JP6268298B2 - 4h−SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
2, 裏面シリサイド領域
3. p+コレクタ領域
4. n+バッファ領域
5. n-ドリフト領域
6. p+ボディ領域
7 第1エミッタ領域
8 第2エミッタ領域
9 ゲート絶縁膜
10 ゲート電極
11. 表面側シリサイド領域
12. エミッタ電極
13. Alを含む裏面金属領域
19.表面第1シリサイド領域
20.表面第2シリサイド領域
21. p+ SiC基板
22. Al
23. 表面金属膜
Claims (10)
- 裏面コレクタ電極と,
前記裏面コレクタ電極に電気的に接続されるAlを含む裏面シリサイド領域と,
前記裏面シリサイド領域に電気的に接続される第2導電型のコレクタ領域と,
前記第2導電型のコレクタ領域に電気的に接続される第1導電型のバッファ領域と,
前記バッファ領域に電気的に接続される第1導電型のドリフト領域と,
前記第1導電型のドリフト領域に電気的に接続される第2導電型のボディ領域と,
前記第2導電型のボディ領域に電気的に接続される第1導電型の第1エミッタ領域と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域に隣接し、前記第2導電型のボディ領域に電気的に接続される第2導電型の第2エミッタ領域と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域,前記ドリフト領域,および前記ボディ領域に跨り、これらの少なくとも一部を覆うゲート絶縁膜と,
前記ゲート絶縁膜上に配置されたゲート電極と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域と第2導電型の第2エミッタ領域に電気的に接続される表面シリサイド領域と,
前記表面シリサイド領域に電気的に接続されるエミッタ電極からなり,
前記裏面シリサイド領域の厚さが前記表面シリサイド領域の厚さよりも薄く、
Alを含む金属層が前記裏面コレクタ電極と前記コレクタ領域の間に存在することを特徴とする,4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタ。 - 裏面コレクタ電極と,
前記裏面コレクタ電極に電気的に接続されるAlを含む裏面シリサイド領域と,
前記裏面シリサイド領域に電気的に接続される第2導電型のコレクタ領域と,
前記第2導電型のコレクタ領域に電気的に接続される第1導電型のバッファ領域と,
前記バッファ領域に電気的に接続される第1導電型のドリフト領域と,
前記第1導電型のドリフト領域に電気的に接続される第2導電型のボディ領域と,
前記第2導電型のボディ領域に電気的に接続される第1導電型の第1エミッタ領域と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域に隣接し、前記第2導電型のボディ領域に電気的に接続される第2導電型の第2エミッタ領域と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域,前記ドリフト領域,および前記ボディ領域に跨り、これらの少なくとも一部を覆うゲート絶縁膜と,
前記ゲート絶縁膜上に配置されたゲート電極と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域と第2導電型の第2エミッタ領域に電気的に接続される表面シリサイド領域と,
前記表面シリサイド領域に電気的に接続されるエミッタ電極からなり,
前記裏面シリサイド領域の厚さが前記表面シリサイド領域の厚さよりも薄く、
前記裏面コレクタ電極と前記コレクタ領域の間には,
前記裏面シリサイド領域を構成する厚さ20nm未満5nm以上のシリサイド層と、金属層が存在し,
前記シリサイド層と金属層は,ともにその少なくとも一部にAlとAl以外の同種の物質を含有することを特徴とする,4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタ。 - 前記,請求項2の4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタにおいて,
前記Al以外の同種の物質は,Ti, Ni, TiNから選ばれる少なくとも一つであることを特徴とする,4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタ。 - 裏面コレクタ電極と,
前記裏面コレクタ電極に電気的に接続されるAlを含む裏面シリサイド領域と,
前記裏面シリサイド領域に電気的に接続される第2導電型のコレクタ領域と,
前記第2導電型のコレクタ領域に電気的に接続される第1導電型のバッファ領域と,
前記バッファ領域に電気的に接続される第1導電型のドリフト領域と,
前記第1導電型のドリフト領域に電気的に接続される第2導電型のボディ領域と,
前記第2導電型のボディ領域に電気的に接続される第1導電型の第1エミッタ領域と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域に隣接し、前記第2導電型のボディ領域に電気的に接続される第2導電型の第2エミッタ領域と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域,前記ドリフト領域,および前記ボディ領域に跨り、これらの少なくとも一部を覆うゲート絶縁膜と,
前記ゲート絶縁膜上に配置されたゲート電極と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域と第2導電型の第2エミッタ領域に電気的に接続される表面シリサイド領域と,
前記表面シリサイド領域に電気的に接続されるエミッタ電極からなり,
前記裏面シリサイド領域の厚さが前記表面シリサイド領域の厚さよりも薄く、
前記裏面コレクタ電極から前記コレクタ領域に至る部分の構造は,
Al, Ti, Ni, Au, Agから選択された少なくとも一つを含む前記裏面コレクタ電極と,
前記裏面コレクタ電極に接するAlを含有する金属層と,
前記金属層に接する前記裏面シリサイド領域と,
前記裏面シリサイド領域に接する前記コレクタ領域からなる,
4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタ。 - 裏面コレクタ電極と,
前記裏面コレクタ電極に電気的に接続されるAlを含む裏面シリサイド領域と,
前記裏面シリサイド領域に電気的に接続される第2導電型のコレクタ領域と,
前記第2導電型のコレクタ領域に電気的に接続される第1導電型のバッファ領域と,
前記バッファ領域に電気的に接続される第1導電型のドリフト領域と,
前記第1導電型のドリフト領域に電気的に接続される第2導電型のボディ領域と,
前記第2導電型のボディ領域に電気的に接続される第1導電型の第1エミッタ領域と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域に隣接し、前記第2導電型のボディ領域に電気的に接続される第2導電型の第2エミッタ領域と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域,前記ドリフト領域,および前記ボディ領域に跨り、これらの少なくとも一部を覆うゲート絶縁膜と,
前記ゲート絶縁膜上に配置されたゲート電極と,
前記第1導電型の第1エミッタ領域と第2導電型の第2エミッタ領域に電気的に接続される表面シリサイド領域と,
前記表面シリサイド領域に電気的に接続されるエミッタ電極からなり,
前記裏面シリサイド領域の厚さが前記表面シリサイド領域の厚さよりも薄く、
前記表面シリサイド領域が,前記第1導電型の第1エミッタ領域に電気的に接続されるNiシリサイドで形成された表面第1シリサイド領域と,前記第2導電型の第2エミッタ領域に電気的に接続されるAlを含むシリサイドで形成された表面第2シリサイド領域からなり,
前記裏面シリサイド領域の膜厚が前記表面第1シリサイド領域と表面第2シリサイド領域よりも薄いことを特徴とする,4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタ。 - 第2導電型のコレクタ領域と,
前記コレクタ領域と電気的に接続される第1導電型のドリフト領域と,
前記ドリフト領域と電気的に接続される第2導電型のエミッタ領域と,
前記コレクタ領域と第1のシリサイド領域を介して電気的に接続されるコレクタ電極と,
前記エミッタ領域と第2のシリサイド領域を介して電気的に接続されるエミッタ電極と,
を備える4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法であって、
前記第1のシリサイド領域の厚さを前記第2のシリサイド領域の厚さよりも薄く形成し、
前記第1のシリサイド領域を波長400nm未満のレーザーアニールで形成することを特徴とする,4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法。 - 前記,請求項6の4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法において,
前記第1のシリサイド領域を照射強度が1.8J以上3.5J未満のレーザーアニールで形成することを特徴とする,4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法。 - 前記,請求項6の4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法において,
前記第1のシリサイド領域をスキャン速度が5mm/s以上100mm/s未満のレーザーアニールで形成することを特徴とする,4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法。 - 第2導電型のコレクタ領域と,
前記コレクタ領域と電気的に接続される第1導電型のドリフト領域と,
前記ドリフト領域と電気的に接続される第2導電型のエミッタ領域と,
前記コレクタ領域と第1のシリサイド領域を介して電気的に接続されるコレクタ電極と,
前記エミッタ領域と第2のシリサイド領域を介して電気的に接続されるエミッタ電極と,
を備える4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法であって、
前記第1のシリサイド領域の厚さを前記第2のシリサイド領域の厚さよりも薄く形成し、
前記第1のシリサイド領域は,アルミニウムを含む第1の金属層にアルミニウム以外の金属を含む第2の金属層を積層し、前記第2の金属層側からレーザを照射し、前記第1および第2の金属層およびSiCを反応させて前記第1のシリサイド領域を形成することを特徴とする,4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法。 - 前記,請求項9の4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法において,
前記第1および第2の金属層およびSiCを反応させて前記第1のシリサイド領域を形成する際に、シリサイド化されない金属層を同時に形成することを特徴とする,4h-SiC絶縁ゲートバイポーラトランジスタの製造方法。
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