JP2015166706A - 力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 - Google Patents
力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明の力検出装置は、第1の基板と、第2の基板と、外力に応じて信号を出力する第1の素子と、前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持して、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、前記第1の基板の厚み方向からの視認において前記第1の素子に対して少なくとも1対の前記固定部材が配置されている。
【選択図】図1
Description
このような課題に対して、特許文献1に記載の力検出装置は、その図5、図7に示すように、プラットフォーム(取付け板)と、そのプラットフォームの両端に設けられた2つの力測定セルと、与圧を加える予荷重ねじとを有している。そして、2つの力測定セルの配置等の構成が、予荷重ねじ等の熱膨張等により生じる予圧変化による出力信号が相殺されるようになっている。
本発明の目的は、第1の素子にバランス良く圧力を加えることができ、熱膨張による測定誤差を抑制することができる、または、装置の小型化を図りつつ、熱膨張による測定誤差を抑制することができる力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置を提供することにある。
(適用例1)
本発明に係わる力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持して、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向からの視認において前記第1の素子に対して少なくとも1対の前記固定部材が配置されていることを特徴とする。
また、第1の素子を間にして少なくとも1対の固定部材が配置されているので、第1の基板と第2の基板とをバランス良く固定することができ、また、第1の素子にバランス良く圧力を加えることができる。
本発明に係わる力検出装置では、前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なることが好ましい。
これにより、第1の基板の平面視で、第1の基板の外力が加わる部位と、第2の基板の外力が加わる部位と、第1の素子とを重ねることができ、これにより、第1の基板、第2の基板の厚さを薄くしてもその第1の基板、第2の基板が外力で撓んでしまうことを抑制することができ、これによって、装置の厚さを薄くすることができ、小型化、軽量化を図ることができる。
本発明に係わる力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持して、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なることを特徴とする。
本発明に係わる力検出装置では、前記固定部材により前記第1の素子に加わる圧力の方向と前記第2の素子に加わる圧力の方向とが同じであり、
前記第1の基板に、前記固定部材により前記第1の素子に加わる圧力の方向と同じ方向の外力が加わったとき、前記第1の素子と前記第2の素子とは、前記外力を互いに逆方向の力として検出することが好ましい。
これにより、第1の素子の出力と第2の素子の出力との差分を取ることにより、第1の基板と直交する方向の外力は、第2の素子を設けない場合よりも大きな値として検出される。一方、第1の素子の出力と第2の素子の出力との差分を取ることにより、固定部材が加える圧力の変動分を補償することができる。
本発明に係わる力検出装置では、前記第1の基板は、前記第1の基板を第1の対象物に取り付ける第1の取付部を有し、
前記第2の基板は、前記第2の基板を第2の対象物に取り付ける第2の取付部を有し、
前記第1の基板の厚み方向からの投影像において、前記第1の取付部の影と、前記第2の取付部の影と、前記第1の素子の影とが重なっていることが好ましい。
また、第1の基板、第2の基板の厚さを薄くしてもその第1の基板、第2の基板が外力で撓んでしまうことを抑制することができ、これにより、装置の厚さを薄くすることができ、小型化、軽量化を図ることができる。
本発明に係わる力検出装置では、前記固定部材は、頭部を有するネジであり、
前記第2の素子は、前記第1の基板と前記頭部との間に設けられていることが好ましい。
これにより、第1の基板と固定部材とで第2の素子を確実に挟持することができる。
本発明に係わる力検出装置では、前記第1の素子から出力される信号および前記第2の素子から出力される信号に基づいて、補正した外力を検出する検出部を有することが好ましい。
これにより、測定精度を向上させることができる。
本発明に係わる力検出装置では、前記検出部は、前記第1の素子から出力される信号に基づいて求めた電圧と、前記第2の素子から出力される信号に基づいて求めた電圧との差分を取ることにより、補正した外力を検出することが好ましい。
これにより、測定精度を向上させることができる。
本発明に係わる力検出装置では、複数の前記第1の素子を有し、
前記各第1の素子は、前記第1の基板または前記第2の基板の周方向に、等角度間隔に配置されていることが好ましい。
これにより、偏りなく外力を検出することができ、より精度の高い力検出を行うことができる。そして、3つ以上の第1の素子を有することにより、6軸力、すなわち、x、y、z軸方向の並進力成分(せん断力)およびx、y、z軸周りの回転力成分(モーメント)を検出することができる。
本発明に係わるロボットは、アームと、
前記アームに設けられたエンドエフェクタと、
前記アームと前記エンドエフェクタの間に設けられ、前記エンドエフェクタに加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向からの視認において、前記第1の素子に対して少なくとも1対の前記固定部材が配置されていることを特徴とする。
本発明に係わるロボットは、アームと、
前記アームに設けられたエンドエフェクタと、
前記アームと前記エンドエフェクタの間に設けられ、前記エンドエフェクタに加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なることを特徴とする。
本発明に係わる電子部品搬送装置は、電子部品を把持する把持部と、
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向からの視認において、前記第1の素子に対して少なくとも1対の前記固定部材が配置されていることを特徴とする。
本発明に係わる電子部品搬送装置は、電子部品を把持する把持部と、
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なることを特徴とする。
本発明に係わる電子部品検査装置は、電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向からの視認において前記第1の素子に対して少なくとも1対の前記固定部材が配置されていることを特徴とする。
本発明に係わる電子部品検査装置は、電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なることを特徴とする。
本発明に係わる部品加工装置は、工具を装着し、前記工具を変位させる工具変位部と、
前記工具に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の厚み方向からの視認において、前記第1の素子に対して少なくとも1対の前記固定部材が配置されていることを特徴とする。
本発明に係わる部品加工装置は、工具を装着し、前記工具を変位させる工具変位部と、
前記工具に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なることを特徴とする。
<第1実施形態>
図1は、本発明の力検出装置の第1実施形態を示す断面図である。図2は、図1に示す力検出装置の平面図である。図3は、図1に示す力検出装置を概略的に示す回路図である。図4は、図1に示す力検出装置の第1の素子を概略的に示す断面図である。図5は、図1に示す力検出装置の第2の素子を概略的に示す断面図である。
図1および図2に示す力検出装置1は、外力(モーメントを含む)を検出する機能、すなわち、互いに直交する3軸(α(X)軸、β(Y)軸、γ(Z)軸)に沿って加えられた外力を検出する機能を有する。
また、第1の基板2の平面視での中央部には、その第1の基板2を第1の対象物に取り付ける締結部(第1の取付部)23が設けられている。同様に、第2の基板3の平面視での中央部には、その第2の基板3を第2の対象物に取り付ける締結部(第2の取付部)33が設けられている。第1の対象物、第2の対象物の具体例としては、例えば、ロボットのアームとエンドエフェクタとの間に力検出装置1を設置する場合、前記アームとエンドエフェクタとの一方が前記第1の対象物であり、他方が前記第2の対象物である。外力は、第1の対象物、第2の対象物から、締結部23、33を中心として第1の基板2、第2の基板3に加わる。なお、各締結部23、33としては、特に限定されず、例えば、雌ネジ等が挙げられ、この場合、雄ネジを前記雌ネジに螺合して、第1の基板2、第2の基板3をそれぞれ第1の対象物、第2の対象物に取り付ける。このように、力検出装置1を第1の対象物、第2の対象物に取り付ける際は、第1の基板2、第2の基板3に対して特別な加工を施すことなく、容易かつ迅速に、その取り付け作業を行うことができる。
また、各与圧ボルト71は、それぞれ、基端部に頭部715を有し、先端部の外周部に雄ネジ716を有している。そして、第1の基板2には、2つの与圧ボルト71が挿入される2つの孔25が形成され、第2の基板3には、2つの与圧ボルト71の雄ネジ716と螺合する2つの雌ネジ35が形成されている。
各与圧ボルト71の構成材料としては、特に限定されず、例えば、各種の樹脂材料、各種の金属材料等を用いることができる。
これにより、電荷出力素子10の出力と、電荷出力素子10a、10bの出力との差分を取ることにより、Z軸方向の外力は、電荷出力素子10a、10bを設けない場合の約2倍の値として検出される。一方、電荷出力素子10の出力と、電荷出力素子10a、10bの出力との差分を取ることにより、各与圧ボルト71、第1の基板2、第2の基板3等が熱膨張したとき等の与圧ボルト71が加える与圧の変動分を補償することができる。
なお、本実施形態のように、電荷出力素子10a、10bを電荷出力素子10の近傍に配置することより、各与圧ボルト71が電荷出力素子10に加える与圧の前記熱膨張等による変動と、各与圧ボルト71が電荷出力素子10a、10bに加える与圧の前記熱膨張等により変動とを近似させることができる。
まず、電荷出力素子(第1の素子)10について説明する。
電荷出力素子10は、互いに直交する3軸(α(X)軸、β(Y)軸、γ(Z)軸)に沿って加えられた(受けた)外力のそれぞれに応じて3つの電荷Qx、Qy、Qzを出力する機能を有する。
図示の構成では、図4中の下側から、第1のセンサー12、第2のセンサー13、第3のセンサー14の順で積層されているが、本発明はこれに限られない。センサー12、13、14の積層順は任意である。
第1のセンサー12は、第1の結晶軸CA1を有する第1の圧電体層121と、第1の圧電体層121と対向して設けられ、第2の結晶軸CA2を有する第2の圧電体層123と、第1の圧電体層121と第2の圧電体層123との間に設けられ、電荷Qを出力する出力電極層122を有する。
第2のセンサー13は、第3の結晶軸CA3を有する第3の圧電体層131と、第3の圧電体層131と対向して設けられ、第4の結晶軸CA4を有する第4の圧電体層133と、第3の圧電体層131と第4の圧電体層133との間に設けられ、電荷Qzを出力する出力電極層132を有する。
第3のセンサー14は、第5の結晶軸CA5を有する第5の圧電体層141と、第5の圧電体層141と対向して設けられ、第6の結晶軸CA6を有する第6の圧電体層143と、第5の圧電体層141と第6の圧電体層143との間に設けられ、電荷Qxを出力する出力電極層142を有する。
電荷出力素子(第2の素子)10aと電荷出力素子(第2の素子)10bとは、同様のものである。そして、図5に示すように、電荷出力素子10a、10bは、それぞれ、前記電荷出力素子10において、第1のセンサー12および第3のセンサー14を省略した構造をなしている。この電荷出力素子10a、10bは、互いに直交する3軸のうちのγ(Z)軸に沿って加えられた外力、すなわち、与圧ボルト71により電荷出力素子10、10a、10bに加えられる与圧の方向と同じ方向の外力に応じて電荷Qzを出力する機能を有する。
なお、電荷出力素子10a、10bとして、前記電荷出力素子10と同様のものを用いてもよい。
電荷出力素子10には、変換出力回路90a、90b、90cが接続されている。変換出力回路90aは、電荷出力素子10から出力された電荷Qx1を電圧Vx1に変換する機能を有する。変換出力回路90bは、電荷出力素子10から出力された電荷Qz1を電圧Vz1に変換する機能を有する。変換出力回路90cは、電荷出力素子10から出力された電荷Qy1を電圧Vy1に変換する機能を有する。変換出力回路90a、90b、90cは、同様であるので、以下では、代表的に、変換出力回路90cについて説明する。
外力検出回路40は、電荷出力素子10に接続された変換出力回路90aから出力される電圧Vx1と、変換出力回路90bから出力される電圧Vz1と、変換出力回路90cから出力される電圧Vy1と、電荷出力素子10aに接続された変換出力回路90bから出力される電圧Vz11と、電荷出力素子10bに接続された変換出力回路90bから出力される電圧Vz12とに基づき、加えられた外力を検出する機能を有する。外力検出回路40は、電荷出力素子10に対する変換出力回路90a、90b、90c、電荷出力素子10aに対する変換出力回路90b、電荷出力素子10bに対する変換出力回路90bに接続されたADコンバーター401と、ADコンバーター401に接続された演算部(検出部)402とを有する。
すなわち、第1の基板2および第2の基板3の相対位置が互いにα(X)軸方向にずれる外力が加えられた場合、ADコンバーター401は、電圧Vx1を出力する。同様に、第1の基板2および第2の基板3の相対位置が互いにβ(Y)軸方向にずれる外力が加えられた場合、ADコンバーター401は、電圧Vy1を出力する。また、第1の基板2および第2の基板3の相対位置が互いにγ(Z)軸方向にずれる外力が加えられた場合、ADコンバーター401は、電圧Vz1、Vz11、Vz12を出力する。
演算部402は、デジタル変換された電圧Vx1、Vy1、Vz1、Vz11、Vz12に基づき、補正を行って、x軸方向の並進力成分Fx、y軸方向の並進力成分Fy、z軸方向の並進力成分Fzを演算する機能を有する。各力成分は、以下の式により求めることができる。
Fy=Vy1
Fz=Vz1−(Vz11+Vz12)
このように、力検出装置1は、3軸力を検出することができる。
前記のように、Fzを求める際は、電圧Vz1と、電圧(Vz11+Vz12)との差分を取ることにより、補正を行う(補償する)。すなわち補正した外力を検出する。これにより、電圧Vz1に含まれる熱膨張に起因する誤差成分の全部または一部が電圧Vz1から除去される。なお、補正には、誤差成分を完全に除去する場合に限らず、誤差成分を低減する場合も含まれる。
また、第1の基板2の平面視で、締結部23と、締結部33と、電荷出力素子10とが重なっているので、第1の基板2、第2の基板3に作用する外力により、第1の基板2、第2の基板3が撓んでしまうことを抑制することができ、これにより、第1の基板2、第2の基板3の厚さを薄くすることができ、装置の小型化、軽量化を図ることができる。
図6は、本発明の力検出装置の第2実施形態を示す分解斜視図である。図7は、図6に示す力検出装置を概略的に示す回路図である。
以下、第2実施形態について、前述した第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図6に示すように、力検出装置1は、電荷出力素子10を4つ、1対の電荷出力素子10a、10bを4組、与圧ボルト71を8つ有している。各電荷出力素子10の位置は、特に限定されないが、本実施形態では、各電荷出力素子10は、第1の基板2、第2の基板3の外周部に、その第1の基板2、第2の基板3の周方向に沿って、等角度間隔(90°間隔)に配置されている。これにより、偏りなく外力を検出することができる。そして、6軸力を検出することができる。また、本実施形態では、各電荷出力素子10は、全て同じ方向を向いているが、これに限定されるものではない。
また、各電荷出力素子10は、回路基板4の第1の基板2側の面に配置されている。なお、各電荷出力素子10は、回路基板4の第2の基板3側の面に配置されていてもよい。
また、回路基板4は、対応する電荷出力素子10bから出力された電荷Qz12を電圧Vz12に変換する変換出力回路90bと、電荷Qz22を電圧Vz22に変換する変換出力回路90bと、電荷Qz32を電圧Vz32に変換する変換出力回路90bと、電荷Qz42を電圧Vz42に変換する変換出力回路90bとを備えている。
また、回路基板4は、加えられた外力を検出する外力検出回路40を備えている。
図7に示すように、各電荷出力素子10には、それぞれ、変換出力回路90a、90b、90cが接続されている。また、各電荷出力素子10a、10bには、それぞれ、変換出力回路90bが接続されている。各変換出力回路90a、90b、90cは、前述した第1実施形態の変換出力回路90a、90b、90cと同様であるので、その説明は省略する。
外力検出回路40は、各変換出力回路90aから出力される電圧Vx1、Vx2、Vx3、Vx4と、各変換出力回路90bから出力される電圧Vz1、Vz2、Vz3、Vz4、Vz11、Vz12、Vz21、Vz22、Vz31、Vz32、Vz41、Vz42と、各変換出力回路90cから出力される電圧Vy1、Vy2、Vy3、Vy4とに基づき、加えられた外力を検出する機能を有する。なお、各電荷出力素子10、各電荷出力素子10a、各電荷出力素子10bに対応する前記電圧を図6中、括弧書きで示す。
演算部402は、デジタル変換された電圧Vx1、Vy1、Vz1、Vx2、Vy2、Vz2、Vx3、Vy3、Vz3、Vx4、Vy4、Vz4、Vz11、Vz12、Vz21、Vz22、Vz31、Vz32、Vz41、Vz42に基づき、補正を行って、x軸方向の並進力成分Fx、y軸方向の並進力成分Fy、z軸方向の並進力成分Fz、x軸周りの回転力成分Mx、y軸周りの回転力成分My、z軸周りの回転力成分Mzを演算する機能を有する。各力成分は、以下の式により求めることができる。
Fy=Vy1+Vy2+Vy3+Vy4
Fz=Vz1−(Vz11+Vz12)+Vz2−(Vz21+Vz22)+Vz3−(Vz31+Vz32)+Vz4−(Vz41+Vz42)
Mx=[−{Vz2−(Vz21+Vz22)}+{Vz4−(Vz41+Vz42)}]×R
My=[−{Vz1−(Vz11+Vz12)}+{Vz3−(Vz31+Vz32)}]×R
Mz=(Vx2−Vx4+Vy1−Vy3)×R
ここで、Rは定数である。
このように、力検出装置1は、6軸力を検出することができる。
この力検出装置1によれば、前述した第1実施形態と同様の効果が得られる。
図8は、本発明の力検出装置の第3実施形態を示す平面図である。
以下、第3実施形態について、前述した第2実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図8に示すように、第3実施形態の力検出装置1は、4つの電荷出力素子(第1の素子)10と、1つの電荷出力素子(第2の素子)10aとを有しており、その1つの電荷出力素子10aの検出結果を用いて補正を行う。これにより、部品点数を削減することができ、また、構成を簡素化することができる。
Fx=Vx1+Vx2+Vx3+Vx4
Fy=Vy1+Vy2+Vy3+Vy4
Fz=Vz1+Vz2+Vz3)+Vz4−(Vz11×N)
Mx=[−{Vz2−(Vz11×2)}+{Vz4−(Vz11×2)}]×R
My=[−{Vz1−(Vz11×2)}+{Vz3−(Vz11×2)}]×R
Mz=(Vx2−Vx4+Vy1−Vy3)×R
ここで、Rは定数である。
また、Nは、与圧ボルトの本数であり、図示の構成では、「8」である。
この力検出装置1によれば、前述した第2実施形態と同様の効果が得られる。
図9は、本発明の力検出装置の第4実施形態を示す平面図である。
以下、第4実施形態について、前述した第2実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図9に示すように、第4実施形態の力検出装置1では、1つの電荷出力素子10に対し、1つの電荷出力素子10aのみが設けられている。これにより、第2実施形態に比べ、部品点数を削減することができ、また、構成を簡素化することができる。また、第3実施形態に比べ、測定精度を高めることができる。
Fx=Vx1+Vx2+Vx3+Vx4
Fy=Vy1+Vy2+Vy3+Vy4
Fz=Vz1−(Vz11×2)+Vz2−(Vz21×2)+Vz3−(Vz31×2)+Vz4−(Vz41×2)
Mx=[−{Vz2−(Vz21×2)}+{Vz4−(Vz41×2)}]×R
My=[−{Vz1−(Vz11×2)}+{Vz3−(Vz31×2)}]×R
Mz=(Vx2−Vx4+Vy1−Vy3)×R
ここで、Rは定数である。
この力検出装置1によれば、前述した第2実施形態と同様の効果が得られる。
次に、図10に基づき、本発明のロボットの実施形態である単腕ロボットを説明する。以下、本実施形態について、前述した各実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図10は、本発明の力検出装置を用いた単腕ロボットの1例を示す図である。図10の単腕ロボット500は、基台510と、アーム520と、アーム520の先端側に設けられたエンドエフェクタ530と、アーム520とエンドエフェクタ530との間に設けられた力検出装置100とを有する。なお、力検出装置100としては、前述した各実施形態と同様のものを用いる。
アーム520は、第1のアーム要素521、第2のアーム要素522、第3のアーム要素523、第4のアーム要素524および第5のアーム要素525を有しており、隣り合うアーム同士を回動自在に連結することにより構成されている。アーム520は、制御部の制御によって、各アーム要素の連結部を中心に複合的に回転または屈曲することにより駆動する。
なお、エンドエフェクタ530は、ここでは、ハンドであるが、本発明では、これに限定されるものではない。エンドエフェクタの他の例としては、例えば、部品検査用器具、部品搬送用器具、部品加工用器具、部品組立用器具、測定器等が挙げられる。これは、他の実施形態におけるエンドエフェクタについても同様である。
なお、図示の構成では、アーム520は、合計5本のアーム要素によって構成されているが、本発明はこれに限られない。アーム520が、1本のアーム要素に構成されている場合、2〜4本のアーム要素によって構成されている場合、6本以上のアーム要素によって構成されている場合も本発明の範囲内である。
次に、図11に基づき、本発明のロボットの実施形態である複腕ロボットを説明する。以下、本実施形態について、前述した各実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図11は、本発明の力検出装置を用いた複腕ロボットの1例を示す図である。図11の複腕ロボット600は、基台610と、第1のアーム620と、第2のアーム630と、第1のアーム620の先端側に設けられた第1のエンドエフェクタ640aと、第2のアーム630の先端側に設けられた第2のエンドエフェクタ640bと、第1のアーム620と第1のエンドエフェクタ640a間および第2のアーム630と第2のエンドエフェクタ640bとの間に設けられた力検出装置100を有する。なお、力検出装置100としては、前述した各実施形態と同様のものを用いる。
第1のアーム620は、第1のアーム要素621および第2のアーム要素622を回動自在に連結することにより構成されている。第2のアーム630は、第1のアーム要素631および第2のアーム要素632を回動自在に連結することにより構成されている。第1のアーム620および第2のアーム630は、制御部の制御によって、各アーム要素の連結部を中心に複合的に回転または屈曲することにより駆動する。
なお、図示の構成では、アームは合計2本であるが、本発明はこれに限られない。複腕ロボット600が3本以上のアームを有している場合も、本発明の範囲内である。
次に、図12、図13に基づき、本発明の実施形態である電子部品検査装置および電子部品搬送装置を説明する。以下、本実施形態について、前述した各実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図12は、本発明の力検出装置を用いた電子部品検査装置および電子部品搬送装置の1例を示す図である。図13は、本発明の力検出装置を用いた電子部品搬送装置の1例を示す図である。
次に、図14に基づき、本発明の部品加工装置の実施形態を説明する。以下、本実施形態について、前述した各実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図14は、本発明の力検出装置を用いた部品加工装置の1例を示す図である。図14の部品加工装置800は、基台810と、基台810の上面に起立形成された支柱820と、支柱820の側面に設けられた送り機構830と、送り機構830に昇降可能に取り付けられた工具変位部840と、工具変位部840に接続された力検出装置100と、力検出装置1を介して工具変位部840に装着された工具850を有する。なお、力検出装置100としては、前述した各実施形態と同様のものを用いる。
次に、図15に基づき、本発明の移動体の実施形態を説明する。以下、本実施形態について、前述した各実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
図15は、本発明の力検出装置を用いた移動体の1例を示す図である。図15の移動体900は、与えられた動力により移動することができる。移動体900は、特に限定されないが、例えば、自動車、バイク、飛行機、船、電車等の乗り物、2足歩行ロボット、車輪移動ロボット等のロボット等である。
動力部920から供給された動力によって本体910が移動すると、移動に伴い振動や加速度等が生じる。力検出装置100は、移動に伴い生じた振動や加速度等による外力を検出する。力検出装置100によって検出された外力は、制御部930に伝達される。制御部930は、力検出装置100から伝達された外力に応じて動力部920等を制御することにより、姿勢制御、振動制御および加速制御等の制御を実行することができる。
以上、本発明の力検出装置、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。
また、前記実施形態では、固定部材として、与圧ボルト(ネジ)を用いたが、本発明では、これに限定されない。
また、前記実施形態では、外力に応じて信号を出力する素子として、圧電体を用いたものを使用しているが、本発明では、加えられる外力に応じて出力が変化するものであればこれに限定されず、その他、例えば、感圧導電体等を用いたものが挙げられる。
また、本発明の力検出装置は、ロボット、電子部品搬送装置、電子部品検査装置および部品加工装置に限らず、他の装置、例えば、他の搬送装置、他の検査装置、振動計、加速度計、重力計、動力計、地震計、傾斜計等の測定装置、入力装置等にも適用することができる。
Claims (17)
- 第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持して、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向からの視認において前記第1の素子に対して少なくとも1対の前記固定部材が配置されていることを特徴とする力検出装置。 - 前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なる請求項1に記載の力検出装置。
- 第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持して、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なることを特徴とする力検出装置。 - 前記固定部材により前記第1の素子に加わる圧力の方向と前記第2の素子に加わる圧力の方向とが同じであり、
前記第1の基板に、前記固定部材により前記第1の素子に加わる圧力の方向と同じ方向の外力が加わったとき、前記第1の素子と前記第2の素子とは、前記外力を互いに逆方向の力として検出する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 前記第1の基板は、前記第1の基板を第1の対象物に取り付ける第1の取付部を有し、
前記第2の基板は、前記第2の基板を第2の対象物に取り付ける第2の取付部を有し、
前記第1の基板の厚み方向からの投影像において、前記第1の取付部の影と、前記第2の取付部の影と、前記第1の素子の影とが重なっている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 前記固定部材は、頭部を有するネジであり、
前記第2の素子は、前記第1の基板と前記頭部との間に設けられている請求項1ないし5のいずれか1項に記載の力検出装置。 - 前記第1の素子から出力される信号および前記第2の素子から出力される信号に基づいて、補正した外力を検出する検出部を有する請求項1ないし6のいずれか1項に記載の力検出装置。
- 前記検出部は、前記第1の素子から出力される信号に基づいて求めた電圧と、前記第2の素子から出力される信号に基づいて求めた電圧との差分を取ることにより、補正した外力を検出する請求項7に記載の力検出装置。
- 複数の前記第1の素子を有し、
前記各第1の素子は、前記第1の基板または前記第2の基板の周方向に、等角度間隔に配置されている請求項1ないし8のいずれか1項に記載の力検出装置。 - アームと、
前記アームに設けられたエンドエフェクタと、
前記アームと前記エンドエフェクタの間に設けられ、前記エンドエフェクタに加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向からの視認において、前記第1の素子に対して少なくとも1対の前記固定部材が配置されていることを特徴とするロボット。 - アームと、
前記アームに設けられたエンドエフェクタと、
前記アームと前記エンドエフェクタの間に設けられ、前記エンドエフェクタに加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なることを特徴とするロボット。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向からの視認において、前記第1の素子に対して少なくとも1対の前記固定部材が配置されていることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なることを特徴とする電子部品搬送装置。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向からの視認において前記第1の素子に対して少なくとも1対の前記固定部材が配置されていることを特徴とする電子部品検査装置。 - 電子部品を把持する把持部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
前記把持部に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なることを特徴とする電子部品検査装置。 - 工具を装着し、前記工具を変位させる工具変位部と、
前記工具に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の厚み方向からの視認において、前記第1の素子に対して少なくとも1対の前記固定部材が配置されていることを特徴とする部品加工装置。 - 工具を装着し、前記工具を変位させる工具変位部と、
前記工具に加えられる外力を検出する力検出装置と、を備え、
前記力検出装置は、第1の基板と、
第2の基板と、
外力に応じて信号を出力する第1の素子と、
前記第1の基板と前記第2の基板との間に設けられた前記第1の素子を挟持し、前記第1の素子に圧力を加える固定部材と、
前記第1の基板と前記固定部材との間に設けられ、前記固定部材により前記第1の素子に加えられる圧力の方向と同じ方向の外力成分に応じて信号を出力する第2の素子と、を備え、
前記第1の基板の厚み方向において、前記第1の素子の中心は前記第2の素子の中心と異なることを特徴とする部品加工装置。
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