JP6194515B2 - サファイア基板の製造方法およびiii族窒化物半導体発光素子の製造方法 - Google Patents
サファイア基板の製造方法およびiii族窒化物半導体発光素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6194515B2 JP6194515B2 JP2014133658A JP2014133658A JP6194515B2 JP 6194515 B2 JP6194515 B2 JP 6194515B2 JP 2014133658 A JP2014133658 A JP 2014133658A JP 2014133658 A JP2014133658 A JP 2014133658A JP 6194515 B2 JP6194515 B2 JP 6194515B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist
- resist pattern
- sapphire substrate
- manufacturing
- etching
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02002—Preparing wafers
- H01L21/02005—Preparing bulk and homogeneous wafers
- H01L21/02008—Multistep processes
- H01L21/0201—Specific process step
- H01L21/02019—Chemical etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0062—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
- H01L33/0066—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds with a substrate not being a III-V compound
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0062—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
- H01L33/0075—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds comprising nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/20—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular shape, e.g. curved or truncated substrate
- H01L33/22—Roughened surfaces, e.g. at the interface between epitaxial layers
Description
1.サファイア基板
図1は、本実施形態のサファイア基板の製造方法により製造されるサファイア基板100を示す正面図である。サファイア基板100は、第1面100aと第2面100bと凸部110とを有している。第1面100aは、多数の凸部110を有している。第1面100aは、半導体層を形成するための半導体層形成面である。第1面100aは、サファイアのc面である。第2面100bは、第1面100aの反対側の面である。第2面100bには、凸部は形成されていない。
図4は、本実施形態のエッチングに用いるエッチング装置1000の概略構成を示す図である。図4に示すように、エッチング装置1000は、チャンバー1100と、アンテナ1200と、第1の高周波電源1300と、第1の整合器1310と、下部電極1400と、トレイ1410と、第2の高周波電源1500と、第2の整合器1510と、ガス流入口1610と、ガス排出口1620と、第1のガス供給部1710と、第2のガス供給部1720と、第3のガス供給部1730と、第4のガス供給部1740と、を有している。
ここで、サファイア基板の製造方法の全体像について説明する。図5は、サファイア基板の製造方法の全体像を示す工程表である。図5に示すように、本実施形態のサファイア基板の製造工程は、第1のレジストパターン形成工程(S100)と、第2のレジストパターン形成工程(S200)と、サファイアウエハエッチング工程(S300)と、を有する。
図5に示すように、第2のレジストパターン形成工程(S200)は、第1のレジストエッチング工程(S210)と、アルゴンプラズマ照射工程(S220)と、第2のレジストエッチング工程(S230)と、を有する。この第2のレジストパターン形成工程は、第1のレジストパターン形成工程(S100)により形成されたレジストの形状を整える工程である。後述するように、錐台形状であったレジストを錐形状に整形する。
図6は、本実施形態のレジストのエッチング方法を説明するためのタイミングチャートである。図6に示すように、第1のレジストエッチング工程(S210)を、第1の期間T1に実施する。アルゴンプラズマ照射工程(S220)を、第2の期間T2に実施する。第2のレジストエッチング工程(S230)を、第3の期間T3に実施する。なお、第2の期間T2は、第1の期間T1の次の期間である。第3の期間T3は、第2の期間T2の次の期間である。
5−1.基板準備工程
まず、図7に示すように、ウエハW1を準備する。ウエハW1は、未だ凹凸形状の形成されていないサファイアウエハである。そして、図7に示すように、ウエハW1は、第1面W1aと第2面W1bとを有している。ウエハW1は、c面サファイアである。そして、第1面W1aは、c面である。第2面W1bは、第1面W1aの反対側の面である。
次に、図8に示すように、ウエハW1の第1面W1aに一様な厚みのレジストR0を塗布する。レジストR0は、公知のフォトレジストである。そのため、ウエハW1の第2面W1bの反対側には、レジストR0の表面R0aが露出している。そして、この状態でウエハW1をプリベークする。
75° ≦ θ1 ≦ 85°
次に、レジストR1をエッチングすることにより、レジストR1の形状を円錐形状もしくは多角錐形状のレジストR2の形状に整える。そして、レジストR1の平坦な表面R1bを消失させる。そのために、図4のエッチング装置1000を用いる。
ここで、図6に示すように、第1の期間T1に、第1のレジストエッチング工程(S210)を施す。この工程では、第1のガス供給部1710が、Cl2 ガスを供給する。また、第2のガス供給部1720は、Arガスを供給しない。アンテナ1200の電力を、600Wに設定する。下部電極1400のバイアスの電力を、1800Wに設定する。このように、サファイアウエハW1およびレジストR1にプラズマ化した塩素系ガスを供給して、レジストR1をエッチングする。この工程におけるエッチング装置1000の内圧は、0.1Pa以上2.0Pa以下の範囲内である。この数値範囲は例示であり、これ以外の数値を用いてもよい。
次に、第2の期間T2に、アルゴンプラズマ照射工程(S220)を実施する。この工程では、第1のガス供給部1710が、Cl2 ガスを供給しない。また、第2のガス供給部1720は、Arガスを供給する。アンテナ1200の電力を、300Wに設定する。下部電極1400のバイアスの電力を、0Wに設定する。つまり、バイアスの電力の供給を停止する。そのため、アルゴンイオンは、下部電極1400による加速を受けることなく、レジストR1に到達する。このようにして、正に帯電したアルゴンイオンをレジストR1に照射する。このように、サファイアウエハW1およびレジストR1にプラズマ化した希ガスを照射する。そして、レジストR1をエッチングする。この工程におけるエッチング装置1000の内圧は、0.5Pa以上10.0Pa以下の範囲内である。この数値範囲は例示であり、これ以外の数値を用いてもよい。
次に、第3の期間T3に、第2のレジストエッチング工程(S230)を施す。この工程では、第1のレジストエッチング工程と同様の条件を適用する。すなわち、第1のガス供給部1710が、Cl2 ガスを供給する。また、第2のガス供給部1720は、Arガスを供給しない。アンテナ1200の電力を、600Wに設定する。下部電極1400のバイアスの電力を、1800Wに設定する。このように、サファイアウエハW1およびレジストR1にプラズマ化した塩素系ガスを供給して、レジストR1をエッチングすることによりレジストR2を形成する。この工程におけるエッチング装置1000の内圧は、0.1Pa以上2.0Pa以下の範囲内である。この数値範囲は例示であり、これ以外の数値を用いてもよい。
45° ≦ θ2 ≦ 65°
また、角度θ2は、50°以上60°以下の範囲内であるとなおよい。
θ2 < θ1
θ1 − θ2 ≧ 10°
また、角度θ2は、角度θ1よりも20°以上小さくてもよい。
続いて、第2のレジストパターンの形成されたウエハW1をエッチングする。その際に、第2のガス供給部1720が、Arガスを供給する。第3のガス供給部1730が、HBrガスを供給する。また、第4のガス供給部1740が、BCl3 ガスを供給する。アンテナの電力は、600Wである。バイアスの電力は、1800Wである。この工程におけるエッチング装置1000の内圧は、0.1Pa以上2.0Pa以下の範囲内である。この数値範囲は例示であり、これ以外の数値を用いてもよい。
そして、図11のウエハW1からレジストR3を除去するとともにウエハW1の洗浄を実施する。これにより、図1に示すサファイア基板100が製造される。
ここで、本実施形態のエッチング方法の効果について説明する。図12は、レジストエッチング工程におけるレジストの時間経過を表す概念図である。図12の横方向は、時間の経過を示す。つまり、図12の左側から右側にかけて時間が進行することとしている。図12の上段に、アルゴンプラズマ照射工程を実施した場合を示す。図12の下段に、アルゴンプラズマ照射工程を実施しない場合を示す。
図12の上段に、第1のレジストエッチング工程(S210)と、アルゴンプラズマ照射工程(S220)と、第2のレジストエッチング工程(S230)と、を実施する場合を示す。第1のレジストエッチング工程では、Cl- イオンにより、レジストR1は、非対称な電荷分布を有している。次に、アルゴンプラズマ照射工程(S220)により、Ar+ イオンがレジストR1に照射される。これにより、レジストR1の表面は除電される。そして、レジストR1の非対称な帯電による不均一な電荷分布は解消される。そして、第2のレジストエッチング工程では、レジストR2はほぼ対称な形状で形成される。
図12の下段に、アルゴンプラズマ照射工程を実施しないで、レジストエッチング工程を時間T0にわたって実施する場合を示す。図12の下段に示すように、この場合には、エッチングの途中でレジストR1が除電されることはない。そのため、レジストにおける非対称な電荷分布は、途中で解消されない。その結果、Cl- イオンは、非対称な電荷分布が形成する電界の影響を受けて、非対称に分布する。
7−1.放電時間
図13は、アルゴンプラズマ照射工程を実施した時間に対するレジストR1の高さの表面粗さを示すグラフである。図13の横軸は、アルゴンプラズマの照射時間である。図13の縦軸は、レジストR1の表面粗さである。図13に示すように、アルゴンプラズマの照射がない場合には、レジストR1の表面粗さσは、0.017μm程度である。そして、アルゴンプラズマを照射するにしたがって、レジストR1の表面粗さσは、減少する。そして、照射時間が80秒以上の場合には、レジストR1の表面粗さσは、0.009μm程度である。したがって、アルゴンプラズマ照射工程を実施する第2の時間T2は、80秒以上であるとよい。
図14は、アルゴンプラズマ照射工程を実施した回数に対するレジストR1の高さの表面粗さを示すグラフである。図14の横軸は、アルゴンプラズマの照射回数である。図14の縦軸は、レジストR1の表面粗さである。なお、1回当たりのプラズマ照射時間は、120秒である。また、プラズマ照射回数が、2回とは、レジストエッチング工程を2回中断してアルゴンプラズマを照射したことを意味する。この場合には、レジストエッチング工程を3回実施している。
上記の実験では、レジストR1の表面粗さを調べた。本実験では、サファイアウエハのエッチングを行ったサンプルに対して、アルゴンプラズマ照射工程の有無を比較した。その結果、アルゴンプラズマ照射工程を実施したサファイア基板の高さの表面粗さは、0.08μm程度であった。アルゴンプラズマ照射工程を実施しなかったサファイア基板の高さの表面粗さは、0.16μm程度であった。このように、アルゴンプラズマ照射工程を実施したほうが、サファイア基板の凹凸形状の加工精度は高い。
8−1.プラズマ照射工程
本実施形態では、第1のレジストエッチング工程と第2のレジストエッチング工程との間に、アルゴンプラズマを照射するアルゴンプラズマ照射工程を実施することとした。しかし、プラズマはアルゴンプラズマに限らない。つまり、Arの代わりに、He、Ne、Kr、Xe、Rnのいずれの希ガスを用いてもよい。
レジストR1をエッチングするエッチングガスとして、塩素系ガスを用いることができる。例えば、Cl2 、SiCl4 、BCl3 、CCl4 などが挙げられる。ただし、レジストR1をエッチングするエッチングガスと、ウエハW1をエッチングするエッチングガスとで、異なるガスを用いるほうがよい。第1のレジストエッチング工程(S210)および第2のレジストエッチング工程(S230)において、ウエハW1の第1面W1aがそれほどエッチングされない条件でレジストR1をエッチングすることができるからである。
本実施形態では、レジストの形状を円錐台形状もしくは多角錐台形状とした。しかし、レジストの形状を円柱形状もしくは多角柱形状としてもよい。レジストR1の傾斜面R1aとウエハW1の第1面W1aとがなす角の角度θ1は、75°以上90°以下の範囲内である。すなわち、次式が成り立つ。
75° ≦ θ1 ≦ 90°
本実施形態では、ウエハW1としてc面サファイアを用いた。しかし、a面サファイア等、その他の結晶面を有するサファイアウエハを用いてもよい。
以上、詳細に説明したように、本実施形態のサファイア基板の製造方法は、フォトリソグラフィ技術により第1のレジストパターンを形成する第1のレジストパターン形成工程と、第1のレジストパターンにエッチングを実施して第2のレジストパターンとする第2のレジストパターン形成工程と、を有する。第2のレジストパターン形成工程は、帯電したレジストを除電するためのプラズマ照射工程を有する。この製造方法では、エッチングの途中でレジストが帯電することによる非対称なレジストパターンが形成されることを抑制することができる。そのため、対称性に優れたレジストパターンを形成することができる。これにより、製造されるサファイア基板における凹凸形状の加工精度は高い。
第2の実施形態について説明する。本実施形態では、第1の実施形態のサファイア基板の製造方法により製造されたサファイア基板を用いて半導体発光素子を製造する。ここでは、III 族窒化物半導体発光素子の製造方法を例に挙げて説明する。
1−1.サファイア基板製造工程
まず、第1の実施形態で説明したサファイア基板の製造方法を用いて、サファイア基板100を製造する。
次に、図15に示すように、MOCVD法により、サファイア基板100の第1面100aの上にIII 族窒化物半導体層を形成する。ここでは、サファイア基板100の第1面100aから、バッファ層120、n型コンタクト層130、n型ESD層140、n型超格子層150、発光層160、p型超格子層170、p型コンタクト層180、の順序で形成する。
そして、ICP等を用いたエッチングにより、n型コンタクト層130の一部を露出させる。次に、露出させたn型コンタクト層130の上にn電極N1を形成する。また、p型コンタクト層180の上にp電極P1を形成する。このように、III 族窒化物半導体層の上に電極を形成する。
また、素子を区画する溝を形成する。そのために、ICP等のエッチングを実施すればよい。
次に、サファイア基板100をチップサイズに分割する。そのために、レーザー照射装置や、ブレーキング装置を用いればよい。これにより、発光素子10が製造される。
2−1.製造工程
本実施形態では、n電極N1を形成するためのn型コンタクト層130の露出箇所をエッチングにより設けた後に、素子区画工程を実施した。しかし、露出箇所を形成する工程と、素子区画工程とを、同一工程で実施してもよい。
以上詳細に説明したように、本実施形態の半導体発光素子の製造方法は、第1の実施形態のサファイア基板の製造方法により製造されたサファイア基板100を用いて、半導体発光素子を製造する。
また、第2のレジストパターン形成工程では、第1のレジストパターンの平坦な表面を消失させて、第2のレジストパターンを形成する。第2のレジストパターンは、平坦な表面を有していない。
P1…p電極
N1…n電極
100…サファイア基板
100a…第1面
100b…第2面
110…凸部
111…頂部
112…円錐面
113…底部
W1…ウエハ
W1a…第1面
W1b…第2面
R0、R1、R2、R3…レジスト
R1a、R2a…傾斜面
R1b…表面
1000…エッチング装置
Claims (7)
- サファイア基板の製造方法において、
フォトリソグラフィーによりサファイアウエハの第1面の上に第1のレジストパターンを形成する第1のレジストパターン形成工程と、
前記第1のレジストパターンをエッチングすることにより第2のレジストパターンを形成する第2のレジストパターン形成工程と、
前記第2のレジストパターンを形成された前記サファイアウエハの前記第1面をエッチングするサファイアウエハエッチング工程と、
を有し、
前記第2のレジストパターン形成工程は、
第1の期間に、
前記第1のレジストパターンに塩素系ガスを供給して前記第1のレジストパターンをエッチングする第1のレジストエッチング工程と、
前記第1の期間の次の第2の期間に、
前記第1のレジストパターンにプラズマ化した希ガスを照射するプラズマ照射工程と、
前記第2の期間の次の第3の期間に、
前記第1のレジストパターンに塩素系ガスを供給して前記第1のレジストパターンをエッチングすることにより前記第2のレジストパターンを形成する第2のレジストエッチング工程と、
を有すること
を特徴とするサファイア基板の製造方法。 - 請求項1に記載のサファイア基板の製造方法において、
前記第1のレジストエッチング工程および前記第2のレジストエッチング工程は、
前記第1のレジストパターンの形状を前記第2のレジストパターンの形状に整える工程であり、
前記プラズマ照射工程を、
前記第1のレジストパターンの形状を整えている途中に実施すること
を特徴とするサファイア基板の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載のサファイア基板の製造方法において、
前記第1のレジストパターンは、
前記サファイアウエハの前記第1面と交差する第1の交差面を有し、
前記第2のレジストパターンは、
前記サファイアウエハの前記第1面と交差する第2の交差面を有し、
前記第1の交差面と前記第1面とがなす角の角度は、
75°以上90°以下の範囲内であり、
前記第2の交差面と前記第1面とがなす角の角度は、
45°以上65°以下の範囲内であること
を特徴とするサファイア基板の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載のサファイア基板の製造方法において、
前記第1のレジストパターンは、
前記サファイアウエハの前記第1面と交差する第1の交差面を有し、
前記第2のレジストパターンは、
前記サファイアウエハの前記第1面と交差する第2の交差面を有し、
前記第2の交差面と前記第1面とがなす角の角度は、
前記第1の交差面と前記第1面とがなす角の角度よりも10°以上小さいこと
を特徴とするサファイア基板の製造方法。 - 請求項1から請求項4までのいずれか1項に記載のサファイア基板の製造方法において、
前記第1のレジストパターンの形状は、
円錐台形状もしくは多角錐台形状であり、
前記第2のレジストパターンの形状は、
円錐形状もしくは多角錐形状であること
を特徴とするサファイア基板の製造方法。 - 請求項1から請求項5までのいずれか1項に記載のサファイア基板の製造方法において、
前記プラズマ照射工程の開始時には、
前記希ガスの供給を開始し、
前記プラズマ照射工程の終了時には、
前記希ガスの供給を停止すること
を特徴とするサファイア基板の製造方法。 - 請求項1から請求項6までのいずれか1項に記載のサファイア基板の製造方法によりサファイア基板を製造するサファイア基板製造工程と、
前記サファイア基板の前記第1面にIII 族窒化物半導体層を形成する半導体層形成工程と、
前記III 族窒化物半導体層の上に電極を形成する電極形成工程と、
を有すること
を特徴とするIII 族窒化物半導体発光素子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014133658A JP6194515B2 (ja) | 2014-06-30 | 2014-06-30 | サファイア基板の製造方法およびiii族窒化物半導体発光素子の製造方法 |
CN201510369433.9A CN105225927A (zh) | 2014-06-30 | 2015-06-26 | 制造蓝宝石基底的方法及制造第iii族氮化物半导体发光器件的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014133658A JP6194515B2 (ja) | 2014-06-30 | 2014-06-30 | サファイア基板の製造方法およびiii族窒化物半導体発光素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016012664A JP2016012664A (ja) | 2016-01-21 |
JP6194515B2 true JP6194515B2 (ja) | 2017-09-13 |
Family
ID=54994809
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014133658A Active JP6194515B2 (ja) | 2014-06-30 | 2014-06-30 | サファイア基板の製造方法およびiii族窒化物半導体発光素子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6194515B2 (ja) |
CN (1) | CN105225927A (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105702566B (zh) * | 2014-11-27 | 2019-02-19 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种用于图形化衬底的掩膜 |
TWI661066B (zh) * | 2016-10-06 | 2019-06-01 | 香港浸會大學 | 藍寶石薄膜塗布基材 |
CN107170666A (zh) * | 2017-05-25 | 2017-09-15 | 东南大学 | 一种非极性ⅲ族氮化物外延薄膜 |
CN111725063A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-09-29 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体衬底的刻蚀方法 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2987977B2 (ja) * | 1991-04-04 | 1999-12-06 | ソニー株式会社 | アルミニウム系金属膜のドライエッチング方法 |
US5332653A (en) * | 1992-07-01 | 1994-07-26 | Motorola, Inc. | Process for forming a conductive region without photoresist-related reflective notching damage |
JP3259380B2 (ja) * | 1992-12-04 | 2002-02-25 | ソニー株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JPH09213687A (ja) * | 1995-11-30 | 1997-08-15 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
US5858879A (en) * | 1997-06-06 | 1999-01-12 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Method for etching metal lines with enhanced profile control |
JP2000221698A (ja) * | 1999-01-29 | 2000-08-11 | Sony Corp | 電子装置の製造方法 |
EP3166152B1 (en) * | 2003-08-19 | 2020-04-15 | Nichia Corporation | Semiconductor light emitting diode and method of manufacturing its substrate |
JP2008060286A (ja) * | 2006-08-31 | 2008-03-13 | Toyoda Gosei Co Ltd | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP5082752B2 (ja) * | 2006-12-21 | 2012-11-28 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体発光素子用基板の製造方法及びそれを用いた半導体発光素子 |
US20090314743A1 (en) * | 2008-06-20 | 2009-12-24 | Hong Ma | Method of etching a dielectric layer |
JP2010283095A (ja) * | 2009-06-04 | 2010-12-16 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2011134800A (ja) * | 2009-12-22 | 2011-07-07 | Samco Inc | エッチング方法及びプラズマ処理装置 |
JP2012064811A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Toshiba Corp | 半導体素子の製造方法 |
CN102130256A (zh) * | 2010-10-15 | 2011-07-20 | 映瑞光电科技(上海)有限公司 | 发光二极管及其制造方法 |
JP2012169366A (ja) * | 2011-02-10 | 2012-09-06 | Toshiba Corp | 半導体発光装置の製造方法 |
JP5623323B2 (ja) * | 2011-03-28 | 2014-11-12 | パナソニック株式会社 | 基板のプラズマ処理方法 |
TWI429030B (zh) * | 2011-05-16 | 2014-03-01 | Sino American Silicon Prod Inc | 發光二極體基板與發光二極體 |
JP5142236B1 (ja) * | 2011-11-15 | 2013-02-13 | エルシード株式会社 | エッチング方法 |
KR101391739B1 (ko) * | 2012-10-05 | 2014-05-12 | 주식회사 에이앤디코퍼레이션 | 사파이어 기판의 표면 패턴 형성 방법 |
-
2014
- 2014-06-30 JP JP2014133658A patent/JP6194515B2/ja active Active
-
2015
- 2015-06-26 CN CN201510369433.9A patent/CN105225927A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105225927A (zh) | 2016-01-06 |
JP2016012664A (ja) | 2016-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6194515B2 (ja) | サファイア基板の製造方法およびiii族窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
US20130149866A1 (en) | Baffle plate for semiconductor processing apparatus | |
TWI622095B (zh) | 用以降低在電漿蝕刻室中的粒子缺陷的方法及設備 | |
TWI471963B (zh) | 用於電漿處理腔室之低傾斜度邊緣環 | |
TWI601223B (zh) | 延長使用期限之紋理腔室元件與製造之方法 | |
JP5804059B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2017539087A (ja) | プロセス均一性を高めるための方法およびシステム | |
JP5260356B2 (ja) | 基板処理方法 | |
US9101954B2 (en) | Geometries and patterns for surface texturing to increase deposition retention | |
TW201633017A (zh) | 被處理體之處理方法 | |
KR102175860B1 (ko) | 실리콘 산화막을 에칭하는 방법 | |
TWI713109B (zh) | 蝕刻方法(一) | |
US20130280893A1 (en) | Method for production of selective growth masks using imprint lithography | |
KR102521089B1 (ko) | Finfet 디바이스들을 형성하기 위한 초고 선택적 나이트라이드 에칭 | |
TWI730147B (zh) | 用於形成用以圖案化基板的結構的方法以及圖案化基板的方法 | |
JP2019501489A (ja) | 傾斜イオンビームを用いて空洞を満たすための装置及び技術 | |
KR20150143793A (ko) | 균일한 플라즈마 밀도를 가진 용량 결합형 플라즈마 장비 | |
TWI811432B (zh) | 蝕刻方法及電漿處理裝置 | |
TWI598955B (zh) | 等離子蝕刻裝置 | |
KR20180012697A (ko) | 복잡한 3-d 구조체들을 에칭하기 위한 압력 퍼지 에칭 방법 | |
WO2016095086A1 (en) | Methods for texturing a chamber component and chamber components having a textured surface | |
US20140162463A1 (en) | Plasma etching method and plasma etching apparatus | |
JP2011134800A (ja) | エッチング方法及びプラズマ処理装置 | |
US20140256140A1 (en) | Methods Of Forming A Pattern On A Substrate | |
JP4640047B2 (ja) | エッチング方法、金属膜構造体の製造方法およびエッチング構造体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160722 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170630 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170711 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170724 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6194515 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |