JP6193938B2 - 信号の周波数特性から異物浸入を検知する機能を有する回転角度検出器 - Google Patents

信号の周波数特性から異物浸入を検知する機能を有する回転角度検出器 Download PDF

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Description

本発明は、回転角度検出器に関し、特に信号の周波数特性から異物浸入を検知する機能を有する回転角度検出器に関する。
モータやテーブルの出力軸の角度を測定するために、複数の信号トラックを有する光学式検出器や磁気式検出器が使用されている。それら検出器の故障を検知する方法としては、各信号の振幅が特定の閾値を下回った時に検出器の故障(アラーム)として検知する方法(例えば、特許文献1)や、位相の異なる信号の電圧値が同じ、かつ、その時の電気角があらかじめ記憶している「正常時の電気角」と異なる時に検出器の故障(アラーム)として検知する方法(例えば、特許文献2)が知られている。
しかしながら、これらの方式では、検出器を搭載したモータや工作機械が動かなくなってからでないと、異常が分からなかった。そのため、異常が分かってから保守部品を準備していると、工作機械の復旧に時間がかかるため、保守部品をあらかじめ準備することもあった。しかしながら、その場合には保守部品の管理に多大な工数や収納場所が必要となっていた。
上記の問題を解決する手段として、各信号の振幅を複数の閾値を設けて異常を検出して、検出器が完全に故障して動かなくなる前に、その可能性を予知する方法が知られている(例えば、特許文献3)。しかしながら、検出器の故障原因としては、ケーブルの断線、電気的なノイズ、切削液・潤滑油や切粉の検出器への異物浸入など、様々なものがあり、故障原因を特定することは難しく、適切な保守を実施することが難しかった。
特開2010−266260号公報 特開2005−147733号公報 特開平6−66594号公報
上記の通り、従来技術では故障原因を切り分けることが難しく、適切な保守を実施することができずに、保守後に故障が再発することがあった。そのため、故障の切り分けのために、早期発見する必要がある。特に、検出器への異物浸入については、例えば、切削液による部品の腐食や切粉による部品の破損といった致命的な故障を引き起こす危険性があるため、早期発見が重要となる。
本発明の一実施例に係る回転角度検出器は、回転軸の回転角度を検出するためのトラック部を含む回転体と、トラック部に対応して配置した検知部と、検知部にて生成される信号に基づいて回転軸の回転角度を算出する回転角度算出部と、信号に基づいて回転軸の回転速度を算出する回転速度算出部と、信号に基づいて異常を検知する異常検出部と、を具備し、異常検出部は、信号の周波数特性を算出する周波数解析部と、トラック部から生成される回転体の一回転あたりの信号の数を記憶する記憶部と、該記憶部で記憶した信号の数に、回転速度算出部で算出した回転速度を乗じた信号周波数を算出する信号周波数算出部と、周波数特性に、信号周波数以上の高次成分が存在する場合に、検出器の異常を検出する判定部と、を有することを特徴とする。
本発明の一実施例に係る回転角度検出器によれば、検出器が故障する前に、異物(切削液など)の浸入を検知して、検出器の予防保全を行うことができる。
本発明の実施例に係る回転角度検出器の構成図である。 本発明の実施例に係る回転角度検出器における検知部から出力されるA相、B相、及びZ相の信号波形図である。 本発明の実施例に係る回転角度検出器における検知部からの出力信号の周波数成分の大きさと周波数との関係を示す図である。 本発明の実施例に係る回転角度検出器の動作手順を説明するためのフローチャートである。
以下、図面を参照して、本発明に係る回転角度検出器について図面を用いて説明する。図1に本発明の実施例に係る回転角度検出器の構成図を示す。本発明の実施例に係る回転角度検出器100は、回転体1と、検知部2と、回転角度算出部3と、回転速度算出部4と、異常検出部5と、を有する。さらに、異常検出部5は、周波数解析部6と、記憶部7と、信号周波数算出部8と、判定部9と、を有する。
回転体1は、回転軸Cの回転角度を検出するためのトラック部10を含む。回転体1は、モータ等の軸30に設けられ、回転軸Cを中心にして回転する。トラック部10は、Z相用トラック11、A相用トラック12、及びB相用トラック13を有する。A相用トラック12及びB相用トラック13上には、それぞれ検出パターンとしてA相パターンの放射状のスリットとB相パターンの放射状のスリットが等ピッチ間隔で空間的に位相を90度ずらした位置に連続的に形成されている。Z相用トラック11にはZ相パターンのスリットが不等ピッチ間隔で形成されている。さらに、回転体1の上には切削液等の異物50が付着している場合を例にとって説明する。
回転体1の下部にはLED等からなる発光部40が設けられている。発光部40は、回転体1に向かって光L0を照射する。
検知部2は、トラック部10に対応して配置されている。検知部2は、フォトトランジタやフォトダイオード等の受光素子からなる検出素子21〜23を有する。21はZ相用検出素子であり、発光部40から照射された光L0のうち、Z相用トラック11に設けられたスリットを透過した光L1を検出する。検出された光L1に関する情報を含むZ相信号は、回転角度算出部3に出力される。22はA相用検出素子であり、発光部40から照射された光L0のうち、A相用トラック12に設けられたスリットを透過した光L2を検出する。検出された光L2に関する情報を含むA相信号は、回転角度算出部3、回転速度算出部4、及び周波数解析部6に出力される。23はB相用検出素子であり、発光部40から照射された光L0のうち、B相用トラック13に設けられたスリットを透過した光L3を検出する。検出された光L3に関する情報を含むB相信号は、回転角度算出部3、回転速度算出部4、及び周波数解析部6に出力される。
回転角度算出部3は、検知部2にて生成される信号に基づいて回転軸Cの回転角度を算出する。ここで、A相信号とB相信号は90度の位相差を有する。したがって、回転角度算出部3は、A相信号及びB相信号に基づいて回転体1の回転方向と回転量(角度)を算出する。
回転速度算出部4は、A相信号及びB相信号の周波数を検出して回転軸Cの回転速度を算出する。
異常検出部5は、A相信号及びB相信号に基づいて回転角度検出器100の異常を以下のようにして検知する。まず、周波数解析部6が、A相信号及びB相信号の周波数特性を算出する。周波数解析を行う手段として、例えばFFT解析を行うことができるが、これには限られない。
記憶部7は、トラック部10から生成される回転体1の1回転あたりの信号の数を記憶する。回転体1が1回転する時間は、図2の下段に示すように隣り合うZ相信号間の時間として求められる。図2に示した例では、1つのZ相信号が時刻t1において現れ、次のZ相信号が時刻t2において現れているため、回転体1が1回転する時間は、t2−t1で求められる。そして、時刻t1とt2の間に現れるA相信号またはB相信号の数をカウントし、記憶部7に記憶する。
信号周波数算出部8は、記憶部7で記憶したA相信号またはB相信号の数に、回転速度算出部4で算出した回転速度を乗じた信号周波数を算出する。例えば、図3に示すように、信号周波数はf1と算出される。
そして、判定部9が、周波数特性に、算出した信号周波数f1以上の高次成分が存在するか否かを判断する。例えば、図2の上段のA相信号またはB相信号の時間的変化を表すグラフにおいて、時刻t0で、スリット明部に異物が付着したことによる曲線の変形が観測される(点線部分)。この異物による曲線の変形に起因してA相信号またはB相信号をFFT解析した結果、高次成分が、信号周波数f1以上の周波数f2において観測された場合に、異常を検出する。
判定部9が異常を検出した場合は、判定結果を外部装置60に出力してもよい。外部装置60は異常が生じたことに基づいて警告を発生することができる。
なお、信号周波数f1よりも低次の周波数成分が観測された場合は、軸30の振れや回転体1の楕円運動など、回転体1への異物の付着とは別の要因により出現するものであるので、回転体1に異物が付着したものではないと判断することができる。
なお、図3には1つの異物が付着した場合を例示しているが、複数の異物が付着した場合であっても異常を検知することが可能である。
次に、本発明の実施例に係る回転角度検出器の動作手順について、図4に示したフローチャートを用いて説明する。まず、ステップS101において、モータ等を駆動することによりモータの軸30に設けられ、回転軸Cの回転角度を検出するためのトラック部10を含む回転体1(図1参照)を、回転軸Cを中心に回転させる。
次に、ステップS102において、トラック部10に対応して配置した検知部2を用いて、トラック部10のA相用トラック12、及びB相用トラック13に設けられたスリットを透過する発光部40からの光L2,L3に基づいて、A相信号及びB相信号を生成する。
次に、ステップS103において、回転速度算出部4が、A相信号及びB相信号に基づいて回転軸Cの回転速度を算出する。
次に、ステップS104において、信号周波数算出部8が、記憶部7であらかじめ記憶していた1回転あたりの信号の数に、回転速度を乗じた信号周波数を算出する。
次に、ステップS105において、周波数解析部6が、A相信号及びB相信号から信号の周波数特性を算出する。
次に、ステップS106において、判定部9が、周波数特性に信号周波数以上の高次成分が存在するか否かを判断する。
周波数特性に信号周波数以上の高次成分が存在する場合には、ステップS107において、回転角度検出器100に異常が生じていると判定する。
一方、周波数特性に信号周波数以上の高次成分が存在しない場合には、ステップS108において、回転角度検出器100は正常であると判定する。
以上説明したように、トラック部のスリット数に起因する周波数以上の周波数成分を検出し、警告信号を出力することによって、異物浸入の早期発見を行うことができる。なお、ステップS103〜S104と、ステップS105は、同時に行なっても、順番が反対でも問題はない。
以上の説明においては、回転角度検出器として光学式の検出器を用いた場合を例にとって説明したが、磁気式の検出器を用いた場合であっても同様に本発明を実施することができる。
1 回転体
2 検知部
3 回転角度算出部
4 回転速度算出部
5 異常検出部
6 周波数解析部
7 記憶部
8 信号周波数算出部
9 判定部
10 トラック部

Claims (1)

  1. 回転軸の回転角度を検出するためのトラック部を含む回転体と、
    前記トラック部に対応して配置した検知部と、
    前記検知部にて生成される信号に基づいて回転軸の回転角度を算出する回転角度算出部と、
    前記信号に基づいて回転軸の回転速度を算出する回転速度算出部と、
    前記信号に基づいて異常を検知する異常検出部と、
    を具備し、
    前記異常検出部は、
    前記信号の周波数特性を算出する周波数解析部と、
    前記トラック部から生成される回転体の一回転あたりの信号の数を記憶する記憶部と、
    該記憶部で記憶した前記信号の数に、前記回転速度算出部で算出した前記回転速度を乗じた信号周波数を算出する信号周波数算出部と、
    前記周波数特性に、前記信号周波数以上の高次成分が存在する場合に、異常を検出する判定部と、
    を有することを特徴とする回転角度検出器。
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DE102016010298.5A DE102016010298B4 (de) 2015-08-31 2016-08-24 Drehwinkelerkennungsgerät mit Funktion zum Erkennen des Eindringens eines Fremdkörpers basierend auf einer Signalfrequenzkennlinie
US15/249,854 US10066971B2 (en) 2015-08-31 2016-08-29 Rotation angle detection apparatus having function of detecting entry of foreign substance based on frequency characteristic of signals
CN201610765401.5A CN106482758B (zh) 2015-08-31 2016-08-30 旋转角度检测器

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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021144965A1 (ja) * 2020-01-17 2021-07-22 ヤマハ発動機株式会社 アブソリュートエンコーダ及びアブソリュートエンコーダを備えるアクチュエータ

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4633423A (en) * 1984-03-27 1986-12-30 Storage Technology Corporation Coherent error suppression in digital tachometers and the like
US5302944A (en) 1991-07-22 1994-04-12 Curtis Stephen J Method and apparatus for the monitoring of the operation of linear and rotary encoders
JPH0666594A (ja) 1992-08-14 1994-03-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 位置検出器
DE4400482A1 (de) * 1993-04-23 1994-10-27 Bosch Gmbh Robert Korrekturverfahren zwischen dem elektrischen Phasenwinkel und dem mechanischen Abtriebswinkel eines Schrittmotors
JP3047809B2 (ja) 1996-04-09 2000-06-05 松下電器産業株式会社 ロータリーエンコーダ
JP3278361B2 (ja) * 1996-10-25 2002-04-30 オークマ株式会社 光学式エンコーダ
US6029363A (en) 1998-04-03 2000-02-29 Mitutoyo Corporation Self-calibrating position transducer system and method
DE19944004A1 (de) * 1999-09-14 2001-03-15 Kostal Leopold Gmbh & Co Kg Optoelektronischer Drehwinkelsensor
JP2001116760A (ja) * 1999-10-19 2001-04-27 Nisshinbo Ind Inc パルス歯欠け検出方法及び装置
DE10041096A1 (de) * 2000-08-22 2002-03-07 Bosch Gmbh Robert Verfahren zur Korrektur von Winkelmessungen mittels wenigstens zweier Codespuren
US7184930B2 (en) 2002-08-30 2007-02-27 Nsk Ltd. Method and device for monitoring status of mechanical equipment and abnormality diagnosing device
JP2005147733A (ja) 2003-11-12 2005-06-09 Favess Co Ltd 異常検出装置、異常検出方法、車両用操舵装置
DE102004038621B3 (de) * 2004-08-09 2006-02-16 Siemens Ag Ermittlungsverfahren für ein Lagesignal
JP2007064771A (ja) * 2005-08-31 2007-03-15 Japan Servo Co Ltd エンコーダの誤差補正装置
JP4112594B2 (ja) 2006-07-27 2008-07-02 ファナック株式会社 減速機異常診断方法及び減速機異常診断装置
JP4981590B2 (ja) 2007-09-06 2012-07-25 光洋電子工業株式会社 ロータリエンコーダの寿命予知方法、ロータリエンコーダおよび電子制御システム
JP5111031B2 (ja) * 2007-09-14 2012-12-26 キヤノン株式会社 変位検出方法及びモータ制御装置
JP5310107B2 (ja) 2009-02-09 2013-10-09 富士電機株式会社 異常監視装置
JP5163963B2 (ja) 2009-05-13 2013-03-13 富士電機株式会社 異常監視装置
CN102803971B (zh) 2009-06-26 2015-12-02 三菱电机株式会社 具有错误监视功能的旋转速度检测设备
JP5436477B2 (ja) * 2011-03-03 2014-03-05 三菱電機株式会社 エンコーダ解析装置
US9075370B2 (en) 2011-06-30 2015-07-07 Canon Kabushiki Kaisha Color image forming apparatus
JP2013190327A (ja) * 2012-03-14 2013-09-26 Omron Corp ロータリーエンコーダの監視装置および監視方法
JP5994305B2 (ja) 2012-03-15 2016-09-21 オムロン株式会社 ロータリーエンコーダおよびロータリーエンコーダの異常検出方法

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