JP6244206B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
また、前記測定手段は、前記レーザ光及び前記反射光が通過する通過孔と、前記測定対象物に対面して前記レーザ光及び前記反射光が透過するカバーと、該カバーと該測定対象物との間に水を供給する水ノズルとを備え、該水ノズルから供給される水で該カバーと該測定対象物との間を満たすことにより、該反射光を外乱から保護する保護手段を備えることが好ましい。
11 基台、12 ターンテーブル、13 チャックテーブル、131 保持面、
14 研削手段、141 スピンドル、143 回転手段、
15 研削送り手段、151 モータ、153 移動部、154 ガイド、
16,16A,16B 測定手段、
61 測定部、611 発光部、612 レンズ、613 イメージセンサー、
614 演算部、62 ハーフミラー、621 反射面、
63 ミラー、631 反射面、64 フィルター、
65 保護手段、651a,651b 通過孔、652a,652b カバー、
653 水ノズル、654,655 水供給路、681〜683 レーザ光、
684,685 反射光、
17 算出手段、18 水供給源、19 モータ、
20 研削ホイール、21 研削砥石、
30 板状ワーク、31 上面
Claims (4)
- 保持面で板状ワークを保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該板状ワークの上面を研削する研削手段と、
該チャックテーブルの上面高さと該チャックテーブルに保持される板状ワークの上面高さとを測定する測定手段と、
該測定手段により測定されたチャックテーブルの上面高さと該板状ワークの上面高さとの差を板状ワークの厚みとして算出する算出手段と、
を備えた研削装置であって、
該測定手段は、
該チャックテーブルの該保持面に平行な方向へ向けてレーザ光を放射する発光部と、
該発光部から放射されたレーザ光が測定対象物において反射した反射光を受光するイメージセンサーと、
該イメージセンサーが反射光を検出した位置に基づき該発光部から該測定対象物までの距離を算出する演算部と、
該発光部が放射した該レーザ光を、該保持面に平行な方向である第1の方向と、該第1の方向に直交するとともに該チャックテーブルの保持面に垂直な方向である第2の方向とに分割するハーフミラーと、
該発光部が放射し該ハーフミラーを透過した該第1の方向のレーザ光を、該第2の方向に反射させ該チャックテーブルの該保持面に垂直な方向に入射させるミラーと、
から構成され、
該算出手段は、
該ハーフミラーで反射したレーザ光が該チャックテーブルの該保持面又は該チャックテーブルに保持された該板状ワークの該上面のいずれか一方において反射した反射光に基づいて該演算部が算出した該発光部から該チャックテーブルの該保持面又は該チャックテーブルに保持された該板状ワークの該上面までの距離から、該発光部から該ハーフミラーまでの距離を差し引いた差と、
該ハーフミラーを透過したレーザ光が該チャックテーブルの該保持面又は該チャックテーブルに保持された該板状ワークの該上面のいずれか一方において反射した反射光に基づいて該演算部が算出した該発光部から該チャックテーブルの該保持面又は該チャックテーブルに保持された該板状ワークの該上面までの距離から、該発光部から該ミラーまでの距離を差し引いた差と
の差を算出することにより、該板状ワークの厚みを求める、
研削装置。 - 保持面で板状ワークを保持するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された該板状ワークの上面を研削する研削手段と、
該チャックテーブルの上面高さと該チャックテーブルに保持される板状ワークの上面高さとを測定する測定手段と、
該測定手段により測定されたチャックテーブルの上面高さと該板状ワークの上面高さとの差を板状ワークの厚みとして算出する算出手段と、
を備えた研削装置であって、
該測定手段は、
該チャックテーブルの該保持面に垂直な方向へ向けてレーザ光を放射する発光部と、
該発光部から放射されたレーザ光が測定対象物において反射した反射光を受光するイメージセンサーと、
該イメージセンサーが反射光を検出した位置に基づき該発光部から該測定対象物までの距離を算出する演算部と、
該発光部が放射した該レーザ光を、該保持面に平行な方向である第1の方向と、該第1の方向に直交するとともに該チャックテーブルの保持面に垂直な方向である第2の方向とに分割するハーフミラーと、
該発光部が放射し該ハーフミラーで反射した該第1の方向のレーザ光を、該第2の方向に反射させ該チャックテーブルの該保持面に垂直な方向に入射させるミラーと、
から構成され、
該算出手段は、
該ハーフミラーで反射したレーザ光が該チャックテーブルの該保持面又は該チャックテーブルに保持された該板状ワークの該上面のいずれか一方において反射した反射光に基づいて該演算部が算出した該発光部から該チャックテーブルの該保持面又は該チャックテーブルに保持された該板状ワークの該上面までの距離から、該発光部から該ハーフミラーまでの距離を差し引いた差と、
該ハーフミラーを透過したレーザ光が該チャックテーブルの該保持面又は該チャックテーブルに保持された該板状ワークの該上面のいずれか一方において反射した反射光に基づいて該演算部が算出した該発光部から該チャックテーブルの該保持面又は該チャックテーブルに保持された該板状ワークの該上面までの距離から、該発光部から該ミラーまでの距離を差し引いた差と
の差を算出することにより、該板状ワークの厚みを求める、
研削装置。 - 前記測定手段は、
前記ミラーが前記レーザ光を反射する反射面に重ねて配置され、前記イメージセンサーが受光する反射光を減衰させるフィルターを備える、
請求項1又は2記載の研削装置。 - 前記測定手段は、
前記レーザ光及び前記反射光が通過する通過孔と、前記測定対象物に対面して前記レーザ光及び前記反射光を透過させるカバーと、該カバーと該測定対象物との間に水を供給する水ノズルとを備え、該水ノズルから供給される水で該カバーと該測定対象物との間を満たすことにより、該反射光を外乱から保護する保護手段を備える、
請求項1乃至3のいずれかに記載の研削装置。
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