JP6232464B2 - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
<1.本発明の不揮発性半導体記憶装置の構成>
1−1.メモリセルについて
1−1−1.書き込み選択メモリセルの動作
1−1−2.書き込み非選択メモリセルの動作
1−1−3.読み出しメモリセルの動作
1−1−4.消去メモリセルの動作
1−2.チャージポンプ回路について
<2.作用および効果>
<3.4個の容量素子を備えたチャージポンプ回路について>
<4.他の実施の形態による不揮発性半導体記憶装置について>
<5.フィン部を備えた不揮発性半導体記憶装置について>
<6.その他>
図1に示すように、不揮発性半導体記憶装置1には、メモリセル2と、チャージポンプ回路4とが同じ半導体基板S1上に形成されており、例えばチャージポンプ回路4で入力電圧を昇圧して得られた電圧を、メモリセル2のメモリゲート電極MGに印加し得る。なお、図1では、1つのメモリセル2を図示しているが、実際には複数のメモリセル2が行方向および列方向に配置されており、行列状に配置されたメモリセル2でメモリセルアレイを構成する。
メモリセル2は、例えばP型の半導体基板S1上に、N型のメモリトランジスタMTを形成するメモリゲート構造体5と、N型MOS(Metal-Oxide-Semiconductor)の第1選択トランジスタT1を形成する第1選択ゲート構造体6と、同じくN型MOSの第2選択トランジスタT2を形成する第2選択ゲート構造体7とが形成されている。
電荷蓄積層ECに電荷が注入されるメモリセル(書き込み選択メモリセル)2の動作を説明する。メモリゲート電極MGには、メモリゲート線MLから電荷蓄積ゲート電圧Vprog(例えば、12[V]の電圧)が印加され、半導体基板S1には、基板電圧として基準電圧Vss(例えば、0[V]の電圧)が印加される。第2選択ゲート電極SGには、第2選択ゲート線SGLからゲートオフ電圧として基準電圧Vss(例えば、0[V]の電圧)が印加され、ソース領域8bには、ソース線SLからソースオフ電圧として基準電圧Vss(例えば、0[V]の電圧)が印加される。
書き込み選択メモリセルと第1選択ゲート線DLを共有するメモリセルであって、電荷蓄積層ECへの電荷の注入が阻止されるメモリセル(書き込み非選択メモリセル)2の動作について説明する。書き込み非選択メモリセル2には、書き込み選択メモリセルの場合と同様に、メモリゲート線MLからメモリゲート電極MGに電荷蓄積ゲート電圧Vprogが印加され、半導体基板S1に基板電圧として基準電圧Vssが印加される。
メモリセル2のデータの読み出し動作では、読み出し電圧を電源電圧Vdd(例えば0[V]より大きく、1.5[V]以下の電圧)とし、ビット線BLを電源電圧Vddにプリチャージし、ソース電圧を基準電圧Vss(例えば、0[V]の電圧)とし、ソース線SLを基準電圧Vssにする。データを読み出すメモリセル(読み出しメモリセル)2において電荷蓄積層ECに電荷が蓄積されている場合(データが書き込まれている場合)には、メモリゲート構造体5直下の半導体基板S1が非導通状態となり、ドレイン領域8aとソース領域8bとの電気的な接続が遮断され得る。これにより、データを読み出すメモリセル2では、ドレイン領域8aに接続されたビット線BLで読み出し電圧とした電源電圧Vddがそのまま維持され得る。
メモリセル2の電荷蓄積層EC内から電荷を引き抜くデータの消去動作時には、メモリゲート線MLからメモリゲート電極MGに消去ゲート電圧Verase(例えば、-12[V])がが印加されることで、基板電圧として基準電圧Vss(例えば、0[V]の電圧)になっている半導体基板S1に向けて電荷蓄積層EC内の電荷が引き抜かれてデータが消去され得る。
かかる構成に加えて、この不揮発性半導体記憶装置1には、複数の容量素子C1,C2,…と、PN接合ダイオードD1,D2,D3,…とを備えたディクソン型のチャージポンプ回路4が設けられている。ここで、図1では、例えば2つの容量素子C1,C2が配置された領域の断面構成を示しており、PN接合ダイオードD1,D2間に一の容量素子C1が形成され、PN接合ダイオードD2,D3間に他の容量素子C2が形成されている。以下、容量素子C1に着目して説明し、当該容量素子C1と基本的構成が同じ容量素子C2については説明の重複を避けるためその説明は省略する。
以上の構成において、不揮発性半導体記憶装置1では、メモリセル2が設けられた半導体基板S1の絶縁層ISにチャージポンプ回路4を設け、チャージポンプ回路4における容量素子C1,C2の容量側壁電極19a(19b)および容量電極17a(17b)間の容量側壁絶縁膜21を、メモリセル2の側壁スペーサ13a,13bと同一層とした。
なお、上述した実施の形態においては、2つの容量素子C1,C2を備えたディクソン型のチャージポンプ回路4について説明したが、本発明はこれに限らず、3つや4つ等その他複数の容量素子を備えたディクソン型のチャージポンプ回路としてもよい。ここで、例えば4つの容量素子を備えた、本発明によるディクソン型のチャージポンプ回路の平面レイアウトについて、以下説明する。
なお、上述した実施の形態においては、図1に示すメモリゲート電極MG、第1選択ゲート電極DG、第2選択ゲート電極SG、容量電極17a…、および容量側壁電極19a…等をポリシリコン等の半導体材料により形成した場合について述べたが、本発明はこれに限らず、これらメモリゲート電極、第1選択ゲート電極、第2選択ゲート電極、容量電極、および容量側壁電極を、例えばアルミ(Al)や、チタンアルミ(TiAl)、炭化タンタル(TaC)、窒化ケイ素タンタル(TaSiN)等の金属材料により形成するようにしてもよい。
図7は、半導体基板にフィン部S2,S3を設けた他の実施の形態による不揮発性半導体記憶装置81の平面レイアウトを示した概略図であり、このようなフィン部S2,S3を備えた不揮発性半導体記憶装置81であっても上述した実施の形態と同様の効果を得ることができる。なお、図7では、主にフィン部S2,S3、メモリゲート構造体85、第1選択ゲート構造体86、第2選択ゲート構造体87、容量電極構造体91、および容量側壁電極92に着目して図示した構成となっている。ここでは、図1に示した不揮発性半導体記憶装置1や図6に示した不揮発性半導体記憶装置41と同じ構成について説明は省略し、当該不揮発性半導体記憶装置1,41との相違点に着目して以下説明する。
なお、本発明は、上述した各実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能であり、例えば「(1−1−1)書き込み選択メモリセルの動作」、「(1−1−2)書き込み非選択メモリセルの動作」、「(1−1−3)読み出しメモリセルの動作」および「(1−1−4)消去メモリセルの動作」における電圧値以外の他の電圧値を適用して各動作を実行してもよい。
2,42,82 メモリセル
4,31,44,84 チャージポンプ回路
5,45,85 メモリゲート構造体
6,46,86 第1選択ゲート構造体
7,47,87 第2選択ゲート構造体
10 下部ゲート絶縁膜
11,48 上部ゲート絶縁膜
13a,13b,51a,51b,97a,97b 側壁スペーサ
17a,17b,62,93 容量電極
21,32,65,106 容量側壁絶縁膜
28 導通部
19a,19b,36a,36b,36c,36c,36d,63,92 容量側壁電極
52a,52b,96a,96b,98a,98b ゲート側壁絶縁膜
66,105,107 容量電極間絶縁膜
MG,MG1,MG2 メモリゲート電極
DG,DG1,DG2 第1選択ゲート電極
SG,SG1,SG2 第2選択ゲート電極
EC 電荷蓄積層
C1,C2,C1a,C2a,C3a,C4a,C1b,C1c 容量素子
D1,D2,D3,D1a,D2a,D3a,D4a,D5a PN接合ダイオード
Claims (7)
- 半導体基板上に設けられたメモリセルと、前記半導体基板に形成された絶縁層上に設けられたチャージポンプ回路とを備えた不揮発性半導体記憶装置であって、
前記メモリセルは、
下部メモリゲート絶縁膜、電荷蓄積層、上部メモリゲート絶縁膜、およびメモリゲート電極が積層されたメモリゲート構造体と、
前記メモリゲート構造体の一方の側面に沿って設けられ、絶縁材料でなる一の側壁スペーサと、
前記メモリゲート構造体の他方の側面に沿って設けられ、前記絶縁材料でなる他の側壁スペーサと、
第1選択ゲート絶縁膜上に第1選択ゲート電極が設けられ、前記一の側壁スペーサに沿って形成された第1選択ゲート構造体と、
第2選択ゲート絶縁膜上に第2選択ゲート電極が設けられ、前記他の側壁スペーサに沿って形成された第2選択ゲート構造体と、
前記第1選択ゲート構造体と隣接した前記半導体基板表面に前記第1選択ゲート電極と絶縁するように設けられ、ビット線が電気的に接続されたドレイン領域と、
前記第2選択ゲート構造体と隣接した前記半導体基板表面に前記第2選択ゲート電極と絶縁するように設けられ、ソース線が電気的に接続されたソース領域とを備え、
前記チャージポンプ回路は、複数の容量素子が設けられており、
各前記容量素子には、
容量電極と容量側壁電極との間に、前記一の側壁スペーサおよび前記他の側壁スペーサと同一層でなる容量側壁絶縁膜が設けられており、
前記チャージポンプ回路は、第1クロックの電圧が印加される一の前記容量素子と、前記第1クロックと逆位相の第2クロックの電圧が印加される他の前記容量素子と、前記一の容量素子と前記他の容量素子との間に設けられたPN接合ダイオードと、を備え、
前記PN接合ダイオードは、前記容量側壁電極と同一層でなり、かつ前記容量側壁電極の導電型とは異なる導電型からなる逆導電型接合部と、前段の前記容量素子に設けられた前記容量側壁電極と前記逆導電型接合部とを電気的に接続する導通部と、を備える
ことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記容量電極は、前記メモリゲート電極と同一層でなり、
前記容量側壁電極は、前記第1選択ゲート電極および前記第2選択ゲート電極と同一層でなる
ことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記容量素子は、
電荷蓄積層、絶縁膜および前記容量電極が積層された容量電極構造体を備え、
前記容量側壁絶縁膜は、
前記容量電極構造体の側壁に沿って形成され、かつ、該容量電極構造体に設けられた前記電荷蓄積層を備えずに、前記一の側壁スペーサおよび前記他の側壁スペーサを構成する絶縁材料と同じ絶縁材料からなる
ことを特徴とする請求項1または2に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記容量側壁絶縁膜は、前記一の側壁スペーサおよび前記他の側壁スペーサの膜厚と同じ膜厚に形成されている
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記メモリゲート電極と、前記第1選択ゲート電極と、前記第2選択ゲート電極と、前記容量電極と、前記容量側壁電極とには、金属材料が含まれている
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記半導体基板は、前記絶縁層から突き出たフィン部を備え、
前記メモリセルは、
前記メモリゲート構造体、前記第1選択ゲート構造体、前記第2選択ゲート構造体、前記一の側壁スペーサおよび前記他の側壁スペーサが、前記フィン部を跨ぐように前記絶縁層上に形成されている
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 前記メモリセルは、前記側壁スペーサに沿って壁状のゲート側壁絶縁膜を備え、
前記容量素子の前記容量電極および前記容量側壁電極間には、前記ゲート側壁絶縁膜と同一層でなる容量電極間絶縁膜が設けられている
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
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