JP7171174B2 - 真空ポンプ及びモータ制御装置 - Google Patents
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Description
2 ・・・ 磁気軸受
3 ・・・ モータ
4 ・・・ 電源ユニット
5 ・・・ 第1の平滑コンデンサ
10・・・ モータ制御装置
11・・・ モータ駆動回路
12・・・ 逆流防止ダイオード
13・・・ 第2の平滑コンデンサ
14・・・ 停電検出回路
15・・・ 駆動電圧検出回路
16・・・ モータ制御回路
17・・・ 磁気軸受制御回路
Claims (4)
- 停電時にロータの回転に伴って回生電力を発生させるモータを備えた真空ポンプであって、
交流電源から得られる交流電力を直流電力に変換して出力する電源ユニットと、
前記モータを制御するモータ制御装置と、
を備え、
前記モータ制御装置は、
前記モータに供給される前記直流電力、又は前記回生電力を制御するインバータ回路を備えているモータ駆動回路と、
前記電源ユニットと前記モータ駆動回路との間に設けられた逆流防止ダイオードと、
前記逆流防止ダイオードの一次側電圧を検出する停電検出回路と、
前記逆流防止ダイオードの二次側電圧を検出する駆動電圧検出回路と、
前記一次側電圧が所定の停電検出閾値まで降下すると、前記一次側電圧と前記二次側電圧との電圧差が前記逆流防止ダイオードの電圧降下と略一致する場合には、前記交流電力の停電である一次側停電と判定し、前記一次側電圧と前記二次側電圧との電圧差が前記逆流防止ダイオードの電圧降下より大きい場合には、前記直流電力の停電である二次側停電と判定し、前記回生電力で前記インバータ回路の駆動電力をまかなう回生モードに移行するように前記モータ駆動回路を制御するモータ制御回路と、
を備え、
前記モータ制御回路は、前記一次側停電と判定した場合には、前記回生モードに移行するように前記モータ駆動回路を制御し、前記二次側停電と判定した場合には、前記二次側電圧が所定の回生モード移行閾値まで降下した後、又は、前記二次側電圧の低下開始から所定時間経過後に、前記回生モードに移行するように前記モータ駆動回路を制御することを特徴とする真空ポンプ。 - 前記モータ制御回路は、前記二次側停電時の回生モードの電流指令値の最大値を前記一次側停電の回生モードの電流指令値の最大値より小さく設定することを特徴とする請求項1記載の真空ポンプ。
- 前記モータ制御回路は、前記モータの電流指令値の最大値を回生モード移行時の前記ロータの回転速度に応じて調整することを特徴とする請求項1又は2記載の真空ポンプ。
- 請求項1から3のいずれか1項記載の真空ポンプに用いられることを特徴とするモータ制御装置。
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