JP7424772B2 - 真空排気装置及びその運転方法 - Google Patents
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Description
前記第1の真空ポンプは、第1のモータを有する第1のポンプ本体と、前記第1のモータを駆動する第1の駆動回路とを有する。
前記第2の真空ポンプは、第2のモータを有し前記第1のポンプ本体の後段に接続された第2のポンプ本体と、前記第2のモータを駆動する第2の駆動回路とを有する。
前記電力供給部は、前記第1の駆動回路と前記第2の駆動回路との間を電気的に接続可能な通電ラインを有する。
前記第1の真空ポンプのモータが回生電圧を生じたときは、前記第1の真空ポンプの駆動回路と前記第2の真空ポンプの駆動回路との間に接続された通電ラインを介して、当該回生電圧は、前記第2の真空ポンプの駆動回路へ供給される。
前記第2の真空ポンプのモータが回生電圧を生じたときは、前記通電ラインを介して、当該回生電圧は、前記第1の真空ポンプの駆動回路へ供給される。
図1は、本発明の一実施形態に係る真空排気装置100を示す概略構成図である。真空排気装置100は、メインポンプとしての第1の真空ポンプ110と、補助ポンプとしての第2の真空ポンプ120と、コントローラ130とを備える。
続いて、本発明の第2の実施形態について説明する。図7は、本実施形態の真空排気装置200を示す概略構成図である。以下、第1の実施形態と異なる構成について主に説明し、第1の実施形態と同様の構成については同様の符号を付しその説明を省略または簡略化する。
続いて、本発明の第3の実施形態について説明する。本実施形態の真空排気装置300は、図2に示すように、第1の真空ポンプ110と、その後段に位置する第2の真空ポンプ120と、コントローラ130とを備える点で第1及び第2の実施形態と共通するが、制御部53の構成が第1及び第2の実施形態と異なる。
51…第1の駆動回路
52…第2の駆動回路
53…制御部
54…電力供給部
100,200,300…真空排気装置
110…第1の真空ポンプ
112,122…モータ
120…第2の真空ポンプ
130…コントローラ
541…通電ライン
542…スイッチ回路
Claims (5)
- 第1の吸気口、第1の排気口、及び第1のモータを有する第1のポンプ本体と、前記第1のモータを駆動する第1の駆動回路とを有する第1の真空ポンプと、
前記第1の排気口に接続される第2の吸気口、第2の排気口、及び第2のモータを有し前記第1のポンプ本体の後段に接続された第2のポンプ本体と、前記第2のモータを駆動する第2の駆動回路とを有する、前記第1の真空ポンプよりも排気速度が小さい第2の真空ポンプと、
前記第1の駆動回路と前記第2の駆動回路との間を電気的に接続する通電ライン、及び前記通電ラインに接続され、前記第1の駆動回路と前記第2の駆動回路との間の電気的な接続及びその遮断を切り替え可能なスイッチ回路を有する電力供給部と、
前記スイッチ回路の切り替えを制御する制御部とを具備し、
前記制御部は、前記第1の真空ポンプ及び前記第2の真空ポンプの駆動中に、前記第1の吸気口と前記第1の排気口と間の差圧、又は前記第2の吸気口と前記第2の排気口と間の差圧の変動によって発生しうる回生電圧を監視し、前記回生電圧の大きさが所定値以上である旨を検出したときに、前記第1の駆動回路と前記第2の駆動回路との間が電気的に接続されるように前記スイッチ回路を制御する
真空排気装置。 - 請求項1に記載の真空排気装置であって、さらに、
前記第2の排気口への大気の逆流を阻止する逆止弁を具備し、
前記第2の排気口は、前記逆止弁を介して大気に連通する
真空排気装置。 - 請求項1又は2に記載の真空排気装置であって、
前記第1の駆動回路および前記第2の駆動回路は、交流電流を整流する整流回路部と、平滑用コンデンサを含む平滑回路部と、モータ駆動電流を生成するインバータ回路部とをそれぞれ有する
真空排気装置。 - 請求項1~3のいずれか1つに記載の真空排気装置であって、
前記第1の真空ポンプは、単段のメカニカルブースタポンプであり、
前記第2の真空ポンプは、多段型のドライポンプである
真空排気装置。 - 第1の吸気口、第1の排気口、及び第1のモータを有する第1のポンプ本体と、前記第1のモータを駆動する第1の駆動回路とを有する第1の真空ポンプと、
前記第1の排気口に接続される第2の吸気口、第2の排気口、及び第2のモータを有し前記第1のポンプ本体の後段に接続された第2のポンプ本体と、前記第2のモータを駆動する第2の駆動回路とを有する、前記第1の真空ポンプよりも排気速度が小さい第2の真空ポンプと、
前記第1の駆動回路と前記第2の駆動回路との間を電気的に接続する通電ライン、及び前記通電ラインに接続され、前記第1の駆動回路と前記第2の駆動回路との間の電気的な接続及びその遮断を切り替え可能なスイッチ回路を有する電力供給部と
を具備する真空排気装置の運転方法において、
前記第1の真空ポンプ及び前記第2の真空ポンプの駆動中に、前記第1の吸気口と前記第1の排気口と間の差圧、又は前記第2の吸気口と前記第2の排気口と間の差圧の変動によって発生しうる回生電圧を監視し、
前記回生電圧の大きさが所定値以上である旨を検出したときに、前記第1の駆動回路と前記第2の駆動回路との間が電気的に接続されるように前記スイッチ回路を制御する
真空排気装置の運転方法。
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