JP6182758B2 - 放射線検出器、これを用いたx線分析装置および放射線検出方法 - Google Patents
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Description
(検出器の構成)
図1は、放射線検出器100の構成を示す概略図である。放射線検出器100は、外部機器に同期させて放射線を検出する検出器であり、2次元のデータバッファ機能を持つ半導体検出器である。検出対象となる放射線は、X線である場合に機能を発揮しやすいが、これに限定されずα線、β線、γ線、中性子線等であってもよい。なお、放射線検出器100は、1次元検出器であってもよい。
上記のように構成された放射線検出器100の動作を説明する。図2は、放射線検出器100の動作を示すフローチャートである。
上記の実施形態では、2つのカウンタが設けられ、それらの間で計数するカウンタが切り換えられているが、3以上のカウンタで順に計数するカウンタを切り換えても良い。これにより、露光時間が読み出し時間より短い場合であっても、デッドタイムを生じさせずに露光を続けることができる。図4は、2つのカウンタ(第1〜第2カウンタ)を用いる場合(実施例1)と3つのカウンタ(第1〜第3カウンタ)を用いる場合(実施例2)を示すタイミングチャートである。
(単結晶構造解析装置)
上記のような放射線検出器をX線分析装置に組み込むことができる。図5は、X線分析装置300の一例を示す平面図である。X線分析装置300は、回折X線像を撮影するための単結晶構造解析装置であり、X線源310、試料台320、アーム330、制御部340および放射線検出器100を備えている。X線源310は、シャッタレスであり、連続してX線を試料S0に照射している。
(製造ライン)
図6は、X線分析装置400の一例を示す側面図である。X線分析装置400は、X線による検査が可能な製造ラインであり、X線源410、ローラ420、ベルト425、制御部440および放射線検出器100を備えている。X線源410は、シャッタレスであり、連続してX線を製品S1に照射している。
上記のX線分析装置300の構成を用いて、図3に示す実施例1、比較例1の制御により実験を行なった。比較例1では、第1カウンターのみを用いた。カメラ長を45mmとし、1フレーム当たりの移動角度は0.5degとした。また、2sec/frameで露光した。
110 センサ
120 検出回路
130 切換え回路
140a、140b カウンタ
150 読み出し回路
160 制御回路
200 外部機器
300 X線分析装置
310 X線源
320 試料台
330 アーム
340 制御部
400 線分析装置
410 X線源
420 ローラ
425 ベルト
440 制御部
Claims (5)
- 連続してX線を検出するX線分析装置であって、
連続してX線を照射するX線源と、
解析対象を載置する試料台と、
前記試料台と連動するアームと、
前記試料台および前記アームの動作を制御する制御部と、
X線が検出されたときにパルスを発生させるセンサと、前記パルスを計数可能に設けられた複数のカウンタと、前記アームまたは前記解析対象の移動の制御信号をトリガ信号としてトリガ信号を受けたタイミングで、前記複数のカウンタのうち前記パルスを計数するカウンタを切り換え、連続露光を行なう制御回路と、を備え、前記アームの端部に設けられた放射線検出器と、を備えることを特徴とするX線分析装置。 - 前記トリガ信号を受けるタイミング間において、直前に前記計数を終えたカウンタから読み出しを行なう読み出し回路を更に備えることを特徴とする請求項1記載のX線分析装置。
- 前記複数のカウンタとして2つのカウンタを備えることを特徴とする請求項1または請求項2記載のX線分析装置。
- 前記複数のカウンタとして3以上のカウンタを備えることを特徴とする請求項1または請求項2記載のX線分析装置。
- 連続してX線を検出するX線検出方法であって、
X線源から連続してX線を照射した状態で、解析対象を載置する試料台および前記試料台と連動するアームの動作を制御しつつ、X線が検出されたときに発生させるパルスを複数設けられたカウンタのうちの一つで計数するステップと、
前記アームまたは前記解析対象の移動の制御信号をトリガ信号としてトリガ信号を受けたタイミングで、前記パルスを計数可能に設けられた複数のカウンタのうち前記パルスを計数するカウンタを切り換えるステップと、
前記カウンタの切換えと同時に直前に計数を終了したカウンタから計数データを読み出すステップと、を含み、
測定が終了するまで一連のステップを繰り返すことを特徴とするX線検出方法。
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Family Cites Families (13)
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