JP6248709B2 - 力検出装置およびロボット - Google Patents

力検出装置およびロボット Download PDF

Info

Publication number
JP6248709B2
JP6248709B2 JP2014041329A JP2014041329A JP6248709B2 JP 6248709 B2 JP6248709 B2 JP 6248709B2 JP 2014041329 A JP2014041329 A JP 2014041329A JP 2014041329 A JP2014041329 A JP 2014041329A JP 6248709 B2 JP6248709 B2 JP 6248709B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
force
external force
detection device
output
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014041329A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2015166706A (ja
Inventor
神谷　俊幸
俊幸 神谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2014041329A priority Critical patent/JP6248709B2/ja
Priority to CN201510079397.2A priority patent/CN104897318B/zh
Publication of JP2015166706A publication Critical patent/JP2015166706A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6248709B2 publication Critical patent/JP6248709B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Manipulator (AREA)
JP2014041329A 2014-03-04 2014-03-04 力検出装置およびロボット Active JP6248709B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014041329A JP6248709B2 (ja) 2014-03-04 2014-03-04 力検出装置およびロボット
CN201510079397.2A CN104897318B (zh) 2014-03-04 2015-02-13 力检测装置、机器臂以及电子部件输送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014041329A JP6248709B2 (ja) 2014-03-04 2014-03-04 力検出装置およびロボット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015166706A JP2015166706A (ja) 2015-09-24
JP6248709B2 true JP6248709B2 (ja) 2017-12-20

Family

ID=54030124

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014041329A Active JP6248709B2 (ja) 2014-03-04 2014-03-04 力検出装置およびロボット

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6248709B2 (zh)
CN (1) CN104897318B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021512293A (ja) * 2018-01-24 2021-05-13 アーファオエル・リスト・ゲーエムベーハー トルク伝達シャフトにおける力および／またはトルクを規定するための測定装置および方法

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109844480A (zh) * 2016-10-17 2019-06-04 基斯特勒控股公司 力和力矩探测器，用于这种力和力矩探测器的力传感器模块和具有这种力和力矩探测器的机器人
JP7000810B2 (ja) * 2017-11-15 2022-01-19 セイコーエプソン株式会社 力検出装置及びロボットシステム
JP2020163548A (ja) * 2019-03-29 2020-10-08 セイコーエプソン株式会社 水平多関節ロボットおよびロボットシステム
WO2024009501A1 (ja) * 2022-07-08 2024-01-11 株式会社Soken 荷重センサ

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH472668A (de) * 1967-09-05 1969-05-15 Kistler Instrumente Ag Einrichtung mit einer Mehrkomponenten-Piezomesszelle
US3948141A (en) * 1974-08-20 1976-04-06 Katsumi Shinjo Load indicating washer
US4159483A (en) * 1977-11-25 1979-06-26 Cutler-Hammer, Inc. Low profile force indicating fastener, especially for semiconductor clamps
JPH09131690A (ja) * 1995-11-09 1997-05-20 Mitsubishi Heavy Ind Ltd ６軸荷重検出装置
AT409550B (de) * 2001-04-23 2002-09-25 Avl List Gmbh Piezoelektrische vorrichtung
JP2005249598A (ja) * 2004-03-04 2005-09-15 Denso Corp 荷重検出装置
JP4475134B2 (ja) * 2005-02-09 2010-06-09 株式会社デンソー 荷重検出装置
JP2008124198A (ja) * 2006-11-10 2008-05-29 Seiko Epson Corp ハンドラのティーチング方法及びハンドラ
CN202153166U (zh) * 2011-07-28 2012-02-29 济南大学 一种并联式压电六维大力传感器
JP5884456B2 (ja) * 2011-12-09 2016-03-15 セイコーエプソン株式会社 介在センサー、およびロボット
JP5895615B2 (ja) * 2012-03-09 2016-03-30 セイコーエプソン株式会社 センサーモジュール、力検出装置及びロボット

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021512293A (ja) * 2018-01-24 2021-05-13 アーファオエル・リスト・ゲーエムベーハー トルク伝達シャフトにおける力および／またはトルクを規定するための測定装置および方法
JP7254814B2 (ja) 2018-01-24 2023-04-10 アーファオエル・リスト・ゲーエムベーハー トルク伝達シャフトにおける力および／またはトルクを規定するための測定装置および方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015166706A (ja) 2015-09-24
CN104897318B (zh) 2019-12-10
CN104897318A (zh) 2015-09-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6163900B2 (ja) 力検出装置およびロボット
JP6252241B2 (ja) 力検出装置、およびロボット
JP6102341B2 (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体
JP6248709B2 (ja) 力検出装置およびロボット
JP2015087289A (ja) センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
JP6354894B2 (ja) 力検出装置、およびロボット
JP2014196922A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体
JP6436261B2 (ja) 力検出装置、およびロボット
JP6217320B2 (ja) センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
JP6232943B2 (ja) 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置
JP6241204B2 (ja) 力検出装置およびロボット
JP6477843B2 (ja) 力検出装置、およびロボット
JP2014196924A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体
JP6210296B2 (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
JP6232942B2 (ja) 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置
JP6176059B2 (ja) センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
JP6432647B2 (ja) センサー素子、力検出装置およびロボット
JP2014196921A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体
JP2015087281A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、および部品加工装置
JP6217321B2 (ja) センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
JP2015169545A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置
JP6481735B2 (ja) 力検出装置およびロボット
JP2017022339A (ja) 積層型圧電素子、力検出装置、及びロボット
JP2015087291A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および温度補償方法
JP2015184008A (ja) 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置および電子部品検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20160616

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20160624

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20161130

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170807

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170817

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20171003

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20171024

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20171106

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6248709

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150