JP6186067B1 - 圧電体結晶膜の成膜方法および圧電体結晶膜成膜用トレイ - Google Patents
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Abstract
Description
図1を参照して、本発明の一実施形態による圧電体結晶膜の成膜を行う圧電体結晶膜成膜装置1の構成について説明する。
次に、圧電体結晶膜の成膜方法について説明する。
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。
次に、図6を参照して、本実施形態による圧電体結晶膜の成膜状態の評価を行った実験結果(実施例)について説明する。
なお、今回開示された実施形態および実施例は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態および実施例の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更(変形例)が含まれる。
3、3a 基板
12 ターゲット
13 載置台
15 成膜空間
20 トレイ本体
22、22a 位置決め部
23、23a 基板載置エリア
Claims (8)
- セラミックからなるとともに、基板が載置される側の面の母材が露出された部分の外縁部の直径が、前記基板の直径の1.05倍以上1.15倍以下のトレイに前記基板を配置する工程と、
前記基板を前記トレイとともに、成膜空間内に配置された圧電体の材料を含むターゲットに対向するように配置する工程と、
前記基板を前記トレイ側から加熱する工程と、
前記ターゲットに電圧を印加する工程と、
前記基板上に圧電体結晶膜を形成する工程とを備える、圧電体結晶膜の成膜方法。 - 前記基板を前記トレイに配置する工程において、前記基板を、前記トレイの前記基板が載置される側の面に形成された凸状の位置決め部により位置決めして、前記トレイに配置する、請求項1に記載の圧電体結晶膜の成膜方法。
- 前記トレイの前記位置決め部は、前記トレイの外周に沿って形成されている、請求項2に記載の圧電体結晶膜の成膜方法。
- 前記トレイは、前記基板が載置される側の面の母材が露出された部分の直径が、前記基板の直径の1.05倍以上1.15倍以下になるように、前記基板の載置される側の面の前記基板を載置する基板載置エリア以外が金属で被覆されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の圧電体結晶膜の成膜方法。
- 前記基板を前記トレイとともに前記成膜空間内に配置する工程において、前記基板が載置された前記トレイを、前記成膜空間内において、前記トレイの直径よりも大きい外周部分の直径を有する円環状の載置台に配置する、請求項1〜4のいずれか1項に記載の圧電体結晶膜の成膜方法。
- 前記基板を加熱する工程において、前記基板を、圧電体の材料のキュリー点以上の温度になるように加熱し、
前記基板上に圧電体結晶膜を形成した後、前記成膜空間内において、前記基板を、圧電体の材料のキュリー点以下の温度になるまで徐冷する工程をさらに備える、請求項1〜5のいずれか1項に記載の圧電体結晶膜の成膜方法。 - 前記トレイは、炭化ケイ素からなる母材により形成され、
圧電体の材料は、チタン酸ジルコン酸鉛を含む、請求項1〜6のいずれか1項に記載の圧電体結晶膜の成膜方法。 - 基板を載置する基板載置エリアと、
セラミックからなるとともに、前記基板が載置される側の面の母材が露出された部分の外縁部の直径が、前記基板載置エリアの直径の1.05倍以上1.15倍以下の直径を有するトレイ本体とを備え、
前記基板とともに圧電体の成膜空間内に配置される、圧電体結晶膜成膜用トレイ。
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