JP6270736B2 - 保護膜形成用フィルム - Google Patents
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Description
〔1〕第1表面と第2表面とを有する硬化性の保護膜形成用フィルムであって、
硬化後における第1表面のシリコンウエハに対する接着力が、硬化後における第2表面のシリコンウエハに対する接着力よりも高い保護膜形成用フィルム。
第2表面を含む樹脂層における剥離剤の含有量が、第2表面を含む樹脂層を構成する全固形分のうち剥離剤を除く固形分100質量部に対して0.001〜20質量部である〔8〕に記載の保護膜形成用フィルム。
図1に示すように、保護膜形成用フィルム10は第1表面aと第2表面bとを有し、硬化後における第1表面aのシリコンウエハに対する接着力が、硬化後における第2表面bのシリコンウエハに対する接着力よりも高い。
なお、保護膜形成用フィルムを硬化までの間被着体に仮着させておくための機能である(2)初期接着性は、感圧接着性であってもよく、熱により軟化して接着する性質であってもよい。(2)初期接着性は、通常バインダー成分の諸特性や、後述する無機フィラー(C)の配合量の調整などにより制御される。
第1のバインダー成分は、重合体成分(A)と硬化性成分(B)を含有することにより、保護膜形成用フィルムにシート形状維持性と硬化性を付与する。なお、第1のバインダー成分は、第2のバインダー成分と区別する便宜上、硬化性重合体成分(AB)を含有しない。
重合体成分(A)は、保護膜形成用フィルムにシート形状維持性を付与することを主目的として保護膜形成用フィルムに添加される。
上記の目的を達成するため、重合体成分(A)の重量平均分子量(Mw)は、通常20,000以上であり、20,000〜3,000,000であることが好ましい。重量平均分子量(Mw)の値は、ゲル・パーミエーション・クロマトグラフィー法(GPC)法(ポリスチレン標準)により測定される場合の値である。このような方法による測定は、たとえば、東ソー社製の高速GPC装置「HLC−8120GPC」に、高速カラム「TSK gurd column HXL−H」、「TSK Gel GMHXL」、「TSK Gel G2000 HXL」(以上、全て東ソー社製)をこの順序で連結したものを用い、カラム温度:40℃、送液速度:1.0mL/分の条件で、検出器を示差屈折率計として行われる。
なお、後述する硬化性重合体(AB)と区別する便宜上、重合体成分(A)は後述する硬化機能官能基を有しない。
重合体成分(A)としては、アクリル系重合体(A1)が好ましく用いられる。アクリル系重合体(A1)のガラス転移温度(Tg)は、好ましくは−60〜50℃、より好ましくは−50〜40℃、さらに好ましくは−40〜30℃の範囲にある。アクリル系重合体(A1)のガラス転移温度が高いと保護膜形成用フィルムのプローブタック値は低下する傾向があり、また、硬化後における接着性が低下する傾向がある。このような傾向があることから、2層以上の樹脂層から保護膜形成用フィルムを形成する場合、第2表面bを含む樹脂層に用いられるアクリル系重合体(A1)のガラス転移温度(Tg)は、−40〜−5℃の範囲にあることが特に好ましい。
(メタ)アクリル酸エステルとしては、アルキル基の炭素数が1〜18であるアルキル(メタ)アクリレート、具体的にはメチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレートなど;環状骨格を有する(メタ)アクリレート、具体的にはシクロアルキル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル(メタ)アクリレート、イミド(メタ)アクリレートなどが挙げられる。また、後述する水酸基を有する単量体、カルボキシル基を有する単量体、アミノ基を有する単量体として例示するもののうち、(メタ)アクリル酸エステルであるものを例示することができる。
また、重合体成分(A)として、ポリエステル、フェノキシ樹脂(後述する硬化性重合体(AB)と区別する便宜上、エポキシ基を有しないものに限る。)、ポリカーボネート、ポリエーテル、ポリウレタン、ポリシロキサン、ゴム系重合体またはこれらの2種以上が結合したものから選ばれる非アクリル系樹脂(A2)の1種単独または2種以上の組み合わせを用いてもよい。このような樹脂としては、重量平均分子量が20,000〜100,000のものが好ましく、20,000〜80,000のものがさらに好ましい。
硬化性成分(B)は、保護膜形成用フィルムに硬化性を付与することを主目的として保護膜形成用フィルムに添加される。硬化性成分(B)は、熱硬化性成分(B1)、またはエネルギー線硬化性成分(B2)を用いることができる。また、これらを組み合わせて用いてもよい。熱硬化性成分(B1)は、少なくとも加熱により反応する官能基を有する化合物を含有する。また、エネルギー線硬化性成分(B2)は、エネルギー線照射により反応する官能基を有する化合物(B21)を含有し、紫外線、電子線等のエネルギー線の照射を受けると重合硬化する。これらの硬化性成分が有する官能基同士が反応し、三次元網目構造が形成されることにより硬化が実現される。硬化性成分(B)は、重合体成分(A)と組み合わせて用いるため、保護膜形成用フィルムを形成するための塗工用組成物の粘度を抑制し、取り扱い性を向上させる等の観点から、通常その重量平均分子量(Mw)は、10,000以下であり、100〜10,000であることが好ましい。
熱硬化性成分としては、たとえば、エポキシ系熱硬化性成分が好ましい。
エポキシ系熱硬化性成分は、エポキシ基を有する化合物(B11)を含有し、エポキシ基を有する化合物(B11)と熱硬化剤(B12)を組み合わせたものを用いることが好ましい。
エポキシ基を有する化合物(B11)(以下、「エポキシ化合物(B11)」ということがある。)としては、従来公知のものを用いることができる。具体的には、多官能系エポキシ樹脂や、ビスフェノールAジグリシジルエーテルやその水添物、オルソクレゾールノボラックエポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェニレン骨格型エポキシ樹脂など、分子中に2官能以上有するエポキシ化合物が挙げられる。これらは1種単独で、または2種以上を組み合わせて用いることができる。
このような傾向があることから、2層以上の樹脂層から保護膜形成用フィルムを形成する場合は、第2表面bを含む樹脂層において、エポキシ化合物(B11)として、常温において固体であるもののみを用いるときは、重合体成分(A)100質量部に対して、エポキシ化合物(B11)が70〜150質量部含まれることが特に好ましい。
熱硬化剤(B12)は、エポキシ化合物(B11)に対する硬化剤として機能する。好ましい熱硬化剤としては、1分子中にエポキシ基と反応しうる官能基を2個以上有する化合物が挙げられる。その官能基としてはフェノール性水酸基、アルコール性水酸基、アミノ基、カルボキシル基および酸無水物などが挙げられる。これらのうち好ましくはフェノール性水酸基、アミノ基、酸無水物などが挙げられ、さらに好ましくはフェノール性水酸基、アミノ基が挙げられる。
硬化促進剤(B13)を、保護膜形成用フィルムの熱硬化の速度を調整するために用いてもよい。硬化促進剤(B13)は、特に、熱硬化性成分(B1)として、エポキシ系熱硬化性成分を用いるときに好ましく用いられる。
保護膜形成用フィルムがエネルギー線硬化性成分を含有することで、多量のエネルギーと長い時間を要する熱硬化工程を行うことなく保護膜形成用フィルムの硬化を行うことができる。これにより、製造コストの低減を図ることができる。
エネルギー線硬化性成分は、エネルギー線照射により反応する官能基を有する化合物(B21)を単独で用いてもよいが、エネルギー線照射により反応する官能基を有する化合物(B21)と光重合開始剤(B22)を組み合わせたものを用いることが好ましい。
エネルギー線照射により反応する官能基を有する化合物(B21)(以下「エネルギー線反応性化合物(B21)」ということがある。)としては、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールモノヒドロキシペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートあるいは1,4−ブチレングリコールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート等のアクリレート系化合物が挙げられ、また、オリゴエステルアクリレート、ウレタンアクリレート系オリゴマー、エポキシアクリレート、ポリエーテルアクリレートおよびイタコン酸オリゴマーなどのアクリレート系化合物等の重合構造を有するアクリレート化合物であって、比較的低分子量のものが挙げられる。このような化合物は、分子内に少なくとも1つの重合性二重結合を有する。
エネルギー線反応性化合物(B21)に光重合開始剤(B22)を組み合わせることで、重合硬化時間を短くし、ならびに光線照射量を少なくすることができる。
光重合開始剤(B22)の配合割合が0.1質量部未満であると光重合の不足で満足な硬化性が得られないことがあり、10質量部を超えると光重合に寄与しない残留物が生成し、不具合の原因となることがある。
第2のバインダー成分は、硬化性重合体成分(AB)を含有することにより、保護膜形成用フィルムにシート形状維持性と硬化性を付与する。
硬化性重合体成分は、硬化機能官能基を有する重合体である。硬化機能官能基は、互いに反応して三次元網目構造を構成しうる官能基であり、加熱により反応する官能基や、エネルギー線により反応する官能基が挙げられる。
硬化機能官能基は、硬化性重合体(AB)の骨格となる連続構造の単位中に付加していてもよいし、末端に付加していてもよい。硬化機能官能基が硬化性重合体成分(AB)の骨格となる連続構造の単位中に付加している場合、硬化機能官能基は側鎖に付加していてもよいし、主鎖に直接付加していてもよい。硬化性重合体成分(AB)の重量平均分子量(Mw)は、保護膜形成用フィルムにシート形状維持性を付与する目的を達成する観点から、通常20,000以上である。
また、上述のアクリル系重合体(A1)と同様の重合体であって、単量体として、エポキシ基を有する単量体を用いて重合したもの(エポキシ基含有アクリル系重合体)であってもよい。このような単量体としては、たとえばグリシジル(メタ)アクリレート等のグリシジル基を有する(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。
エポキシ基含有アクリル系重合体を用いる場合、その好ましい態様はアクリル系重合体(A1)と同様である。
また、たとえば側鎖に水酸基等の官能基Xを有する原料重合体に、官能基Xと反応しうる官能基Y(たとえば、官能基Xが水酸基である場合にはイソシアネート基等)およびエネルギー線照射により反応する官能基を有する低分子化合物を反応させて調製した重合体を用いてもよい。
この場合において、原料重合体が上述のアクリル系重合体(A1)に該当するときは、その原料重合体の好ましい態様は、アクリル系重合体(A1)と同様である。
第1表面aを含む樹脂層にアクリル系重合体(A1)を用いる場合、第2表面bを含む樹脂層におけるアクリル系重合体(A1)のガラス転移温度(Tg)と同様に、そのガラス転移温度(Tg)は、−40〜−5℃の範囲にあることが好ましい。
第1表面aを含む樹脂層にアクリル系重合体(A1)を用いる場合、第2表面bを含む樹脂層におけるアクリル系重合体(A1)の重量平均分子量と同様に、その重量平均分子量は600,000〜1,200,000であることが好ましい。
第1表面aを含む樹脂層において、エポキシ化合物(B11)として、常温において固体であるもののみを用いるときは、第2表面bを含む樹脂層におけるエポキシ化合物(B11)の含有量と同様に、重合体成分(A)100質量部に対して、エポキシ化合物(B11)が70〜150質量部含まれることが好ましい。
保護膜形成用フィルムは、無機フィラー(C)を含有していてもよい。無機フィラー(C)を保護膜形成用フィルムに配合することにより、硬化後の保護膜における熱膨張係数を調整することが可能となり、被着体に対して硬化後の保護膜の熱膨張係数を最適化することで半導体装置の信頼性を向上させることができる。また、硬化後の保護膜の吸湿性を低減させることも可能となる。
さらに、保護膜にレーザーマーキングを施すことにより、レーザー光により削り取られた部分に無機フィラー(C)が露出して、反射光が拡散するために白色に近い色を呈する。これにより、保護膜形成用フィルムが後述する着色剤(D)を含有する場合、レーザーマーキング部分と他の部分にコントラスト差が得られ、印字が明瞭になるという効果がある。
保護膜形成用フィルムには、着色剤(D)を配合することができる。着色剤を配合することで、半導体装置を機器に組み込んだ際に、周囲の装置から発生する赤外線等による半導体装置の誤作動を防止することができる。また、レーザーマーキング等の手段により保護膜に刻印を行った場合に、文字、記号等のマークが認識しやすくなるという効果がある。すなわち、保護膜が形成された半導体装置や半導体チップでは、保護膜の表面に品番等が通常レーザーマーキング法(レーザー光により保護膜表面を削り取り印字を行う方法)により印字されるが、保護膜が着色剤(D)を含有することで、保護膜のレーザー光により削り取られた部分とそうでない部分のコントラスト差が充分に得られ、視認性が向上する。
着色剤(D)の配合量は、保護膜形成用フィルムを構成する全固形分100質量部に対して、好ましくは0.1〜35質量部、さらに好ましくは0.5〜25質量部、特に好ましくは1〜15質量部である。
無機物と反応する官能基および有機官能基と反応する官能基を有するカップリング剤(E)を、保護膜形成用フィルムの被着体に対する接着性、密着性および/または保護膜の凝集性を向上させるために用いてもよい。また、カップリング剤(E)を使用することで、保護膜形成用フィルムを硬化して得られる保護膜の耐熱性を損なうことなく、その耐水性を向上させることができる。このようなカップリング剤としては、チタネート系カップリング剤、アルミネート系カップリング剤、シランカップリング剤等が挙げられる。これらのうちでも、シランカップリング剤が好ましい。
このようなシランカップリング剤としてはγ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、β−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、γ−(メタクリロキシプロピル)トリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−6−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−6−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルメチルジエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、ビス(3−トリエトキシシリルプロピル)テトラスルファン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、イミダゾールシランなどが挙げられる。これらは1種単独で、または2種以上混合して使用することができる。
保護膜形成用フィルムの第1表面における接着力と第2表面における接着力を調整するために、剥離剤を添加することもできる。剥離剤としては、ポリジメチルシロキサン、ポリフェニルメチルシロキサン、ポリジフェニルシロキサンなどのシリコーン化合物やフッ素化合物が挙げられる。
これらの中でも、シリコーン化合物が好ましく、側鎖として芳香環含有基を有するオルガノポリシロキサンであって、かつ、25℃における動粘度が50〜100,000mm2/sであるものがより好ましい。ポリシロキサンとは、−Si(X)2−O−で表される単位構造(Xは側鎖を表す)が複数連結した化合物であり、この単位構造の数は特に限定されないが、通常3以上である。単位構造の数の増減により、上記の動粘度の値を制御することができる。
前記芳香環含有基の例としては、フェニル基、アラルキル基が挙げられる。ここでいうアラルキル基とは、アルキル部が直鎖状または分岐鎖状であり、アルキル部の炭素数が好ましくは1〜5、より好ましくは1〜3であり、アリール部の炭素数が好ましくは6〜10、より好ましくは6であるアラルキル基である。アラルキル基の好ましい例としては、ベンジル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基、フェニルイソプロピル基が挙げられる。前記芳香環含有基としては、アラルキル基が好ましい。
保護膜形成用フィルムには、上記の他に、必要に応じて各種添加剤が配合されてもよい。各種添加剤としては、レベリング剤、可塑剤、帯電防止剤、酸化防止剤、イオン捕捉剤、ゲッタリング剤、連鎖移動剤などが挙げられる。
かかる溶媒としては、酢酸エチル、酢酸メチル、ジエチルエーテル、ジメチルエーテル、アセトン、メチルエチルケトン、アセトニトリル、ヘキサン、シクロヘキサン、トルエン、ヘプタンなどが挙げられる。
たとえば、保護膜形成用フィルムを工程フィルム上に製膜することができる。製膜は、工程フィルム上に保護膜形成用フィルムを形成するための組成物をロールナイフコーター、グラビアコーター、ダイコーター、リバースコーターなど一般に公知の方法にしたがって塗工し、乾燥させることによって行う。
工程フィルムは、そのまま後述する支持シートやカバーフィルムとして用いることができる。また、保護膜形成用フィルムを、その製膜後に工程フィルムから支持シートやカバーフィルムに転写してもよい。工程フィルムが、支持シートまたはカバーフィルムのいずれか一方であり、かつ、転写される材料が、支持シートまたはカバーフィルムの他の一方であってもよい。
保護膜形成用複合シートは、保護膜形成用フィルムの第2表面側に支持シートを剥離可能に形成して得られる。保護膜形成用複合シートの形状は、枚葉のものに限られず、長尺の帯状のものであってもよく、これを巻収してもよい。支持シートとしては、剥離シートが挙げられ、また、後述する粘着シートを用いることができる。
保護膜形成用複合シートの構成がかかる構成であると、保護膜形成用複合シートが、ダイシング工程において被着体を支持するためのダイシングシートとして機能する場合に支持シートと保護膜形成用フィルムの間の密着性が保たれ、ダイシング工程において保護膜形成用フィルム付チップが支持シートから剥がれることを抑制するという効果が得られる。保護膜形成用複合シートが、ダイシング工程において被着体を支持するためのダイシングシートとして機能する場合、ダイシング工程において保護膜形成用フィルム付ウエハに別途ダイシングシートを貼り合せてダイシングをする必要がなくなり、半導体装置の製造工程を簡略化できる。
次に、本発明の保護膜形成用フィルムの利用方法について、上述した保護膜形成用複合シートを半導体装置の製造に適用した場合を例にとって説明する。
工程(1):保護膜形成用フィルムと支持シートとを剥離、
工程(2):保護膜形成用フィルムを支持体に載置、
工程(3):保護膜形成用フィルムを硬化して保護膜を得る、
工程(4):保護膜と支持体とを剥離、
工程(5):半導体ウエハと、保護膜形成用フィルムまたは保護膜とをダイシング。
工程(6):保護膜にレーザー印字。
粘着シート貼付装置(リンテック(株)製 Adwill RAD3600F12)を用いて、テーブル温度60℃で保護膜形成用フィルムの第1表面を、350μm厚に研磨したシリコンウエハの研磨面(2000番仕上げ)に貼付し、シリコンウエハと保護膜形成用フィルムの積層体を得た。
粘着シート貼付装置(リンテック(株)製 Adwill RAD3600F12)を用いて、テーブル温度60℃で保護膜形成用フィルムの第1表面を、500μm厚に研磨したシリコンウエハの研磨面(2000番仕上げ)に貼付し、シリコンウエハと保護膜形成用フィルムの積層体を得た。
実施例または比較例で作成した保護膜形成用フィルムの第2表面において、理学工業社製PROBETACKTESTERを用い、JIS Z0237:1991 参考5に準拠して、プローブタック値を測定した。具体的には、熱硬化前の保護膜形成用フィルムを25mm×25mmの試験片に切り取り、23℃の環境下、その試験片の第2表面に、70℃に加熱された直径5mmのステンレス製プローブを10秒間、接触荷重0.98N/cm2で接触させた後、プローブを10mm/秒の速度で試験片から離し、その際の応力を測定した。
第2表面における再剥離性の評価において得た保護膜形成用フィルム付チップを支持体に仮固定せずに、130℃、2時間で保護膜形成用フィルムを熱硬化し、支持体と保護膜とチップの積層体を得、試料とした。
また、第2表面における再剥離性の評価において、支持体上で熱硬化して得た保護膜とチップの積層体のうち、評価が「良好」であったものを試料とした。
良好:CCDカメラによるコントラスト値が70%超
可 :CCDカメラによるコントラスト値が30〜70%
不良:CCDカメラによるコントラスト値が30%未満
保護膜形成用組成物(α)を構成する各成分とその配合量を下記に示す。各成分の配合量は固形分換算の質量部を示し、本発明において固形分とは溶媒以外の全成分をいう。
(A)重合体成分:n−ブチルアクリレート55質量部、メチルメタクリレート15質量部、グリシジルメタクリレート20質量部、及び2−ヒドロキシエチルアクリレート10質量部を共重合してなるアクリル系重合体(重量平均分子量:90万、ガラス転移温度:−28℃)/100質量部
(B)硬化性成分:
(B11)ビスフェノールA型エポキシ樹脂(エポキシ当量180〜200g/eq、常温において固体である)50質量部、及びジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(大日本インキ化学工業(株)製 エピクロンHP−7200HH、常温において固体である)50質量部からなる熱硬化性成分/100質量部
(B12)熱活性潜在性エポキシ樹脂硬化剤(ジシアンジアミド(旭電化製 アデカハ−ドナー3636AS))/2.8質量部
(B13)硬化促進剤(2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(四国化成工業(株)製 キュアゾール2PHZ))/2.8質量部
(C)無機フィラー:シリカフィラー(溶融石英フィラー(平均粒径3μm))/300質量部
(D)着色剤:黒色顔料(カーボンブラック(三菱化学社製#MA650、平均粒径28nm))/10質量部
(E)カップリング剤:シランカップリング剤(日本ユニカー製 A−1110)/1質量部
(F)剥離剤:シリコーン化合物(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製 XF42−334)/(A)〜(F)の合計100質量部に対して0.1質量部
(F)成分の配合量を、(A)〜(F)の合計100質量部に対して0.5質量部としたこと以外は、保護膜形成用組成物(α)と同様である。
(F)成分の配合量を、(A)〜(F)の合計100質量部に対して1.5質量部としたこと以外は、保護膜形成用組成物(α)と同様である。
(F)成分の配合量を、(A)〜(F)の合計100質量部に対して3.0質量部としたこと以外は、保護膜形成用組成物(α)と同様である。
重合体成分(A)の代わりに、下記の重合体成分(A’)を用いたこと以外は、保護膜形成用組成物(α)と同様である。
(A’)重合体成分:n−ブチルアクリレート15質量部、メチルメタクリレート50質量部、グリシジルメタクリレート20質量部、及び2−ヒドロキシエチルアクリレート15質量部を共重合してなるアクリル系重合体(重量平均分子量:90万、ガラス転移温度:−1℃)
(F)成分の配合量を、(A)〜(F)の合計100質量部に対して0質量部としたこと以外は、保護膜形成用組成物(α)と同様である。
剥離シートとして、片面に剥離処理を行ったポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック社製 SP−P502010、厚さ50μm)を用意した。保護膜形成用組成物(α)のメチルエチルケトン溶液(固形分濃度61重量%)を、上記剥離シートの剥離処理面上に乾燥後の厚さが25μmとなるように塗布、乾燥(乾燥条件:オーブンにて120℃、3分間)して、剥離シート上に樹脂層(α)を形成した。
次いで、保護膜形成用組成物(ζ)のメチルエチルケトン溶液(固形分濃度61重量%)を上記剥離シートの剥離処理面上に乾燥後の厚さが25μmとなるように塗布、乾燥(乾燥条件:オーブンにて120℃、3分間)して、剥離シート上に樹脂層(ζ)を形成した。
保護膜形成用組成物(α)に代わりに、保護膜形成用組成物(β)を用いたこと以外は実施例1と同様の方法で保護膜形成用フィルムを得た。各評価結果を表1に示す。
保護膜形成用組成物(α)に代わりに、保護膜形成用組成物(γ)を用いたこと以外は実施例1と同様の方法で保護膜形成用フィルムを得た。各評価結果を表1に示す。
保護膜形成用組成物(α)に代わりに、保護膜形成用組成物(δ)を用いたこと以外は実施例1と同様の方法で保護膜形成用フィルムを得た。各評価結果を表1に示す。
保護膜形成用組成物(α)に代わりに、保護膜形成用組成物(ε)を用いたこと以外は実施例1と同様の方法で保護膜形成用フィルムを得た。各評価結果を表1に示す。
保護膜形成用組成物(α)に代わりに、保護膜形成用組成物(ζ)を用いたこと以外は実施例1と同様の方法で保護膜形成用フィルムを得た。各評価結果を表1に示す。
a:第1表面
b:第2表面
100:保護膜形成用複合シート
1:基材
2:粘着剤層
3:粘着シート
4:治具接着層
5:界面接着調整層
6:せん断強度測定ツール
7:支持体
8:チップ
9:金属板
11:保護膜
20:保護膜付チップ
Claims (7)
- 第1表面と第2表面とを有し、第1表面は保護膜を形成する被着体に貼付され、第2表面は支持体に仮固定され、硬化後、第2表面から支持体を剥離する硬化性の保護膜形成用フィルムであって、
硬化後における第1表面のシリコンウエハに対する接着力が、硬化後における第2表面のシリコンウエハに対する接着力よりも高く、
前記支持体が、シリコンウエハ、ガラス板及びポリメチルメタクリレート板からなる群から選ばれる支持体である、保護膜形成用フィルム。 - 硬化後における第1表面のシリコンウエハに対する接着力と硬化後における第2表面のシリコンウエハに対する接着力との比(第1表面のシリコンウエハに対する接着力/第2表面のシリコンウエハに対する接着力)が、1.2〜100である請求項1に記載の保護膜形成用フィルム。
- 硬化後における第2表面のシリコンウエハに対する接着力が0.01〜100Nである請求項1または2に記載の保護膜形成用フィルム。
- 第2表面のプローブタック値が0.01〜3N/5mmΦである請求項1〜3のいずれかに記載の保護膜形成用フィルム。
- 組成の異なる2層以上の樹脂層からなる請求項1〜4のいずれかに記載の保護膜形成用フィルム。
- 少なくとも第2表面を含む樹脂層が剥離剤を含有し、第2表面を含む樹脂層における剥離剤の含有量が、第1表面を含む樹脂層における剥離剤の含有量よりも多い請求項5に記載の保護膜形成用フィルム。
- 第1表面を含む樹脂層における剥離剤の含有量が、第1表面を含む樹脂層を構成する全固形分のうち剥離剤を除く固形分100質量部に対して0〜0.001質量部であり、
第2表面を含む樹脂層における剥離剤の含有量が、第2表面を含む樹脂層を構成する全固形分のうち剥離剤を除く固形分100質量部に対して0.001〜20質量部である請求項6に記載の保護膜形成用フィルム。
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