JP6182909B2 - 有機el発光装置の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、有機EL発光装置の一実施例を説明するための概略的な断面図である。図2は、この実施例の有機EL基板の有機EL素子形成領域を説明するための概略的な断面図である。
絶縁膜11上に陽極13aのパターンを形成する。陽極13aの材料としては、例えば、ITO/AgPdCuの2層構造が用いられている。例えば感光性ポリイミド膜を用い、ホール輸送層13b、発光層13c、電子輸送層13dの形成位置を画定するための絶縁層15を形成する。
絶縁膜11には、有機EL素子13の陽極13aと電極配線9を電気的に接続するための接続孔が形成されている。陽極13aは、電極配線9を介して、半導体素子5に電気的に接続されている。
有機EL基板1はこれらの部材を備えている。
有機EL発光装置37が例えば1200dpi(ドットパーインチ)の露光装置に適用される場合、有機EL発光装置37の端部(ダイシングライン)と発光部37a(有機EL素子)の端部との間の寸法は2±1μm(マイクロメートル)の寸法精度が要求される。該寸法精度は、複数の有機EL発光装置37が配列されたときの繋ぎ目の精度に影響する。
3 有機ELベース材
13 有機EL素子
21 封止層
21a,21c シリコン酸化膜
21b シリコン窒化膜
25 封止層ベース材
27 空隙
29 乾燥材
37 有機EL発光装置
Claims (5)
- 化学気相成長法もしくは物理気相成長法又はその両方によって封止層ベース材に封止層を形成する工程と、
有機EL素子を有する有機EL基板に、前記有機EL素子を覆うように前記封止層を接合する工程と、
前記封止層ベース材を除去して前記封止層を残存させる工程と、を含み、
封止層ベース材はシリコンで形成されており、
前記封止層ベース材を除去する際に、前記封止層ベース材をエッチングによって除去する、
有機EL発光装置の製造方法。 - 化学気相成長法もしくは物理気相成長法又はその両方によって封止層ベース材に封止層を形成する工程と、
有機EL素子を有する有機EL基板に、前記有機EL素子を覆うように前記封止層を接合する工程と、
前記封止層ベース材を除去して前記封止層を残存させる工程と、を含み、
複数の前記有機EL基板の領域が形成された有機EL基板ベース材と、前記有機EL基板ベース材と同じサイズの前記封止層ベース材を用いて、複数の前記有機EL発光装置の領域に対して一括で前記封止層の接合及び前記封止層ベース材の除去を実施する、
有機EL発光装置の製造方法。 - 前記封止層の接合を実施した後、ドライエッチングを用いて、前記封止層ベース材及び前記有機EL基板ベース材に対してエッチング処理を実施し、前記封止層ベース材の除去と、複数の前記有機EL基板の領域の個片化とを連続的に実施する、請求項2に記載の有機EL発光装置の製造方法。
- 前記有機EL素子の形成位置に応じた位置に凹部をもつ前記封止層を前記封止層ベース材に形成し、
前記有機EL基板の前記有機EL素子の形成位置とは異なる位置に前記封止層を接合して、前記有機EL基板と前記封止層との間に前記凹部に起因した空隙を形成する、請求項1から3のいずれか一項に記載の有機EL発光装置の製造方法。 - 前記有機EL基板と前記封止層とを直接接合によって接合する、請求項4に記載の有機EL発光装置の製造方法。
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