JP7043750B2 - SiC-MOSFET - Google Patents
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Description
12:SiC基板
12a:SiC基板の上面
12b:SiC基板の下面
12t:SiC基板のトレンチ
14:上面電極
16:下面電極
18:ゲート電極
20:層間絶縁膜
22:ゲート絶縁膜
24:保護膜
32:ドレイン層
34:バッファ層
35:バッファ層とドリフト層との間の境界面
36:ドリフト層
38:ボディ層
40:ソース領域
A1:メイン部分
A2:外周部分
B:メイン部分と外周部分との間の境界の位置
T1、T2:ドリフト層の厚み
T3、T4:バッファ層の厚み
T5、T6:ドレイン層の厚み
Claims (3)
- SiC基板と、
前記SiC基板の上面に設けられた上面電極と、
前記SiC基板の下面に設けられた下面電極と、
ゲート電極と、を備え、
前記SiC基板は、
前記下面電極に接触しているn型のドレイン層と、
前記ドレイン層上に積層されているとともに、前記ドレイン層よりもn型不純物の濃度が低いn型のバッファ層と、
前記バッファ層上に積層されているとともに、前記バッファ層よりもn型不純物の濃度が低いn型のドリフト層と、
前記ドリフト層上に積層されているとともに、前記上面電極に接触しているp型のボディ層と、
前記上面電極に接触しているとともに、前記ボディ層を介して前記ドリフト層から隔離されているn型のソース領域と、を備え、
前記ゲート電極は、前記ソース領域、前記ボディ層及び前記ドリフト層に、ゲート絶縁膜を介して対向しており、
前記SiC基板は、平面視において、前記ボディ層を有するメイン部分と、前記メイン部分を取り囲むとともに前記ボディ層を有さない外周部分とを有し、
前記バッファ層と前記ドリフト層との間の境界面は、前記外周部分において前記メイン部分よりも下方に位置しており、
前記外周部分における前記ドリフト層の厚みが、前記メイン部分における前記ドリフト層の厚みよりも大きく、
前記メイン部分における前記バッファ層の厚みは、前記外周部分における前記バッファ層の厚みよりも大きい、
SiC-MOSFET。 - 前記メイン部分における前記ドレイン層の厚みは、前記外周部分における前記ドレイン層の厚みよりも大きい、請求項1に記載のSiC-MOSFET。
- 前記バッファ層及び前記ドリフト層のそれぞれは、エピタキシャル成長層である、請求項1又は2に記載のSiC-MOSFET。
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JP2017138372A JP7043750B2 (ja) | 2017-07-14 | 2017-07-14 | SiC-MOSFET |
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JPH08102536A (ja) * | 1994-09-30 | 1996-04-16 | Sanyo Electric Co Ltd | 絶縁ゲート型半導体装置 |
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- 2017-07-14 JP JP2017138372A patent/JP7043750B2/ja active Active
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