され、前記2つのセラミックス成形体のうち少なくとも一方のセラミックス成形体の接合面に形成された溝部に由来する、前記セラミックス接合体を貫通する中空部を有し、前記中空部内表面の表面粗さRaが1.2μm以下であるセラミックス接合体の製造方法であって、
前記2つのセラミックス焼結体の前駆体である2つのセラミックス成形体のうち少なくとも一方のセラミックス成形体に前記中空部を構成する溝部を形成する溝部形成工程と、
前記2つのセラミックス成形体のそれぞれの表面のうち、少なくとも前記中空部の表面を構成する所定部分の表面粗さRaを2.0μm以下に表面加工する表面加工工程と、
前記2つのセラミックス成形体の接合面同士を当接させたときに前記中空部の全長に沿って延在する経路を残すように、前記所定部分を樹脂で被覆する被覆工程と、
前記2つのセラミックス成形体と同一組成のセラミックス粉末を含有するスラリー中に前記2つのセラミックス成形体を浸漬し、前記2つのセラミックス成形体の接合面同士を当接させる当接工程と、
接合面同士が当接した状態で前記経路に残存しているスラリーを洗浄液で除去した上で、前記樹脂の溶剤を前記経路に流通させることにより前記樹脂を溶解して前記中空部から除去する除去工程と、
前記2つのセラミックス成形体を焼成して前記セラミックス接合体を形成する焼成工程と、を備えるセラミックス接合体の製造方法。 - 請求項1記載のセラミックス接合体の製造方法であって、
前記セラミックス接合体の主成分は酸化物セラミックスであり、前記樹脂は、パラフィン系樹脂又はエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂であることを特徴とするセラミックス接合体の製造方法。
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