JP2002147386A - ターボ分子ポンプによる排気装置 - Google Patents
ターボ分子ポンプによる排気装置Info
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- Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ターボ分子ポンプを使った排気装置の作動中
に停電が発生した時、ターボ分子ポンプを破損すること
のない排気装置を提供する。 【解決手段】 停電時にターボ分子ポンプ３の回転イナ
ーシャを利用してモータＭを発電機として機能させ、そ
の回生電力をインバータ１３、整流回路１６を通して取
りだし、インバータ２０で交流電力に変換し、この電力
を電動弁ＭＶ１およびターボ分子ポンプ３とチャンバー
ＣＨ間に設置されている電動弁ＭＶ２に供給するよう構
成する。そしてこれらの弁を閉じることにより、粗引き
ポンプＲＰの回転が停止してもターボ分子ポンプ３に異
常をきたすことはなくなる。
に停電が発生した時、ターボ分子ポンプを破損すること
のない排気装置を提供する。 【解決手段】 停電時にターボ分子ポンプ３の回転イナ
ーシャを利用してモータＭを発電機として機能させ、そ
の回生電力をインバータ１３、整流回路１６を通して取
りだし、インバータ２０で交流電力に変換し、この電力
を電動弁ＭＶ１およびターボ分子ポンプ３とチャンバー
ＣＨ間に設置されている電動弁ＭＶ２に供給するよう構
成する。そしてこれらの弁を閉じることにより、粗引き
ポンプＲＰの回転が停止してもターボ分子ポンプ３に異
常をきたすことはなくなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ターボ分子ポンプ
を利用して、例えば半導体装置における反応室等の被排
気室を排気する排気装置に関する。
を利用して、例えば半導体装置における反応室等の被排
気室を排気する排気装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製膜装置等においては、そのプロ
セスチャンバーを高真空にするためにターボ分子ポンプ
を用いて排気を行っている。このターボ分子ポンプを用
いた排気装置の構成は図４に示すとおりである。
セスチャンバーを高真空にするためにターボ分子ポンプ
を用いて排気を行っている。このターボ分子ポンプを用
いた排気装置の構成は図４に示すとおりである。
【０００３】まず、ターボ分子ポンプ３はターボ機構Ｂ
とこれを高速回転させるモータＭとによって構成されて
いる。このターボ分子ポンプ３の回転駆動は次の通り行
なわれる。すなわち、ＡＣ電源１から供給された電力は
整流回路１１で直流化される。１２はＤＣ−ＤＣコンバ
ータでその出力は、ターボ分子ポンプ３のモータＭを回
転させるための電力としてインバータ１３に供給される
とともに、ターボ分子ポンプ３のターボ機構Ｂの磁気軸
受に回転軸を磁気浮上させるための電力として磁気浮上
制御回路１４に供給される。１３はインバータでＤＣ−
ＤＣコンバータ１２から供給された直流電力を回転数制
御回路１５で設定された周波数の交流に変換し、その交
流電力をターボ分子ポンプ３のモータＭに供給しモータ
Ｍを駆動する。
とこれを高速回転させるモータＭとによって構成されて
いる。このターボ分子ポンプ３の回転駆動は次の通り行
なわれる。すなわち、ＡＣ電源１から供給された電力は
整流回路１１で直流化される。１２はＤＣ−ＤＣコンバ
ータでその出力は、ターボ分子ポンプ３のモータＭを回
転させるための電力としてインバータ１３に供給される
とともに、ターボ分子ポンプ３のターボ機構Ｂの磁気軸
受に回転軸を磁気浮上させるための電力として磁気浮上
制御回路１４に供給される。１３はインバータでＤＣ−
ＤＣコンバータ１２から供給された直流電力を回転数制
御回路１５で設定された周波数の交流に変換し、その交
流電力をターボ分子ポンプ３のモータＭに供給しモータ
Ｍを駆動する。
【０００４】図４においてＣＨは半導体成膜装置におけ
るプロセスのチャンバーで、このチャンバーＣＨは、粗
引きポンプＲＰにてまず排気される。その後、排気系に
別個に設けられたターボ分子ポンプ３により排気される
が、これらの作動は次の通り行なわれる。すなわち、排
気のシーケンスは先ず粗引きポンプＲＰが作動し排気ラ
インを減圧するとともに電動弁ＭＶ１および電動弁ＭＶ
２を開状態にし、チャンバーＣＨを減圧する。この状態
でターボ分子ポンプ３を作動させチャンバーＣＨを順次
高真空化する。このような従来の排気装置においては、
ターボ分子ポンプ３の排気口側を粗引きポンプＲＰで常
に大気より圧力を下げ、排気口圧力が一定圧以上大きく
ならないようにしている。
るプロセスのチャンバーで、このチャンバーＣＨは、粗
引きポンプＲＰにてまず排気される。その後、排気系に
別個に設けられたターボ分子ポンプ３により排気される
が、これらの作動は次の通り行なわれる。すなわち、排
気のシーケンスは先ず粗引きポンプＲＰが作動し排気ラ
インを減圧するとともに電動弁ＭＶ１および電動弁ＭＶ
２を開状態にし、チャンバーＣＨを減圧する。この状態
でターボ分子ポンプ３を作動させチャンバーＣＨを順次
高真空化する。このような従来の排気装置においては、
ターボ分子ポンプ３の排気口側を粗引きポンプＲＰで常
に大気より圧力を下げ、排気口圧力が一定圧以上大きく
ならないようにしている。
【０００５】ところでターボ分子ポンプ３が運転されて
排気が行なわれている際中において停電が発生した場
合、ターボ分子ポンプ３は回転体のもつイナーシャで減
速しつつ回転を継続するが、排気装置の粗引きポンプＲ
Ｐは電力供給がない限り直ぐに停止してしまう。粗引き
ポンプＲＰが停止した後もターボ分子ポンプ３が回転イ
ナーシャにより回転を継続すると、ターボ分子ポンプ３
の排気口側が大気の条件に近づき排気口側の圧力が高く
なりすぎターボ分子ポンプを破損する場合がある。この
トラブルを解決するため、通常この排気装置には無停電
電源が設置される。この無停電電源は図４に示すように
ＡＣ電源１に整流回路３１が接続され、交流が直流に変
換され、非常用のバッテリー３２に電力が蓄積されるよ
うになっている。この蓄積電力が停電時にインバータ３
３を介して粗引きポンプＲＰ、電動弁ＭＶ１、ＭＶ２に
出力される。すなわち、停電すると非常用のバッテリー
３２に蓄積された電気容量の時間分粗引きポンプＲＰを
作動させることができる。停電時間がバッテリーの許容
時間を越える場合、その作動時間内に粗引きポンプＲＰ
とターボ分子ポンプ３の排気口の間に設けた電動弁ＭＶ
１とターボ分子ポンプ３およびチャンバーＣＨ間に設置
した電動弁ＭＶ２を閉塞する必要があるが、このとき無
停電電源からの電力で自動的に閉塞する。こうしてター
ボ分子ポンプ３の吸排気口の差圧上昇を抑え、この排気
装置全体をバックアップしている。
排気が行なわれている際中において停電が発生した場
合、ターボ分子ポンプ３は回転体のもつイナーシャで減
速しつつ回転を継続するが、排気装置の粗引きポンプＲ
Ｐは電力供給がない限り直ぐに停止してしまう。粗引き
ポンプＲＰが停止した後もターボ分子ポンプ３が回転イ
ナーシャにより回転を継続すると、ターボ分子ポンプ３
の排気口側が大気の条件に近づき排気口側の圧力が高く
なりすぎターボ分子ポンプを破損する場合がある。この
トラブルを解決するため、通常この排気装置には無停電
電源が設置される。この無停電電源は図４に示すように
ＡＣ電源１に整流回路３１が接続され、交流が直流に変
換され、非常用のバッテリー３２に電力が蓄積されるよ
うになっている。この蓄積電力が停電時にインバータ３
３を介して粗引きポンプＲＰ、電動弁ＭＶ１、ＭＶ２に
出力される。すなわち、停電すると非常用のバッテリー
３２に蓄積された電気容量の時間分粗引きポンプＲＰを
作動させることができる。停電時間がバッテリーの許容
時間を越える場合、その作動時間内に粗引きポンプＲＰ
とターボ分子ポンプ３の排気口の間に設けた電動弁ＭＶ
１とターボ分子ポンプ３およびチャンバーＣＨ間に設置
した電動弁ＭＶ２を閉塞する必要があるが、このとき無
停電電源からの電力で自動的に閉塞する。こうしてター
ボ分子ポンプ３の吸排気口の差圧上昇を抑え、この排気
装置全体をバックアップしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】停電時、電動弁ＭＶ１
及びＭＶ２が排気系を閉じるまでの間、粗引きポンプＲ
Ｐを含む排気装置全体を無停電電源でバックアップしよ
うとすると、大容量の電源が必要となる。無停電電源は
一般に充電可能なバッテリーとして２次電池を中心に構
成されるが、その電池が大容量化すると共に、電池その
ものに寿命があるため、定期的に交換する必要があり多
額の維持費を必要とする。本発明は、このような問題を
解決するターボ分子ポンプによる排気装置を提供せんと
するものである。
及びＭＶ２が排気系を閉じるまでの間、粗引きポンプＲ
Ｐを含む排気装置全体を無停電電源でバックアップしよ
うとすると、大容量の電源が必要となる。無停電電源は
一般に充電可能なバッテリーとして２次電池を中心に構
成されるが、その電池が大容量化すると共に、電池その
ものに寿命があるため、定期的に交換する必要があり多
額の維持費を必要とする。本発明は、このような問題を
解決するターボ分子ポンプによる排気装置を提供せんと
するものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明が提供するターボ
分子ポンプによる排気装置は、上記課題を解決するため
に、電動機への給電が停止したときこれを検知し、電動
機の慣性による回転エネルギーを発電エネルギーとして
回収する電力回収回路と、この回収した回生電力を電動
式開閉機器に供給する電力供給回路を設け、停電が発生
しても吸排気系に接続されている電動式開閉機器を作動
させることができるようにし、排気装置の機器に異常を
きたすことなくシステム全体を停止できるようにする。
分子ポンプによる排気装置は、上記課題を解決するため
に、電動機への給電が停止したときこれを検知し、電動
機の慣性による回転エネルギーを発電エネルギーとして
回収する電力回収回路と、この回収した回生電力を電動
式開閉機器に供給する電力供給回路を設け、停電が発生
しても吸排気系に接続されている電動式開閉機器を作動
させることができるようにし、排気装置の機器に異常を
きたすことなくシステム全体を停止できるようにする。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の構成、作動を図
１、図２および図３にしたがって説明する。図１および
図２において図４と同一の符号で示される構成、部品に
ついては図４と同一であり、詳細な説明は省略する。図
１は本発明が提供するターボ分子ポンプによる排気装置
を示す図であり、図２は停電発生時、回転体の持つ回転
エネルギーを電気エネルギーとして取り出すための電気
回路を詳細に示す図である。
１、図２および図３にしたがって説明する。図１および
図２において図４と同一の符号で示される構成、部品に
ついては図４と同一であり、詳細な説明は省略する。図
１は本発明が提供するターボ分子ポンプによる排気装置
を示す図であり、図２は停電発生時、回転体の持つ回転
エネルギーを電気エネルギーとして取り出すための電気
回路を詳細に示す図である。
【０００９】１６は整流回路で、停電検出器２１と回生
電力を取出すためのトランジスタＴＲ７から構成されて
おり、停電発生時、インバータ１３内のダイオードＤ１
〜Ｄ６を介して伝達される回生電力を直流に変換するた
めの回路である。１７と１８は整流器で、電力の逆流防
止用の回路であり、コンデンサＣ１は平滑用コンデンサ
である。１９はＤＣ−ＤＣコンバータで直流電力を一定
の直流電圧に変換する。２０はインバータで排気系制御
回路に使われている機器に必要な交流電力を発生させる
ものであり、１次排気系制御回路ＥＣを介して粗引きポ
ンプＲＰ、電動弁ＭＶ１およびＭＶ２に供給する。
電力を取出すためのトランジスタＴＲ７から構成されて
おり、停電発生時、インバータ１３内のダイオードＤ１
〜Ｄ６を介して伝達される回生電力を直流に変換するた
めの回路である。１７と１８は整流器で、電力の逆流防
止用の回路であり、コンデンサＣ１は平滑用コンデンサ
である。１９はＤＣ−ＤＣコンバータで直流電力を一定
の直流電圧に変換する。２０はインバータで排気系制御
回路に使われている機器に必要な交流電力を発生させる
ものであり、１次排気系制御回路ＥＣを介して粗引きポ
ンプＲＰ、電動弁ＭＶ１およびＭＶ２に供給する。
【００１０】以上の構成において、次に作動について説
明する。本発明の最大の特長は、停電発生時にターボ分
子ポンプ３がもつ回転イナーシャを利用し、その回転が
停止するまでの間、ターボ分子ポンプ３のモータＭを発
電機として機能させ、その回生電力を排気装置駆動用電
力として排気系機器に供給し、ターボ分子ポンプ３を破
損することなく排気系システムを正常に停止させること
にある。
明する。本発明の最大の特長は、停電発生時にターボ分
子ポンプ３がもつ回転イナーシャを利用し、その回転が
停止するまでの間、ターボ分子ポンプ３のモータＭを発
電機として機能させ、その回生電力を排気装置駆動用電
力として排気系機器に供給し、ターボ分子ポンプ３を破
損することなく排気系システムを正常に停止させること
にある。
【００１１】図１及び図２に示すターボ分子ポンプ３を
用いた排気装置においてシステムを作動させる場合、整
流回路１１、整流器１７を介した直流電力がＤＣ−ＤＣ
コンバータ１９で電圧変換された後、インバータ２０で
交流電力化され１次排気系制御回路ＥＣにより粗引きポ
ンプＲＰを作動させる。粗引きポンプＲＰが作動を開始
したことが確認されると、１次排気系制御回路ＥＣから
電動弁ＭＶ１及び電動弁ＭＶ２が開方向に作動されチャ
ンバーＣＨの排気を開始する。ターボ分子ポンプ３はイ
ンバータ１３からの電力で駆動されるが、ＤＣ−ＤＣコ
ンバータ１２からの直流出力はインバータ１３で回転数
制御回路１５で回転設定された周波数の交流電力に変換
されてターボ分子ポンプ３に供給され、モータＭを駆動
させる。同時にＤＣ−ＤＣコンバータ１２からの直流出
力は磁気浮上制御回路１４からターボ分子ポンプ３の磁
気軸受に電力を供給し、ターボ機構Ｂの回転軸を磁気浮
上させ、排気装置を駆動させる。通常運転時、即ち排気
装置に電力が正常に供給されている場合は、第２図に示
すインバータ１３のトランジスタＴＲ１〜ＴＲ６からの
出力がターボ分子ポンプ３のモータＭを駆動する。
用いた排気装置においてシステムを作動させる場合、整
流回路１１、整流器１７を介した直流電力がＤＣ−ＤＣ
コンバータ１９で電圧変換された後、インバータ２０で
交流電力化され１次排気系制御回路ＥＣにより粗引きポ
ンプＲＰを作動させる。粗引きポンプＲＰが作動を開始
したことが確認されると、１次排気系制御回路ＥＣから
電動弁ＭＶ１及び電動弁ＭＶ２が開方向に作動されチャ
ンバーＣＨの排気を開始する。ターボ分子ポンプ３はイ
ンバータ１３からの電力で駆動されるが、ＤＣ−ＤＣコ
ンバータ１２からの直流出力はインバータ１３で回転数
制御回路１５で回転設定された周波数の交流電力に変換
されてターボ分子ポンプ３に供給され、モータＭを駆動
させる。同時にＤＣ−ＤＣコンバータ１２からの直流出
力は磁気浮上制御回路１４からターボ分子ポンプ３の磁
気軸受に電力を供給し、ターボ機構Ｂの回転軸を磁気浮
上させ、排気装置を駆動させる。通常運転時、即ち排気
装置に電力が正常に供給されている場合は、第２図に示
すインバータ１３のトランジスタＴＲ１〜ＴＲ６からの
出力がターボ分子ポンプ３のモータＭを駆動する。
【００１２】停電が発生した場合、直ちにモータＭの界
磁の位相を反転させることにより、回転体の持つ回転イ
ナーシャでモータＭは発電機として作動を開始する。こ
こで発電される回生電力をインバータ１３内のダイオー
ドＤ１〜Ｄ６を及び整流回路１６のトランジスタＴＲ
７、更に整流器１８を介して直流電力としてＤＣ−ＤＣ
コンバータ１９に供給する。停電発生時、停電による電
圧変化を検出する整流回路１６内の抵抗器Ｒ１と抵抗器
Ｒ２との分圧と、制御用電源ＶＥの印加された可変抵抗
器Ｒ３の分圧とが停電検出器２１で比較され、停電検出
器２１からの信号によりトランジスタＴＲ７が作動し、
回生電力を整流器１８を介しＤＣ−ＤＣコンバータ１９
に供給する。
磁の位相を反転させることにより、回転体の持つ回転イ
ナーシャでモータＭは発電機として作動を開始する。こ
こで発電される回生電力をインバータ１３内のダイオー
ドＤ１〜Ｄ６を及び整流回路１６のトランジスタＴＲ
７、更に整流器１８を介して直流電力としてＤＣ−ＤＣ
コンバータ１９に供給する。停電発生時、停電による電
圧変化を検出する整流回路１６内の抵抗器Ｒ１と抵抗器
Ｒ２との分圧と、制御用電源ＶＥの印加された可変抵抗
器Ｒ３の分圧とが停電検出器２１で比較され、停電検出
器２１からの信号によりトランジスタＴＲ７が作動し、
回生電力を整流器１８を介しＤＣ−ＤＣコンバータ１９
に供給する。
【００１３】通常時および停電が発生した時のターボ分
子ポンプ３の作動状態と、停電時モータＭの発電機とし
ての回生電力発生状況を図３に時系的に示す。図３
（ａ）はｔ１時に起動された排気装置がｔ２時に停電が
発生し、ＡＣ電源１が零になったことを示す。（ｂ）は
ターボ分子ポンプ３の回転体が停電後も回転を続け、時
間の経過と共に減速しｔ３の時点で回転を停止すること
を示す。（ｃ）図は回生電力による整流回路１６の出力
状態を示す。（ｄ）図はＤＣ−ＤＣコンバータ１９の出
力電圧を示す。この時、回転体の回転が停電発生時ｔ２
時点からｔ４時点までの間はＤＣ−ＤＣコンバータ１９
の出力は通電時ｔ１〜ｔ２の間と同状態を保つことがで
きることを示す。（ｅ）図は１次排気系制御回路ＥＣの
出力を示し、これはＤＣ−ＤＣコンバータ１９の出力と
同じくｔ４までの間粗引きポンプＲＰ等排気装置の機器
に電力を供給することができることを示す。
子ポンプ３の作動状態と、停電時モータＭの発電機とし
ての回生電力発生状況を図３に時系的に示す。図３
（ａ）はｔ１時に起動された排気装置がｔ２時に停電が
発生し、ＡＣ電源１が零になったことを示す。（ｂ）は
ターボ分子ポンプ３の回転体が停電後も回転を続け、時
間の経過と共に減速しｔ３の時点で回転を停止すること
を示す。（ｃ）図は回生電力による整流回路１６の出力
状態を示す。（ｄ）図はＤＣ−ＤＣコンバータ１９の出
力電圧を示す。この時、回転体の回転が停電発生時ｔ２
時点からｔ４時点までの間はＤＣ−ＤＣコンバータ１９
の出力は通電時ｔ１〜ｔ２の間と同状態を保つことがで
きることを示す。（ｅ）図は１次排気系制御回路ＥＣの
出力を示し、これはＤＣ−ＤＣコンバータ１９の出力と
同じくｔ４までの間粗引きポンプＲＰ等排気装置の機器
に電力を供給することができることを示す。
【００１４】停電発生時、図２に示す整流回路１６内の
停電検出器２１の信号は１次排気系制御回路ＥＣに伝達
され、１次排気系制御回路ＥＣはこの信号を受けると同
時に排気装置の電動弁ＭＶ１及び電動弁ＭＶ２を閉の方
向に作動させチャンバーＣＨおよびターボ分子ポンプ３
の排気口を閉じる。この作動を第３図（ｅ）に示すｔ２
時からｔ４時までの間に行なう。粗引きポンプＲＰはＤ
Ｃ−ＤＣコンバータ１９の出力に従って作動を停止する
が、この時は電動弁ＭＶ１及びＭＶ２は前述のように閉
じられており、ターボ分子ポンプ３の駆動軸に無理な負
荷がかかることなくシステム全体を停止させることがで
きる。
停電検出器２１の信号は１次排気系制御回路ＥＣに伝達
され、１次排気系制御回路ＥＣはこの信号を受けると同
時に排気装置の電動弁ＭＶ１及び電動弁ＭＶ２を閉の方
向に作動させチャンバーＣＨおよびターボ分子ポンプ３
の排気口を閉じる。この作動を第３図（ｅ）に示すｔ２
時からｔ４時までの間に行なう。粗引きポンプＲＰはＤ
Ｃ−ＤＣコンバータ１９の出力に従って作動を停止する
が、この時は電動弁ＭＶ１及びＭＶ２は前述のように閉
じられており、ターボ分子ポンプ３の駆動軸に無理な負
荷がかかることなくシステム全体を停止させることがで
きる。
【００１５】本発明は、以上説明したように、ターボ分
子ポンプ３を使用した排気装置において停電が発生した
時、モータ駆動による回転体が停止するまでの間、その
回転体の回転エネルギーを利用してモータＭを発電機と
して機能させて電気エネルギーに変換し、その電気エネ
ルギーを排気装置の周辺機器に供給することで無停電電
源の設置が不要となり、ターボ分子ポンプ３を破損する
ことなく排気装置全体を停止させることができる。
子ポンプ３を使用した排気装置において停電が発生した
時、モータ駆動による回転体が停止するまでの間、その
回転体の回転エネルギーを利用してモータＭを発電機と
して機能させて電気エネルギーに変換し、その電気エネ
ルギーを排気装置の周辺機器に供給することで無停電電
源の設置が不要となり、ターボ分子ポンプ３を破損する
ことなく排気装置全体を停止させることができる。
【００１６】本発明は以上説明したとおりであるが、上
記ならびに図示例に限定されるものではなく、種々の変
形例を包含する。例えば、図示例では停電時に長時間排
気装置全体を駆動するための大容量無停電電源を準備し
ていないが、回生電力発生期間を経過しても更に短時間
粗引きポンプＲＰを作動させるだけの電力容量をもつ無
停電電源を設置して回生電力との併用によりターボ分子
ポンプ３停止後も粗引きポンプＲＰを作動させ、短時間
内の停電の場合、停電復帰後直ちにターボ分子ポンプ３
を再駆動させることは可能である。また、上記図示例で
は粗引きポンプＲＰとターボ分子ポンプ３間、及びター
ボ分子ポンプ３とチャンバーＣＨ間にそれぞれ電動弁Ｍ
Ｖ１、ＭＶ２を設置し、この電動弁ＭＶ１、ＭＶ２によ
り排気系機器間の開閉を説明したが、これは電動弁ＭＶ
１、ＭＶ２に限らず電磁弁の開閉を１次排気系制御回路
ＥＣで制御することも可能であり図示例の構成に限定さ
れるものではない。
記ならびに図示例に限定されるものではなく、種々の変
形例を包含する。例えば、図示例では停電時に長時間排
気装置全体を駆動するための大容量無停電電源を準備し
ていないが、回生電力発生期間を経過しても更に短時間
粗引きポンプＲＰを作動させるだけの電力容量をもつ無
停電電源を設置して回生電力との併用によりターボ分子
ポンプ３停止後も粗引きポンプＲＰを作動させ、短時間
内の停電の場合、停電復帰後直ちにターボ分子ポンプ３
を再駆動させることは可能である。また、上記図示例で
は粗引きポンプＲＰとターボ分子ポンプ３間、及びター
ボ分子ポンプ３とチャンバーＣＨ間にそれぞれ電動弁Ｍ
Ｖ１、ＭＶ２を設置し、この電動弁ＭＶ１、ＭＶ２によ
り排気系機器間の開閉を説明したが、これは電動弁ＭＶ
１、ＭＶ２に限らず電磁弁の開閉を１次排気系制御回路
ＥＣで制御することも可能であり図示例の構成に限定さ
れるものではない。
【００１７】
【発明の効果】本発明はターボ分子ポンプを使用した排
気装置において、停電発生時に回転体のもつ回転エネル
ギーを電気エネルギーに変換し、この電気エネルギーを
有効に使うことにより排気系機器に異常をきたすことな
く排気装置全体を非常停止させることができるため、高
額な無停電電源の削除あるいは小型化が実現できる。同
時に停電等異常発生において排気系機器の保護にもつな
がる。
気装置において、停電発生時に回転体のもつ回転エネル
ギーを電気エネルギーに変換し、この電気エネルギーを
有効に使うことにより排気系機器に異常をきたすことな
く排気装置全体を非常停止させることができるため、高
額な無停電電源の削除あるいは小型化が実現できる。同
時に停電等異常発生において排気系機器の保護にもつな
がる。
【図１】本発明が提供するターボ分子ポンプによる排気
装置を示す図である。
装置を示す図である。
【図２】停電発生時、回転体の持つ回転エネルギーを電
気エネルギーとして取り出すための電気回路を示した図
である。
気エネルギーとして取り出すための電気回路を示した図
である。
【図３】排気装置の起動時、通常作動時及び停電時にお
ける本発明による電気回路各部の出力状態を時系的に示
した図である。
ける本発明による電気回路各部の出力状態を時系的に示
した図である。
【図４】従来の排気装置を示した図である。
１---ＡＣ電源 ３---ターボ分子ポンプ １１、１６、３１---整流回路 １２、１９、２４---ＤＣ−ＤＣコンバータ １３、２０、３３---インバータ １４---磁気浮上制御回路 １５---回転数制御回路 １７、１８、２２---整流器 ２１---停電検出器 ３２---バッテリー Ｂ---ターボ機構 Ｃ１---コンデンサ ＣＨ---チャンバー Ｄ１〜Ｄ６---ダイオード ＥＣ---１次排気系制御回路 Ｍ---モータ ＭＶ１、ＭＶ２---電動弁 ＲＰ---粗引きポンプ ＴＲ１〜ＴＲ７---トランジスタ Ｒ１〜Ｒ３---抵抗器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3H021 AA05 AA08 BA01 BA04 BA11 BA21 CA07 DA00 DA02 DA06 DA12 DA21 DA26 EA07 3H022 AA01 BA07 CA50 DA09 DA10 DA12 3H031 DA02 EA09 EA12 EA13 FA41 3H045 AA06 AA09 AA15 AA25 AA31 BA01 BA07 BA31 BA41 CA21 DA00 DA02 DA07 DA15 DA31 DA41
Claims (1)
- 【請求項１】排気機能を有するターボ機構を電動機にて
回転駆動し、被排気室からの分子を吸気口より排気口側
へ排気するターボ分子ポンプと、このターボ分子ポンプ
の給排気系に介設された電動式開閉機器を備えた排気装
置おいて、電動機への給電が停止したときこれを検知し
電動機の慣性による回転エネルギーを発電エネルギーと
して回収する電力回収回路と、この回収した回生電力を
前記電動式開閉機器に供給する電力供給回路を設け、停
電が発生したとき前記電力供給回路からの電力によって
吸排気系に介設されている電動式開閉機器を作動させる
ことができるようにしたことを特徴とするターボ分子ポ
ンプによる排気装置。
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