JP6263993B2 - 真空ポンプ装置 - Google Patents
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(2)さらに好ましい実施形態では、電源装置を冷却する冷却液の遮断と通流とを切り替える冷却液切替部をさらに備え、制御部は、結露検知部が結露を検知した場合に、冷却液切替部によって、冷却液を遮断することを特徴とする。
(3)さらに好ましい実施形態では、電源装置は、結露の継続時間を計測するタイマをさらに有し、制御部は、結露を検知すると、回生ブレーキ抵抗に通電し、その後、結露が所定の時間継続した場合には、冷却液切替部によって冷却液を遮断することを特徴とする。
(4)さらに好ましい実施形態では、電源装置は、電源装置の内部の温度を監視する温度検出部をさらに有し、温度検出部は、制御部が回生ブレーキ抵抗に通電している時の電源内部温度を監視し、制御部は、電源内部温度が所定の温度上限以上である場合に、回生ブレーキ抵抗の通電を停止することを特徴とする。
(5)さらに好ましい実施形態では、制御部は、所定の温度上限と電源装置の内部温度の差が所定値以上である場合には、回生ブレーキ抵抗に通電する電流を大きな値に設定し、差が所定値未満である場合には回生ブレーキ抵抗に通電する電流を小さな値に設定することを特徴とする。
(6)さらに好ましい実施形態では、制御部は、PWM制御によって、回生ブレーキ抵抗に通電し、制御部は、所定の温度上限と電源装置の内部温度の差が所定値以上である場合には、PWMのデューティ比を大きな値に設定することで回生ブレーキ抵抗に通電する電流を大きな値に設定し、差が所定値未満である場合にはPWMのデューティ比を小さな値に設定することで回生ブレーキ抵抗に通電する電流を小さな値に設定することを特徴とする。
(7)さらに好ましい実施形態では、電源装置は、モータに通電される電流を検知する電流検出部をさらに有し、制御部は、電流が所定の電流値以上である場合には、回生ブレーキ抵抗に通電しないことを特徴とする。
(8)さらに好ましい実施形態では、電源装置は、モータに通電される電流を検知する電流検出部をさらに有し、制御部は、電流が所定の電流値以上である場合には、回生ブレーキ抵抗に通電する電流を小さな値に設定し、電流が所定の電流値未満である場合には、回生ブレーキ抵抗に通電する電流を大きな値に設定することを特徴とする。
(9)さらに好ましい実施形態では、制御部は、PWM制御によって、回生ブレーキ抵抗に通電し、制御部は、電流が所定の電流値以上である場合には、PWMのデューティ比を小さな値に設定することで回生ブレーキ抵抗に通電する電流を小さな値に設定し、電流が所定の電流値未満である場合には、PWMのデューティ比を大きな値に設定することで回生ブレーキ抵抗に通電する電流を大きな値に設定することを特徴とする。
図1は、本実施形態のターボ分子ポンプ装置10の外観を示す図である。ターボ分子ポンプ装置10は、ポンプ本体5と、冷却装置13と、ポンプ本体5を駆動制御する電源装置14とを備えている。ポンプ本体5は、ターボポンプ部を有するポンプ上部11と、ドラッグポンプ部を有するポンプ下部12とで構成される。
タイマ14tは、結露検知部14rが結露を検知し続けている時間を測定し、その情報をCPU14pに送信する。
温度検出部14sは、電源装置14内の温度を検出して、その情報をCPU14pに送信する。
(1)結露検知部14rが電源装置14内の結露を検知すると、CPU14pから指令を受けた第1制御部14m内のトランジスタ制御回路14iがトランジスタ14jをオンにして、AC/DCコンバータ14aからの直流電力を用いて、回生ブレーキ抵抗14hに通電する。
これによって、回生ブレーキ抵抗14hが発熱し、電源装置14内を加熱して、電源装置14内に生じた結露を解消することができる。
これによって、回生ブレーキ抵抗14hで加熱してもまだ結露が解消されない場合に、冷却水路75の冷却水の流れを遮断して、電源装置14の冷却を抑制して、結露を解消することができる。これは、なるべく冷却水路75の冷却水の流れを遮断せずに、回生ブレーキ抵抗14hによる加熱だけで結露を解消させることになるため、ポンプ本体5の冷却をなるべく妨げないようにできるという効果を奏する。
―第1実施形態の変形例1―
図5において、ステップS13Aにおける所定時間は、ゼロとすることができる。すなわち、回生ブレーキ抵抗14hに通電(ステップS12)された直後に電磁弁77を閉じる(ステップS13B)こともできる。これによって、第1実施形態と比較して早急に結露を解消することができる。
図5において、ステップS13を実行する制御を行ったが、ステップS13を省略する制御を行うことも可能である。これによって、CPU14pの負担を減らすことができる。なお、この場合、タイマ14tは作動させない。
第1実施形態では、冷却液切替部である電磁弁77として2方弁を用いたが、3方弁を用いることもできる。図6に詳細を示す。冷却装置13は、内部に冷却水路75を備えている。冷却水路75は、3方弁の電磁弁77を有する。
本実施形態と第1実施形態とでは、図4に示すステップS2の力行制御の一部として実施される結露を解消するための制御のみが異なる。第1実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
(1)温度検出部14sによって測定された電源装置14内の温度が予め定められた温度上限(例えば、50℃)以上であると、CPU14pから指令を受けたトランジスタ制御回路14iがトランジスタ14jをオフにする。これによって、回生ブレーキ抵抗14hの通電が停止される。
これによって、電源装置14内の温度が過剰に上昇しないようにすることができる。また、温度上限付近であれば、回生ブレーキ抵抗14hで加熱しなくても、結露は解消する方向に向かうため、問題ない。
これによって、回生ブレーキ抵抗14hを用いた適切な加熱を行うことができ、電源装置を過剰に加熱することを回避すると同時に、省エネ効果も期待できる。
第2実施形態では、図7に示すステップS25を実行する制御を行ったが、ステップS25を省略する制御を行うことも可能である。その場合、ステップS23で否定判定されると、ステップS25は実行されずに、図7に示すフローは終了する。
本実施形態と第1実施形態とでは、図4に示すステップS2の力行制御の一部として実施される結露を解消するための制御のみが異なる。第1実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
電流検出部14nによって測定されるモータ16に流れる電流が、予め定めた所定の電流値以上であれば、CPU14pから指令を受けたトランジスタ制御回路14iがトランジスタ14jをオフにして、回生ブレーキ抵抗14hの通電が停止される。モータ16に流れる電流が、予め定めた所定の電流値未満であれば、CPU14pから指令を受けたトランジスタ制御回路14iがトランジスタ14jをオンにして、回生ブレーキ抵抗14hに通電される。
これによって、モータ16の駆動を阻害することを回避できる。また、モータ電流が所定の電流値以上であれば、3相インバータ14cなどの発熱が大きくなっており、回生ブレーキ抵抗14hに通電しなくても結露は解消する方向に向かうため、問題ない。
本実施形態と第1実施形態とでは、図4に示すステップS2の力行制御の一部として実施される結露を解消するための制御のみが異なる。第1実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
CPU14pから指令を受けたトランジスタ制御回路14iがトランジスタ14jに対してPWM制御を行う。電流検出部14nによって測定されるモータ16に流れる電流が、予め定めた所定の電流値以上であれば、トランジスタ制御回路14iがPWMデューティ比を小さな値に設定する制御をトランジスタ14jに対して行うことで、回生ブレーキ抵抗14hに流れる電流を小さな値に設定する。また、所定の電流値未満であれば、トランジスタ制御回路14iがPWMデューティ比を大きな値に設定する制御をトランジスタ14jに対して行うことで、回生ブレーキ抵抗14hに流れる電流を大きな値に設定する。
モータ電流が大きいときには、電源装置14内の温度は高くなっているため、回生ブレーキ抵抗14hに通電する電流を小さな値に設定しても、結露を解消することができる。また、電源装置14内の温度を過剰に上昇するのを防止すると同時に、省エネ効果が期待できる。また、上述の所定の電流値は、モータ16の駆動を阻害しないようになっているため、回生ブレーキ抵抗14hに通電しても、モータ16の駆動を阻害することを回避できる。
図10は、複数のターボ分子ポンプ装置10に対して冷却水を直列に流す冷却系統である冷却水路190が設けられているターボ分子ポンプ装置システム200を示した図である。なお、図10では、ターボ分子ポンプ装置システム200に含まれる複数のターボ分子ポンプ装置10として、3台のターボ分子ポンプ装置10を示しているが、これはあくまでも一例である。なお、第1実施形態と同様の構成については、説明を省略する。
(1)結露が検知された電源装置14に設けられているCPU14pから指令を受けたトランジスタ制御回路14iがトランジスタ14jをオンにすることで、回生ブレーキ抵抗14hに通電する。
これによって、電源装置14内を加熱することができる。
これによって、電源装置14を冷却しないようにすることができる。
これによって、電源装置14内をさらに加熱することができる。
本実施形態の変形例として、図5のステップS11〜S13の制御の代わりに、図5に示されているステップS11およびS12のみの制御や、図7〜9に示されている制御を実行して結露を解消することができる。
7:保護ベアリング、
10:ターボ分子ポンプ装置、
11:ポンプ上部、
11Q:吸気ポート、
12:ポンプ下部、
12H:排気ポート、
13:冷却装置、
13LS:下面、
13US:上面、
13a:冷却ジャケット本体、
13b:冷却水入口、
13c:冷却水出口、
14:電源装置、
14a:AC/DCコンバータ、
14b:電圧検出部、
14c:3相インバータ、
14d:DC/DCコンバータ、
14e:電圧検出部、
14f:インバータ制御回路、
14h:回生ブレーキ抵抗、
14i:トランジスタ制御回路、
14j:トランジスタ、
14k:ダイオード、
14n:電流検出部、
14r:結露検知部、
14s:温度検出部、
14t:タイマ、
15:一次電源、
16:モータ、
17:磁気軸受、
19:回転数検出部、
20:ロータ、
75、75a〜75d:冷却水路、
77:電磁弁、
81〜83:基板、
140:電源装置筐体、
190、190a〜190c:冷却水路、
192:電磁弁、
200:ターボ分子ポンプ装置システム、
H:ヒータ
Claims (9)
- 結露を検知する結露検知部と、
モータからの回生電力およびAC/DCコンバータからの電力が供給される回生ブレーキ抵抗と、
前記回生ブレーキ抵抗に通電する制御部と、
を有する電源装置と、
冷却液による冷却系統と、
前記電源装置によって回転駆動されるモータを有するポンプ本体と、を備え、
前記制御部は、力行制御時に前記結露検知部が前記結露を検知した場合に、前記AC/DCコンバータからの電力を前記回生ブレーキ抵抗に通電することによって、前記電源装置の内部を加熱する真空ポンプ装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプ装置において、
前記電源装置を冷却する前記冷却液の遮断と通流とを切り替える冷却液切替部をさらに備え、
前記制御部は、前記結露検知部が前記結露を検知した場合に、前記冷却液切替部によって、前記冷却液を遮断する真空ポンプ装置。 - 請求項2に記載の真空ポンプ装置において、
前記電源装置は、前記結露の継続時間を計測するタイマをさらに有し、
前記制御部は、前記結露を検知すると、前記回生ブレーキ抵抗に通電し、その後、前記結露が所定の時間継続した場合には、前記冷却液切替部によって前記冷却液を遮断する真空ポンプ装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプ装置において、
前記電源装置は、前記電源装置の内部の温度を監視する温度検出部をさらに有し、
前記温度検出部は、前記制御部が前記回生ブレーキ抵抗に通電している時の電源内部温度を監視し、
前記制御部は、前記電源内部温度が所定の温度上限以上である場合に、前記回生ブレーキ抵抗の通電を停止する真空ポンプ装置。 - 請求項4に記載の真空ポンプ装置において、
前記制御部は、前記所定の温度上限と前記電源装置の内部温度の差が所定値以上である場合には、前記回生ブレーキ抵抗に通電する電流を大きな値に設定し、前記差が前記所定値未満である場合には前記回生ブレーキ抵抗に通電する電流を小さな値に設定する真空ポンプ装置。 - 請求項5に記載の真空ポンプ装置において、
前記制御部は、PWM制御によって、前記回生ブレーキ抵抗に通電し、
前記制御部は、前記所定の温度上限と前記電源装置の内部温度の差が所定値以上である場合には、PWMのデューティ比を大きな値に設定することで前記回生ブレーキ抵抗に通電する電流を大きな値に設定し、前記差が前記所定値未満である場合にはPWMのデューティ比を小さな値に設定することで前記回生ブレーキ抵抗に通電する電流を小さな値に設定する真空ポンプ装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプ装置において、
前記電源装置は、前記モータに通電される電流を検知する電流検出部をさらに有し、
前記制御部は、前記電流が所定の電流値以上である場合には、前記回生ブレーキ抵抗に通電しない真空ポンプ装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプ装置において、
前記電源装置は、前記モータに通電される電流を検知する電流検出部をさらに有し、
前記制御部は、前記電流が所定の電流値以上である場合には、前記回生ブレーキ抵抗に通電する電流を小さな値に設定し、前記電流が所定の電流値未満である場合には、前記回生ブレーキ抵抗に通電する電流を大きな値に設定する真空ポンプ装置。 - 請求項8に記載の真空ポンプ装置において、
前記制御部は、PWM制御によって、前記回生ブレーキ抵抗に通電し、
前記制御部は、前記電流が所定の電流値以上である場合には、PWMのデューティ比を小さな値に設定することで前記回生ブレーキ抵抗に通電する電流を小さな値に設定し、前記電流が所定の電流値未満である場合には、PWMのデューティ比を大きな値に設定することで前記回生ブレーキ抵抗に通電する電流を大きな値に設定する真空ポンプ装置。
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