JPS63127180A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JPS63127180A JPS63127180A JP27366686A JP27366686A JPS63127180A JP S63127180 A JPS63127180 A JP S63127180A JP 27366686 A JP27366686 A JP 27366686A JP 27366686 A JP27366686 A JP 27366686A JP S63127180 A JPS63127180 A JP S63127180A
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- JP
- Japan
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- pulse
- detector
- supplied
- circuit
- ray
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- Pending
Links
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明は、Ｘ線回折装置等において、Ｘ線をパルス信号
として検出し、このパルスを波高分析器によって分析し
た侵計数するようにしたＸ線分析装置に関する。
として検出し、このパルスを波高分析器によって分析し
た侵計数するようにしたＸ線分析装置に関する。
［従来の技術］
ｘｍ＠折装置等においては、試料からのＸ線光子をシン
チレーションカウンタの如きＸ線検出器にによってパル
ス信号として検出している。この検出されたパルス信号
は増幅された後、波高分析器に供給されるが、該分析器
においては、特定″波高のパルスのみが通過して後段の
レートメータやスケーラに送られて計数される。
チレーションカウンタの如きＸ線検出器にによってパル
ス信号として検出している。この検出されたパルス信号
は増幅された後、波高分析器に供給されるが、該分析器
においては、特定″波高のパルスのみが通過して後段の
レートメータやスケーラに送られて計数される。
［発明が解決しようとする問題点］ 。
ところで、良く知られているように、１個のＸ線光子が
検出器に入射・してから、次のＸ線光子が検出器に入る
までの時間が類すざると、Ｘ線の計数が不可能となる。
検出器に入射・してから、次のＸ線光子が検出器に入る
までの時間が類すざると、Ｘ線の計数が不可能となる。
このＸ線の計数が不可能な時間を不感時間と称するが、
これは波高分析器に原因があり、高速の波高分析器を使
用しても、不感時間は１μｓｅａ ｌ￥度あり、正確な
Ｘｌ１１の計測にとって障害となっている。
これは波高分析器に原因があり、高速の波高分析器を使
用しても、不感時間は１μｓｅａ ｌ￥度あり、正確な
Ｘｌ１１の計測にとって障害となっている。
本発明は、上述した点に鑑みてなされたもので、Ｘ線の
正確な計数を可能とするＸ線分析装置を提供することを
目的としている。
正確な計数を可能とするＸ線分析装置を提供することを
目的としている。
［問題点を解決するための手段］
本発明に基づくＸ線分析装置は、Ｘ線光子の入射に応じ
てパルス信号を発生するＸ線検出器と、該Ｘ線検出器の
出力信号が供給されるパルス検出器と、該Ｘ線検出器の
出力信号が供給される入力端子と複数の出力端子を有し
たスイッチ回路と、該スイッチ回路の各出力端子に接続
された複数の波高分析器と、該複数の波高分析器の出力
信号が供給されるＯＲ回路とを備えており、該パルス検
出器によってパルスの入射が検出される毎に該スイッチ
回路を切換えるように構成したことを特徴としている。
てパルス信号を発生するＸ線検出器と、該Ｘ線検出器の
出力信号が供給されるパルス検出器と、該Ｘ線検出器の
出力信号が供給される入力端子と複数の出力端子を有し
たスイッチ回路と、該スイッチ回路の各出力端子に接続
された複数の波高分析器と、該複数の波高分析器の出力
信号が供給されるＯＲ回路とを備えており、該パルス検
出器によってパルスの入射が検出される毎に該スイッチ
回路を切換えるように構成したことを特徴としている。
［実施例］
以下本発明の一実施例を添附図面に基づいて詳述する。
第１図において、１はシンチレーションカウンタの如き
Ｘ線検出器、２は増幅器、３はアナログスイッチ回路、
４はパルス検出器、５ａ 、 ５ｂ 。
Ｘ線検出器、２は増幅器、３はアナログスイッチ回路、
４はパルス検出器、５ａ 、 ５ｂ 。
５Ｃは夫々リニアアンプ、６ａ 、６ｂ 、６ｃは夫々
波高分析器、７はＯＲ回路、８はレートメータ、９はレ
コーダ、１０はスケーラ、１１はプリンタ、１２はタイ
マーである。
波高分析器、７はＯＲ回路、８はレートメータ、９はレ
コーダ、１０はスケーラ、１１はプリンタ、１２はタイ
マーである。
上述した構成において、図示しない試料からのＸ線光子
はＸ線検出器１に入射し、パルス信号に変換される。該
パルス信号は増幅器２によって増幅された後、スイッチ
回路３の入力端子３ａとパルス検出器４に供給される。
はＸ線検出器１に入射し、パルス信号に変換される。該
パルス信号は増幅器２によって増幅された後、スイッチ
回路３の入力端子３ａとパルス検出器４に供給される。
第２図＜ａ）はこのパルス信号を示しており、該パルス
検出器４にＪ３いては、第１の信号レベルｖ１で立上り
、第２の信号レベルｖ２で立下る第２図に示すパルス信
号を発生する。該パルス検出器４の出力信号はスイッチ
回路３に供給される。該スイッチ回路３においては、最
初のパルスが入力端子３ａから入ツノしたときは、例え
ば、第１の出力端子３ｂから信号が出力されるように切
換えられている。ここで、該スイッチ回路３は、パルス
検出器４のパルスの立下りでスイッチが切換ねるように
構成されている。従って、最初のパルスがスイッチ回路
３の出力端子３ｂから出力され、リニアアンプ５ａを介
して第１の波高分析器６ａに供給された後、該スイッチ
回路は入力パルスが出力端子３ｃがら出力されるように
切換えられる。２番目のＸ線光子がｘ？！検出器１に入
射すると、この検出パルスは出力端子３Ｃからリニアア
ンプ５ｂを介して第２の波高分析器６ｂに供給される。
検出器４にＪ３いては、第１の信号レベルｖ１で立上り
、第２の信号レベルｖ２で立下る第２図に示すパルス信
号を発生する。該パルス検出器４の出力信号はスイッチ
回路３に供給される。該スイッチ回路３においては、最
初のパルスが入力端子３ａから入ツノしたときは、例え
ば、第１の出力端子３ｂから信号が出力されるように切
換えられている。ここで、該スイッチ回路３は、パルス
検出器４のパルスの立下りでスイッチが切換ねるように
構成されている。従って、最初のパルスがスイッチ回路
３の出力端子３ｂから出力され、リニアアンプ５ａを介
して第１の波高分析器６ａに供給された後、該スイッチ
回路は入力パルスが出力端子３ｃがら出力されるように
切換えられる。２番目のＸ線光子がｘ？！検出器１に入
射すると、この検出パルスは出力端子３Ｃからリニアア
ンプ５ｂを介して第２の波高分析器６ｂに供給される。
この（捻、該２番目のＸＦＡ光子に基づくパルスによっ
て、該スイッチ回路３は、３番目のパルスが出力端子３
ｄから出力され、第３の波高分析器６ｃに供給されるよ
うに切換えられる。該３番目のパルスが波高分析器に供
給された後、再びスイッチ回路３は切換えられ、最初の
状態、すなわら、出力端子３ｂからパルスが出力される
ように切換えられる。
て、該スイッチ回路３は、３番目のパルスが出力端子３
ｄから出力され、第３の波高分析器６ｃに供給されるよ
うに切換えられる。該３番目のパルスが波高分析器に供
給された後、再びスイッチ回路３は切換えられ、最初の
状態、すなわら、出力端子３ｂからパルスが出力される
ように切換えられる。
各波高分析器５ａ、５ｂ、５ｃの出力パルスはＯＲ回路
７に供給され、まとめられてレートメータ８およびスケ
ーラ１０に供給される。該レートメータおよびスケーラ
でパルスは計数され、その結果はレコーダ９およびプリ
ンタ１１によって記録される。
７に供給され、まとめられてレートメータ８およびスケ
ーラ１０に供給される。該レートメータおよびスケーラ
でパルスは計数され、その結果はレコーダ９およびプリ
ンタ１１によって記録される。
［効果１
以上詳述した如く、本発明においては、ＸＦＡ光子の検
出器への入射に伴うパルスによってスイッチを切換え、
？！２数の波高分析器に選択的にパルスを供給するよう
にしたので、波高分析器の高速性によってパルスの数え
落しがなくなり、正確なＸ線の計数を行うことができる
。又、波高分析器を多数用いることにより、高価な高速
波高分析器を用いる必要がなくなり、コスト的に有利と
なる。
出器への入射に伴うパルスによってスイッチを切換え、
？！２数の波高分析器に選択的にパルスを供給するよう
にしたので、波高分析器の高速性によってパルスの数え
落しがなくなり、正確なＸ線の計数を行うことができる
。又、波高分析器を多数用いることにより、高価な高速
波高分析器を用いる必要がなくなり、コスト的に有利と
なる。
なお、スイッチの切換えに必要な時間は２０ ｎ５ｅｃ
程度であり、波高分析器による不感時間に比較して極め
て短く、無視すること“ができる。
程度であり、波高分析器による不感時間に比較して極め
て短く、無視すること“ができる。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
信号波形を承り図である。 １・・・Ｘ線検出器 ２・・・増幅器３・・・ス
イッチ回路 ４・・・パルス検出器５ａ 、５ｂ
、５ｃ・・・リニアアンプ６ａ、６ｂ、６ｃ・・・波高
分析器 ７・・・ＯＲ回路 ８・・・レートメータ９・
・・レコーダ １０・・・スケーラ １１・・・プリンタ１２・
・・タイマー
信号波形を承り図である。 １・・・Ｘ線検出器 ２・・・増幅器３・・・ス
イッチ回路 ４・・・パルス検出器５ａ 、５ｂ
、５ｃ・・・リニアアンプ６ａ、６ｂ、６ｃ・・・波高
分析器 ７・・・ＯＲ回路 ８・・・レートメータ９・
・・レコーダ １０・・・スケーラ １１・・・プリンタ１２・
・・タイマー
Claims (1)
- （１）Ｘ線光子の入射に応じてパルス信号を発生するＸ
線検出器と、該Ｘ線検出器の出力信号が供給されるパル
ス検出器と、該Ｘ線検出器の出力信号が供給される入力
端子と複数の出力端子を有したスイッチ回路と、該スイ
ッチ回路の各出力端子に接続された複数の波高分析器と
、該複数の波高分析器の出力信号が供給されるＯＲ回路
とを備えており、該パルス検出器によってパルスの入射
が検出される毎に該スイッチ回路を切換えるように構成
したＸ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27366686A JPS63127180A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27366686A JPS63127180A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | Ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63127180A true JPS63127180A (ja) | 1988-05-31 |
Family
ID=17530855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27366686A Pending JPS63127180A (ja) | 1986-11-17 | 1986-11-17 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63127180A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010507797A (ja) * | 2006-10-25 | 2010-03-11 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | Ｘ放射線を検出する装置、撮像装置及び方法 |
| JP2011043501A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Samsung Electronics Co Ltd | 光子計数装置及び方法 |
| CN104656114A (zh) * | 2013-11-15 | 2015-05-27 | 株式会社理学 | 辐射线检测器、使用其的x射线分析装置及辐射线检测方法 |
| JP2020027073A (ja) * | 2018-08-16 | 2020-02-20 | 日本電子株式会社 | Ｘ線分析装置および計数率の補正方法 |
-
1986
- 1986-11-17 JP JP27366686A patent/JPS63127180A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010507797A (ja) * | 2006-10-25 | 2010-03-11 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | Ｘ放射線を検出する装置、撮像装置及び方法 |
| US8618471B2 (en) | 2006-10-25 | 2013-12-31 | Koninklijke Philips N.V. | Apparatus, imaging device and method for detecting X-ray radiation |
| JP2011043501A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Samsung Electronics Co Ltd | 光子計数装置及び方法 |
| CN104656114A (zh) * | 2013-11-15 | 2015-05-27 | 株式会社理学 | 辐射线检测器、使用其的x射线分析装置及辐射线检测方法 |
| GB2521519A (en) * | 2013-11-15 | 2015-06-24 | Rigaku Denki Co Ltd | Radiation detector, and x-ray analysis apparatus and radiation detection method using the same |
| GB2521519B (en) * | 2013-11-15 | 2021-01-20 | Rigaku Denki Co Ltd | Radiation detector, and x-ray analysis apparatus and radiation detection method using the same |
| JP2020027073A (ja) * | 2018-08-16 | 2020-02-20 | 日本電子株式会社 | Ｘ線分析装置および計数率の補正方法 |
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