JP2008227145A - 誘電体積層基板の製造方法およびこれに用いる加熱処理装置 - Google Patents
誘電体積層基板の製造方法およびこれに用いる加熱処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008227145A JP2008227145A JP2007063305A JP2007063305A JP2008227145A JP 2008227145 A JP2008227145 A JP 2008227145A JP 2007063305 A JP2007063305 A JP 2007063305A JP 2007063305 A JP2007063305 A JP 2007063305A JP 2008227145 A JP2008227145 A JP 2008227145A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- heating
- dielectric
- material composition
- heat medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Abstract
【課題】基板に形成される誘電体の特性が基板面内で均一な誘電体積層基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる誘電体積層基板の製造方法は、基板10の上方に誘電体の原料組成物12aを塗布する工程と、基板10の下面に流体状の熱媒体50を接触させて基板10を加熱する工程と、を含み、基板10を加熱する工程において、熱媒体50の上面の形状が基板10の下面の形状に追従して変形し、基板10の下面が熱媒体50に全面的に接触する。
【選択図】図2
【解決手段】本発明にかかる誘電体積層基板の製造方法は、基板10の上方に誘電体の原料組成物12aを塗布する工程と、基板10の下面に流体状の熱媒体50を接触させて基板10を加熱する工程と、を含み、基板10を加熱する工程において、熱媒体50の上面の形状が基板10の下面の形状に追従して変形し、基板10の下面が熱媒体50に全面的に接触する。
【選択図】図2
Description
本発明は、誘電体積層基板の製造方法およびこれに用いる加熱処理装置に関する。
基板の上方に誘電体層を有する誘電体積層基板は、圧電素子や記憶素子を製造するときに広く用いられている。当該素子の誘電体層は、多くはセラミックで構成され、ゾル−ゲル法、有機金属熱塗布分解法(MOD法)等の液相法によって形成されることが多い。
基板の上方に誘電体層を液相法によって形成する工程は、まず基板の上方に誘電体の原料組成物を塗布する。つぎに塗布された原料組成物を乾燥した後、必要に応じて脱脂を行い、さらに結晶化する工程を有するのが一般的である。乾燥、脱脂、および結晶化の工程は、基板ごと加熱されて行われるのが普通である。加熱の方法としては、たとえば、加熱炉内に基板を配置する、ホットプレート等の上に基板を載置する、基板に電磁波を照射する(特開2003−279245号公報等を参照)方法がある。特に乾燥と脱脂の工程は、ホットプレート上に基板を載せて加熱することが簡便であるためよく行われる。
誘電体の原料組成物を塗布した基板を加熱すると基板が反ることがある。その主たる原因は、原料組成物が加熱され溶媒の蒸発や有機成分の脱離分解によって収縮するためである。このような反りは通常下向きに凸となり、ホットプレートで加熱している場合は、基板の中央部のみがホットプレートに接触する状態になる。このような状態になると、基板の中央部と周縁部との間に温度分布が生じ、乾燥または脱脂の程度が基板面内で不均一となる。この不均一性は、結晶化して誘電体が形成された後にも残る。そのため、基板の中央部から得られる素子と、周縁部から得られる素子の特性がばらつき、歩留まりが低下することになる。このような不具合に対しては、特開2001−298222号公報には、基板の反りを外力によって矯正してホットプレートに密着させる方法が提案されている。
特開2003−279245号公報
特開2001−298222号公報
しかしながら、外力によって基板の反りを矯正すると、基板面内の温度分布は改善される一方、当該外力により不均一な応力が生じてしまう。その結果、誘電体結晶の配向が基板面内で不均一になって、素子の特性がばらつくことがある。またこのような方法では、基板や原料組成物の層が厚い場合に、大きな外力が必要になり、薄い場合には、加えた外力によって基板が破損してしまうことがある。このような外力を加えることによる反りの矯正は、誘電体の原料組成物を塗布した基板の処理に適用する上で限界があった。
本発明の目的は、基板に形成される誘電体の特性が基板面内で均一な誘電体積層基板の製造方法および前記製造方法に好適な加熱処理装置を提供することにある。
本発明にかかる誘電体積層基板の製造方法は、
基板の上方に誘電体の原料組成物を塗布する工程と、
前記基板の下面に流体状の熱媒体を接触させて前記基板を加熱する工程と、
を含み、
前記基板を加熱する工程において、前記熱媒体の上面の形状が前記基板の下面の形状に追従して変形し、前記基板の下面が前記熱媒体に全面的に接触する。
基板の上方に誘電体の原料組成物を塗布する工程と、
前記基板の下面に流体状の熱媒体を接触させて前記基板を加熱する工程と、
を含み、
前記基板を加熱する工程において、前記熱媒体の上面の形状が前記基板の下面の形状に追従して変形し、前記基板の下面が前記熱媒体に全面的に接触する。
このような製造方法によれば、基板に形成される誘電体の特性が基板面内で均一な誘電体積層基板を得ることができる。
なお本発明において、特定のA部材(以下、「A部材」という。)の上方に設けられた特定のB部材(以下、「B部材」という。)というとき、A部材の上に直接B部材が設けられた場合と、A部材の上に他の部材を介してB部材が設けられた場合とを含む意味である。
また本発明において、C面がD部材に全面的に接触するというとき、C面の全体またはほとんどの部分が同時にD部材の表面に接することを意味する。
本発明の誘電体積層基板の製造方法において、前記熱媒体は、オイル、金属粉、シリコン粉、およびガラス粉からなる群から選ばれる少なくとも1種を含むことができる。
本発明にかかる誘電体積層基板の製造方法は、
基板の上方に誘電体の原料組成物を塗布する工程と、
上面に凹部を有する加熱可能な載置部に前記基板の下面を接触させて前記基板を加熱する工程と、
を含み、
前記基板を加熱する工程において、前記基板の下面が前記載置部の凹部の上面に全面的に接触する状態が、少なくとも工程の終了時点で形成される。
基板の上方に誘電体の原料組成物を塗布する工程と、
上面に凹部を有する加熱可能な載置部に前記基板の下面を接触させて前記基板を加熱する工程と、
を含み、
前記基板を加熱する工程において、前記基板の下面が前記載置部の凹部の上面に全面的に接触する状態が、少なくとも工程の終了時点で形成される。
このような製造方法によれば、基板に形成される誘電体の特性が基板面内で均一な誘電体積層基板を得ることができる。
本発明の誘電体積層基板の製造方法において、前記基板を加熱する工程は、前記誘電体の原料組成物を乾燥および脱脂のいずれか一方のために行われることができる。
本発明の誘電体積層基板の製造方法において、さらに、前記基板を加熱して前記誘電体の原料組成物を結晶化する工程を含むことができる。
本発明にかかる加熱処理装置は、
加熱部と、
前記加熱部の熱が伝導されるように設けられた容器部と、
前記容器部の内部に充填された流体状の熱媒体と、
を含む。
加熱部と、
前記加熱部の熱が伝導されるように設けられた容器部と、
前記容器部の内部に充填された流体状の熱媒体と、
を含む。
このような加熱処理装置は、被加熱体の変形が生じても、熱媒体が当該変形に追従して変形するため、被加熱体を均一に加熱することができる。
本発明にかかる加熱処理装置は、
加熱部と、
前記加熱部の熱が伝導されるように設けられ、上面に凹部を有する載置部と、
を含み、
前記凹部は、前記載置部の上に載せられた被加熱体が所定の温度に達した時点で、当該被加熱体の下面が前記凹部の上面に全面的に接触可能な形状を有する。
加熱部と、
前記加熱部の熱が伝導されるように設けられ、上面に凹部を有する載置部と、
を含み、
前記凹部は、前記載置部の上に載せられた被加熱体が所定の温度に達した時点で、当該被加熱体の下面が前記凹部の上面に全面的に接触可能な形状を有する。
このような加熱処理装置は、所定の温度における被加熱体の下面の形状に適合した凹部を有するため被加熱体を均一に加熱することができる。
以下に本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施形態は、本発明の一例を説明するものである。
1.誘電体積層基板の製造方法
図1は、本実施形態の製造工程の一部を模式的に示す断面図である。図2は、本実施形態の製造工程の一部を模式的に示す断面図である。図3は、本実施形態の製造工程の一部を模式的に示す平面図である。図2は、図3のA−A線の断面に対応する。図4は、本実施形態の製造工程の一部を模式的に示す断面図である。図5は、本実施形態の製造工程によって製造される誘電体積層基板20を模式的に示す断面図である。
図1は、本実施形態の製造工程の一部を模式的に示す断面図である。図2は、本実施形態の製造工程の一部を模式的に示す断面図である。図3は、本実施形態の製造工程の一部を模式的に示す平面図である。図2は、図3のA−A線の断面に対応する。図4は、本実施形態の製造工程の一部を模式的に示す断面図である。図5は、本実施形態の製造工程によって製造される誘電体積層基板20を模式的に示す断面図である。
まず、図1に示すような基板10を準備する。基板10は、誘電体の原料組成物12aの塗膜を保持し、誘電体積層基板20の基体として機能する。基板10の形状は、板状である。基板10の厚みは、20μmないし2mmとすることができる。基板10の材質は、広範に選ぶことができる。基板10は、たとえばシリコンウエハ、化合物半導体ウエハ、酸化ジルコニウム基板、金属板などを用いることができる。また、例示した基板の上面や内部には、半導体回路、酸化物層、導電層、絶縁層などが形成されていてもよい。
図1に示すように、基板10の上方に誘電体の原料組成物12aを塗布する工程を行う。さらに、原料組成物12aに強誘電体原料組成物を用いる場合は、焼成(結晶化)すると、圧電性、強誘電性などを示すことができる。圧電性、あるいは強誘電性を示す誘電体としては、たとえば、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT;Pb(Ti・Zr)O3)やチタン酸バリウム(BaTiO3)といった一般式ABO3で示される単純ペロブスカイト型化合物や、タンタル酸ストロンチウムビスマス(SBT;SrBi2Ta2O9)といった層状ペロブスカイト型化合物などが挙げられる。
原料組成物12aは、金属アルコキシドおよび有機金属の少なくとも一方を含んで構成することができる。たとえば、PZTの原料組成物12aとしては、酢酸鉛、ジルコニウムテトラブトキシド、およびチタニウムテトライソプロポキシドからなる金属原料をアルコールなどの溶媒に溶解せしめることで、原料組成物12aとすることができる。また、たとえば、SBTの原料組成物12aとしては、2−エチルヘキサン酸ストロンチウム、2−エチルヘキサン酸ビスマス、2−エチルヘキサン酸タンタル、および有機溶剤を含む組成物が挙げられる。なお、原料組成物12aには、金属原料および溶媒の他に、アセチルアセトンやジエタノールアミンなどの安定化剤や、ポリエチレングリコールなどのクラック抑制剤を添加することが可能である。
誘電体の原料組成物12aを基板10の上方に塗布する方法は、公知のスピンコート法、ディップコート法、液滴吐出法などを選択することができる。このような方法により、基板10の上方に原料組成物12aの塗膜が形成される。原料組成物12aの塗膜の厚みは、10nmないし2μmとすることができる。最終的な誘電体層12を厚く厚く形成する場合には、原料組成物12aの粘度を調整するなどして、本工程によって一度に厚い塗膜を形成することができる。また、最終的な誘電体層12を厚く厚く形成する場合には、原料組成物12aを本工程によって塗布した後、次の乾燥(脱脂)または結晶化工程を行い、再び本工程によって塗布(重ね塗り)するというように、一連の工程を所望の厚みに達するまで繰り返してもよい。このようにして本工程によって、基板10の上方に原料組成物12aが塗布された、原料組成物積層基板20aが形成される。
次に、図2に示すように、基板10の下面に流体状の熱媒体50を接触させて基板10を加熱する工程を行う。
一般に、誘電体層は、ゾル−ゲル法や有機金属分解法(MOD法)によって製造することができる。ゾル−ゲル法と有機金属分解法の違いは、塗布する原料組成物中に含まれる金属原料の化学種の状態である。具体的には、ゾル−ゲル法の場合は金属原料を溶媒に溶解させた後に、さらに加水分解・重縮合反応を行うことによって、原料組成物中の化学種として、溶解させた金属原料とは異なる金属−酸素−金属結合をもつ化学種が新たに形成される。これに対して、有機金属分解法の場合は金属原料を溶媒に溶解させるのみであり、加水分解・重縮合反応は行わないため、原料組成物中の化学種は溶解させた金属原料と同一である。従って、ゾル−ゲル法と有機金属分解法を用いた誘電体膜の製造工程は、基本的に同一の処理を用いることが可能である。具体的には、原料組成物を基板に塗布する工程と、原料組成物に熱を加えて原料組成物にふくまれる溶媒を乾燥させる乾燥工程と、乾燥した組成物に熱を加えて残存する有機成分の脱離分解を行うことによって非晶質誘電体を得る脱脂工程と、非晶質誘電体に熱を加えて非晶質誘電体を結晶化させる工程を含む。本実施形態の製造方法の加熱工程は、上述のゾル−ゲル法および有機金属分解法などの液相法を用いて誘電体膜を製造する工程に適用することができる。
熱媒体50の性状は、流体状である。したがって、熱媒体50は、自由に変形することができる。熱媒体50を変形させるために必要な外力は、熱媒体50の材質を変えることで調節することができる。熱媒体50は、容器等に入れられた状態で保持されていてもよい。熱媒体50は、熱源の熱を基板10に伝達する機能を有する。熱媒体50の材質としては、流体状となりうる物質であればよく、液体、粘性体および粉体のいずれかあるいはそれらの混合物を用いることができる。具体的には、熱媒体50の材質としては、オイル、金属粉、シリコン粉、およびガラス粉からなる群から選ばれる1種または複数種の混合物が好適である。また、熱媒体50は、高沸点の有機化合物、高分子化合物、シリコンオイル、鉄粉、シリコンビーズ、砂などを含むこともできる。
図2は、上述のような熱媒体50を原料組成物12aが塗布された基板10(原料組成物積層基板20a)に接触させた様子を示す。基板10の下面、および熱媒体50の表面は、両者が接触する前は反りのない平坦な状態である。この状態で両者を接触させると、全面的に接触して熱媒体50の熱が基板10に伝導し、基板10の上方の原料組成物12aが加熱される。原料組成物12aが加熱されると、原料組成物12aに含まれる溶媒の蒸発(乾燥)または有機成分の脱離分解(脱脂)が生じる。本実施形態では、このように乾燥または脱脂された原料組成物12aを、非晶質誘電体12bといい、基板10の上方に非晶質誘電体12bが積層された誘電体積層基板を誘電体積層基板20bとして符号を付す。非晶質誘電体12bは、乾燥または脱脂前の原料組成物12aと比較して体積が減少している。これにより基板10の上方には収縮するような応力が発生する。その結果、誘電体積層基板20bは、下に凸となるように反ることになる。また、反りの原因としては、誘電体積層基板20bの厚み方向の温度分布も挙げられる。厚み方向の温度分布は、基板10や塗膜が厚いと生じやすい。この場合も反りは、誘電体積層基板20bは、下に凸となるように反ることになる。
上述のように原料組成物積層基板20aは、熱媒体50に全面的に接触して、反りを有する誘電体積層基板20bとなる。しかし、熱媒体50が流体状であるため、熱媒体50の上面が誘電体積層基板20bの下面の反りに追従して変形する(図2参照)。これにより、基板10が熱媒体50に全面的に接触した状態が維持され、基板面内に温度分布を有さない均一な加熱が行われる。本工程において、誘電体積層基板20bが到達する温度は、原料組成物12aの組成と、工程の目的とによって変化する。原料組成物12aを乾燥するためには、たとえば、溶媒の除去を主目的とする乾燥工程においては80℃ないし200℃とすることができる。原料組成物12aに含まれる残存有機成分を脱脂するためには、たとえば200℃ないし500℃とすることができる。このようにして本工程によって、基板10の上方に非晶質誘電体12bが形成された、誘電体積層基板20bが形成される。
本実施形態の加熱工程は、次のような変形実施が可能である。上述の加熱工程において、流体状の熱媒体50に代えて、上面に凹部62を有する加熱可能な載置部60を基板10に接触させて、基板10を加熱することができる(図4)。載置部60の上面は、椀状の凹部62を有する。凹部62は、原料組成物積層基板20aが加熱されて誘電体積層基板20bとなり、反りを生じたときの下面の形状に適合する形状を有する。凹部62の形状は、あらかじめ実験または計算機シミュレーションなどにより、本工程の終了時の温度における基板10の反りに適合するように形成されている。載置部60は、熱伝導性を有すればどのような材質で構成されてもよい。
この変形実施においては、基板10が載置部60に載置された時点では、基板10の周縁部においてのみ両者が接触する。そして接触による熱伝導または輻射による熱伝導によって、原料組成物12aの乾燥または脱脂が進行するにしたがって基板10に反りが生じる。したがって、少なくとも本工程の終了時点で、基板10の下面が載置部60の凹部62の上面に全面的に接触することができる。したがって、このような変形実施を行っても、基板面内に温度分布を有さない均一な加熱が達成される。
本実施形態において、さらに、基板10を加熱して非晶質誘電体12bを結晶化する工程を含むことができる。この結晶化工程は、公知の方法で行うことができる。この方法としては、たとえば、拡散炉やRTA(Rapid Thermal Annealing)装置などに基板10を配置する方法、基板10に電磁波を照射する方法などが挙げられる。結晶化の温度は、結晶化させる誘電体によって好適な温度範囲は異なるが、一般的には、500℃ないし1000℃とすることができる。具体的には、チタン酸ジルコン酸鉛を結晶化させる場合には、600℃ないし800℃とするのが好適である。本工程によって、非晶質誘電体12bを結晶化し結晶質誘電体12を形成することができる。
また、本実施形態の製造方法において、加熱処理工程の後に、基板10を洗浄する工程や、基板10の下面を研磨する工程を含むこともできる。洗浄工程および研磨工程は、いずれも公知の方法で行うことができる。
以上のようにして、基板10に形成される誘電体の特性が基板面内で均一な誘電体積層体20b、20が製造される。本実施形態の誘電体積層基板の製造方法は、圧電体積層基板、強誘電体積層基板などの製造に広く適用することができる。
2.加熱処理装置
以下に、図2および図3を参照して、本発明の実施形態に好適な加熱処理装置100および加熱処理装置200について説明する。
以下に、図2および図3を参照して、本発明の実施形態に好適な加熱処理装置100および加熱処理装置200について説明する。
図2に示すように、本発明の実施形態に好適な加熱処理装置100は、加熱部30と容器部40と熱媒体50とを含む。
加熱部30は、容器部40に熱を伝導する。加熱部30は、内部に電熱線32などの発熱体が備えられる。加熱部30は、制御回路(図示せず)等により、発熱が制御されている。加熱部30の温度は、加熱部30、容器部40、熱媒体50または非加熱体の温度によってフィードバック制御されることができる。
容器部40は、加熱部30の上に設けられる。容器部40は、容器内部に流体を湛えることができる。容器部40は、加熱部30から与えられた熱を、内部の流体に伝導する。容器部40は、熱伝導性を有する限り材質は限定されない。
熱媒体50は、「1.誘電体積層基板の製造方法」の項で述べた通りである。
このような加熱処理装置100は、被加熱体の変形が生じても、熱媒体が当該変形に追従して変形するため、被加熱体を均一に加熱することができる。
また、図3に示すように、加熱処理装置200は、加熱部30と載置部60とを含む。
加熱部30は、載置部60に熱を伝導する以外は、加熱処理装置100の加熱部30と実質的に同様であり、載置部60は、「1.誘電体積層基板の製造方法」の項で述べた載置部60と同様であるため、説明を省略する。
このような加熱処理装置200は、所定の温度における被加熱体の下面の形状に適合した凹部を有するため被加熱体を均一に加熱することができる。
加熱処理装置100または加熱処理装置200を誘電体積層基板の製造方法において使用した場合、基板面内で素子の特性ばらつきが小さい誘電体積層基板を得ることができる。
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
10 基板、12 結晶質誘電体、12a 原料組成物、12b 非晶質誘電体、
20 誘電体積層基板、20a 原料組成物積層基板、20b 誘電体積層基板、
30 加熱部、40 容器部、50 熱媒体、60 載置部、100 加熱処理装置、
200加熱処理装置
20 誘電体積層基板、20a 原料組成物積層基板、20b 誘電体積層基板、
30 加熱部、40 容器部、50 熱媒体、60 載置部、100 加熱処理装置、
200加熱処理装置
Claims (7)
- 基板の上方に誘電体の原料組成物を塗布する工程と、
前記基板の下面に流体状の熱媒体を接触させて前記基板を加熱する工程と、
を含み、
前記基板を加熱する工程において、前記熱媒体の上面の形状が前記基板の下面の形状に追従して変形し、前記基板の下面が前記熱媒体に全面的に接触する、誘電体積層基板の製造方法。 - 請求項1において、
前記熱媒体は、オイル、金属粉、シリコン粉、およびガラス粉からなる群から選ばれる少なくとも1種を含む、誘電体積層基板の製造方法。 - 基板の上方に誘電体の原料組成物を塗布する工程と、
上面に凹部を有する加熱可能な載置部に前記基板の下面を接触させて前記基板を加熱する工程と、
を含み、
前記基板を加熱する工程において、前記基板の下面が前記載置部の凹部の上面に全面的に接触する状態が、少なくとも工程の終了時点で形成される、誘電体積層基板の製造方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかにおいて、
前記基板を加熱する工程は、前記誘電体の原料組成物を乾燥および脱脂の少なくとも一方のために行われる、誘電体積層基板の製造方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかにおいて、
さらに、前記基板を加熱して前記誘電体の原料組成物を結晶化する工程を含む、誘電体積層基板の製造方法。 - 加熱部と、
前記加熱部の熱が伝導されるように設けられた容器部と、
前記容器部の内部に充填された流体状の熱媒体と、
を含む、加熱処理装置。 - 加熱部と、
前記加熱部の熱が伝導されるように設けられ、上面に凹部を有する載置部と、
を含み、
前記凹部は、前記載置部の上に載せられた被加熱体が所定の温度に達した時点で、当該被加熱体の下面が前記凹部の上面に全面的に接触可能な形状を有する、加熱処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007063305A JP2008227145A (ja) | 2007-03-13 | 2007-03-13 | 誘電体積層基板の製造方法およびこれに用いる加熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007063305A JP2008227145A (ja) | 2007-03-13 | 2007-03-13 | 誘電体積層基板の製造方法およびこれに用いる加熱処理装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008227145A true JP2008227145A (ja) | 2008-09-25 |
Family
ID=39845414
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007063305A Withdrawn JP2008227145A (ja) | 2007-03-13 | 2007-03-13 | 誘電体積層基板の製造方法およびこれに用いる加熱処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008227145A (ja) |
-
2007
- 2007-03-13 JP JP2007063305A patent/JP2008227145A/ja not_active Withdrawn
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3162717B2 (ja) | 集積回路の製造方法 | |
EP0513478A2 (en) | Method for controlling crystal orientation of ferroelectric thin film | |
CN105190848B (zh) | 附带铁电膜的硅基板 | |
JP2014179572A (ja) | 圧電体膜、圧電素子、及び、それらの製造方法 | |
JP2014177359A (ja) | 複合酸化物、薄膜容量素子、液滴吐出ヘッド、複合酸化物の製造方法 | |
US10618285B2 (en) | Piezoelectric substrate and method of manufacturing the piezoelectric substrate, and liquid ejection head | |
JP2006522352A (ja) | 基板上への層の堆積法 | |
JP2008227145A (ja) | 誘電体積層基板の製造方法およびこれに用いる加熱処理装置 | |
JP2006228447A (ja) | 強誘電体薄膜の製造方法 | |
JP4766299B2 (ja) | (111)配向pzt系誘電体膜形成用基板、この基板を用いて形成されてなる(111)配向pzt系誘電体膜 | |
US10424718B2 (en) | Piezoelectric film, piezoelectric device, and method for making piezoelectric film | |
KR100650224B1 (ko) | 강유전체 또는 고유전율 재료의 고체의 형성방법 및 그것을 사용한 반도체장치의 제조방법 | |
TWI784981B (zh) | 壓電體結晶膜的成膜方法及壓電體結晶膜成膜用盤 | |
JP2009038169A (ja) | 圧電素子の製造方法、誘電体層の製造方法、およびアクチュエータの製造方法 | |
US20060276050A1 (en) | Method for manufacturing crystalline dielectric film,crystalline dielectric film manufactured thereby and thin film capacitor having the same | |
JP2000191324A (ja) | 無機化合物固体の形成方法およびそれを用いた半導体装置の製造方法 | |
JP4528950B2 (ja) | 強誘電体膜構造体の製造方法 | |
JP2001213624A (ja) | 強誘電体薄膜用原料溶液および強誘電体薄膜の作製方法 | |
JP2001279464A (ja) | 強誘電体薄膜の作製方法 | |
JP6119289B2 (ja) | 強誘電体膜の成膜方法および製造装置 | |
US20150380635A1 (en) | METHODS TO IMPROVE THE CRYSTALLINITY OF PbZrTiO3 AND Pt FILMS FOR MEMS APPLICATIONS | |
JP2015082509A (ja) | 強誘電体膜の成膜装置及び強誘電体膜の成膜方法 | |
JP2018011028A (ja) | 誘電体薄膜および薄膜キャパシタの製造方法 | |
JP5103694B2 (ja) | 圧電薄膜の製造方法 | |
JP3456434B2 (ja) | 強誘電体メモリの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20080702 |
|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20100601 |