JP2014196924A - 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体 - Google Patents
力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014196924A JP2014196924A JP2013071931A JP2013071931A JP2014196924A JP 2014196924 A JP2014196924 A JP 2014196924A JP 2013071931 A JP2013071931 A JP 2013071931A JP 2013071931 A JP2013071931 A JP 2013071931A JP 2014196924 A JP2014196924 A JP 2014196924A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- detection device
- force detection
- board
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の力検出装置は、第1の基板と、前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備える。前記各第1の回路基板は、前記第1の回路基板の面方向に沿って配置されている。前記各第1の回路基板は、前記第1の回路基板の平面視で、同一の形状をなしている。
【選択図】図2
Description
また、装置全体の小型化を図るため、回路基板を1対の押圧板の間に設け、その回路基板に複数の水晶圧電素子を搭載してなる力検出装置も知られている。
本発明の目的は、素子が設けられた第1の回路基板の変形や応力を低減し、素子や第1の回路基板の破損を防止し、また、力検出の精度を向上させることができる力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体を提供することにある。
本発明の力検出装置は、第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とする。
すなわち、1つの第1の回路基板が熱膨張した場合や、力検出装置に外力が加わり、1つの第1の回路基板が変形した場合に、それによる応力等が他の第1の回路基板に伝わることを防止することができる。これにより、第1の回路基板の変形や応力を低減することができ、これによって、素子を固定している半田等の破損、剥離を防止することができ、また、素子や第1の回路基板が破損することを防止することができる。また、素子に不要な力が加わることを抑制することができ、力検出の精度を向上させることができる。
また、3つ以上の素子(回路基板)を有することにより、6軸力、すなわち、x、y、z軸方向の並進力成分(せん断力)およびx、y、z軸周りの回転力成分(モーメント))を検出することができる。
これにより、各第1の回路基板について、1種類の回路基板を用いることができ、コストを低減することができる。
本発明の力検出装置では、前記各第1の回路基板は、前記第1の回路基板の面方向に沿って配置されていることが好ましい。
これにより、偏りなく外力を検出することができる。
これにより、例えば、各第1の回路基板に電気的に接続される第2の回路基板を設ける場合、各第1の回路基板の出力端子をいずれか1つの第1の回路基板に集中させることができ、これによって、1箇所に、各第1の回路基板と第2の回路基板とを電気的に接続する接続部を設けることができる。
これにより、第1の回路基板を持ち上げれば、全部の第1の回路基板が持ち上がるので、各第1の回路基板の組み付け等において、各第1の回路基板を容易に取り扱うことができる。
前記第1の回路基板には、前記電荷を電圧に変換する電荷/電圧変換部が設けられていることが好ましい。
これにより、より精度の高い力検出を行うことができる。
本発明の力検出装置では、前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、前記各第1の回路基板と対向配置され、アナログ信号をデジタル信号に変換するAD変換部が設けられた第2の回路基板を有することが好ましい。
これにより、第2の回路基板を外部に設ける場合に比べ、装置の小型化を図ることができる。
これにより、より精度の高い力検出を行うことができる。
本発明の力検出装置では、各第1の回路基板に穴が形成されていることが好ましい。
これにより、前記穴を、例えば、位置決め用の穴、固定用の穴やネジ穴等に用いることができる。
本発明の力検出装置では、前記各素子は、前記第1の基板の周方向に沿って、等角度間隔に配置されていることが好ましい。
これにより、偏りなく外力を検出することができる。
前記アーム設けられたエンドエフェクタと、
前記アームと前記エンドエフェクタの間に設けられ、前記エンドエフェクタに加えられる外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とする。
前記モーターにより駆動され、電子部品を把持する把持部と、
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とする。
前記モーターにより駆動され、電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を検査する検査部と
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とする。
前記工具に加えられる外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とする。
前記移動により発生する外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とする。
これにより、前記本発明の力検出装置と同様の効果が得られる。そして、力検出装置は、移動に伴い生じた振動や加速度等による外力を検出でき、移動体は、姿勢制御、振動制御および加速制御等の制御を実行することができる。
<第1実施形態>
図1は、本発明の力検出装置の第1実施形態を示す平面図(第2の基板は図示せず)である。図2は、図1中のA−A線での断面図である。図3は、図1に示す力検出装置を概略的に示す回路図である。図4は、図1に示す力検出装置の電荷出力素子を概略的に示す断面図である。
なお、以下では、説明の都合上、図1中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。
力検出装置1は、第1の基板(第1の部材)2と、第1の基板2から所定の間隔を隔てて配置され、第1の基板2に対向する第2の基板(第2の部材)3と、第1の基板2と第2の基板3との間に設けられ、加えられた外力に応じて信号を出力する電荷出力素子(素子)10が搭載された4つのアナログ回路基板(第1の回路基板)4と、第1の基板2と第2の基板3との間に設けられ、各アナログ回路基板4と電気的に接続されたデジタル回路基板(第2の回路基板)5と、第1の基板2と第2の基板3とを固定する8つの与圧ボルト(固定部材)71とを備えている。
各電荷出力素子10は、アナログ回路基板4の第2の基板3側の面に配置され、それぞれ、アナログ回路基板4ごと、第1の基板2と第2の基板3とで挟持されている。なお、第1の基板2と、第2の基板3とのいずれを力が加わる側の基板としてもよいが、本実施形態では、第2の基板3を力が加わる側の基板として説明する。また、各電荷出力素子10は、アナログ回路基板4の第1の基板2側の面に配置されていてもよい。なお、アナログ回路基板4については後で詳述する。
また、各電荷出力素子10の位置は、特に限定されないが、本実施形態では、各電荷出力素子10は、第1の基板2、第2の基板3の周方向に沿って、等角度間隔(90°間隔)に配置されている。これにより、偏りなく外力を検出することができる。そして、6軸力を検出することができる。なお、本実施形態では、各電荷出力素子10は、全て同じ方向を向いた状態でアナログ回路基板4に搭載されているが、これに限定されるものではない。
また、各アナログ回路基板4は、第1の基板2、第2の基板3の平面視で、その扇形の中心が第1の基板2、第2の基板3の中心に位置し、アナログ回路基板4の面方向に沿って配置されている。この場合、各アナログ回路基板4は、第1の基板2、第2の基板3の周方向に沿って、所定の間隔を隔てて、等角度間隔(90°間隔)に配置されている。
なお、各アナログ回路基板4には、2つの与圧ボルト71が挿通する2つの穴41が形成されている。
そして、この与圧ボルト71により、各電荷出力素子10に、所定の大きさのZ軸方向の圧力、すなわち、与圧が加えられる。なお、前記与圧の大きさは、特に限定されず、適宜設定される。また、与圧ボルト71の数は、8つに限定されず、例えば、2つ、3つ、4つ、5つ、6つ、7つまたは、9つ以上であってもよい。
各電荷出力素子10は、それぞれ、互いに直交する3軸(α(X)軸、β(Y)軸、γ(Z)軸)に沿って加えられた(受けた)外力のそれぞれに応じて3つの電荷Qx、Qy、Qzを出力する機能を有する。なお、各電荷出力素子10は、構造、寸法、構成材料等すべての構成が同様である。このため、以下では、代用的に、1つの電荷出力素子10について説明する。
電荷出力素子10の形状は、特に限定されないが、本実施形態では、第1の基板2の平面視で、四角形をなしている。なお、電荷出力素子10の平面視での前記の他の外形形状としては、例えば、五角形等の他の多角形、円形、楕円形等が挙げられる。
グランド電極層11は、グランド(基準電位点)に接地された電極である。グランド電極層11を構成する材料は、特に限定されないが、例えば、金、チタニウム、アルミニウム、銅、鉄またはこれらを含む合金が好ましい。これらの中でも特に、鉄合金であるステンレスを用いるのが好ましい。ステンレスにより構成されたグランド電極層11は、優れた耐久性および耐食性を有する。
第1のセンサ12は、第1の結晶軸CA1を有する第1の圧電体層121と、第1の圧電体層121と対向して設けられ、第2の結晶軸CA2を有する第2の圧電体層123と、第1の圧電体層121と第2の圧電体層123との間に設けられ、電荷Qを出力する出力電極層122を有する。
第2のセンサ13は、第3の結晶軸CA3を有する第3の圧電体層131と、第3の圧電体層131と対向して設けられ、第4の結晶軸CA4を有する第4の圧電体層133と、第3の圧電体層131と第4の圧電体層133との間に設けられ、電荷Qzを出力する出力電極層132を有する。
第3のセンサ14は、第5の結晶軸CA5を有する第5の圧電体層141と、第5の圧電体層141と対向して設けられ、第6の結晶軸CA6を有する第6の圧電体層143と、第5の圧電体層141と第6の圧電体層143との間に設けられ、電荷Qxを出力する出力電極層142を有する。
各電荷出力素子10には、それぞれ、変換出力回路(電荷/電圧変換部)90a、90b、90cが接続されている。各電荷出力素子10に接続されたそれぞれの変換出力回路90a、90b、90cは、同様であるので、以下では、代表的に、1つの電荷出力素子10に接続された変換出力回路90a、90b、90cについて説明する。
外力検出回路40は、各変換出力回路90aから出力される電圧Vx1、Vx2、Vx3、Vx4と、各変換出力回路90bから出力される電圧Vz1、Vz2、Vz3、Vz4と、変換出力回路90cから出力される電圧Vy1、Vy2、Vy3、Vy4とに基づき、加えられた外力を検出する機能を有する。外力検出回路40は、変換出力回路90a、90b、90cに接続されたADコンバーター(AD変換部)401と、ADコンバーター401に接続された演算部402とを有する。
また、第1の基板2および第2の基板3は、互いにx軸周りに回転する相対変位、y軸周りに回転する相対変位、およびz軸周りに回転する相対変位が可能であり、各回転に伴う外力を電荷出力素子10に伝達することが可能である。
Fy=Vy1+Vy2+Vy3+Vy4
Fz=Vz1+Vz2+Vz3+Vz4
Mx=b×(Vz4−Vz2)
My=a×(Vz3−Vz1)
Mz=b×(Vx2−Vx4)+a×(Vy1−Vy3)
ここで、a、bは定数である。
このように、力検出装置1は、6軸力を検出することができる。
すなわち、1つのアナログ回路基板4が熱膨張した場合や、力検出装置1に外力が加わり、1つのアナログ回路基板4が変形した場合に、それによる応力等が他のアナログ回路基板4に伝わることを防止することができる。これにより、アナログ回路基板4の変形や応力を低減することができ、これによって、電荷出力素子10を固定している半田等の破損、剥離を防止することができ、また、電荷出力素子10やアナログ回路基板4が破損することを防止することができる。また、電荷出力素子10に不要な力が加わることを抑制することができ、力検出の精度を向上させることができる。
また、1つの電荷出力素子10が破損した場や、複数のアナログ回路基板4の一部が破損した場合は、対応するアナログ回路基板4のみを交換すればよく、その交換作業を容易かつ迅速に行うことができ、また、コストを低減することができる。
また、アナログ回路基板4と、デジタル回路基板5とが分離しているので、デジタル回路基板から発生する熱がアナログ回路基板4に伝達されることを抑制することができる。これにより、アナログ回路基板4におけるリーク電流を抑制することができ、出力ドリフトを抑制することができ、これによって、より精度の高い力検出を行うことができる。
図5は、本発明の力検出装置の第2実施形態を示す平面図(第2の基板は図示せず)である。図6は、図5中のB−B線での断面図である。
なお、以下では、説明の都合上、図5中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。
図5および図6に示すように、第2実施形態の力検出装置1は、各アナログ回路基板4の隣り合う2つのアナログ回路基板4同士を電気的に接続する配線が設けられ、可撓性を有する4つのフレキシブル基板(接続部材)82を備えている。各フレキシブル基板82の一端部は、隣り合う2つのアナログ回路基板4の一方に電気的に接続され、他端部は、他方のアナログ回路基板4に電気的に接続されている。
この場合、各アナログ回路基板4の出力ラインは、対応するフレキシブル基板82および他のアナログ回路基板4に設けられた配線に接続されており、これにより、各アナログ回路基板4の出力端子は、1つのアナログ回路基板4の1箇所に集中している。
そして、各アナログ回路基板4の出力端子と、デジタル回路基板5の入力端子とは、単一のコネクター83により電気的に接続されている。なお、各アナログ回路基板4の出力端子とデジタル回路基板5の入力端子とを電気的に接続する接続部材としては、コネクターに限らず、この他、例えば、配線が設けられ、可撓性を有するフレキシブル基板等が挙げられる。
この力検出装置1によれば、前述した第1実施形態と同様の効果が得られる。
また、各アナログ回路基板4の出力がデジタル回路基板5の1箇所に集中するので、デジタル回路基板5での各処理を効率良く行うことができる。
図7は、本発明の力検出装置の第3実施形態を示す平面図(第2の基板は図示せず)である。
以下、第2実施形態について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
各連結部材84は、同一の形状をなしている。また、各連結部材84の形状は、特に限定されないが、本実施形態では、帯状をなしている。
そして、各連結部材84の短辺方向の一端部は、隣り合う2つのアナログ回路基板4の一方に固着し、他端部は、他方のアナログ回路基板4に固着している。この連結部材84の固着方法は、特に限定されず、例えば、接着剤等により接着、融着等が挙げられる。なお、本実施形態では、各アナログ回路基板4および各連結部材84全体で、円環状をなしている。
この力検出装置1によれば、前述した第1実施形態と同様の効果が得られる。
そして、この力検出装置1では、各アナログ回路基板4が対応する連結部材84で連結されているので、各アナログ回路基板4の組み付け等において、各アナログ回路基板4を容易に取り扱うことができる。
なお、各連結部材84の形状は、本実施形態では、同一であるが、異なっていてもよい。
この第3実施形態は、第2実施形態にも適用することができる。すなわち、力検出装置1は、フレキシブル基板(接続部材)82および連結部材84を有していてもよい。
次に、図8に基づき、本発明のロボットの実施形態である単腕ロボットを説明する。以下、本実施形態について、前述した第1、第2および第3実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図8は、本発明の力検出装置を用いた単腕ロボットの1例を示す図である。図8の単腕ロボット500は、基台510と、アーム520と、アーム520の先端側に設けられたエンドエフェクタ530と、アーム520とエンドエフェクタ530との間に設けられた力検出装置100とを有する。なお、力検出装置100としては、前述した各実施形態と同様のものを用いる。
基台510は、アーム520を回動させるための動力を発生させるアクチュエーター(図示せず)およびアクチュエーターを制御する制御部(図示せず)等を収納する機能を有する。また、基台510は、例えば、床、壁、天井、移動可能な台車上などに固定される。
エンドエフェクタ530は、対象物を把持する機能を有する。エンドエフェクタ530は、第1の指531および第2の指532を有している。アーム520の駆動によりエンドエフェクタ530が所定の動作位置まで到達した後、第1の指531および第2の指532の離間距離を調整することにより、対象物を把持することができる。
なお、図示の構成では、アーム520は、合計5本のアーム要素によって構成されているが、本発明はこれに限られない。アーム520が、1本のアーム要素に構成されている場合、2〜4本のアーム要素によって構成されている場合、6本以上のアーム要素によって構成されている場合も本発明の範囲内である。
次に、図9に基づき、本発明のロボットの実施形態である複腕ロボットを説明する。以下、本実施形態について、前述した第1、第2および第3実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図9は、本発明の力検出装置を用いた複腕ロボットの1例を示す図である。図9の複腕ロボット600は、基台610と、第1のアーム620と、第2のアーム630と、第1のアーム620の先端側に設けられた第1のエンドエフェクタ640aと、第2のアーム630の先端側に設けられた第2のエンドエフェクタ640bと、第1のアーム620と第1のエンドエフェクタ640a間および第2のアーム630と第2のエンドエフェクタ640bとの間に設けられた力検出装置100を有する。なお、力検出装置100としては、前述した各実施形態と同様のものを用いる。
第1のアーム620は、第1のアーム要素621および第2のアーム要素622を回動自在に連結することにより構成されている。第2のアーム630は、第1のアーム要素631および第2のアーム要素632を回動自在に連結することにより構成されている。第1のアーム620および第2のアーム630は、制御部の制御によって、各アーム要素の連結部を中心に複合的に回転または屈曲することにより駆動する。
なお、図示の構成では、アームは合計2本であるが、本発明はこれに限られない。複腕ロボット600が3本以上のアームを有している場合も、本発明の範囲内である。
次に、図10、図11に基づき、本発明の実施形態である電子部品検査装置および電子部品搬送装置を説明する。以下、本実施形態について、前述した第1、第2および第3実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図10は、本発明の力検出装置を用いた電子部品検査装置および部品搬送装置の1例を示す図である。図11は、本発明の力検出装置を用いた電子部品搬送装置の1例を示す図である。
次に、図12に基づき、本発明の部品加工装置の実施形態を説明する。以下、本実施形態について、前述した第1、第2および第3実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図12は、本発明の力検出装置を用いた部品加工装置の1例を示す図である。図12の部品加工装置800は、基台810と、基台810の上面に起立形成された支柱820と、支柱820の側面に設けられた送り機構830と、送り機構830に昇降可能に取り付けられた工具変位部840と、工具変位部840に接続された力検出装置100と、力検出装置1を介して工具変位部840に装着された工具850を有する。なお、力検出装置100としては、前述した各実施形態と同様のものを用いる。
次に、図13に基づき、本発明の移動体の実施形態を説明する。以下、本実施形態について、前述した第1、第2および第3実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図13は、本発明の力検出装置を用いた移動体の1例を示す図である。図13の移動体900は、与えられた動力により移動することができる。移動体900は、特に限定されないが、例えば、自動車、バイク、飛行機、船、電車等の乗り物、2足歩行ロボット、車輪移動ロボット等のロボット等である。
動力部920から供給された動力によって本体910が移動すると、移動に伴い振動や加速度等が生じる。力検出装置100は、移動に伴い生じた振動や加速度等による外力を検出する。力検出装置100によって検出された外力は、制御部930に伝達される。制御部930は、力検出装置100から伝達された外力に応じて動力部920等を制御することにより、姿勢制御、振動制御および加速制御等の制御を実行することができる。
また、本発明は、前記実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
また、本発明では、固定部材として、与圧ボルトに替えて、例えば、素子に与圧を加える機能を有していないものを用いてもよい。
また、本発明では、デジタル回路基板を外部に設けてもよく、また、デジタル回路基板を省略してもよい。
また、本発明では、回路基板の機能の一部、例えば、デジタル回路基板のADコンバーター、演算部等を外部に設けてもよく。また、それを省略してもよい。
また、本発明の力検出装置は、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体に限らず、他の装置、例えば、他の搬送装置、他の検査装置、振動計、加速度計、重力計、動力計、地震計、傾斜計等の測定装置、入力装置等にも適用することができる。
Claims (15)
- 第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とする力検出装置。 - 前記各第1の回路基板は、前記第1の回路基板の平面視で、同一の形状をなしている請求項1に記載の力検出装置。
- 前記各第1の回路基板は、前記第1の回路基板の面方向に沿って配置されている請求項1または2に記載の力検出装置。
- 可撓性を有し、前記各第1の回路基板の隣り合う2つの前記第1の回路基板同士を電気的に接続する配線を備える請求項1ないし3のいずれか1項に記載の力検出装置。
- 可撓性を有し、前記各第1の回路基板の隣り合う2つの前記第1の回路基板同士を連結する連結部材を備える請求項1ないし4のいずれか1項に記載の力検出装置。
- 前記素子は、外力に応じて電荷を出力するものであり、
前記第1の回路基板には、前記電荷を電圧に変換する電荷/電圧変換部が設けられている請求項1ないし5のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、前記各第1の回路基板と対向配置され、アナログ信号をデジタル信号に変換するAD変換部が設けられた第2の回路基板を有する請求項1ないし6のいずれか1項に記載の力検出装置。
- 前記各素子は、前記第1の基板と前記第2の基板とで挟持されている請求項1ないし7のいずれか1項に記載の力検出装置。
- 各第1の回路基板に穴が形成されている請求項1ないし8のいずれか1項に記載の力検出装置。
- 前記各素子は、前記第1の基板の周方向に沿って、等角度間隔に配置されている請求項1ないし9のいずれか1項に記載の力検出装置。
- アームと、
前記アーム設けられたエンドエフェクタと、
前記アームと前記エンドエフェクタの間に設けられ、前記エンドエフェクタに加えられる外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とするロボット。 - モーターと、
前記モーターにより駆動され、電子部品を把持する把持部と、
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とする電子部品搬送装置。 - モーターと、
前記モーターにより駆動され、電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を検査する検査部と
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とする電子部品検査装置。 - 工具を装着し、前記工具を変位させる工具変位部と、
前記工具に加えられる外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とする部品加工装置。 - 移動のための動力を供給する動力部と、
前記移動により発生する外力を検出する力検出装置とを備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
前記第1の基板と対向配置された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられ、外力に応じて信号を出力する素子が設けられた複数の第1の回路基板とを備えることを特徴とする移動体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013071931A JP2014196924A (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013071931A JP2014196924A (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014196924A true JP2014196924A (ja) | 2014-10-16 |
Family
ID=52357823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013071931A Pending JP2014196924A (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014196924A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016080612A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置及びロボット |
JP2018511798A (ja) * | 2015-03-31 | 2018-04-26 | グーグル エルエルシー | 撓みベースのトルクセンサ |
WO2018073012A1 (de) * | 2016-10-17 | 2018-04-26 | Kistler Holding Ag | Kraft- und momentensensor, kraftaufnehmermodul für einen solchen kraft- und momentensensor und roboter mit einem solchen kraft- und momentensensor |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63134929A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-06-07 | クリスタル インスツルメンテ アクチエンゲゼルシャフト | 多要素動力計 |
JPH04231829A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-08-20 | Kistler Instr Ag | 平行にされた円板測定要素及び集積増幅器を有する介在式力センサ |
JPH09131690A (ja) * | 1995-11-09 | 1997-05-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 6軸荷重検出装置 |
JP2000275127A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Ngk Insulators Ltd | 力センサ回路 |
JP2005315826A (ja) * | 2004-04-01 | 2005-11-10 | Fujitsu Media Device Kk | 多軸センサを有する力センサ装置における応力検出方法及び、この方法を用いる力センサ装置。 |
JP2011080586A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-04-21 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 電動式ディスクブレーキ |
JP2012138612A (ja) * | 2012-03-21 | 2012-07-19 | Seiko Epson Corp | ハンドラのティーチング方法及びハンドラ |
JP2012220462A (ja) * | 2011-04-14 | 2012-11-12 | Seiko Epson Corp | センサーデバイス、力検出装置およびロボット |
-
2013
- 2013-03-29 JP JP2013071931A patent/JP2014196924A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63134929A (ja) * | 1986-11-07 | 1988-06-07 | クリスタル インスツルメンテ アクチエンゲゼルシャフト | 多要素動力計 |
JPH04231829A (ja) * | 1990-05-31 | 1992-08-20 | Kistler Instr Ag | 平行にされた円板測定要素及び集積増幅器を有する介在式力センサ |
JPH09131690A (ja) * | 1995-11-09 | 1997-05-20 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 6軸荷重検出装置 |
JP2000275127A (ja) * | 1999-03-26 | 2000-10-06 | Ngk Insulators Ltd | 力センサ回路 |
JP2005315826A (ja) * | 2004-04-01 | 2005-11-10 | Fujitsu Media Device Kk | 多軸センサを有する力センサ装置における応力検出方法及び、この方法を用いる力センサ装置。 |
JP2011080586A (ja) * | 2009-09-10 | 2011-04-21 | Akebono Brake Ind Co Ltd | 電動式ディスクブレーキ |
JP2012220462A (ja) * | 2011-04-14 | 2012-11-12 | Seiko Epson Corp | センサーデバイス、力検出装置およびロボット |
JP2012138612A (ja) * | 2012-03-21 | 2012-07-19 | Seiko Epson Corp | ハンドラのティーチング方法及びハンドラ |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016080612A (ja) * | 2014-10-21 | 2016-05-16 | セイコーエプソン株式会社 | 力検出装置及びロボット |
JP2018511798A (ja) * | 2015-03-31 | 2018-04-26 | グーグル エルエルシー | 撓みベースのトルクセンサ |
WO2018073012A1 (de) * | 2016-10-17 | 2018-04-26 | Kistler Holding Ag | Kraft- und momentensensor, kraftaufnehmermodul für einen solchen kraft- und momentensensor und roboter mit einem solchen kraft- und momentensensor |
KR20190047036A (ko) * | 2016-10-17 | 2019-05-07 | 키스틀러 홀딩 아게 | 힘과 모멘트 센서, 그러한 힘과 모멘트 센서용 힘 트랜스듀서 모듈 및 그러한 힘과 모멘트 센서를 포함하는 로봇 |
CN109844480A (zh) * | 2016-10-17 | 2019-06-04 | 基斯特勒控股公司 | 力和力矩探测器,用于这种力和力矩探测器的力传感器模块和具有这种力和力矩探测器的机器人 |
JP2019530880A (ja) * | 2016-10-17 | 2019-10-24 | キストラー ホールディング アクチエンゲゼルシャフト | フォース・モーメント・センサー、そのようなフォース・モーメント・センサーのためのフォース・トランスデューサー・モジュール、ならびに、そのようなフォース・モーメント・センサーを含むロボット |
KR102191285B1 (ko) | 2016-10-17 | 2020-12-16 | 키스틀러 홀딩 아게 | 힘과 모멘트 센서, 그러한 힘과 모멘트 센서용 힘 트랜스듀서 모듈 및 그러한 힘과 모멘트 센서를 포함하는 로봇 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6163900B2 (ja) | 力検出装置およびロボット | |
US9770826B2 (en) | Force detecting device, robot, electronic component conveying apparatus | |
JP6102341B2 (ja) | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体 | |
JP2015087292A (ja) | センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 | |
CN104897318B (zh) | 力检测装置、机器臂以及电子部件输送装置 | |
JP2015087289A (ja) | センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 | |
JP6354894B2 (ja) | 力検出装置、およびロボット | |
JP2014196922A (ja) | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体 | |
JP6183161B2 (ja) | センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 | |
JP6436261B2 (ja) | 力検出装置、およびロボット | |
JP2014196924A (ja) | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体 | |
JP6232943B2 (ja) | 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置 | |
JP6217320B2 (ja) | センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 | |
JP6210296B2 (ja) | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 | |
JP6232942B2 (ja) | 力検出装置、ロボットおよび電子部品搬送装置 | |
JP6176059B2 (ja) | センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 | |
JP6432647B2 (ja) | センサー素子、力検出装置およびロボット | |
JP2014196921A (ja) | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、部品加工装置および移動体 | |
JP6384575B2 (ja) | センサーデバイス、力検出装置、およびロボット | |
JP6481735B2 (ja) | 力検出装置およびロボット | |
JP2015087281A (ja) | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、および部品加工装置 | |
JP6183158B2 (ja) | センサーデバイス、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 | |
JP6217321B2 (ja) | センサー素子、力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 | |
JP2015169545A (ja) | 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 | |
JP2017022339A (ja) | 積層型圧電素子、力検出装置、及びロボット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160303 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170310 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20170411 |