JP6252401B2 - 成膜方法及びそれを用いた金属膜付樹脂フィルムの製造方法 - Google Patents
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Description
図7に示すような2対のローラを用いたナーリング加工により25μm厚の長尺のポリイミドフィルムの幅方向両端部に長手方向に沿って等間隔に2列ずつ並ぶ段差50μmの複数の凸部Pを形成し、このフィルムに対して図1に示すようなスパッタリングウェブコータを用いて銅のスパッタリング成膜を行った。なお複数の凸部Pは、図1のキャンロール56の外周面に巻き付けられた時に該外周面に向かって突出するように形成した。
25μm厚に代えて12.5μm厚の長尺ポリイミドフィルムを用いた以外は実施例1と同じ条件で銅のスパッタリング成膜を行った。スパッタリング終了後、ポリイミドフィルムを目視にて確認したところ、シワは発生していなかった。
長尺ポリイミドフィルムの幅方向両端部に段差200μmの凸部Pを形成した以外は実施例1と同じ条件で銅スパッタリング成膜を行った。その結果、問題にならない程度の小さなシワが数か所発生していた。これは、凸部の段差200μmは、供給した500Paのアルゴンガスの平均自由行程の4倍程度となるため、キャンロールの外周面とポリイミドフィルムとの間のギャップ部に介在していたガスがポリイミドフィルムの幅方向両端部から放出されやすくなり、当該ギャップ部内の圧力が低下して、ポリイミドフィルムが局所的にキャンロールの外周面に接触したことによるものと考えられる。
長尺ポリイミドフィルムの両端部に凸部を形成しなかった以外は実施例2と同じ条件で銅のスパッタリング成膜を行った。その結果、成膜中に顕著なシワが発生した。これは、ポリイミドフィルムの幅方向両端部がキャンロールの外周面に接触して熱膨張による変形が拘束されたため、ポリイミドフィルムがいびつに変形した状態で局所的にキャンロールの外周面に接触したことによるものと考えられる。
11 冷媒循環部
12 回転軸
13 ベアリング
14 ガス流路
15 ガス放出孔群
20 ロータリージョイント
21 回転リングユニット
22 固定リングユニット
23 ガス供給路
24 ガス分配路
25 連結配管
26 供給配管
50 真空成膜装置(スパッタリングウェブコータ)
51 真空チャンバー
52 巻出ロール
53、63 フリーロール
54、62 張力センサロール
55、61 フィードロール
56 キャンロール
57、58、59、60 マグネトロンスパッタリングカソード
64 巻取ロール
F 長尺樹脂フィルム
P 凸部
Claims (9)
- 内部に冷媒循環部を有すると共に外周肉厚部に複数のガス流路及びそれらの各々から外周面側でガス流路の延在方向に沿って開口するガス放出孔群が周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って配設された筒状の冷却機構の外周面に対して、減圧下においてロールツーロール方式で搬送される長尺の可撓性薄板部材を巻き付けてその裏面側から冷却しながら表面側に薄膜を成膜する可撓性薄板部材の成膜方法であって、
前記外周面に巻き付いている可撓性薄板部材はその幅方向の両端部に前記外周面に向かって突出する複数の凸部が長手方向に沿って形成されていることを特徴とする可撓性薄板部材の成膜方法。 - 前記複数の凸部は各々前記可撓性薄板部材を局所的に浮き上がらせた形状を有しており、その高さが前記可撓性薄板部材の厚みの1/2以上且つ前記ガス放出孔群から放出させるガスの平均自由行程の2倍以下であることを特徴とする、請求項1に記載の可撓性薄板部材の成膜方法。
- 前記可撓性薄板部材は、前記冷却機構の外周面に巻き付ける際、前記複数の凸部の各々の頂部で前記外周面と点接触させ、当該頂部以外の部分は前記外周面から離間させることを特徴とする、請求項1又は2に記載の可撓性薄板部材の成膜方法。
- 前記離間させる距離を前記ガス放出孔群から放出させるガスの平均自由行程の3倍以内にすることを特徴とする、請求項3に記載の可撓性薄板部材の成膜方法。
- ガス圧10〜1000Paのガスを前記ガス放出孔群から放出させることを特徴とする、請求項4に記載の可撓性薄板部材の成膜方法。
- 前記複数の凸部は前記可撓性薄板部材において成膜されない領域に形成されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の可撓性薄板部材の成膜方法。
- 前記複数の凸部はナーリング加工を用いて形成されていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか1項に記載の可撓性薄板部材の成膜方法。
- 前記可撓性薄板部材にはその幅方向の両端部に前記外周面から離間する方向に向かって突出する複数の凸部が長手方向に沿って更に形成されていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の可撓性薄板部材の成膜方法。
- 前記可撓性薄板部材は長尺樹脂フィルムであり、請求項1〜8のいずれか1項に記載の可撓性薄板部材の成膜方法を用いて前記長尺樹脂フィルムの少なくとも一方の面に、接着剤を介さず金属膜を成膜することを特徴とする金属膜付樹脂フィルムの製造方法。
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