JP2002285993A - ターボ分子ポンプ - Google Patents
ターボ分子ポンプInfo
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- JP2002285993A JP2002285993A JP2001091545A JP2001091545A JP2002285993A JP 2002285993 A JP2002285993 A JP 2002285993A JP 2001091545 A JP2001091545 A JP 2001091545A JP 2001091545 A JP2001091545 A JP 2001091545A JP 2002285993 A JP2002285993 A JP 2002285993A
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- heater
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- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 ポンプ本体が大型化しても、電源装置は大型
化することがないターボ分子ポンプを提供する。 【解決手段】 排気機能を有するターボ機構のロータ１
７をＤＣブラシレスモータ１２にて回転駆動し、プロセ
スガスを吸気口より排気口側へ排気すると共に、プロセ
スガス成分による生成物が付着しないよう、任意の部分
にポンプ温度調節用のヒータ２１を備えているととも
に、ターボ機構のロータ１７の減速時に、ロータ１７の
慣性による回転エネルギーから発生する回生電力をポン
プ温度調節用のヒータ２１で消費する。
化することがないターボ分子ポンプを提供する。 【解決手段】 排気機能を有するターボ機構のロータ１
７をＤＣブラシレスモータ１２にて回転駆動し、プロセ
スガスを吸気口より排気口側へ排気すると共に、プロセ
スガス成分による生成物が付着しないよう、任意の部分
にポンプ温度調節用のヒータ２１を備えているととも
に、ターボ機構のロータ１７の減速時に、ロータ１７の
慣性による回転エネルギーから発生する回生電力をポン
プ温度調節用のヒータ２１で消費する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造装
置、液晶パネル装置、産業用成膜装置、エッチング装置
などの真空装置として使用されるターボ分子ポンプであ
る。
置、液晶パネル装置、産業用成膜装置、エッチング装置
などの真空装置として使用されるターボ分子ポンプであ
る。
【０００２】
【従来の技術】ターボ分子ポンプを使用して、チャンバ
内を高真空にして、ＣＶＤ成膜やエッチングを行なう装
置では、排気するガス種によっては、ポンプ内部でガス
が凝縮し、生成物としてポンプ内部に付着しやすい。生
成物が付着すると、ロータのバランスが悪くなったり、
回転翼と固定翼との隙間が狭くなり、接触が起こって、
翼が破損したりするなどの接触事故が発生する。
内を高真空にして、ＣＶＤ成膜やエッチングを行なう装
置では、排気するガス種によっては、ポンプ内部でガス
が凝縮し、生成物としてポンプ内部に付着しやすい。生
成物が付着すると、ロータのバランスが悪くなったり、
回転翼と固定翼との隙間が狭くなり、接触が起こって、
翼が破損したりするなどの接触事故が発生する。
【０００３】それを防止するため、従来、ターボ分子ポ
ンプは、図４に示したように、温度センサ２３、ヒータ
２１、水冷パイプ２６及び水冷バルブ２７を取り付け、
ポンプ温度を所定に保つよう制御することで、ポンプ本
体２２内での生成物の付着を防止している。そして、こ
のヒータ２１はポンプ本体２２との絶縁不良で地絡が発
生した場合でも、商用電源１３に影響を及ぼさないよう
絶縁トランス５１を介して給電されている。
ンプは、図４に示したように、温度センサ２３、ヒータ
２１、水冷パイプ２６及び水冷バルブ２７を取り付け、
ポンプ温度を所定に保つよう制御することで、ポンプ本
体２２内での生成物の付着を防止している。そして、こ
のヒータ２１はポンプ本体２２との絶縁不良で地絡が発
生した場合でも、商用電源１３に影響を及ぼさないよう
絶縁トランス５１を介して給電されている。
【０００４】また、高速回転しているロータ１７を短時
間で停止させるために、ＤＣブラシレスモータ１２に電
力を供給する電源装置内部のインバータ１１には、スイ
ッチ２５を介してブレーキ抵抗５３が設けられ、減速中
のロータ１７の回転エネルギーを回生電力に変換し、ブ
レーキ抵抗５３で熱エネルギーとして消費しながら減速
することで、停止時間を短縮化している。
間で停止させるために、ＤＣブラシレスモータ１２に電
力を供給する電源装置内部のインバータ１１には、スイ
ッチ２５を介してブレーキ抵抗５３が設けられ、減速中
のロータ１７の回転エネルギーを回生電力に変換し、ブ
レーキ抵抗５３で熱エネルギーとして消費しながら減速
することで、停止時間を短縮化している。
【０００５】そして、温度制御回路２４が独立して設け
られるとともに、温度制御回路２４及びヒータコントロ
ーラ５２へはヒータ２１へは安全性を確保するため、絶
縁トランス５１を介して給電されている。
られるとともに、温度制御回路２４及びヒータコントロ
ーラ５２へはヒータ２１へは安全性を確保するため、絶
縁トランス５１を介して給電されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体ウエ
ハサイズの大型化、液晶パネルサイズの大型化が進む
中、 このようなターボ分子ポンプは、ポンプ本体が大
型化すれば、ロータ１７の回転翼の慣性モーメントが大
きくなるため、回転エネルギーが大きくなる。このよう
なロータ１７を短時間で停止するには、ブレーキ抵抗５
３を大型化して回生電力を消費する必要がある。また、
ポンプ本体２２が大型化すると熱量が増えるので、ヒー
タ２１の容量を上げる必要があり、それに伴って、絶縁
トランス５１の容量も上げる必要がある。
ハサイズの大型化、液晶パネルサイズの大型化が進む
中、 このようなターボ分子ポンプは、ポンプ本体が大
型化すれば、ロータ１７の回転翼の慣性モーメントが大
きくなるため、回転エネルギーが大きくなる。このよう
なロータ１７を短時間で停止するには、ブレーキ抵抗５
３を大型化して回生電力を消費する必要がある。また、
ポンプ本体２２が大型化すると熱量が増えるので、ヒー
タ２１の容量を上げる必要があり、それに伴って、絶縁
トランス５１の容量も上げる必要がある。
【０００７】一方、インバータ１１や絶縁トランス５１
などを含むターボ分子ポンプの電源装置部は、半導体や
液晶パネルの製造装置のラックに収納されるケースが多
いが、半導体ウエハサイズの大型化、液晶パネルの大型
化に伴い、ターボ分子ポンプのスペックが大型化する
と、ブレーキ抵抗５３、絶縁トランス５１も大型化し、
電源装置部が大型化する。
などを含むターボ分子ポンプの電源装置部は、半導体や
液晶パネルの製造装置のラックに収納されるケースが多
いが、半導体ウエハサイズの大型化、液晶パネルの大型
化に伴い、ターボ分子ポンプのスペックが大型化する
と、ブレーキ抵抗５３、絶縁トランス５１も大型化し、
電源装置部が大型化する。
【０００８】つまり、減速時にしか使用しないブレーキ
抵抗５３と、生成物付着防止のためのヒータを駆動する
ために必要な絶縁トランス５１とが、装置の大型化の要
因となっている。
抵抗５３と、生成物付着防止のためのヒータを駆動する
ために必要な絶縁トランス５１とが、装置の大型化の要
因となっている。
【０００９】本発明は、上記した問題点を伴うことな
く、たとえ、ポンプ本体が大型化しても、その電源装置
は、それに伴って大型化することのないターボ分子ポン
プの提供を目的とする。
く、たとえ、ポンプ本体が大型化しても、その電源装置
は、それに伴って大型化することのないターボ分子ポン
プの提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のターボ分子ポン
プは、排気機能を有するターボ機構を電動モータにて回
転駆動し、プロセスガスを吸気口より排気口側へ排気す
ると共に、プロセスガス成分による生成物が付着しない
よう、任意の部分にポンプ温度調節ヒータを備えている
とともに、ターボ機構の減速時に、電動機の慣性による
回転エネルギーから発生する回生電力をポンプ温度調節
ヒータで消費する。
プは、排気機能を有するターボ機構を電動モータにて回
転駆動し、プロセスガスを吸気口より排気口側へ排気す
ると共に、プロセスガス成分による生成物が付着しない
よう、任意の部分にポンプ温度調節ヒータを備えている
とともに、ターボ機構の減速時に、電動機の慣性による
回転エネルギーから発生する回生電力をポンプ温度調節
ヒータで消費する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明のターボ分子ポンプ
の一実施の形態を詳細に説明する。図１はターボ分子ポ
ンプの概略構成を示す図である。特に、本実施例のター
ボ分子ポンプでは、回生電力を消費するために設けられ
ていたブレーキ抵抗をなくし、回生電力を温度調節ヒー
タで消費できるように構成したことを特徴とする。
の一実施の形態を詳細に説明する。図１はターボ分子ポ
ンプの概略構成を示す図である。特に、本実施例のター
ボ分子ポンプでは、回生電力を消費するために設けられ
ていたブレーキ抵抗をなくし、回生電力を温度調節ヒー
タで消費できるように構成したことを特徴とする。
【００１２】本実施例のターボ分子ポンプは、インバー
タ１１で所定の回転数が得られるように変換された電力
が、ＤＣブラシレスモータ１２に供給されることで駆動
される。このインバータ１１へは、まず、商用電源１３
の電力が整流器１４で直流化されてＤＣ／ＤＣコンバー
タ１５へ供給され、ＤＣ／ＤＣコンバータ１５で電圧変
換された後、電力供給されるよう構成されているととも
に、所定の回転数を維持するため、ホール素子１６から
の電気信号を回転数制御回路２８にフィードバックし
て、調整後の電力がＤＣブラシレスモータ１２へ電力供
給されている。なお、ＤＣ／ＤＣコンバータ１５は、絶
縁型のＤＣ／ＤＣコンバータが使用されている。
タ１１で所定の回転数が得られるように変換された電力
が、ＤＣブラシレスモータ１２に供給されることで駆動
される。このインバータ１１へは、まず、商用電源１３
の電力が整流器１４で直流化されてＤＣ／ＤＣコンバー
タ１５へ供給され、ＤＣ／ＤＣコンバータ１５で電圧変
換された後、電力供給されるよう構成されているととも
に、所定の回転数を維持するため、ホール素子１６から
の電気信号を回転数制御回路２８にフィードバックし
て、調整後の電力がＤＣブラシレスモータ１２へ電力供
給されている。なお、ＤＣ／ＤＣコンバータ１５は、絶
縁型のＤＣ／ＤＣコンバータが使用されている。
【００１３】また、ロータ１７を磁気軸受１８で磁気浮
上させるため、ＤＣ／ＤＣコンバータ１５を通過後の電
力が、さらに、ＤＣ／ＤＣコンバータ２９を介して磁気
軸受制御回路１９にも供給されるよう構成されている。
なお、磁気軸受制御回路１９には、ロータ１７と磁気軸
受１８との間のギャップをセンシングして、電磁石１８
への供給電力をコントロールするためのギャップセンサ
２０が接続されている。
上させるため、ＤＣ／ＤＣコンバータ１５を通過後の電
力が、さらに、ＤＣ／ＤＣコンバータ２９を介して磁気
軸受制御回路１９にも供給されるよう構成されている。
なお、磁気軸受制御回路１９には、ロータ１７と磁気軸
受１８との間のギャップをセンシングして、電磁石１８
への供給電力をコントロールするためのギャップセンサ
２０が接続されている。
【００１４】さらに、ポンプ内部における生成物付着防
止のための温度調節用のヒータ２１にも、ＤＣ／ＤＣコ
ンバータ１５を通過後の電力が供給されるよう構成され
ている。この電力供給に関し、ポンプ本体２２に設置さ
れた温度センサ２３からの温度情報に基づいて、ポンプ
本体２２を適切な温度に維持するため、温度制御回路２
４によってＯＮ／ＯＦＦ制御されるスイッチ２５が設け
られている。また、ポンプ本体２２には、温度調節部品
として、水冷パイプ２６が水冷バルブ２７を介して設け
られている。
止のための温度調節用のヒータ２１にも、ＤＣ／ＤＣコ
ンバータ１５を通過後の電力が供給されるよう構成され
ている。この電力供給に関し、ポンプ本体２２に設置さ
れた温度センサ２３からの温度情報に基づいて、ポンプ
本体２２を適切な温度に維持するため、温度制御回路２
４によってＯＮ／ＯＦＦ制御されるスイッチ２５が設け
られている。また、ポンプ本体２２には、温度調節部品
として、水冷パイプ２６が水冷バルブ２７を介して設け
られている。
【００１５】次に、図１に記載されたターボ分子ポンプ
の動作について、図２、３を用いて説明する。図２は、
ターボ分子ポンプの運転中における内部の温度変化、ヒ
ータの動作、バルブのＯＮ／ＯＦＦ、ヒータへの電力供
給を示す。また、図３は、ヒータへの電力の流れる方向
を示す。
の動作について、図２、３を用いて説明する。図２は、
ターボ分子ポンプの運転中における内部の温度変化、ヒ
ータの動作、バルブのＯＮ／ＯＦＦ、ヒータへの電力供
給を示す。また、図３は、ヒータへの電力の流れる方向
を示す。
【００１６】図２に示すように、ヒータ２１への供給電
力について、定格回転数へ向けてポンプの加速中および
定格運転中は、ＤＣ／ＤＣコンバータ１５から供給され
る電力を利用してヒータを駆動し、ポンプ本体２２の内
部を昇温する。さらに、温度センサ２３の温度情報に基
づいて供給電力量を演算し、スイッチ２５の開閉制御を
行なうことで、ポンプ温度を一定に保持するよう、スイ
ッチ２５を開閉制御してヒータ２１のＯＮ／ＯＦＦ制御
が行われる。もし、ポンプ温度が目標温度以上に達した
ときは、ヒータ２１をＯＦＦするとともに、必要に応じ
て水冷バルブ２７を開き、ポンプ本体２２を強制冷却す
る。
力について、定格回転数へ向けてポンプの加速中および
定格運転中は、ＤＣ／ＤＣコンバータ１５から供給され
る電力を利用してヒータを駆動し、ポンプ本体２２の内
部を昇温する。さらに、温度センサ２３の温度情報に基
づいて供給電力量を演算し、スイッチ２５の開閉制御を
行なうことで、ポンプ温度を一定に保持するよう、スイ
ッチ２５を開閉制御してヒータ２１のＯＮ／ＯＦＦ制御
が行われる。もし、ポンプ温度が目標温度以上に達した
ときは、ヒータ２１をＯＦＦするとともに、必要に応じ
て水冷バルブ２７を開き、ポンプ本体２２を強制冷却す
る。
【００１７】また、電源装置にターボ分子ポンプのスト
ップ指令が入ると、図３に示すように、ヒータ２１を減
速時の回生電力を消費するブレーキ抵抗として使用する
ため、スイッチ２５は閉じたままで、ロータ１７の回転
エネルギーをインバータ１１で回生電力に変換してヒー
タ２１に導いて消費する。このときの回生電力は、ＤＣ
／ＤＣコンバータ１５の出力電圧より高くなるように回
転数制御でブレーキ力を調整するため、ＤＣ／ＤＣコン
バータ１５からの電力は供給されなくなる。また、必要
に応じて、水冷バルブ２７を開き、ポンプ本体２２を強
制冷却する。
ップ指令が入ると、図３に示すように、ヒータ２１を減
速時の回生電力を消費するブレーキ抵抗として使用する
ため、スイッチ２５は閉じたままで、ロータ１７の回転
エネルギーをインバータ１１で回生電力に変換してヒー
タ２１に導いて消費する。このときの回生電力は、ＤＣ
／ＤＣコンバータ１５の出力電圧より高くなるように回
転数制御でブレーキ力を調整するため、ＤＣ／ＤＣコン
バータ１５からの電力は供給されなくなる。また、必要
に応じて、水冷バルブ２７を開き、ポンプ本体２２を強
制冷却する。
【００１８】なお、ヒータ２１へは、絶縁型スイッチン
グ式のＤＣ／ＤＣコンバータ１５を介して電力が供給さ
れるので、ヒータ２１とポンプ本体２２との絶縁不良で
地絡が発生した場合でも、商用電源１３に影響は及ぼさ
ない。したがって、ヒータ２１にブレーキ抵抗の機能を
兼ねさせるので、ブレーキ抵抗が不要になるとともに、
従来、ヒータ２１を商用電源１３に接続する際、ヒータ
２１専用に設けていた絶縁トランスが不要となる。
グ式のＤＣ／ＤＣコンバータ１５を介して電力が供給さ
れるので、ヒータ２１とポンプ本体２２との絶縁不良で
地絡が発生した場合でも、商用電源１３に影響は及ぼさ
ない。したがって、ヒータ２１にブレーキ抵抗の機能を
兼ねさせるので、ブレーキ抵抗が不要になるとともに、
従来、ヒータ２１を商用電源１３に接続する際、ヒータ
２１専用に設けていた絶縁トランスが不要となる。
【００１９】
【発明の効果】上記したように、高速回転しているロー
タを短時間で停止させるために、回転エネルギーを回生
電力に変換し、温度調節ヒータで熱エネルギーとして消
費しながら減速するように構成することで、ブレーキ抵
抗が不要となるとともに、温度調節ヒータへ給電するた
めに介在させていた絶縁トランスが不要となるので、装
置の大型化への要因を取り除くことができ、たとえ、ポ
ンプ容量等のスペックが大型化しても、電源装置の大型
化は抑制することができる。
タを短時間で停止させるために、回転エネルギーを回生
電力に変換し、温度調節ヒータで熱エネルギーとして消
費しながら減速するように構成することで、ブレーキ抵
抗が不要となるとともに、温度調節ヒータへ給電するた
めに介在させていた絶縁トランスが不要となるので、装
置の大型化への要因を取り除くことができ、たとえ、ポ
ンプ容量等のスペックが大型化しても、電源装置の大型
化は抑制することができる。
【図１】本発明のターボ分子ポンプのブロック図。
【図２】本発明のターボ分子ポンプにおける動作状況の
関係を示す図
関係を示す図
【図３】本発明のターボ分子ポンプにおける電流の流れ
方を示す図。
方を示す図。
【図４】従来のターボ分子ポンプのブロック図。
１１ インバータ １２ ＤＣブラシレスモータ １３ 商用電源 １５ ＤＣ／ＤＣコンバータ １７ ロータ ２１ ヒータ ２２ ポンプ本体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H021 AA01 AA08 BA01 BA11 BA12 CA07 DA00 EA07 3H031 DA02 EA01 EA03 EA11 EA12 FA35 FA41
Claims (1)
- 【請求項１】 排気機能を有するターボ機構を電動モー
タにて回転駆動し、プロセスガスを吸気口より排気口側
へ排気すると共に、プロセスガス成分による生成物が付
着しないよう、任意の部分にポンプ温度調節ヒータを備
えたターボ分子ポンプにおいて、前記ターボ機構の減速
時に、前記ターボ機構の慣性による回転エネルギーから
発生する回生電力を前記ポンプ温度調節ヒータで消費す
るよう構成したことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001091545A JP2002285993A (ja) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001091545A JP2002285993A (ja) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002285993A true JP2002285993A (ja) | 2002-10-03 |
Family
ID=18946142
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001091545A Pending JP2002285993A (ja) | 2001-03-28 | 2001-03-28 | ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002285993A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1898098A2 (de) * | 2006-09-01 | 2008-03-12 | Oerlikon Leybold Vacuum GmbH | Vakuumpumpe |
| JP2013119798A (ja) * | 2011-12-07 | 2013-06-17 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
| US8628309B2 (en) | 2009-03-31 | 2014-01-14 | Shimadzu Corporation | Turbomolecular pump device and controlling device thereof |
| JP2014148977A (ja) * | 2014-04-24 | 2014-08-21 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ装置 |
| EP2626568A4 (en) * | 2010-10-07 | 2018-01-24 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump control device and vacuum pump |
| JP2018162725A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプおよびポンプ一体型の電源装置 |
| CN108980073A (zh) * | 2017-05-30 | 2018-12-11 | 株式会社岛津制作所 | 真空泵 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57202890A (en) * | 1981-06-05 | 1982-12-11 | Toshiba Corp | Controller for stop of device |
| JPH03256591A (ja) * | 1989-11-23 | 1991-11-15 | Alcatel Cit | 真空ポンプ用電源システム |
| JPH0512691U (ja) * | 1991-07-24 | 1993-02-19 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| JPH07293563A (ja) * | 1994-04-18 | 1995-11-07 | Ebara Corp | 磁気軸受で回転体を支承する回転装置の駆動制御装置 |
| JPH09317687A (ja) * | 1996-05-30 | 1997-12-09 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプの電源装置 |
| JP2000136791A (ja) * | 1998-11-02 | 2000-05-16 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
-
2001
- 2001-03-28 JP JP2001091545A patent/JP2002285993A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57202890A (en) * | 1981-06-05 | 1982-12-11 | Toshiba Corp | Controller for stop of device |
| JPH03256591A (ja) * | 1989-11-23 | 1991-11-15 | Alcatel Cit | 真空ポンプ用電源システム |
| JPH0512691U (ja) * | 1991-07-24 | 1993-02-19 | 株式会社島津製作所 | ターボ分子ポンプ |
| JPH07293563A (ja) * | 1994-04-18 | 1995-11-07 | Ebara Corp | 磁気軸受で回転体を支承する回転装置の駆動制御装置 |
| JPH09317687A (ja) * | 1996-05-30 | 1997-12-09 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプの電源装置 |
| JP2000136791A (ja) * | 1998-11-02 | 2000-05-16 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1898098A2 (de) * | 2006-09-01 | 2008-03-12 | Oerlikon Leybold Vacuum GmbH | Vakuumpumpe |
| EP1898098A3 (de) * | 2006-09-01 | 2014-03-12 | Oerlikon Leybold Vacuum GmbH | Vakuumpumpe |
| US8628309B2 (en) | 2009-03-31 | 2014-01-14 | Shimadzu Corporation | Turbomolecular pump device and controlling device thereof |
| EP2626568A4 (en) * | 2010-10-07 | 2018-01-24 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump control device and vacuum pump |
| US10215191B2 (en) | 2010-10-07 | 2019-02-26 | Edwards Japan Limited | Vacuum pump control device and vacuum pump |
| JP2013119798A (ja) * | 2011-12-07 | 2013-06-17 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ |
| JP2014148977A (ja) * | 2014-04-24 | 2014-08-21 | Shimadzu Corp | ターボ分子ポンプ装置 |
| JP2018162725A (ja) * | 2017-03-27 | 2018-10-18 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプおよびポンプ一体型の電源装置 |
| US10917940B2 (en) | 2017-03-27 | 2021-02-09 | Shimadzu Corporation | Vacuum pump and pump-integrated power source device |
| CN108980073A (zh) * | 2017-05-30 | 2018-12-11 | 株式会社岛津制作所 | 真空泵 |
| JP2018204441A (ja) * | 2017-05-30 | 2018-12-27 | 株式会社島津製作所 | 真空ポンプ |
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